CN1896835A - 图像显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种高质量的图像显示装置，这种图形显示装置通过用简单的工艺构成配置了具备开口并且该开口具有足够高度的隔壁的黑色矩阵，使色纯度劣化得到了抑制。用导电性黑色玻璃形成黑色矩阵BM。该导电性黑色玻璃假设是在玻璃中混合了黑色添加剂和导电性填充物的玻璃。该玻璃的主要成分是V₂O₅、SNO₂、Bi₂O₃、Ag₂O之一，或者是它们的2种或者2种以上的混合物。

Description

图像显示装置

技术领域

本发明涉及利用了向真空中进行电子发射的自发光平板型图像显示装置，特别涉及具备配设了多个隔离部(スペ一サ)(也称为间隔保持部件、隔壁)而构成的显示板的图像显示装置，多个隔离部用于使背面板和前面板之间保持规定间隔，其中背面板是由具备靠场致发射来发射电子的电子源的背面基板构成的，前面板是由前面基板构成的，所述前面基板具备靠从背面板取出的电子的激励而发光的多种颜色的荧光体层和作为电子加速电极的阳极。

背景技术

以往广泛使用彩色阴极射线管作为高亮度、高精细性能优异的图像显示装置(显示设备)。但是，随着近年来信息处理装置和电视广播的画质不断提高，对具有高亮度、高精细特性并且重量轻、节省空间的平面型(或称为平板型，或者简称为板型)的图像显示装置的需求正在提高。

作为其典型的例子，液晶显示装置、等离子体显示装置等正被实用化。另外，特别是作为可以实现高亮度的产品，利用了从电子源向真空中发射电子的电子发射型图像显示装置或者场致发射型图像显示装置、以及以低功耗为特征的有机EL显示器等各种形式的平面型图像显示装置也进入实用化阶段。而且，一般把不需要辅助照明光源的等离子体图像显示装置、电子发射型图像显示装置或者有机EL图像显示装置称为自发光平面型图像显示装置。

在这种自发光平面型图像显示装置中，已知在场致发射型图像显示装置中，有以下各种装置：具有根据C.A.Spindt等提出的圆锥形电子发射构造的装置，具有金属-绝缘体-金属(MIM)型电子发射构造的装置，具有利用由量子论的隧道效应产生的电子发射现象的电子发射构造(也称为表面传导型电子源)的装置，还有利用了金刚石膜或石墨膜、以碳纳米管为代表的纳米管等所具有的电子发射现象的装置。

作为自发光平面型图像显示装置的一个例子的、构成场致发射型图像显示装置的显示面板具有由背面基板构成的背面板和由前面基板构成的前面板。其中背面基板的内表面上形成了具有场致发射型电子源的电极线(一般是阴极线、信号线或者数据线，以下称信号线)和作为控制电极的电极线(一般是栅极线或者扫描线，以下称扫描线)；前面基板具备涂敷在与该背面板相对的内表面上的遮光膜(黑色矩阵)的开口上的、多种颜色的荧光体层和加速电极(阳极电极，或者也称为阳极)。构成前面板的前面基板是由以玻璃为优选的透光性材料形成。在背面基板上使用以玻璃或者氧化铝等为优选的绝缘材料。

而后在两块板的粘合内边缘上插入密封框(通常称为玻璃框，也称为框玻璃)，用封装部件封装密封，使以该背面板和前面板以及密封框形成的内部成真空地构成。

电子源位于信号线和扫描线的交叉部附近，利用信号线与扫描线之间的电位差控制从电子源发射的电子的发射量(包含发射的开·关)。发射出的电子通过施加在位于前面板上的阳极上的高电压而被加速，同样向用位于前面板上的黑色矩阵划分的荧光体层撞击，通过激励作用而发出与该荧光体层的发光特性相应的颜色的光。

各个电子源与对应的荧光体层成对地构成单位像素，一般用红(R)、绿(G)、蓝(B)三种颜色的单位像素构成一个像素(也称为彩色像素或者像素)。当是彩色像素的情况下，单位像素还称为子像素(サブピクセル)。

