JP6140407B2 - クリティカル照明用の透過光照明装置を有する顕微鏡 - Google Patents
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Description
20 光源
21 エネルギ供給源
30 光誘導素子
32 カップリングアウト面
40 コンデンサ
41 コンデンサ開口部
60 スタンド
70 対物レンズアレイ
71 対物レンズ
80 鏡筒
90 顕微鏡ステージ
91 ノブ
92 ノブ
100 顕微鏡
400 第1の実施形態
401 所定の領域
500 第2の実施形態
501 所定の領域
A 開口部寸法
D カップリングアウト面寸法
d 距離
D1 直径
D2 直径
O 対象物
Claims (14)
- 検査対象物(O)のクリティカル照明用の透過光照明装置(10)を備えた顕微鏡(100)にして、光放射面を備えたLED装置を有する光源(20)と、カップリングアウト面寸法を備えたカップリングアウト面(32)を備えた光誘導素子(30)と、前記光誘導素子の前記カップリングアウト面(32)と前記検査対象物(O)の間のコンデンサ(40)とを備えて構成される顕微鏡であって、
前記光誘導素子(30)は、前記光源(20)から放射された光が前記カップリングアウト面(32)に結合され、且つそこから射出されるように、配置されており、前記カップリングアウト面(32)から射出された光が、光学軸に対して少なくとも±10°で多くても±50°の角度範囲で放射され、且つ50%未満の強度変動を伴い少なくとも±5°の角度範囲で5mの距離のエリアを照明し、
前記コンデンサは、開口部寸法(A)を備えた開口部(41)を有し、且つ前記開口部(41)が前記カップリングアウト面(32)から射出された光で完全に照射されるように、配置されている、顕微鏡。 - 前記カップリングアウト面寸法(D)が前記開口部寸法(A)より大きい、請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記カップリングアウト面(32)がレンズ配置を有する、請求項1または2に記載の顕微鏡。
- 前記開口部(41)からの前記カップリングアウト面(32)の間隔(d)が、前記カップリングアウト面の前記寸法(D)の少なくとも2倍で、且つ多くても4倍である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記開口部(41)が、光源側にて前記コンデンサ(40)の焦点に配置される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記カップリングアウト面(32)と前記コンデンサ(40)の間の光学経路が折り重ねられない、請求項1〜5のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記開口部寸法(A)が、アイリスシャッタによって予め可変に設定できる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記カップリングアウト面(32)と前記開口部(41)の間の前記光学経路に、好ましくは前記開口部(41)にすぐ隣接して拡散器(400、500)が配置される、請求項1〜7のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記拡散器(400、500)が、所定の拡散領域(401、501)を備えたクリアディスクとして具体化される、請求項8に記載の顕微鏡。
- 前記拡散領域(401)が円形で、所定の照明開口部に対応する寸法(D2)を有する、請求項9に記載の顕微鏡。
- 前記拡散領域(501)が非円形又は星形である、請求項9に記載の顕微鏡。
- 前記拡散領域(501)内における中央の凸部の領域が、所定の照明開口部に対応する寸法(D2)を有する、請求項11に記載の顕微鏡。
- 前記拡散器(400、500)が、前記光学経路内へ、および前記光学経路から外へ旋回できるように旋回可能に実装される、請求項8〜12のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記開口部寸法(A)に応じて、前記光学経路内へ、および前記光学経路から外へ前記拡散器(400、500)を旋回させる機構が設けられる、請求項13に記載の顕微鏡。
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