CN1827230A - 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 - Google Patents
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1827230A CN1827230A CN 200610046300 CN200610046300A CN1827230A CN 1827230 A CN1827230 A CN 1827230A CN 200610046300 CN200610046300 CN 200610046300 CN 200610046300 A CN200610046300 A CN 200610046300A CN 1827230 A CN1827230 A CN 1827230A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air chamber
- fogger
- fog
- hydride
- spray nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室，氢化物喷雾管连接第二层气室构成一个整体喷雾头。栅网和气帘板分别固定在喷雾头下面。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通，氢化物进气管固定连接在第一层气室并相通，气帘进气管固定连接在喷雾头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接水套。喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。优点是叠层结构均匀，叠层界面清晰，无相互扩散，使成模技术指标质量提高一个等级，可提高电池的光电转换效率。
Description
(一)技术领域
本发明涉及太阳电池叠层结构制作装置，特别是涉及制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
(二)背景技术
太阳电池以其清洁能源、无污染、成本低的优势被普遍的推广与应用。太阳电池的光电转换效率和稳定性关键在于叠层结构。为了提高太阳电池的效率和稳定性，要求制备太阳电池叠层结构膜层均匀，其膜层厚度可控，叠层介面清晰，无相互扩散，现有成膜技术对高技术指标的要求还有些差距。
(三)发明内容
本发明要解决的技术问题，是提供一种制备太阳电池叠层结构膜层均匀，厚度可控，叠层介面清晰，无相互扩散，完全满足使用要求的制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
采用的技术方案是：
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室、第二层气室、金属源喷雾管、氢化物喷雾管、水套构成。第一层气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室并相通，氢化物喷雾管连接第二层气室并相通构成一个整体喷雾头。栅网通过螺钉固定在喷雾头上，位于金属源喷雾管和氢化物喷物管下面，气帘板通过螺钉固定在喷雾头上，位于栅网外侧。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通，氢化物进气管固定连接在第一层气室上并相通，气帘进气管固定连接在喷物头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接在水套上并相通。喷雾头设有法兰，喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
本发明经过多次试验实用，制备太阳电池叠层结构均匀，叠层介面清晰，无相互扩散，成模技术指标的质量提高一个等级，优点是，可以提高电池的光电转换效率，减薄电池厚度，保持较大光电流强度，缩短制备时间，可降低太阳电池生产成本。
(四)附图说明
图1为本发明的结构示意图。
(五)具体实施方式
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头1金属源进气管5、气帘进气管6、氢化物进气管7、冷却水管8、气帘板14、栅网10。全部采用不锈钢结构，氩弧焊接，整体经电解抛光处理，按超高真空10-8pa以上的真空清洗工艺清洗组装。所述的喷雾头1由第一层气室4、第二层气室3、金属源喷雾管12、氢化物喷雾管11、水套13构成。第一层气室4连接第二层气室3，第二层气室3连接水套13，金属源喷雾管12连接第二层气室3并相通，氢化物喷雾管11连接第一层气室4并相通构成一个整体喷雾头1。栅网10通过螺钉固定在喷雾头1上，位于金属源喷雾管12和氢化物喷雾管11下面，气帘板14通过螺钉固定在喷雾头1上，位于栅网10外侧。金属源进气管5焊接在第二层气室3上并相通，氢化物进气管7焊接在第一层气室4上并相通，气帘进气管6焊接在喷物头1两侧上与气帘板14围成的空间相通，气帘板14与喷雾头1之间空隙形成气帘9，冷却水管8焊接在水套13上并相通。喷雾头1设有法兰2，喷雾头1通过法兰2固定在MOCVD真空室中。金属源喷雾管12和氢化物喷雾管11的孔径为Φ0.5-2.0mm，根据气体种类而定。栅网10孔径或目数根据喷雾气体需求而定，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
工作原理：
金属源气体通过金属源进气管5进入第二层气室3，通过水套13冷却由金属源喷雾管12喷出，氢化物气通过氢化物进气管7进入第一层气室4，不需冷却经氢化物喷雾管11喷出，在栅网10前混合经栅网10喷出。通过气帘进气管6进入工作气体经气帘板14喷出气帘9，由气帘9将金属源气及氢化物气限定在规定的喷雾区内，保证喷雾成膜均匀可控。
Claims (1)
1、制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头(1)金属源进气管(5)、气帘进气管(6)、氢化物进气管(7)、冷却水管(8)、气帘板(14)、栅网(10)，其特征在于所述的喷雾头(1)由第一层气室(4)、第二层气室(3)、金属源喷雾管(12)、氢化物喷雾管(11)、水套(13)构成，第一层气室(4)连接第二层气室(3)，第二层气室(3)连接水套(13)，金属源喷雾管(12)连接第二层气室(3)并相通，氢化物喷雾管(11)连接第一层气室(4)并相通构成一个整体喷雾头(1)，栅网(10)通过螺钉固定在喷雾头(1)上，位于金属源喷雾管(12)和氢化物喷雾管(11)下面，气帘板(14)通过螺钉固定在喷雾头(1)上，位于栅网(10)外侧，金属源进气管(5)固定连接在第二层气室(3)上并相通，氢化物进气管(7)固定连接在第一层气室(4)上并相通，气帘进气管(6)固定连接在喷雾头(1)两侧上与气帘板(14)围成的空间相通，气帘板(14)与喷雾头(1)之间空隙形成气帘(9)，冷却水管(8)固定连接在水套(13)上并相通，喷雾头(1)设有法兰(2)，喷雾头(1)通过法兰(2)固定在MOCVD真空室中。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200610046300 CN1827230A (zh) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200610046300 CN1827230A (zh) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1827230A true CN1827230A (zh) | 2006-09-06 |
Family
ID=36945904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200610046300 Pending CN1827230A (zh) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1827230A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102260861A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-11-30 | 塔工程有限公司 | 化学气相沉积的装置和方法 |
| CN107419239A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-12-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于镀膜的喷头、设备和相应方法 |
-
2006
- 2006-04-13 CN CN 200610046300 patent/CN1827230A/zh active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102260861A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-11-30 | 塔工程有限公司 | 化学气相沉积的装置和方法 |
| CN107419239A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-12-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于镀膜的喷头、设备和相应方法 |
| US11401606B2 (en) | 2017-07-28 | 2022-08-02 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Coating nozzle, coating device and corresponding coating method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102925844A (zh) | 一种提高内燃机热效率的方法 | |
| CN102453934B (zh) | 内孔局部电镀设备 | |
| CN104485878A (zh) | 太阳能电站清洁、降温循环及热能应用设备 | |
| CN1827230A (zh) | 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器 | |
| CN109768298A (zh) | 新型质子交换膜燃料电池 | |
| CN210609062U (zh) | 一种双盖板吹胀式光伏光热组件 | |
| CN203772056U (zh) | 径流式静电集水装置及具有径流式静电集水装置的冷却塔 | |
| CN102623730B (zh) | 一种变流道低温低压长方形燃料电池 | |
| CN112659674A (zh) | 一种带通道的点阵拓扑结构及其制备方法及舱段壁板 | |
| CN206004611U (zh) | 一种光伏电池板降温装置 | |
| CN207183355U (zh) | 一种动力电池装置 | |
| CN203022741U (zh) | 一种采煤机喷淋冷却系统 | |
| CN102943251B (zh) | 一种用于提升pecvd镀膜均匀性的装置 | |
| CN102009017A (zh) | 太阳氢新能源技术应用在节水喷灌系统的供电装置 | |
| CN108165725A (zh) | 一种用于金属带热处理冷却的绝缘装置 | |
| CN205012274U (zh) | 一种家用多功能清雪车 | |
| CN209616149U (zh) | 用于橡胶复合密封板的内置式大开档自动平板加热装置 | |
| CN204113504U (zh) | 一种易安装的高强度铆接结构 | |
| CN103331430A (zh) | 一种低压铸造铝合金轮毂的模具的水雾冷却方法 | |
| CN208930667U (zh) | 一种翻转式电缆冷却箱 | |
| CN101702548A (zh) | 引擎发电机的冷却系统 | |
| CN201618638U (zh) | 制备半导体材料的金属有机源喷雾器 | |
| CN201461148U (zh) | 一种高效率的氢氧气电解池 | |
| CN213631688U (zh) | 一种白酒生产用废气处理装置 | |
| CN213408086U (zh) | 一种带有过滤装置的环保用雾炮机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |