CN1900774A - 基板匣 - Google Patents

Abstract

一种基板匣，首先提供基板匣，此基板匣至少包括外壳以及滑动式盖板，其中外壳的其中一面为基板进出口，而此滑动式盖板披覆于外壳的表面上，且至少覆盖住基板进出口，其中滑动式盖板上具有至少一个狭缝开口。此基板匣的设计可节省运作空间。

Description

基板匣

技术领域

本发明涉及一种工厂内运送基板的装置，且特别是涉及一种基板匣。

背景技术

随着元件的制造朝着高密度设计发展，定义于玻璃基板上的元件尺寸持续缩小，而使相关的电路设计更为复杂。连带的，也导致相关的显示器制造工艺，需要进行相当多的步骤，才能在玻璃基板上制造出所需的像素单元。因此，对特定批次的玻璃基板来说，由投片开始至验证出货之间，会在多个机台间往返传送并进行所需的工艺。而为了避免这些玻璃基板在反复的传递过程间发生损坏或沾惹灰尘，操作人员会利用机器手臂小心翼翼的将玻璃基板储放于基板匣(cassette)中，再将基板匣搬动至下一个作业机台以进行一连串的制造工艺。

请参照图1，其所示为公知的传统式基板匣的立体示意图。传统式基板匣包括外壳100与前盖102，其中前盖102为整片式盖板，其具有可翻转的功能。基板匣的外壳100内可装载多个基板，因此当进行一连串不同的工艺时，可将基板匣作为基板的储存及运送的载具。

在公知的制造工艺中或生产线上，其基板匣的使用方式为，当正在进行某一工艺时，可从基板匣中取出基板，以进行所需的处理。完成步骤后，再将基板放回基板匣中，然后运送到下一个工艺中。接着将需要进行处理的基板从基板匣中取出。然后经工艺处理后，再将基板放回基板匣中。之后再将基板匣送至下一个工艺的操作平台，重复上述的动作。在这期间基板匣的基板会因所经的处理工艺不同而多次的进出基板匣。

具体来说，公知的基板匣设计会造成一些缺失。因为传统的基板匣为前掀盖设计，所以在存取基板前都须先掀起基板匣的前盖102，因此，在存取基板时整个基板匣会呈开放状态，且基板会暴露于外界空气中，因而使得基板匣内的其它基板有机会沾上灰尘。而且再加上多次的开关，基板匣的前盖也会使得落尘数目增加。另外，若基板匣外有破片或污染情况发生，所有基板都有可能波及。在某些工艺中，若需先将基板匣置入加载室再进行下一步骤时，此时因为要配合基板匣的设计，加载室的空间除了要包含基板匣外，还需预留前盖板102的运动空间，而造成空间的浪费及工艺上成本的增加。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的就是提供一种基板匣，其设计能够节省运作空间，并减少储存的基板暴露在外界中的机会。

本发明提出一种基板匣，其包括有外壳与滑动式盖板。此外壳的其中一面为基板进出口，而此滑动式盖板披覆于外壳的表面上，且至少覆盖住基板进出口，其中滑动式盖板上具有至少一个狭缝开口，以提供基板进出基板匣。

本发明的基板匣与传统式基板匣的最大不同是，将传统式基板匣的前掀盖机构设计为滑动式盖板，因为传统式基板匣的前掀盖机构为整片式盖板，所以存取基板时需将盖板整片掀起。而相比之下，本发明的基板匣仅需滑动基板匣上的滑动盖板即可存取基板，因此本发明可减少在存取基板时，基板匣内的其它基板会被暴露于外界环境中的机会。另外，本发明的基板匣以滑动式盖板取代传统的前掀盖板，其在存取基板时，无需预留盖板的运动空间，因此比传统式基板匣较能节省运作空间，而不致造成空间浪费。