在背面板和前面板的内侧边缘部，框玻璃利用玻璃料玻璃等封装部件固着。由背面板和前面板和框玻璃形成的气密容器的内部真空度例如设置成10^-5～10^-7Torr。在显示面尺寸大的显示面板上，在背面板和前面板之间插入多个隔离部并使用接合部件使之接合固定，以在两个面板间保持规定的间隔。该隔离部由在玻璃或者陶瓷等绝缘材料的表面上涂敷某些具有导电性的膜后形成的、或者由具有一定程度导电性的部件形成的板形体构成，一般设置在不妨碍多个像素中的每个像素的动作的位置上。

图8是说明场致发射型图像显示装置的1个像素的构成例子的模式图。在背面基板SUB1的主面(内侧表面)上形成有：以铝(Al)膜为优选的、构成电子源的下部电极的信号线CL；由对下部电极的铝进行了阳极氧化的阳极氧化膜组成的第1绝缘膜INS1；以氮化硅膜SiN为优选的第2绝缘膜INS2、供电电极(连接电极)ELC；以铬Cr为优选的扫描线GL；与扫描线GL连接的、构成像素的电子源的上部电极AED。

电子源由薄膜部分INS3和层叠在上述薄膜部分INS3的上层的上部电极AED的一部分构成，所述薄膜部分INS3形成了以信号线CL为下部电极且位于下部电极之上的第1绝缘膜INS1的一部分。上部电极AED覆盖扫描线GL和供电电极ELC的一部分而形成。薄膜部分INS3是所谓的隧道膜。通过该构成形成所谓的二极管电子源。

另一方面，前面板PNL2在以透明的玻璃基板为优选的前面基板SUB2的主面上形成荧光体PH和阳极AD，其中，荧光体利用黑色矩阵BM来与相邻像素划分开，所述阳极以铝蒸镀膜为优选。阳极AD还具有作为使荧光体发出的光指向玻璃制的前面基板方向的反射膜的功能。黑色矩阵BM一般用溅镀氧化铬等而形成的薄膜，或者通过颜料分散膏的印刷、烘干(焼成)而形成。而后，在该黑色矩阵BM上开设的开口上涂敷荧光体PH。背面板PNL1和前面板PNL2之间的间隔是3至5mm左右，通过隔离部SPC维持这一间隔。

在这种构成中，在背面板PNL1的上部电极AED和前面板PNL2的阳极AD之间施加加速电压(2、3kV至10kV左右，在图6中是约5kV)时，射出与提供给作为下部电极的信号线CL的显示数据的大小相应的电子e^-，通过加速电压撞击到荧光体PH上，使之受到激励而向前面板PNL2的外部射出规定频率的光L。而且，在全彩色显示的情况下，该单位像素是彩色的子像素，一般用红(R)、绿(G)、蓝(B)这3个子像素构成1个彩色像素。

在对使背面板和前面板之间保持规定间隔的隔离部进行设置时，对以下构造进行了各种研究：通过该隔离部的充电而使电子线的轨道不发生弯曲的构造，另外，通过巧妙配置隔离部来防止隔壁缺损的构造，还有防止放电的构造等。作为公开了此应对方法之一的内容，可以列举出专利文献1。在专利文献1中，使位于前面板的阳极侧的荧光体部分向电子源方向突出，使电子源附近的电场为凸出形状以会聚电子。

[专利文献1]特开2002-15686号公报

发明内容

在形成了涂敷荧光体的开口的已知黑色矩阵中，已知有通过溅镀氧化铬等金属氧化物而形成的薄膜方式的黑色矩阵；通过涂敷包含石墨等黑色染料的膏而构图形成的厚膜方式的黑色矩阵。荧光体通过涂敷而埋设在黑色矩阵的每个开口中，而在开口的壁，即开口间的隔壁的高度低(黑色矩阵的膜厚度薄)时，本应该填充的荧光体的一部分从该开口中溢出流入到相邻的开口中，其结果造成色纯度的劣化。因此，需要黑色矩阵的膜厚度是能够形成防止荧光体浑浊的隔壁的厚度。

在薄膜方式的黑色矩阵中，为了得到能够充分起到隔壁功能的膜厚度，需要重复多次成膜工序来进行薄膜的堆积。因此，在黑色矩阵的形成中需要时间，随着面板尺寸的大型化，设备也大型化，从而提高了图像显示装置的制造成本。

本发明的目的在于提供一种高质量的图像显示装置及其制造方法，通过用简单的工艺来构成配置了具有开口并且该开口具有足够高度的隔壁的黑色矩阵，使色纯度劣化得到了抑制。

本发明的图像显示装置用前面板和背面板、隔离部以及密封框形成了真空容器。前面板具有：前面基板；形成在前面基板的内表面上的黑色矩阵；填充到黑色矩阵的开口上的荧光体；由覆盖黑色矩阵以及荧光体而成膜的反射性金属蒸镀膜组成的阳极。背面板具有：背面基板；被配线在背面基板的内表面上的信号线；与信号线绝缘并被交叉配线的扫描线；形成在绝缘信号线和绝缘扫描线的交叉部附近的电子源。

把隔离部装定在使前面板和背面板粘合的空间内，使两板的内表面间的距离保持在规定值。密封框插入前面板和背面板的粘合边缘之间，与两个面板一起形成真空容器。

在本发明中，用导电性黑色玻璃形成黑色矩阵。可以把该导电性黑色玻璃设置成在玻璃中混合了黑色添加剂和导电性填充物的玻璃。该玻璃的主要成分设为是PbO、V₂O₅、SnO₂、Bi₂O₃、Ag₂O之一，或者是它们的2种或者2种以上的混合物。在黑色添加剂中可以使用碳黑、氧化铁(Fe₃O₄)、五氧化钒(V₂O₅)、铑黑，在导电性填充物中可以使用Au、Ag、Cu、Pt、Pd、Cr、Ni、Al、Si、Zn、Fe-Ni合金、TiC、TiN、SiC、WC、MVxOy，其中M为Ag、Cu、Cr、Li、Sr、Ca，x为1～10，y为2～30。

使用了这种玻璃的黑色矩阵因为与具有同等厚度的金属膜相比轻，所以具有能够使平面显示装置自身重量减轻的效果。

另外，虽然为了在前面基板上形成黑色矩阵而需要其具有粘着性，但在使用了以前的金属板的黑色矩阵中，粘接剂和金属板有可能剥离。

因为使用了玻璃的黑色矩阵与玻璃彼此粘接，所以与金属板相比具有难以剥离的效果。

与用粘接剂粘贴金属板的情况相比，具有难以产生气泡、及由气泡引起的画面上的颜色模糊的效果。

在本发明中，用印刷和光刻法形成该黑色矩阵。通过把已形成的黑色矩阵的厚度设置成比填充在开口上的荧光体的厚度还厚，能够抑制因填充荧光体流到相邻的开口引起的颜色纯度的劣化。

而后，通过覆盖黑色矩阵和填充在其开口上的荧光体，溅镀金属薄膜而形成阳极膜。可以使用铝作为该金属薄膜。

进而，在与黑色矩阵的前面基板的表面平行的面上的开口形状可以设置成矩形形状、或者椭圆形状、圆形状。

本发明能够用简单的步骤得到色纯度良好的高质量的图像显示装置，这种图形显示装置配置了具有开口并且开口具有足够高度的隔壁的黑色矩阵。

进而，本发明并不限定于上述的各种构成以及在以后说明的实施方式中所记述的构成，在不脱离本发明的技术构思的前提下当然可以有各种变更。

附图说明

图1是说明本发明的图像显示装置的实施例1的1个像素附近的截面模式图。

图2是从电子源一侧看图1所示的黑色矩阵的图。

图3是将本实施例的黑色矩阵的形成技术和以前的技术相比较的说明图。

图4是说明本发明的图像显示装置的整体构造的一个例子的图。

图5是为了更具体地说明本发明的图像显示装置的整体构造的一个例子而局部剖开表示的斜视图。

图6是沿着图5的A-A’线切开的截面图。

图7是说明本发明的图像显示装置的等效电路例子的图。

图8是说明场致发射型图像显示装置的1个像素的构成例子的模式图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。

[实施例1]

图1是说明本发明的图像显示装置的实施例1的1个像素附近的截面模式图。在图1中，在构成背面板PNL1的背面基板SUB1的内表面上具有信号线(数据线、阴极电极线)CL、与该信号线CL交叉的扫描线(栅极线、栅极电极线)GL。通常，信号线CL和扫描线GL正交。在信号线CL和扫描线GL的交叉部附近形成电子源ELS。电子源ELS的构成如图8中说明的那样。

构成前面板PNL2的前面基板SUB2是玻璃板，在其内表面上设置具有填充有荧光体的开口的黑色矩阵BM。黑色矩阵BM通过导电性黑色玻璃膏的印刷、烘干而形成。导电性黑色玻璃膏是在玻璃中混合了黑色添加剂和导电性填充物的膏体。

作为玻璃的主要成分，是PbO、V₂O₅、SnO₂、Bi₂O₃、Ag₂O之一，或者是它们的2种或者2种以上的混合物。黑色添加剂优选碳黑、氧化铁(Fe₃O₄)、五氧化钒(V₂O₅)、铑黑；作为导电性填充物使用Au、Ag、Cu、Pt、Pd、Cr、Ni、Al、Si、Zn、Fe-Ni合金、TiC、TiN、SiC、WC、MVxOy(M：Ag、Cu、Cr、Li、Sr、Ca)、(x：1～10，y：2～30)。进而，黑色添加剂也可以使用石墨等黑色颜料。

黑色矩阵BM的厚度、即开口间的隔壁高度可以通过调整所印刷的导电性黑色玻璃膏的量和粘度来控制，从防止混色的观点出发希望这一高度确保必要的荧光体填充量，并且在填充荧光体时比该荧光体的厚度还高。在上述基板的内表面上通过网板(スクリ一ン)印刷涂敷具有多个开口的黑色矩阵，通过干燥、准烘干(仮焼成)使溶剂消散从而确定开口形状。在该开口上在通过网板印刷填充了荧光体后，和黑色矩阵一同进行正式烘干(本焼成)。在该烘干完后，溅镀以铝为优选的金属薄膜而形成阳极。而且，荧光体的涂敷也可以使用喷墨法。

从电子源ELS发射出的电子e^-被施加在阳极AD上的加速电压加速，撞击到荧光体PH上，通过激励发射出由该荧光体PH的组成决定的颜色光。该颜色光通过前面基板SUB2射出，成为构成图像的各像素光。而且，在图1中表示在1个像素的左右装定了隔离部SPC的情况，而这是模式图，实际上隔离部SPC设置成按几个像素单位使其一端沿着该扫描线GL而置于扫描线GL上。

隔离部SPC的另一端搭接在黑色矩阵BM上。在图1中虽然表示成把隔离部SPC的另一端埋设在黑色矩阵BM中的情况，但这只是模式化表示这种情况的图，即，在把显示板的内部抽真空时的大气压下，隔离部SPC的端部一部分陷入到黑色矩阵BM的表面中。实际上，该隔离部SPC的另一端用未图示的导电性粘接剂固定。

图2是从电子源一侧看图1所示的黑色矩阵的图，图2(a)是平面图，图2(b)是沿着图2(a)的A-A’线的截面图。在黑色矩阵BM中多个开口形成为矩阵形状。在图2中用‘R’、‘G’、‘B’表示的矩形是开口。在该开口‘R’中填充红色荧光体，在‘G’中填充绿色荧光体，在‘B’中填充蓝色荧光体。在图2(b)的截面图中，表示在各开口中填充了各种荧光体PH(R)、PH(G)、PH(B)的状态。

图3是将本实施例的黑色矩阵的形成技术和以前的技术相比较的说明图。图3(a)是基于以前的薄膜方式的黑色矩阵的形成工艺。首先，洗净作为前面基板SUB2的玻璃板，通过焙烘除去应变(工艺-1，下面表述为P-1)。在该玻璃板的内表面上溅镀氧化铬-铬(CrO-Cr)薄膜(P-2)。因为该薄膜非常薄，所以为了得到用以形成所需要的隔壁高度的膜厚度，反复进行溅镀。在得到了所需要的膜厚度的阶段，涂敷感光性抗蚀剂，通过经由曝光掩膜进行曝光、实施显影，除去作为开口的部分的感光性抗蚀剂(P-3)。在对它进行蚀刻处理除去开口部的薄膜后，剥离残留的感光性抗蚀剂(P-4)。由此得到具备了开口的黑色矩阵BM。

与此相对，在图3(b)所示的本发明的制造方法的实施例中，洗净作为前面基板SUB2的玻璃板，通过焙烘除去应变(以P-1表示)。其后，通过网板印刷以上述玻璃膏印刷黑色矩阵BM的开口图案，通过干燥、准烘干而得到具备了开口的黑色矩阵BM。

如上所述，本发明的制造方法的实施例与以前的制造方法相比，能够以少的工艺容易地得到具备带有所需膜厚度的开口的黑色矩阵。因此，制造设备价格也可降低，能够降低产品成本。

另外，不仅用上述的印刷法制成黑色矩阵，还可以用光蚀刻方法得到黑色矩阵，即，通过在前面基板的内表面上涂敷感光性抗蚀剂、膏进行烘干，而后经过掩膜曝光和显影、抗蚀剂剥离、烘干和蚀刻等得到具有矩阵排列的开口的黑色矩阵。

该光蚀刻方法的黑色矩阵也是涂敷上述膏，通过涂敷形成厚膜，能够形成足够的隔壁，使得填充荧光体而不流入到相邻的开口。

与一般作为基板材料所使用的以硅元素为主要成分的玻璃相比，本发明中的以钒为主要成分的玻璃、以铅为主要成分的黑色玻璃的蚀刻速度更快。

因而，通过把这些黑色玻璃和以硅元素为主要成分的基板相组合，在形成黑色矩阵开口部时不会被蚀刻到基板，可以期待在制作黑色矩阵时提高成品率。

图4是说明本发明的图像显示装置的整个构造的一个例子的图，图4(a)是斜视图，图4(b)是沿着图4(a)的A-A’线切断的概略截面图。在图4中如上所述，在构成背面板PNL1的背面基板SUB1的内表面上具有信号线CL和扫描线GL，在信号线CL和扫描线GL的交叉部分上形成电子源ELS。在扫描线GL的端部上形成有未图示的扫描线引出线，在信号线CL的端部上形成有未图示的信号线引出线。

另外，在构成前面板PNL2的前面基板SUB2的内表面上形成了上述黑色矩阵BM、阳极AD以及荧光体层PH等。构成背面板PNL1的背面基板SUB1、构成前面板PNL2的前面基板SUB2使密封框MFL介于其边缘上，并通过封装部件FGM而粘合。为了把该粘合后的间隙保持成规定值，在背面基板SUB1和前面基板PNL2之间，上述隔离部SPC通过导电性接合部件等而被接合装定。

而且，通过从设置在背面板PNL1的一部分上的未图示的排气管排气而使由背面板PNL1和前面板PNL2以及密封框MFL密封的内部空间保持在规定的真空状态。

图5是更具体说明本发明的图像显示装置的整个构造的一个例子的局部剖开的斜视图。另外，图6是沿着图5的A-A’线切开的截面图。如前面重复说明的，在构成背面板PNL1的背面基板SUB1的内表面上具有信号线CL和扫描线GL，在信号线CL和扫描线GL的交叉部附近形成电子源。在信号线CL的端部形成信号线引出线CLT，在扫描线GL的端部形成扫描线引出线GLT。

另外如上所述，在构成前面板PNL2的前面基板SUB2的内表面上形成黑色矩阵BM、阳极AD、荧光体层PH。构成背面板PNL1的背面基板SUB1和构成前面板PNL2的前面基板SUB2通过使密封框MFL介于其边缘上而粘合。为了把该粘合后的间隙保持为规定值，在背面板SUB1和前面板PNL2之间装定隔离部SPC，该隔离部优选是玻璃板或者陶瓷板。图6表示沿着该隔离部SPC的截面。在图6中虽然在扫描线GL上沿着该扫描线GL示出了3个隔离部，但这只不过是一个例子。

而且，和以上说明的一样，通过从设置在背面板PNL1的一部分上的排气管EXC排出气体而使由背面板PNL1和前面板PNL2以及框玻璃MFL密封的内部空间维持在规定的真空状态。

图7是说明本发明的图像显示装置的等效电路例子的图。在图7中用虚线表示的区域是显示区域AR，在该显示区域AR上相互交叉配置有n条信号线CL和m条扫描线GL形成n×m的矩阵。在矩阵的各交叉部附近构成彩色子像素，用图中一组的3个子像素“R”、“G”、“B”构成1个像素(彩色像素)。信号线CL用信号线引出端子CLT与图像信号驱动电路DDR连接，扫描线GL用扫描线引出端子GLT与扫描信号驱动电路SDR连接。从外部信号源向图像信号驱动电路DDR输入图像信号NS，向扫描信号驱动电路SDR同样地输入扫描信号SS。

由此，通过向与顺序选择的扫描线GL交叉的信号线CL提供图像信号，能够显示二维的全彩色图像。通过使用本构成例子的显示板，可以以比较低的电压实现高效率的自发光平面的图像显示装置。

而且，作为隔离部SPC是由以SiO₂作为主要成分，含有至少一种从La、Sc、Y、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu中选择出的占重量1～20％的玻璃材料的模制体组成。而后，通过在该隔离部主体的外周面上被覆防止带电用的导电性膜来形成。进而，还可以代替在隔离部主体的外周面上被覆防止带电用的导电性膜，而在隔离部本体上使用具有导电性的材料。

在被上述的背面基板SUB1和前面基板SUB2夹着形成的显示区域AR内使该隔离部SPC相对两个基板面大致垂直，使隔离部SPC的长度方向与一个方向(图7的x方向)一致，并以规定的间距间隔排列多个隔离部而形成列，在和上述一个方向交叉的另一方向(图7的y方向)上以规定的间距间隔在扫描线GL上并列设置多个这样的列，用适合于导电性接合部件的粘接剂来接合固定。

导电性接合部件FGS含有MV_xO_y(M：Ag、Cu、Cr、Li、Sr)、(x：1～10，y：2～30)。作为MV_xO_y，例如，优选使用AgV₇O₁₈和Ag₂V₂O₁₁作为无铅低熔点玻璃的本发明的导电性玻璃组成物。通过在该导电性玻璃组成物中混入AgV₇O₁₈和Ag₂V₂O₁₁粒子，并用适当的粘合剂混联而得到。

而且，以上是以在电子源中使用了MIM型的构造为例子进行了说明，但本发明并不限于此，当然也可以在使用了上述各种电子源的自发光型图像显示装置中应用。

Claims (10)

1.一种图像显示装置，其特征在于，具备：

前面板，该前面板具有：前面基板；多个开口在该前面基板的内表面上形成为矩阵形状的黑色矩阵；填充到该黑色矩阵的开口中的荧光体；由覆盖上述黑色矩阵以及上述荧光体而成膜的反射性金属蒸镀膜构成的阳极；

背面板，该背面板具有：背面基板；被配线在该背面基板的内表面上的信号线；与该信号线绝缘地交叉配线的扫描线；形成在上述信号线和上述扫描线的交叉部附近的电子源；

隔离部，该隔离部被装定到粘合上述前面板和上述背面板的中间，将两面板的内表面间的距离保持在规定值；以及

密封框，介于上述前面板和上述背面板的粘合边缘之间，和两个面板一起形成真空容器，

其中，上述黑色矩阵是导电性黑色玻璃。

2.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：上述导电性黑色玻璃是在玻璃中混合了黑色添加剂和导电性填充物的混合物。

3.如权利要求2所述的图像显示装置，其特征在于：上述玻璃的主要成分是PbO、V₂O₅、SnO₂、Bi₂O₃、Ag₂O之一，或者这些成分中的2种或者2种以上构成的混合物。

4.如权利要求2所述的图像显示装置，其特征在于：上述黑色添加剂是碳黑、氧化铁(Fe₃O₄)、五氧化钒(V₂O₅)、铑黑。

5.如权利要求2所述的图像显示装置，其特征在于：上述导电性填充物是Au、Ag、Cu、Pt、Pd、Cr、Ni、Al、Si、Zn、Fe-Ni合金、TiC、TiN、SiC、WC、MVxOy，其中M为Ag、Cu、Cr、Li、Sr、Ca，x为1～10，y为2～30。

6.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：上述黑色矩阵是通过印刷或者光刻法形成的。

7.如权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于：上述黑色矩阵的厚度大于上述荧光体的厚度。

8.一种图像显示装置的制造方法，所述图像显示装置具备前面板，该前面板具有：多个开口在上述基板的内表面上形成为矩阵形状的黑色矩阵；填充到该黑色矩阵的开口中的荧光体；由覆盖上述黑色矩阵以及上述荧光体而成膜的反射性金属蒸镀膜构成的阳极，其特征在于：

包含在上述前面基板的内表面上通过网板印刷或者光蚀刻来涂敷具有多个开口的黑色矩阵，在上述开口中填充荧光体后进行烘干的步骤，形成上述黑色矩阵的厚度大于上述荧光体的厚度的上述前面基板。

9.如权利要求8所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于：在上述烘干后，溅镀金属薄膜而使阳极成膜。

10.如权利要求9所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于：上述金属薄膜是铝。

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