CN1832796A - 用于处理粉末产品的制粒机装置 - Google Patents
用于处理粉末产品的制粒机装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1832796A CN1832796A CNA2004800227128A CN200480022712A CN1832796A CN 1832796 A CN1832796 A CN 1832796A CN A2004800227128 A CNA2004800227128 A CN A2004800227128A CN 200480022712 A CN200480022712 A CN 200480022712A CN 1832796 A CN1832796 A CN 1832796A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- filter
- arm shape
- wall
- nozzle
- shape spare
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
- B01J2/02—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
- B01D46/2403—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies characterised by the physical shape or structure of the filtering element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
- B01D46/68—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by means acting on the cake side involving movement with regard to the filter elements
- B01D46/682—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by means acting on the cake side involving movement with regard to the filter elements by nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
- B01D46/70—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter
- B01D46/72—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter with backwash arms, shoes or nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
- B01D46/79—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by liquid process
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2275/00—Filter media structures for filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D2275/10—Multiple layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Glanulating (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
一种用于处理粉末制品的制粒机装置(1),它包括至少一个形成了处理制品腔室(3)的密闭容器(2);伸入到处理腔室(3)中的过滤装置(4,5),该过滤装置(4,5)包括至少一个能够使至少一种流体流通过的多层过滤壁(5);以及能够至少向过滤壁(5)散射至少一种工作流体的粉末清除部件(6;7,8,9,10,11);该制粒机装置其特征在于所述粉末清除装置(6;7,8,9,10,11)包括至少一个可相对过滤壁移动的第一臂状件(10),以及安置在该臂状件上的第一扩散式喷嘴(7),所述第一喷嘴(7)以下述方式安置在第一臂状件(10)上,即当臂状件(10)移动时,它能够逐渐覆盖过滤壁表面的长度方向,从而不会有粉末陷入到过滤壁(5)中。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于处理粉末材料的制粒机装置。
特别地,本发明涉及采用操作流体流即气体流和雾化流体来处理诸如粉末化工产品和粉末药剂之类的粉末材料的方法,所述方法具体参照以下说明书,但并不由此来限制本发明的范围,该方法在用来对粉末材料进行特定处理的过程中根据各种情况采用气体或雾化流体对粉末产品进行瓦解、洗涤、支承、传送和涂覆。
