CN1875309A - 物镜和聚光镜 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种物镜和聚光镜，其允许进行比暗场观察更为精细的观察。多个遮光板(8)沿光轴的垂直方向可旋转地设置于物镜(100)的配合部分(3a)上，从而使遮光板(5)可打开/关闭。因此，穿过光路(5)的暗场照明光可被遮蔽。此外，相对于环形透镜(6)的暗场照明光的入射面积和入射方向可以变化，该环形透镜将暗场照明光照射到物体上。结果，可观察到不能由传统的暗场观察检测的显微缺陷、不平和异物，并可观察到方向性缺陷。

Description

物镜和聚光镜

技术领域

本发明涉及一种安装于显微镜上并可用于暗场观察的物镜和聚光镜。

背景技术

安装于显微镜等上的物镜和聚光镜已不仅用于常见的亮场观察，而且还可用于暗场观察。暗场观察通过从诸如物镜或聚光镜等光学系统的外围提供光束，并将光束导向物体的表面来进行。因此，暗场观察可用于不能通过亮场观察来观察的带有缺陷、异物、不均匀、裂缝或者低反射性的样品(例如，参见专利文献1)。

专利文献1：公开号为SHO 60-225817的待审日本专利申请(图1等)。

然而，当采用物镜或者聚光镜来进行暗场观察时，由于环形光束从光学系统的外围均匀照射，不仅不能检测带有显微缺陷和异物的部分，而且也不能检测方向性缺陷。

发明内容

鉴于前述观点，本发明的一个目的在于提供一种物镜和聚光镜，其可以进行比暗场观察更为精细的观察。

为了解决前述问题，本发明的一个主要方面是一种物镜，包括一个用于获得物体放大图像的第一光学系统；一个用于将暗场照明光导引到物体上的第二光学系统；一个镜筒，它用于容纳第一光学系统和第二光学系统并具有用于暗场照明光的围绕第一光学系统的光路；以及一个设置于光路上的遮光机构，其能改变暗场照明光的入射面积，以遮蔽暗场照明光。

第一光学系统是一个透镜组，其通常用于例如反射型照明观察中。第二光学系统设置于例如光路开口部分的附近。第二光学系统由环形透镜、镜面构件等组成，其中环形透镜具有例如毛玻璃表面的散射表面，用作暗场照明光的入射表面，镜面构件设置于镜筒前端的光圈部分处。物体为用于半导体基板或者类似物的精密元件、金属材料或类似物等。

根据本发明，当暗场照明光照射到第二光学系统的入射面积发生改变时，可将暗场照明光照射到仅仅部分待观察的物体上。另外，暗场照明光可从任何方向照射到待观察的物体上。因此，不能通过传统的暗场观察来检测的显微缺陷、异物等都能够被检测。此外，也可仅检测方向性缺陷。因此，可进行比传统的暗场观察更精细的显微观察。

根据本发明的一个方面，遮光机构具有多个沿着第一光学系统的光轴方向层叠的遮光板，遮光板可围绕光轴旋转，从而使暗场照明光的入射面积发生改变。当遮光板关闭时，光路变窄，入射面积变小。当遮光板打开时，光路变宽，入射面积变大。由于多个遮光板是层叠的，入射面积可逐渐变化。因此，物体可被观察得更为精细。

根据本发明的一个方面，镜筒具有保持第一光学系统的倮持构件。每个遮光板具有一个与保持构件配合的第一配合部分，从而使每个遮光板可打开/关闭；以及一个第二配合部分，当第一配合部分与保持构件配合使遮光板打开/关闭时，该第二配合部分可导致每个遮光板一起旋转。例如，保持构件为围绕第一光学系统设置的圆柱形。例如，第一配合部分可设置成环形，从而使第一配合部分与圆柱形保持构件配合。由于第二配合部分导致每个遮光板一起旋转和打开/关闭，当仅有一个遮光板运行并打开/关闭时，可很容易地对入射面积进行调节。因此，提高了可操作性。