为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1所示为公知的传统式基板匣的立体图。

图2A为本发明一较佳实施例的基板匣的立体示意图。

图2B为图2A的基板匣的外壳示意图。

图2C为图2A的基板匣的侧面透视图。

图2D为本发明另一较佳实施例的基板匣的侧面透视图。

图2E为本发明另一较佳实施例的基板匣的正面示意图。

图2F为本发明另一较佳实施例的基板匣的外壳示意图。

图2G为依本发明一较佳实施例的基板匣固定于平台上的示意图。

图2H为依照本发明一较佳实施例的基板匣的滑动盖板的滑动情形的示意图。

图2I为依本发明一较佳实施例的基板匣固定于夹具上的示意图。

图3所示为于生产线上操作基板匣的示意图。

主要元件标记说明

100、200、200a：外壳

102：前盖

104、201、203：箭头

202：滑动式盖板

204、204a：基板出入口

206：狭缝开口

208：履带结构

210：导向滑轨

212：辅助齿轮

214：定位齿轮

216：感应定位装置

218：固定孔

220：夹具

300：基板匣

310：移动设备

250：平台

252：固定件

具体实施方式

图2A为本发明一较佳实施例的基板匣的立体示意图。而图2B为图2A的基板匣的外壳的示意图。

请同时参照图2A与图2B，本发明的基板匣300包括有外壳200以及滑动式盖板202。外壳200的其中一面为基板进出口204，而滑动式盖板202披覆于外壳200的表面上，且至少覆盖住基板进出口204。其中滑动式盖板202上具有至少一个狭缝开口206，狭缝开口206可以提供基板进出基板匣。机器手臂或操作人员可以通过狭缝开口206而存取基板匣300内的基板。

在一实施例中，基板匣300的滑动式盖板202例如是由多个滑动式叶片所组合而成。更佳的是，滑动式叶片为可拆卸式叶片。倘若上述的滑动式叶片采用可拆卸式叶片，则使用者或工作人员可依工艺上的需求而拆除任一叶片，以在滑动式盖板202上形成一个以上的狭缝开口206。

在另一实施例中，基板匣300的滑动式盖板202例如是环状滑动式盖板，因此披覆于外壳200的表面上的环状滑动式盖板环绕于外壳200的四个面上。同样的，环状滑动式盖板至少能覆盖住外壳200的基板进出口204。

请同时参照图2A以及图2C，图2C即为由图2A由箭头201的方向看过去的透视图。在一较佳实施例中，上述的基板匣300还包括在滑动式盖板202的两侧设置履带结构208，其用以带动滑动式盖板202的滑动。更佳是，可于履带结构208底下设置导向滑轨210，以帮助履带结构208滑动。或者是装设辅助齿轮212，其与履带结构208接触，用以帮助履带结构208滑动。当然，亦可以在履带结构208底下设置导向滑轨210且同时装设辅助齿轮212，以辅助履带结构208的滑动。

在本发明的基板匣300中，为了能够正确的定位出狭缝开口206的位置，使狭缝开口206能精确的被移动至基板匣300内存放特定基板的位置，因此还可于基板匣300上装置定位齿轮214，如图2D所示。此定位齿轮214与滑动式盖板202接触，且通过计算定位齿轮214的转动次数，便可以精确的定位滑动式盖板202上的狭缝开口206的位置。

在本发明中，除了上述利用定位齿轮214以正确的定位出狭缝开口206的位置的方式之外，亦可以利用其它方式来定位，例如是于滑动式盖板202附近安装感应定位装置216，如图2E所示。若欲使用感应定位装置216来定位狭缝开口206的位置，则在滑动式盖板202的叶片上需先标示一系列的编码。因此感应定位装置216可以监测出叶片上的编码，便可以精确的定位滑动式盖板202上的狭缝开口206的位置。

本发明的基板匣300的结构除了如图2A以及图2B所示之外，其亦可以是将其外壳设计成如图2F所示。请同时参照图2A以及图2F，本发明的基板匣300的外壳200a具有两面的基板进出口204、204a，基板进出口204a位于基板进出口204的对面。若采用图2F的外壳200a的设计，则可以通过披覆于外壳200a上的滑动式盖板202的操控，以使此基板匣能够起到双向存取基板的作用。

一般在工厂中，基板匣可能是放置在移动设备中或是加载室中。因此为了使基板匣能稳固的位于移动设备或加载室中，一般会在基板匣上设计固定装置。例如，如图2G所示，于基板匣300的外壳上设置至少一个固定孔218，通过平台250(例如是移动设备或加载室中的平台)上的固定件252与固定孔218之间的接合，以达到固定基板匣300的目的。

另一方面，在一般工厂中，基板匣除了可在平面(例如是上述移动设备或加载室中的平台)上进行操作外，也可以利用机器手臂或其它夹具将基板匣整个提起，并移至预备作业的位置上或停留在机台的上方以等待后续预进行的作业。同样地，一般会在基板匣的外壳上设置至少一个固定装置，以使机器手臂或其它夹具能将基板匣整个提起。例如，如图2I所示，于基板匣300的外壳上设置至少一个固定孔218，并通过夹具220与固定孔218之间的接合，以达到垂直移动基板匣300的目的。