背景技术
众所周知,在粉末材料领域中,用于处理粉末材料的装置通常被称作流化床选粒装置,它基本包括带有密封壁、可限定出处理粉末材料腔室的容器,带有整体器壁、伸入到处理腔室中的固定过滤器,用于传送工作流体使其通过腔室的装置,以及清除过滤器中的粉末并对其进行清洗的装置。
清除过滤器中的粉末并对其进行清洗的操作在其应用的众多粉末技术里,如在制造化工制品或药剂制品方面扮演了关键性的角色,这一操作能够使使用过程中被堵塞或功效降低的过滤器恢复其原始的功能,或者使所述制粒装置准备用来处理不同的产品,这里所述的不同产品是指不同于前一加工周期处理的产品。
必须以适当的方式执行这一操作以防止工作流体进入到装置中污染产品,并且/或者防止供应给装置的工作流体污染环境,以及/或者防止对过滤器和制粒机装置里的其他部件进行维护操作而造成的使操作人员的健康以及周边环境受到损害。
上述类型的制粒机装置是众所周知的,例如在专利EP781585B1中公开了一种固定过滤器,它具有由两层或多层叠置的金属网层构成的刚性过滤壁,其中该金属网通过烧结工艺彼此成为一体。
因此,需通过下述操作清除过滤器中的粉末,并分别对这些过滤器进行清洗,即通过过滤壁逆向吹入压缩空气,使从固定喷嘴喷射出来的空气覆盖每个过滤器的整个过滤表面,并且通过对从特定喷嘴散射出来的水流进行引导来清洗过滤器的外表面,其中所述喷嘴由能够限定出产品处理腔室的容器外壁稳定地支撑着。
因此,在大多数应用领域中,特别是在处理粉末药剂制品的领域,这种构造的装置能够清洗固定的过滤器,但是从结构的角度看,这种装置非常复杂、昂贵,并且很难核查它的效用。
基于上述理由,目前所知的制粒机装置可作为一带有独立驱动装置的单独模块,从而当过滤器为固定过滤器时,维护人员能够很容易地手动清除掉过滤器中的粉末并对其进行清洗,或者制粒机装置可带有由特定过滤织物形成的、被安置在金属线框架支承结构上的过滤袋,如美国专利US5723160中所描述和示出的那样,从而维护操作可以仅由替换过滤袋来实现。
但是,这种织物过滤器非常昂贵,而且对它们的简单替换需要打开上述处理腔室,因此外界因素不可避免地会对腔室造成污染。
发明内容
因此,本发明的目的是为了克服上述现有技术中的缺陷。
特别地,本发明的目的是提供一种带有简单、廉价构造的制粒机装置,在该装置中能够高效快速的进行清除粉末和清洗过滤装置的操作。
因此,本发明提供了一种用于处理粉末制品的制粒机装置,它包括至少一个形成了处理制品腔室的密闭容器;伸入到处理腔室中的过滤装置,该过滤装置包括至少一个能够使至少一种流体流通过的多层过滤壁;以及能够使至少一种引导向过滤壁的使用流体散射的粉末清除部件;该制粒机装置其特征在于所述粉末清除装置包括至少一个可相对过滤壁移动的第一臂状件,以及安置在该臂状件上的第一扩散式喷嘴,所述第一喷嘴以下述方式安置在第一臂状件上,即当臂状件移动时,它能够逐渐覆盖过滤壁表面的长度方向,从而不会有粉末陷入到该过滤壁中。
附图说明
依照上述目的,本发明的技术特征将在权利要求中更加清晰地体现出来,并且本发明的优点也将在下面结合附图的描述中变得更加显著,所述描述代表了本发明一优选的、非限定性的实施方案,而在附图中示意性地示出了按照本发明的制粒机装置的横截面前视图,其中省去了一些部件,只示出了另外的一些部件。
具体实施方式
参考附图,附图标记1表示用于处理粉末药剂的制粒机装置整体,对于特定的处理周期,该制粒机装置能够以通常和已知的方式采用事先设定好的流体流对粉末产品进程处理,如传送、支承、涂覆、增湿等。
该装置1基本上包括普通的容器2和与粉末清除装置6相关联的过滤器4。
容器2具有一垂直的圆柱形主体25,并且其顶部由一圆顶26密闭,在容器的下部具有壁18,所述壁包围着、即完整地限定出用于处理粉末产品的腔室3。
在本发明范围内优选但并非限定的是过滤器4是一中空体形,如图所示呈轴向对称,它由带有平坦的、倾斜底座19的圆柱形罩盖倒置形成,也就是说其中空部分24的开口面向着容器2的顶部。
过滤器4还包括从其侧面和圆柱形边缘以及从倾斜的平底19处延伸出来的过滤壁5。
过滤壁5为刚性,它由多层金属网层叠置成的多层构成,所述金属网层具有宽度可变的连接部分,这些连接部分通过烧结工艺彼此保持成一体。这种过滤壁5优选由相应的半成品制成,其中所述半成品是由瑞士公司BOPP & CO.AG制造销售的,自从1987年以来,技术部门已经将这种商标为“POREMET”或“ABSOLTA”的半成品应用于粒化粉末状药剂材料中。
由容器2圆柱形主体25上的凸缘27适当支承着的过滤器4伸入到了处理腔3中,从而当处理粉末时,流体流(如空气)可以通过该过滤器以及处理腔3,从某种程度上讲,如上所述是众所周知的,因此并未图示出。
用于将粉末从过滤器4中除去的装置6通常包括均匀分布的三种类型的喷嘴7,8,9,以及两个在操作状况下用来支承第一和第二种类型喷嘴7和8的臂状部件10和11,同时第三种喷嘴固定在容器2的其中一面壁18上。
第一种类型的喷嘴7固定在第一臂状部件10上,它能够向着过滤器4散射出第一气体,如压缩空气。第二和第三种类型的喷嘴8和9都可喷射出水流以清洗装置1的部件,从而将粉末清除掉。所述第二和第三种类型的喷嘴8,9彼此各不相同,主要是因为第二种类型的喷嘴8是被支承在第二可动臂11上,而第三种类型的喷嘴9则是固定地支承在容器2的圆顶26上。
附图示出了两个臂状件10和11具有这样的的形状,该形状分别与可形成过滤器4的罩盖内侧和外侧的经线轮廓相匹配。
特别地,第一臂状件10包括三个笔直的、并且彼此成为一体的部件20,21,28,它们三个还彼此成一定的角度,以形成从与罩盖共轴的管状驱动轴15向外突出的悬臂结构。
第二臂状件11仅仅由两个连续的部件22,23组成,它们从驱动轴16处向外伸出,该驱动轴也穿过了罩盖-过滤器4,并且被设置在第一臂状件10的驱动轴15中。
第一臂状件10的三个部件20,21,28中的两个部件20,21上都配备有第一喷嘴7,这些喷嘴单向向着过滤器4的过滤壁5的内表面13突出。
第二臂状件11的两个部件22和23上都配备有第二喷嘴8。其中的一些喷嘴是单向引导向过滤器4底座19的外表面12。其余的喷嘴8则设置在与所述臂状件邻接的部件23上,这些喷嘴被引导向两个相对的方向:一个方向相对于圆柱形的侧面与过滤器4的外表面12相对,另一个方向则与容器2的圆柱形主体25的内壁18相对。
两根机械轴都与位于容器2圆顶26外侧的驱动装置29机械相连。轴15和位于其中空内部的轴16能够使得最适合的工作流体穿过它们流入到两个臂状件10,11的喷嘴7,8中。所述流体来自于容器2的外部,并且由常见的供给装置供应,由于这种供给装置众所周知,因此未图示出。
如附图所示,贯穿第一根轴15的第一管道30将压缩空气运送到第一臂状件10的喷嘴7。贯穿第二根轴16的第二管道31则将清洗用水流运送给第二种类型的喷嘴8。还有未在附图中示出的类似管道也将清洗用水流运送给安置在容器2圆顶26上的第三种类型的喷嘴。
通过观察如下所述的内容可以容易地设想到粉末清除装置的工作状况,即由于驱动装置与两个臂状件10,11相连,因此这两个臂状件10,11能够绕固定的旋转轴旋转(参见逆时针方向旋转的箭头F),其中该固定的旋转轴与过滤器4的对称轴14重合,并且同时能够将所使用的、要散射到过滤器14(参见流向F7和F8)上的工作流体分别输送给喷嘴7和8。
由于第一和第二喷嘴7,8以与过滤壁5的表面区域相对的方式分别安置在臂状件10,11上,其中所述过滤壁的表面区域是有限的,其基本由过滤壁5形状的母线17限定而成(该过滤壁可被看作是由母线17绕过滤器14主体的轴线旋转形成的),因此臂状件10,11的旋转连同从各个喷嘴7,8喷射出的工作流体就能够逐渐覆盖过滤壁5表面的整个长度,这样就能够使所有工作流体流都集中在有限的面积上。
因此,这种按照上述类型的喷嘴,采用气体或通过冲洗使从过滤器上清除粉末的功效最优化,即能够快速、简单地使从过滤器上清除粉末达到较高的水平,并且操作者不必对此进行干涉,也不必打开处理腔室3。
显然,指向容器2内壁18的喷嘴8和安置在容器2圆顶26上的喷嘴9能够使清除粉末的操作延续至该制粒机装置的其余部件,也就是说能够覆盖容器2的整个处理腔室3。
在不脱离本发明原理的范围内可以对本发明的所述进行修改和改进。而且,本发明所有的结构元件可以由技术上等同的元件来代替。
Claims (15)
1.一种用于处理粉末制品的制粒机装置(1),它包括至少一个形成了处理制品腔室(3)的密闭容器(2);伸入到处理腔室(3)中的过滤装置(4,5),该过滤装置(4,5)包括至少一个能够使至少一种流体流通过的多层过滤壁(5);以及能够向过滤壁(5)散射至少一种工作流体的粉末清除部件(6;7,8,9,10,11);该制粒机装置(1)的特征在于:所述粉末清除装置(6;7,8,9,10,11)包括至少一个可相对过滤壁(5)移动的第一臂状件(10),以及安置在该臂状件上的第一扩散式喷嘴(7),所述第一喷嘴(7)以下述方式安置在第一臂状件(10)上,即当臂状件(10)移动时,它能够逐渐覆盖过滤壁(5)表面的长度方向,使工作流体扩散,从而不会有粉末陷入到过滤壁(5)中。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于该过滤壁(5)属于具有完整中空实体形状的过滤器(4);第一喷嘴(7)从过滤器(4)形成的实体内侧伸向过滤壁(5)。
3.如权利要求1或2所述的装置,其特征在于臂状件(10)可旋转地安装在过滤壁(5)的固定旋转轴(14)上,从而能够绕该旋转轴(14)旋转。
4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的装置,其特征在于该粉末清除装置(6;7,8,9,10,11)还包括配备有第二喷嘴(8)的第二臂状件(11),所述第二喷嘴用于散射工作流体;第二臂(11)也可相对于过滤壁(5)移动。
5.如权利要求4所述的装置,其特征在于第一臂状件(10)和第二臂状件(11)分别面向着过滤壁(5)的彼此相对的表面(12,13)。
6.如权利要求4或5所述的装置,其特征在于第一和第二臂状件(10,11)都可旋转地安装到一共用的旋转轴(14)上,从而可绕该轴(14)旋转。
7.如权利要求4至6中任一权利要求所述的装置,其特征在于第一臂状件(10)可旋转地安装到过滤壁(5)的转动内侧,而第二臂状件(11)则是可旋转地安装在过滤壁(5)的转动外侧。