根据本发明的一个方面，第二配合部分具有：设置于每个遮光板上侧并与上面相邻的遮光板配合的配合凸起；和导槽，其设置于每个遮光板下侧，并与下面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。因此，当每个遮光板的配合凸起与邻近遮光板的导槽配合并且遮光板一起旋转时，每个遮光板一起旋转并打开/关闭。结果，入射面积可以很容易地改变。

第二配合部分可具有：设置于每个遮光板的下侧，并与下面相邻的遮光板配合的配合凸起；和导槽，其设置于每个遮光板的上侧并与上部邻近遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

根据本发明的一个方面，当进行配合的遮光板的每一个旋转使入射面积变为最小时，遮光板以预定面积彼此重叠。因此，当每个遮光板都关闭时，可防止暗场照明光从邻近遮光板漏出。结果，遮光板可可靠地遮蔽暗场照明光。因此，可更为精确地进行观察。

根据本发明的一个方面，至少其中一个遮光板具有从镜筒凸出的手柄构件。例如，该手柄构件可设置于最上侧遮光板和最下侧遮光板。因此，当使用者握持手柄时，对其施加力并使其旋转，其它遮光板也一起旋转并打开/关闭。结果，可很容易地改变入射面积。

根据本发明的一个方面，遮光机构具有：由遮光板组成的第一遮光板组，该第一遮光板组可一起旋转；以及由遮光板组成的第二遮光板组，该第二遮光板组可一起旋转，第二遮光板组可独立于第一遮光板组进行操作。因此，当第一遮光板组和第二遮光板组分别旋转并打开时，不仅通过光路进入第二光学系统的暗场照明光的入射面积可自由变化，其入射方向也可自由变化。结果，暗场照明光可从任何方向照射到物体上。

本发明的另一个主要方面是一种聚光镜，它包括：用于将暗场照明光限制为环形的光圈机构；用于将由光圈机构限制的暗场照明光导引到物体上的聚光透镜；和遮光机构，其改变进入聚光透镜的暗场照明光的入射面积，从而遮蔽暗场照明光。

聚光镜用于透光型照明观察。在该结构中，当进入聚光透镜的暗场照明光的入射面积变化时，暗场照明光可仅仅照射到部分待观察的物体上。另外，暗场照明光可从任何方向照射到待观察的物体上。因此，与前述物镜相同，不能通过传统的暗场观察来检测的显微缺陷、异物等都能够被检测。此外，还可仅仅检测到方向性缺陷。因此，可比传统的暗场观察更精细的观察物体。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，遮光机构具有多个沿着聚光透镜的光轴方向层叠的遮光板，遮光板可围绕光轴旋转，以便使暗场照明的入射面积发生改变。

根据本发明的一个方面，聚光镜还包括一个用于旋转遮光板的转动轴。每个遮光板具有：第一配合部分，其与转动轴配合以使每个遮光板可被打开/关闭；以及第二配合部分，当第一配合部分与保持构件配合时，该第二配合部分能导致每一遮光板一起旋转，从而使遮光板打开/关闭。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，第二配合部分具有：设置于每个遮光板的上侧并与上部邻近的遮光板配合的配合凸起；和导槽，其设置于每个遮光板的下侧，并与下面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，第二配合部分可具有：设置于每个遮光板的下侧上，并与下面相邻的遮光板配合的配合凸起；和导槽，其设置于每个遮光板的上侧并与上部邻近遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，当进行配合的遮光板的每一个旋转使入射面积变为最小时，遮光板以预定面积彼此重叠。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，至少其中一个遮光板具有一个手柄构件，通过该手柄构件打开/关闭遮光板。

根据本发明的一个方面，在聚光镜中，遮光机构具有：由遮光板组成的第一遮光板组，该第一遮光板组可一起旋转；以及由遮光板组成的第二遮光板组，该第二遮光板组可一起旋转，第二遮光板组可独立于第一遮光板组进行操作。

根据本发明能够提供一种物镜和聚光镜，使用该物镜和聚光镜能够进行比暗场观察更细微的观察。

附图说明

图1是示出了根据本发明的第一实施方案的物镜100的外观的透视图。

图2是示出了物镜100的分解透视图。

图3是示出了遮光板7的垂直剖视图。

图4是示出了图3所示的遮光板7的分解剖视图。

图5是示出了从上侧观察时遮光板7的分解透视图。

图6是示出了从下侧观察时遮光板7的分解透视图。

图7是示出了照明光从光源通过物镜100照射到物体上的状态的示意图。

图8是物镜100的俯视图，示出了遮光板7逐个打开/关闭的状态。

图9是示出了遮光板7逐个打开/关闭的状态的透视图。

图10是示出了当进行普通的亮场观察和暗场观察时，电路板的观察图像的示意图。

图11是示出了当通过改变遮光板7的打开位置和打开面积来进行暗场观察时，遮光板7的打开位置和电路板的观察图像的示意图。

图12是示出了根据第二实施方案的聚光镜200的结构的示意图。

图13是示出了聚光镜200的旋转部分17b的仰视图。

具体实施方案

下面，将参照附图对本发明的实施方案进行说明。

(第一实施方案)

首先描述本发明的第一种实施方案。图1是显示出根据本实施方案的物镜100的外观的透视图。这种物镜100用于显微镜。图2是显示出物镜100的分解透视图。显微镜的光系统主要分为反射型(用于不透光但能反射光的诸如金属的观察物体)和透射型(用于可透光的诸如显微机构的观察物体)。然而，假定根据本实施方案的物镜100是一种用于反射型光系统的物镜。

物镜100的镜筒1由上部镜筒部分1a、中间镜筒部分1b、下部部分1c和光圈部分1d组成。设置于镜筒1内部的是一个同心的内镜筒3。镜筒1和内镜筒3通过连接构件4相连。一个中央透镜组2保持于内镜筒3中，其对来自将在后面进行描述的光源的亮场照明光进行聚光。将物镜100安装于显微镜(未显示)上的螺纹部分1f设置在上部镜筒部分1a的顶部。

在镜筒1和内部镜筒3之间形成一个环形光路5，通过环形光圈(将在后面说明)从光源提供的环形暗场照明光穿过环形光路。设置于光路5的上方并与镜筒1的光圈部分1d的上面相邻的是一个环形透镜6，其对穿过光路5的暗场照明光进行聚光并使光进入观察物体。例如，环形透镜6可具有一个毛玻璃表面，其导致暗场照明光发散，从而使暗场照明光的照明损失减少。

在镜筒3的下部部分设置一个凹面配合部分3a。装配到配合部分3a的是遮光板7，其遮蔽了通过光路5进入环形透镜6的亮场照明光。下面将接着描述遮光板7。

图3是显示出物镜100的分解垂直剖视图。图4是示出了图3中所示遮光板7的分解剖视图。图5是显示出遮光板7的从上侧观察的分解透视图。图6是显示出遮光板7的从底侧观察的分解透视图。

例如，遮光板7可由12个沿着中央透镜组2的光路层叠的板组成。然而，遮光板7的数目不限于这一数字。每个遮光板7由一个与配合部分3a配合的环形部分7a和一个遮住光路5的近似梯形的叶片(blade)部分7b组成(见图2到图7)。当环形部分7a与内镜筒3的配合部分3a配合时，环形部分7a可环绕中央透镜组2的光轴旋转。这种旋转导致叶片部分7b在光路5上水平运动，使遮光板7打开和关闭。当遮光板7打开时，暗场照明光仅从光路5的打开部分穿过光路5，并通过环形透镜6进入物体。

设置于环形部分7a的上表面和叶片部分7b的边界附近的是一个导销7c(见图4和图5)；设置于环形部分7a的下表面和叶片部分7b的边界附近的是一个导槽7d。当每个遮光板7的导销7c和上面相邻遮光板7的导槽7d配合时，它们就装配在一起。当将导销7c导引到导槽7d并与导槽7d的边缘部分配合时，施加到导销7c上的作用力导致每个遮光板7一起旋转。

当每个遮光板7的导销7c和导槽7d沿着使遮光板7闭合并使每个遮光板7的导销7c与上一相邻的遮光板7的导槽7d的边缘部分配合的方向旋转时，它们以预定面积叠置。因此，防止了暗场照明光从两个相邻遮光板7处漏出。结果，光路5可安全地被遮蔽。

如图6所示，导槽7d的长度d1略小于每个叶片部分7b的最内侧边界的宽度d2。另外，导销7c设置于叶片部分7b的最内侧边界的宽度d2的范围内。因此，当每个遮光板7的导销7c和导槽7d沿着使遮光板7闭合并使每个遮光板7的导销7c与上一相邻的遮光板7的导槽7d的边缘部分配合的方向旋转时，相邻遮光板7以预定面积S重叠。因此，防止了暗场照明光从相邻遮光板7处漏出。因此，光路5可安全地被遮蔽。

第六遮光板7-6的下表面的导槽7d完全在环形部分7a上形成为环形(见图6)。当第七遮光板7-7的导销7c与环形导槽7d相配合并由此形成导引时，遮光板7-7可旋转360°，而不与遮光板7-6一起运动。换言之，上面的六个遮光板7可一起旋转，同时下面的六个遮光板7可一起旋转。但第六个遮光板7不与第七遮光板7一起旋转。因此，当遮光板7打开时，不仅从光路5进入环形透镜6的暗场照明光的入射面积可自由改变，其入射方向也可自由变化。因此，暗场照明光可沿任意方向照射到物体上。例如，当光路5在物镜100的一侧及其对侧被遮蔽时，暗场照明光从左侧和右侧方向进入。另外，当全部12个遮光板7置于后面、前面、左侧或右侧时，暗场照明光都可沿某一方向进入。

遮光板7-1、7-6、7-7和7-12中的每个都带有一个手柄7e。当使用者握持每个手柄7e并沿着水平方向对其施力时，上面六个遮光板7和下面六个遮光板7可一起运动，从而使它们打开/闭合。如图1和图2所示，镜筒1的中间镜筒部分1b具有一个狭缝部分1e，每个手柄7e通过该狭缝部分可旋转地凸出。

图7是显示出照明光从光源通过物镜100照射到物体上的状态的示意图。图7(a)示出了亮场照明光的情况。图7(b)示出了暗场照明光的情况。

如图7(a)所示，当进行亮场观察时，从光源8发出的亮场照明光11受亮场观察开放型光圈9限制，由反射镜10反射，并通过物镜100的中央透镜组2导引到放置于载物台13上的物体12上。在这种情况下，亮场照明光11垂直进入物体12。亮场照明光11由中央透镜组2反射，接着被导引到镜片(未显示)。结果，使用者能够对物体进行观察。

另一方面，如图7(b)所示，当进行暗场观察时，从光源8发出的暗场照明光15被暗场观察环型光圈14限制成环形，由反射镜10反射，穿过物镜100的光路5，并通过环形透镜6导引到物体12上。当部分光路5被每个遮光板7所遮蔽时，暗场照明光15通过光路5的未遮蔽部分照射到物体12上。照射到物体上的暗场照明光15被反射到中央透镜组2，并与亮场照明光11一样通过镜片进行观察。

在这种情况下，暗场照明光15对角地照射到物体12上。仅仅能观察到散射的反射光。因此，与亮场观察的情况不同，由于背景和物体的前表面是暗的，物体的不平、缺陷等等都能很明亮地观察到。例如，物体12可以是半导体基板或者金属材料。

下面将描述具有前述结构的物镜100的操作。图8是物镜100的俯视图，示出了当进行图7(b)中显示的暗场观察时，遮光板7逐个打开/关闭的状态。图9是示出了遮光板7逐个打开/关闭的状态的透视图。

在所有遮光板7都处于关闭状态的状态中(见图8(a)和图9(a))，当使用者握持遮光板7-6和7-7的每个手柄7e并沿着箭头A和箭头B所示方向对它们施加作用力时，遮光板7-6、7-5等如图8(b)和9(b)中所示沿着内部镜筒3的配合部分3a通过导销7c和导槽7d一起旋转。同样地，遮光板7-7、7-8等如图8(b)和9(b)中所示沿着内部镜筒3的配合部分3a通过导销7c和导槽7d一起旋转。结果，遮光板7被打开，光路5出现(见图8(b)和9(b))。当使用者对每个手柄7e进一步沿着箭头A和箭头B所示方向施加力时，遮光板7进一步打开，光路5的截面变大。光路5打开直到上面的六个遮光板7每一个都放置到另一个顶部，下面的六个遮光板7每一个都放置到另一个顶部(见图8(c)和9(c))。因此，光路5的截面，即暗场照明光照射到环形透镜6和物体12上的入射面积可被改变。结果，不能由传统的暗场观察所观察到的显微缺陷、不平等也能够被观察到。

当然，当使用者对遮光板7-1和7-12的每个手柄7e都施力，来代替对遮光板7-6和遮光板7-7的每个手柄施力时，光路5也可打开/关闭。另外，如上所述，由于遮光板7-6和遮光板7-7不一起旋转，当上面六个遮光板7和下面六个遮光板7一起旋转到预定位置时，可自由调节光路5的遮光位置(遮光方向)。因此，不仅暗场照明光的入射面积可自由改变，而且其入射位置(其入射方向)也可自由改变。因此，可很容易地观察到物体的方向性缺陷、不平等。

另外，如上所述，如果每个遮光板7都沿着使光路5关闭的方向旋转(与箭头A和B相反的方向)，遮光板7以预定面积重叠。因此，遮光板7可以可靠地遮蔽暗场照明光。

下面将描述采用根据本实施方案的物镜100来进行暗场观察的效果。图10(a)是示出了以电路板作为物体12进行亮场观察所观察到的图像的示意图。图10(b)是示出了采用不带有遮光板7的传统物镜对电路板进行暗场观察所观察到的图像的示意图。

如这些附图所示，在所述电路板的观察图像的中央存在显微的水平条带缺陷。在缺陷的左侧观察到有导线存在，在缺陷的右侧观察到有垂直线存在。在图10(b)所示的暗场图像中，由于环状光束等同地照射到电路板上，观察到的基板前表面是暗的，而观察到的缺陷、导线和线是亮的。

图11是示出了当通过改变遮光板7的打开位置和打开面积来进行暗场观察时，遮光板7的打开位置和电路板的观察图像的示意图。

图11(a)显示了通过打开遮光板7使暗场照明光从物镜100的近侧照射来进行暗场观察的状态。如图中所示，径向导线的上部从图10(b)中所示的暗场图像中消失了。结果，可以很容易地观察到中央缺陷。因此，可以很清楚地观察到在图10(b)中显示的暗场图像中不能清楚显现的缺陷的上部图案。

图11(b)显示了通过打开遮光板7使暗场照明光从物镜100的右侧照射来进行暗场观察的状态。如图中所示，右手侧垂直线和左侧下部导线的一部分消失了。结果，可以很容易地观察到缺陷。此外，也可以很清楚地观察到缺陷的下部图案。

图11(c)显示了通过打开遮光板7使暗场照明光从物镜100的右侧和左侧照射来进行暗场观察的状态。如图中所示，在图10(b)中显示的暗场图像中的右侧垂直线消失了。因此，可以很容易地观察到缺陷。此外，也可以很清楚地观察到缺陷的上部和下部图案。

因此，当采用遮光板7时，例如导线和垂线等阻碍待观察缺陷的部分可被隐蔽。因此，与传统的暗场观察相比，可更容易地观察到显微缺陷和不平。另外，由于暗场照明光的照射方向可被改变，可很容易地观察到方向性缺陷等。

当根据本实施方案的物镜100不仅用于工业样品(例如电路板和金属材料等，而且例如还用于医学样本等时，可以观察到病理样本中的显微变化、特定变化的征兆等。

(第二实施方案)

下面将描述本发明的第二实施方案。根据第一实施方案，描述了用于反射型暗场观察的物镜。然而，根据第二实施方案，本发明被应用到用在透射型暗场观察的聚光镜上。如上所述，当机构为可透过照明光的显微机构等时，采用透射型照明系统。

图12是显示出根据本实施方案的聚光镜200的结构和暗场照明光光路的示意图。图13示出了聚光镜200的仰视图。在这些附图中，与第一实施方案相同的部分采用相同的附图标记来表示，并简化或省略对它们的说明。

如图12所示，根据本实施方案的聚光镜200由聚光透镜部分16和转台(turret)17组成。转台17由上部固定部分17a和下部旋转部分17b构成。旋转部分17b具有亮场观察光路19和暗场观察光路18。当旋转部分17b围绕转动轴24水平旋转时，亮场观察可转换成暗场观察，或者反之亦然。将暗场照明光25限制为环形的环形光圈23设置于暗场观察光路18上。

内部镜筒21设置于暗场观察光路18上，并通过连接元件22固定到旋转部分17b。内部镜筒21具有配合部分21a。遮光板20装配到配合部分21a上。遮光板20的基本结构与第一实施方案中的遮光板7的基本结构相同。一些遮光板20具有手柄20a，其从旋转部分17b的下表面凸出。当使用者对手柄20a水平施力时，与在第一实施方案中的情况相同，手柄20a沿着图13中所示的方向绕着内部镜筒21旋转。结果可打开/关闭遮光板20。

暗场照明光25从光源29发出，被反射到反射镜30上，由暗场观察光路18导引到环形光圈23，并通过聚光透镜部分16照射到放置在载物台28上的物体27上。当遮光板20关闭时，暗场照明光25被遮蔽。暗场照明光25照射到物体27上。物体透射暗场照明光25。暗场照明光25被导向物镜26。结果，可通过镜片或类似物(未显示)观察到暗场图像。

因此，当采用带有遮光板20的聚光镜200进行透射型暗场观察时，与第一实施方案相似，通过遮蔽暗场照明光25，可改变进入物体27的暗场照明光的入射面积和入射方向。结果，与传统的透射型暗场观察相比，可更为细微地观察物体。

本发明并不限于前述实施方案。前述实施方案可进行各种变型，而不会背离本发明的精神。

在第一和第二实施方案中，遮光板具有环形和梯形形状。然而，遮光板的形状并不限于那些例子。只要遮光板能够遮蔽暗场照明光，遮光板可具有任意形状。

根据第一实施方案和第二实施方案，导销和导槽分别设置于每个遮光板的上表面和下表面。代替的是，导槽和导销也可分别设置于上表面和下表面。

根据第一实施方案和第二实施方案，遮光板分组为上面六个板和下面六个板。上面六个板和下面六个板可以组为单位一起旋转。作为替代，第六遮光板的导槽可具有与每个其它板的导槽相同的结构，从而使所有的板一起旋转。作为替代，最上面的遮光板和最下面的遮光板可分别固定于聚光镜的镜筒和内部镜筒上，从而当使用者对一个手柄施力时，能够打开或关闭遮光板。

在第一实施方案的物镜100中，环形透镜6设置于光圈部分1d的上侧，以对暗场照明光进行聚光，并将暗场照明光对角地照射到物体上。作为替代，当镜面设置于光圈部分1d的内侧或者在镜面上形成光圈部分1d的内表面时，也可对暗场照明光进行聚光。

根据第二实施方案，本发明被应用于聚光镜，该聚光镜通过旋转转台的旋转部分允许进行亮场观察和暗场观察。当然，本发明还可被应用于专用于暗场观察的聚光镜。

Claims (16)

1.一种物镜，包括：

一用于获得物体的放大图像的第一光学系统；

一用于将暗场照明光导引到物体上的第二光学系统；

一镜筒，其容纳第一光学系统和第二光学系统，并具有用于暗场照明光的围绕第一光学系统的光路；以及

一设置于光路上的遮光机构，其能改变暗场照明光的入射面积来遮蔽暗场照明光。

2.如权利要求1所述的物镜，

其特征在于，所述遮光机构具有多个沿着第一光学系统的光轴方向层叠的遮光板，所述遮光板可通过围绕光轴旋转而打开或关闭，以便使暗场照明的入射面积发生改变。

3.如权利要求2所述的物镜，

其特征在于，所述镜筒具有保持所述第一光学系统的保持构件，以及

每个遮光板具有：

与保持构件配合的第一配合部分，以使每个遮光板可打开/关闭；以及

第二配合部分，当第一配合部分与保持构件配合时，该第二配合部分可导致每个遮光板一起旋转，从而使遮光板打开/关闭。

4.如权利要求3所述的物镜，

其特征在于，所述第二配合部分具有：

设置于每个遮光板的上侧并与上面相邻的遮光板配合的配合凸起，以及

导槽，其设置于每个遮光板的下侧并与下面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

5.如权利要求3所述的物镜，

其特征在于，第二配合部分具有：

设置于每个遮光板的下侧并与下面相邻的遮光板配合的配合凸起，以及

导槽，其设置于每个遮光板的上侧并与上面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

6.如权利要求3所述的物镜，

其特征在于，当进行配合的遮光板的每一个旋转使入射面积变为最小时，遮光板彼此以预定面积重叠。

7.如权利要求2所述的物镜，

其特征在于，至少其中一个遮光板具有一从镜筒凸出的手柄构件。

8.如权利要求3所述的物镜，

其特征在于，所述遮光机构具有：

由遮光板组成的第一遮光板组，该第一遮光板组可一起旋转；以及

由遮光板组成的第二遮光板组，该第二遮光板组可一起旋转，所述第二遮光板组可独立于第一遮光板组进行操作。

9.一种聚光镜，包括：

将暗场照明光限制为环形的光圈机构；

将由光圈机构限制的暗场照明光导引到物体上的聚光透镜；以及

遮光机构，其改变进入聚光透镜的暗场照明光的入射面积，从而遮蔽暗场照明光。

10.如权利要求9所述的聚光镜，

其特征在于，遮光机构具有多个沿着聚光透镜的光轴方向层叠的遮光板，所述遮光板可通过围绕光轴旋转而开启或关闭，以便使暗场照明的入射面积发生改变。

11.如权利要求11所述的聚光镜，

进一步包括：

用于旋转遮光板的转动轴，

其中每个遮光板具有：

第一配合部分，其与转动轴配合，从而使每个遮光板打开/关闭；以及

第二配合部分，当第一配合部分与保持构件配合时，该第二配合部分导致每个遮光板一起旋转，从而使遮光板打开/关闭。

12.如权利要求12所述的聚光镜，

其特征在于，第二配合部分具有：

设置于每个遮光板的上侧并与上面相邻的遮光板配合的配合凸起，以及

导槽，其设置于每个遮光板的下侧并与下面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

13.如权利要求12所述的聚光镜，

其特征在于，第二配合部分具有：

设置于每个遮光板的下侧并与下面相邻的遮光板配合的配合凸起，以及

导槽，其设置于每个遮光板的上侧并与上面相邻遮光板的配合凸起配合，当每个遮光板打开/关闭时导引该配合凸起。

14.如权利要求12所述的聚光镜，

其特征在于，当进行配合的遮光板的每一个旋转使入射面积变为最小时，遮光板彼此以预定面积重叠。

15.如权利要求11所述的聚光镜，

其特征在于，至少其中一个遮光板具有手柄构件，通过该手柄构件打开/关闭遮光板。

16.如权利要求12所述的聚光镜，

其特征在于，所述遮光机构具有：

由遮光板组成的第一遮光板组，该第一遮光板组可一起旋转；以及

由遮光板组成的第二遮光板组，该第二遮光板组可一起旋转，所述第二遮光板组可独立于第一遮光板组进行操作。

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