以下将进一步说明本发明的基板匣300的操作方法。请先参照图2A与图2B，当欲进行基板存取的步骤时，则滑动覆盖于基板匣300表面上的滑动式盖板202，以使狭缝开口206能够暴露出外壳200内的特定位置。在此，所谓特定位置指的是基板匣内特定基板所在的位置。由于基板匣内往往会存放数片的基板，而每一基板会依照其应进行的工艺步骤而被移出或移入基板匣。因此，使滑动式盖板202的狭缝开口206移动至特定位置，便可将此特定位置上的基板移出，或将基板移入此特定位置。

而将滑动式盖板202的狭缝开口206移动至特定位置的方法可以利用先前所述的定位齿轮(如图2D所示)或是感应定位装置(如图2E所示)的方式来达成。使用者只需通过控制器或操作台，搭配上述定位齿轮或是感应定位装置，即可以轻易的控制滑动式盖板202的狭缝开口206的位置。

当完成基板进出基板匣的步骤后，请参照图2H，再次滑动滑动式盖板202，以使狭缝开口206移动至外壳200的其它面，使得基板进出口204被封闭起来。在此，可以将狭缝开口206移至外壳200的底面处或是顶面处。

在先前所述的另一实施例中，若基板匣的外壳设计有两个基板进出口，如图2F所示，则此种基板匣可以进行双向存取基板的作业。较详细说明是，请参照图3，一般基板匣会放置在移动设备310上，以依次的进行各工艺步骤。而在移动设备310的移动路线两旁会设置有各种工艺机台(A机台、B机台、C机台以及D机台)。当基板欲进行A机台的工艺时，则基板匣会被移动设备310运往A机台附近，然后再以机械手臂依次将基板匣内的基板移至A机台内。此时，下一工艺步骤的机台可以设置在B机台或是C机台的位置。由于本发明的基板匣具有双向存取的功能，因此只要控制滑动式盖板202的狭缝开口206的位置，便可以使基板能够移往移动设备310两侧的任一机台内，因而能双向存取基板。

传统因基板匣只有一面的基板进出口，因此所有的机台仅能设置在移动路线上的同一侧。倘若要将机台设置于移动路线的两侧，则还必须另外通过其它的设备来转动基板匣的方向。而本发明的基板匣因具有双向存取基板的功能，因此可使得机台的设置更弹性化。

特别是，本发明的基板匣以滑动式盖板取代传统的前掀盖板，因此无需预留盖板的运动空间，因此比传统式基板匣较能节省运作空间。此外，本发明的基板匣的滑动式盖板可以覆盖大部分基板进出口大部分的面积，而仅会使狭缝开口暴露出特定位置，因此可减少存取基板时，使基板匣内的其它基板会暴露于外界环境中的机会。

虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与改进，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。

Claims (12)

1.一种基板匣(cassette)，其特征是包括：

外壳，该外壳的其中一面为基板进出口；以及

滑动式盖板，披覆于该外壳的表面上，且至少覆盖住该基板进出口，其中该滑动式盖板上具有至少一个狭缝开口，以提供该基板进出该基板匣。

2.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是该滑动式盖板由多个滑动式叶片所构成。

3.根据权利要求2所述的基板匣，其特征是上述滑动式叶片为可拆卸式叶片。

4.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是该滑动式盖板为环状滑动式盖板，套覆于该外壳的表面上，且至少覆盖住该基板进出口。

5.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是还包括履带结构，设置于该滑动式盖板的两侧，用以带动该滑动式盖板。

6.根据权利要求5所述的基板匣，其特征是还包括导向滑轨，设置于该履带结构的底下，用以帮助该履带结构的滑动。

7.根据权利要求5所述的基板匣，其特征是还包括至少一个辅助齿轮，其与该履带结构接触，用以帮助该履带结构的滑动。

8.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是还包括定位齿轮，其与该滑动式盖板接触，用以定位该狭缝开口的位置。

9.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是还包括感应定位装置，设置于该滑动式盖板的附近，用以定位该狭缝开口的位置。

10.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是该外壳的该基板进出口的对面具有另一基板进出口。

11.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是该滑动式盖板上还包括标示有一系列的编码。

12.根据权利要求1所述的基板匣，其特征是该外壳上还包括设置有至少一个固定装置，用以使该基板匣固定于工作平台上。

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