8.如权利要求4至7中任一权利要求所述的装置,其特征在于该过滤壁(5)属于具有对称实体形的过滤器(4);第一和第二喷嘴(7,8)按下述方式分别被安装在各臂状件(10,11)上,即随着过滤壁(5)形的母线(17)绕实体轴(14)的旋转,这些喷嘴与围绕母线(17)而形成的有限表面相对。
9.如权利要求4至8中任一权利要求所述的装置,其特征在于所述第二臂状件(11)包括与容器(2)的至少一面壁(18)相对的第二喷嘴(8),第二臂状件(11)的旋转能够将容器(2)壁(18)表面上的粉末清除。
10.如权利要求1至9中任一权利要求所述的装置,其特征在于所述工作流体可以是压缩气体。
11.如权利要求1至9中任一权利要求所述的装置,其特征在于所述工作流体可以是潮湿状态的流体。
12.如权利要求4至11中任一权利要求所述的装置,其特征在于该过滤器(4)的形状为倒置的罩盖形,第一和第二臂状件(10,11)具有与相对于罩盖的顶点外形相匹配的形状。
13.如权利要求12所述的装置,其特征在于该罩盖具有一倾斜的平底(19)。
14.如权利要求12或13所述的装置,其特征在于该罩盖为圆柱形。
15.如权利要求1至14中任一权利要求所述的装置,其特征在于所述粉末清除装置(6;7,8,9,10,11)包括固定在容器(2)一面壁(18)上的第三种扩散式喷嘴(9),该喷嘴能够散射出潮湿状态的工作流体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT000485A ITBO20030485A1 (it) | 2003-08-07 | 2003-08-07 | Dispositivo granulatore per il trattamento di prodotti polverulenti |
ITBO2003A000485 | 2003-08-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1832796A true CN1832796A (zh) | 2006-09-13 |
Family
ID=34131171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2004800227128A Pending CN1832796A (zh) | 2003-08-07 | 2004-08-02 | 用于处理粉末产品的制粒机装置 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060150820A1 (zh) |
EP (1) | EP1651337A1 (zh) |
JP (1) | JP2007501692A (zh) |
KR (1) | KR20060094513A (zh) |
CN (1) | CN1832796A (zh) |
AR (1) | AR046514A1 (zh) |
BR (1) | BRPI0413176A (zh) |
IT (1) | ITBO20030485A1 (zh) |
WO (1) | WO2005014157A1 (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7922798B2 (en) | 2005-04-13 | 2011-04-12 | I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. | Granulator device |
CN101443362B (zh) * | 2006-05-18 | 2012-01-25 | 陶氏环球技术有限责任公司 | 专用筛网在制备纤维素粉中的用途 |
JP5611479B1 (ja) * | 2014-03-31 | 2014-10-22 | 株式会社千代田テクノル | 筒状フィルターのダスト除去装置 |
CN111991971B (zh) * | 2020-08-28 | 2021-11-19 | 长沙瑞庭科技有限公司 | 一种螺旋扰动式自动刷灰除尘净化装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3620234A (en) * | 1969-07-07 | 1971-11-16 | Herbert L Everrood | Air-filter-cleaning apparatus |
JPH0549902A (ja) * | 1991-06-12 | 1993-03-02 | Eisai Co Ltd | 造粒装置のフイルター及びフイルター処理装置 |
JP4663887B2 (ja) * | 2000-05-01 | 2011-04-06 | フロイント産業株式会社 | 流動層造粒コーティング装置および流動層造粒コーティング方法 |
-
2003
- 2003-08-07 IT IT000485A patent/ITBO20030485A1/it unknown
-
2004
- 2004-08-02 US US10/567,159 patent/US20060150820A1/en not_active Abandoned
- 2004-08-02 CN CNA2004800227128A patent/CN1832796A/zh active Pending
- 2004-08-02 EP EP04744193A patent/EP1651337A1/en not_active Withdrawn
- 2004-08-02 JP JP2006522435A patent/JP2007501692A/ja active Pending
- 2004-08-02 WO PCT/IB2004/002550 patent/WO2005014157A1/en active Application Filing
- 2004-08-02 KR KR1020067002135A patent/KR20060094513A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-08-02 BR BRPI0413176-2A patent/BRPI0413176A/pt not_active IP Right Cessation
- 2004-08-05 AR ARP040102801A patent/AR046514A1/es not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AR046514A1 (es) | 2005-12-14 |
ITBO20030485A1 (it) | 2005-02-08 |
KR20060094513A (ko) | 2006-08-29 |
US20060150820A1 (en) | 2006-07-13 |
JP2007501692A (ja) | 2007-02-01 |
EP1651337A1 (en) | 2006-05-03 |
WO2005014157A1 (en) | 2005-02-17 |
BRPI0413176A (pt) | 2006-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100409935C (zh) | 用于处理粉末产品的制粒机装置 | |
EP1996840B1 (en) | Coupling assembly | |
JP5222137B2 (ja) | 流動層装置 | |
EP1574762B1 (en) | Valve device with washing means | |
RU2567163C2 (ru) | Усовершенствованный составной клапан | |
US7922798B2 (en) | Granulator device | |
US11992797B2 (en) | Cage assembly for dislodging material buildup within pneumatic conveyance systems and related methods | |
CN1832796A (zh) | 用于处理粉末产品的制粒机装置 | |
WO2008119346A1 (en) | A filter bag | |
KR100405639B1 (ko) | 의약품 분말 및 과립의 대용량 이송장치 | |
EP2611531A1 (en) | Fluid bed apparatus and method for processing a particulate material | |
KR200225935Y1 (ko) | 식품 또는 의약품의 분말 또는 과립 이송장치 | |
JPH09100017A (ja) | 固形物の螺旋搬送装置 | |
KR101501665B1 (ko) | 미세 입자 처리용 사이클론 | |
JPH10328633A (ja) | 混合容器の洗浄方法および洗浄装置 | |
DE102020129078B4 (de) | Schüttguttrockner | |
CN216827756U (zh) | 袋体清洗设备用分隔装置及袋体清洗设备 | |
US20060086820A1 (en) | Self-cleaning fluid delivery system | |
FR2673523A1 (fr) | Aspirateur industriel modulable, notamment pour les installations de retraitement de combustibles irradies. | |
KR100405637B1 (ko) | 식품 또는 의약품의 분말 또는 과립 이송장치 | |
CH710427B1 (fr) | Système et procédé de traitement de matières en flux continu avec enceinte de confinement flexible. | |
JPH11165844A (ja) | コンベアにおける駆動機構部の空気浄化装置 | |
JP2001129503A (ja) | 配管清掃方法および配管清掃装置ならびに半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |