CN1815672A - 平板显示设备及其制造方法 - Google Patents
平板显示设备及其制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1815672A CN1815672A CNA2006100068423A CN200610006842A CN1815672A CN 1815672 A CN1815672 A CN 1815672A CN A2006100068423 A CNA2006100068423 A CN A2006100068423A CN 200610006842 A CN200610006842 A CN 200610006842A CN 1815672 A CN1815672 A CN 1815672A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- layer
- substrate
- plating
- sio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 114
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 91
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 78
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 20
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 8
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 claims description 4
- 229910020617 PbO—B2O3—SiO2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910007472 ZnO—B2O3—SiO2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VRZFDJOWKAFVOO-UHFFFAOYSA-N [O-][Si]([O-])([O-])O.[B+3].P Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])O.[B+3].P VRZFDJOWKAFVOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- OYLRFHLPEAGKJU-UHFFFAOYSA-N phosphane silicic acid Chemical compound P.[Si](O)(O)(O)O OYLRFHLPEAGKJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000005328 spin glass Effects 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 9
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C(C)=C RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCO GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- QOSMNYMQXIVWKY-UHFFFAOYSA-N Propyl levulinate Chemical compound CCCOC(=O)CCC(C)=O QOSMNYMQXIVWKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006387 Vinylite Polymers 0.000 description 1
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 150000001896 cresols Chemical class 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- -1 isopropyl ester Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 229940079938 nitrocellulose Drugs 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005289 physical deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001490 poly(butyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001483 poly(ethyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000120 polyethyl acrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N silver cyanide Chemical compound [Ag+].N#[C-] LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C7/00—Parts, details, or accessories of chairs or stools
- A47C7/54—Supports for the arms
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C1/00—Chairs adapted for special purposes
- A47C1/02—Reclining or easy chairs
- A47C1/022—Reclining or easy chairs having independently-adjustable supporting parts
- A47C1/03—Reclining or easy chairs having independently-adjustable supporting parts the parts being arm-rests
- A47C1/0307—Reclining or easy chairs having independently-adjustable supporting parts the parts being arm-rests adjustable rectilinearly in horizontal direction
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C9/00—Stools for specified purposes
- A47C9/002—Stools for specified purposes with exercising means or having special therapeutic or ergonomic effects
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
- A61H1/00—Apparatus for passive exercising; Vibrating apparatus; Chiropractic devices, e.g. body impacting devices, external devices for briefly extending or aligning unbroken bones
- A61H1/02—Stretching or bending or torsioning apparatus for exercising
- A61H1/0218—Drawing-out devices
- A61H1/0229—Drawing-out devices by reducing gravity forces normally applied to the body, e.g. by lifting or hanging the body or part of it
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
- A61H1/00—Apparatus for passive exercising; Vibrating apparatus; Chiropractic devices, e.g. body impacting devices, external devices for briefly extending or aligning unbroken bones
- A61H1/02—Stretching or bending or torsioning apparatus for exercising
- A61H1/0292—Stretching or bending or torsioning apparatus for exercising for the spinal column
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
- H01J11/12—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
- H01J9/185—Assembling together the component parts of electrode systems of flat panel display devices, e.g. by using spacers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
- A61H2201/00—Characteristics of apparatus not provided for in the preceding codes
- A61H2201/16—Physical interface with patient
- A61H2201/1602—Physical interface with patient kind of interface, e.g. head rest, knee support or lumbar support
- A61H2201/1614—Shoulder, e.g. for neck stretching
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
- A61H2203/00—Additional characteristics concerning the patient
- A61H2203/04—Position of the patient
- A61H2203/0425—Sitting on the buttocks
- A61H2203/0431—Sitting on the buttocks in 90°/90°-position, like on a chair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Pain & Pain Management (AREA)
- Physical Education & Sports Medicine (AREA)
- Rehabilitation Therapy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Public Health (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Neurology (AREA)
- Orthopedic Medicine & Surgery (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Dentistry (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
一种平板显示设备,包括:基底;由金属构成的电极;和插在基底和电极之间的粘合层。平板显示设备的电极具有优异的导电性。制造平板显示设备的方法,包括:制备金属基底;通过在金属基底上形成镀覆掩模层形成镀金属基底;在镀金属基底上形成电极;使用粘结层将形成在镀金属基底上的电极与镀金属基底分离;使用粘合剂组合物将分离的电极放在另一基底上;从电极上分离粘结层;和热处理粘合剂组合物形成粘合层,粘合层将电极附着到另一基底上。该方法降低了产生不正常工作电极的可能性,并导致降低的制造成本和加工时间。
Description
优先权要求
本申请参考并引入于2005年2月5日在韩国知识产权局较早提交、并在那里正式分配给序列号10-2005-0010964、属于35U.S.C.§119、题目为A FLAT DISPLAY DEVICE AND A METHOD FORPREPARING THE SAME的申请,并要求其所产生的全部权益。
技术领域
本发明涉及一种平板显示器及其制造方法,更特别地,涉及一种包括高度导电电极和将电极附着到基底的粘合层的平板显示设备,和一种能防止产生不正常工作电极的制造平板显示设备的廉价和简单方法。
背景技术
常规显示设备用于个人计算机、电视机等的监视器。显示设备分类为利用高速热电子发射的阴极射线管(CRT)、技术正快速发展的液晶显示器(LCD)和平板显示设备,如等离子显示板(PDP)和场致发射显示器(FED)。
在PDP中,当在透明电极之间提供电压时,在电极上的介电层和保护层的表面处发生放电,从而产生UV光。UV光激发后基底上的磷光体涂层发射可见光。
在FED中,当施加强电场到在阴极电极上以一定间隔排列的发射器上时,从发射器中发射电子。发射的电子与形成在阳极电极上的磷光体层碰撞,从而发射光。
在PDP中,通过利用丝网印刷形成电极材料图案来形成电极。但是,常规丝网印刷方法不适用于PDP需要的高分辨率大屏图案,因为丝网印刷方法要求复杂高级的技术并表现出低的精确度。另外,在常规丝网印刷中,由于丝网缺陷可出现短路或断开,并且得到的分辨率受到限制。因此,丝网印刷不适用于形成微图案电极。
最近,开发了使用光敏糊的光刻技术制造适用于大面积的高分辨率电极。在利用光刻技术形成高分辨率电极的方法中,光敏糊被印刷在例如玻璃基底的整个表面上,使用预定的干燥方法干燥,使用具有光掩膜的UV曝光器件曝光,然后使用预定的显影剂显影除去未固化的未曝光部分。在预定的温度下热处理剩余的固化部分,从而形成图案化的电极。使用光敏糊形成电极的方法公开在例如美国专利5037723中。
但是,使用光敏糊形成电极的方法需要过量的糊,因为糊在曝光和显影操作中有损失。因此,制造成本增加,生产率降低。另外,由该方法得到的电极除了金属外还包括糊中包含的各种有机和无机材料的热处理产物。因此,这种电极的导电率低于仅仅由金属形成的电极的导电率。必须解决这些问题。
发明内容
本发明提供一种包括电极和固定电极到基底上的粘合层的平板显示设备,和一种制造平板显示设备的方法。
根据本发明的一个方面,提供一种平板显示设备,包括:基底;由金属构成的电极;和插在基底和电极之间的粘合层。
根据本发明的另一个方面,提供一种制造平板显示设备的方法,该方法包括:制备金属基底;通过在金属基底上形成镀覆掩模层形成镀金属基底;在镀金属基底上形成电极;使用粘结层将形成在镀金属基底上的电极与镀金属基底分离;使用粘合剂组合物将分离的电极放在基底上;从电极上分离粘结层;和热处理粘合剂组合物形成粘合层,从而将电极附着到基底上。
根据本发明的平板显示设备包括由金属构成的电极和固定电极到基底上的粘合层。平板显示设备的电极具有优异的导电性。另外,使用制造平板显示设备的方法可在短的加工时间内以低成本制造由各种金属构成的电极。此外,由于使用预制电极,因此可防止不正常工作电极的产生,而不正常工作电极可在使用电极形成糊曝光和显影的操作中产生。
附图说明
当结合附图考虑时,通过参考下面的详细描述,本发明变得更好被理解,对本发明的更完整认识及其许多附加优点也将是显而易见的,其中附图中相同的引用符号代表相同或类似的部件,其中:
图1为根据本发明实施方案的平板显示设备的电极的截面图;
图2为根据本发明实施方案的平板显示设备的等离子显示板(PDP)的部件分解立体图;和
图3至8为根据本发明实施方案的制造平板显示设备的方法图。
具体实施方式
下面参考附图更完整地描述本发明。
平板显示设备包括基底;由金属构成的电极;和插在基底和由金属构成的电极之间的粘合层(参考图1,其图示了平板显示设备的一部分)。
参考图1,粘合层29形成在基底30上,电极20形成在粘合层29上。术语“基底”指在一部分上形成有电极的背层。例如,当电极20为等离子显示板的寻址电极时,基底30可为后基底。基底30可随平板显示设备的种类变化,这对本领域的那些技术人员来说是容易知道的。
电极20为导电金属材料,并可由金属Ag、Au、Cu、Ni、Pt、Pa、Al中的一种或这些金属中至少两种的组合形成。电极20可具有由金属构成的单层结构,或可具有由至少两种不同金属构成的至少两层结构。
粘合层29将电极20附着到基底30上。粘合层29可由通过热处理无机粘结剂得到的产物构成。
无机粘结剂可包括选自PbO-SiO2、PbO-B2O3-SiO2、ZnO-SiO2、ZnO-B2O3-SiO2、Bi2O3-SiO2和Bi2O3-B2O3-SiO2的至少一种化合物。但是,本发明不限制于此。无机粘结剂的外形可为球形的。但是,本发明不限制于此。无机粘结剂的平均直径可为5.0μm或更小。当无机粘结剂的平均直径大于5.0μm时,热处理层的表面即粘合层29的表面是不均匀的,并且降低了电极20和基底30之间的粘合力。
另外,无机粘结剂的软化温度可在400℃-600℃的范围内,优选350℃-450℃。当软化温度低于400℃时,载体在热处理过程中分解不起作用。当软化温度高于600℃时,基底在热处理过程中变形。
粘合层29的厚度可在0.2μm-4μm的范围内,优选0.2μm-1μm。当粘合层的厚度小于0.2μm时,粘合层29不能充分将电极20附着到基底30上。当粘合层的厚度大于4μm时,电极20和粘合层29变得过厚,并且电极20具有较粗糙的表面。
可在各种平板显示设备中使用电极和粘合层。例如,当平板显示设备的等离子显示板包括电极时,电极可为后基底的寻址电极或前基底的总线电极。但是,电极的使用不限制于此。
本发明中可使用包括等离子显示板的各种平板显示设备。图2为根据本发明实施方案的平板显示设备的等离子显示板的部件分解立体图。
根据本发明当前实施方案的等离子显示板可包括:透明前基底;与前基底平行布置的后基底;将发射单元分开并插入在前基底和后基底之间的阻隔壁;在第一方向上沿布置的发射单元延伸并被后介电层覆盖的寻址电极;在与寻址电极延伸的第一方向交叉的第二方向上延伸并被前介电层覆盖的一对支持电极;涂在阻隔壁内表面上的红、绿、蓝磷光体层;和每个发射单元内包含的放电气体。
参考图2,前面板310包括前基底311,一对支持电极314、覆盖一对支持电极314的前介电层315和覆盖前介电层315的MgO保护层316,其中支持电极314包括形成在前基底311的后表面311a上的Y电极312和X电极313。Y电极312和X电极313各自包括由例如ITO构成的透明电极312b和313b,和由高度导电金属构成的总线电极312a和313a。
后面板320包括后基底321、在后基底321的后表面321a上垂直于一对支持电极314布置的寻址电极322、覆盖寻址电极322的后介电层323、将发射单元326分开并形成在后介电层323上的多个阻隔壁324、和布置在发射单元326中的磷光体层325。预制寻址电极322,然后利用热处理粘合剂组合物形成的粘合层322a附着到后基底321上。也就是说,粘合层322a和寻址电极322依次形成在PDP的后基底321上。已经描述了寻址电极322和粘合层322a。
尽管图2图示了通过粘合层322a固定到基底上的PDP后面板的寻址电极322,但根据本发明可形成其它电极,如总线电极313a和312a。
根据本发明实施方案的制造平板显示设备的方法包括:制备金属基底;形成镀金属基底;在镀金属基底上形成电极;用粘结层分离电极;在基底上放置分离的电极;分离粘结层;和通过烧结来附着电极。
下面描述根据本发明实施方案的制造平板显示设备的方法。
如图3所示,制备金属基底11。金属基底11可具有1μm-10μm的表面粗糙度。当金属基底11的表面粗糙度在这个范围以外时,电极会在随后的镀金属过程中从镀金属基底上脱离。
金属基底11可由例如能被电镀的材料构成。金属基底11可由不锈钢(SUS)、Ti、Ni、W或这些金属中至少两种的合金构成。但是,本发明不限制于此。
参考图4,在金属基底11上形成图案与要形成电极的形状相对应的镀覆掩模层17,从而形成镀金属基底19。
金属基底11上的镀覆掩模层17可由绝缘材料构成,因为使用它作为随后镀覆过程中的镀覆掩模。镀覆掩模层17可为但不限于硼-磷-硅酸盐玻璃(BPSG)层、自旋(spin-on)玻璃(SOG)层、磷-硅酸盐玻璃(PSG)层、类金刚石碳(DLC)层、SiOx层、SiNx层、SiONx层、TiOx层、AlOx层、Cr层、CrOx层、光刻胶层、或这些层的至少两种的组合。
可使用方法如旋涂、溅射、化学气相沉积、物理沉积、原子沉积或光刻形成镀覆掩模层17。
在图4中,镀金属基底19的镀覆掩模层17可包括CrOx层17b和光刻胶层17a。
可通过先在基底11的整个表面上首先涂敷CrOx,然后在CrOx层上涂敷光刻胶材料形成光刻胶层来形成镀覆掩模层17。由于由有机材料构成的光刻胶材料被涂敷在CrOx层上,而不是直接涂敷在基底11上,因此在光刻过程中可防止光刻胶材料的分离和不想要图案的形成。
尽管根据本实施方案的镀覆掩模层17包括CrOx层17b和光刻胶层17a,但可使用其它材料形成镀覆掩模层17。另外,形成镀覆掩模层17的方法不限制于本实施方案。
参考图5,在镀金属基底19上形成电极20。
电极20可通过镀覆例如电镀形成。电镀为使用电场的镀覆方法。在电镀中,当施加电场到浸在镀液中的镀金属基底19上时,镀覆组合物中包含的金属盐被沉积在镀金属基底上。即镀金属基底被镀覆。
详细地,根据通过电镀形成电极的方法,电源的阴极通过第一线连接到镀金属基底19的金属基底11上,电源的阳极通过第二线连接到源电极上。源电极和要在镀金属基底19上形成的电极可由相同的材料构成。然后,镀金属基底19被浸在镀覆组合物中,并从电源施加预定的电流预定的时间,其中镀覆组合物包括能形成要在镀金属基底19上形成的电极的金属盐。结果,金属沉积在由镀金属基底19的镀覆掩模层17限定的电极形成区域中,从而形成电极20。
在电镀中,镀覆组合物可为镀Ag组合物、镀Au组合物、镀Cu组合物、镀Ni组合物、镀Pt组合物、镀Pa组合物或镀Al组合物。另外,这些组合物中的至少两种可依次用于电镀,从而图5图示的电极20可具有由至少两种不同金属构成的至少两层结构。
因此,电极20可由Ag、Au、Cu、Ni、Pt、Pa、Al或这些金属中至少两种的组合构成。也就是说,电极20可为使用选自镀Ag组合物、镀Au组合物、镀Cu组合物、镀Ni组合物、镀Pt组合物、镀Pa组合物和镀Al组合物中的一种组合物得到的单层排列。或者,电极可为通过依次电镀选自镀Ag组合物、镀Au组合物、镀Cu组合物、镀Ni组合物、镀Pt组合物、镀Pa组合物和镀Al组合物中的至少两种不同镀覆组合物形成的多层排列。例如,当选择镀Ag组合物时,图5所示的电极20可只由Ag构成;当依次选择镀Cu组合物和镀Ag组合物时,图5所示的电极20可由两层(Cu/Ag)构成;当依次选择镀Cu组合物、镀Ag组合物和镀Ni组合物时,图5所示的电极20可由三层(Cu/Ag/Ni)构成。
然后,使用粘结层24从镀金属基底19上分离电极20,如图6所示。
粘结层24可附着到形成在镀金属基底19上的电极20上,然后提升从镀金属基底19上分离电极20。当提升电极20时,在电极20和金属基底11之间形成的角度保持不变,使得电极20的形状例如直线轮廓不变形。例如,角度可为45度或更小。可使用例如使用具有粘结层24的辊的机械方法进行电极20与镀金属基底19的分离。
粘结层24可由任何能被附着到电极20上以使电极20可与镀金属基底19分离的材料构成。例如,粘结层24可由乙烯基树脂、丙烯酸系树脂、纤维素树脂、环氧树脂、硅橡胶等构成。详细地,粘结层24可由以下树脂构成:聚乙烯醇树脂、(甲基)丙烯酸树脂、甲基丙烯酸甲酯树脂、甲基丙烯酸乙酯树脂、甲基丙烯酸异丁酯树脂、甲基丙烯酸正丁酯树脂、甲基丙烯酸正丁基甲基酯树脂、甲基丙烯酸羟乙酯树脂、甲基丙烯酸羟丙酯树脂、丙烯酸羟乙酯树脂、丙烯酰胺树脂、丙烯酸甲酯树脂、甲基丙烯酸缩水甘油酯树脂、丙烯酸乙酯树脂、丙烯酸异丁酯树脂、丙烯酸正丁酯树脂、丙烯酸-2-乙基己酯树脂、乙基纤维素树脂、硝基纤维素树脂、双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚嵌段型环氧树脂、二聚物酸改性环氧树脂、橡胶改性环氧树脂、聚氨酯改性环氧树脂、苯氧基树脂、多元醇改性环氧树脂、这些中至少两种单体的共聚物树脂或三元共聚物树脂等。但是,形成粘结层24的材料不限制于此。
参考图7,使用粘合剂组合物27将如图6所示从镀金属基底19分离的电极20放在基底30上。术语“基底”指具有电极区域的背层,并根据形成的设备而变化。但是,“基底”可容易地为本领域那些技术人员所知。例如,当电极20对应于PDP的寻址电极时,基底30可为PDP后面板的后基底。
粘合剂组合物27可包括无机粘结剂和载体。
粘合剂组合物27的无机粘结剂在随后的热处理过程中熔化或软化形成粘合层29,从而在电极20和基底30(参考图1)之间提供粘合力。上面描述了无机粘结剂。
可选择粘合剂组合物27的载体以提高粘合剂组合物27和电极20之间的粘合力,使得粘合剂组合物27和电极20之间的粘合力比粘结层24和电极20之间的粘合力强。因此,当电极20与粘结层24分离时,可防止电极20与基底30的分离。
另外,在热处理期间,大多数载体被蒸发。因此,考虑无机粘结剂的软化温度,载体可为在约500℃或更低下能热分解除去的材料。详细地,为了防止形成气泡踪迹形成平面层,载体为可在350℃或更低的较低温度下分解的材料。
任何具有这些性质的载体都可用作本发明中的载体。粘合剂组合物27中的载体可为但不限于能容易得到的丙烯酸系树脂。丙烯酸系树脂可为聚丙烯酸甲酯、聚丙烯酸乙酯、聚丙烯酸丙酯、聚丙烯酸异丙酯、聚丙烯酸丁酯、聚(乙烯-共-丙烯酸乙酯)、聚(乙烯-共-丙烯酸)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚甲基丙烯酸乙酯、聚甲基丙烯酸丁酯、聚丙烯酰胺等,但不限制于此。
以粘合剂组合物为100重量份计,无机粘结剂的量可在0.1-5重量份的范围内,优选0.1-1重量份。以粘合剂组合物为100重量份计,载体的量可在95-99.9重量份的范围内,优选99-99.9重量份。以粘合剂组合物为100重量份计,当元机粘结剂的量小于0.1重量份时,电极20和基底30之间的粘合力是不充分的。以粘合剂组合物为100重量份计,当无机粘结剂的量大于5重量份时,热处理后残余物增加。
粘合剂组合物27可被涂敷到电极20或基底30上至1μm-40μm的厚度,优选5μm-10μm。当粘合剂组合物27的厚度小于1μm时,电极20和基底30之间的粘合力是不充分的。当粘合剂组合物27的厚度大于40μm时,干燥时间和热处理时间增加,导致生产率降低。另外,可干燥粘合剂组合物27使得粘合剂组合物27的厚度在2μm-20μm的范围内,优选2μm-3μm。
参考图8,将粘结层24与电极20分离。由于粘结层24和电极20之间的粘合力小于电极20和粘合剂组合物27之间的粘合力,因此电极20不会与基底30分离,而且电极20可容易地与粘结层24分离。
然后,通过热处理将电极20附着到基底30上。如图1所示,通过热处理插入在电极20和基底30之间的粘合剂组合物27形成的粘合层29,在电极20和基底30之间提供粘合力。热处理可在400C-650℃下进行,优选450℃-550℃。当热处理温度低于400℃时,无机粘结剂不能充分烧结,并且载体的热分解不充分,从而通过热处理粘合剂组合物27形成的粘合层29不能充分形成,因此电极20不能附着到基底30上。当热处理温度高于650℃时,基底30会变形。
为了有效地分解粘合剂组合物27的载体,热处理可在含氧环境气氛中或在氧气氛中进行。当电极20由在氧气氛中会被氧化的材料如Cu等构成时,电极20可涂有Cr、Ni等以防止氧化,于是可在环境气氛或氧气氛中热处理。
尽管参考图3至8描述了根据本发明实施方案的制造平板显示设备的方法,但本发明中可使用其它实施方案。
下面参考以下的实施例更详细地描述本发明。该实施例仅用于说明目的,不用于限制本发明的范围。
实施例
等离子显示板的制造
在表面粗糙度为10μm的Ti基底上形成0.5μm厚的CrOx层。使用旋涂器将负性光刻胶SU-8(USA,得自Microchem Inc.)涂到CrOx层上,然后在90℃下干燥15分钟在CrOx层上形成光刻胶层。将与寻址电极图案对应的光掩模放在光刻胶层上。然后,将所得物曝光于365nm的UV光160秒,使用用于SU-8的显影液显影,然后在90℃下干燥15分钟。然后,使用CrOx的蚀刻液按照电极图案蚀刻曝光的CrOx,从而形成包括由CrOx层和光刻胶层组成的镀覆掩模层的图案化镀金属Ti基底。镀金属Ti基底连接到为电源的Ti板(得自AdvancedMaterial Inc.)的阴极,电源的阳极连接到Ag电极。然后,将镀金属Ti基底浸在为镀Ag组合物的基于AgCN的碱性镀液(得自JuamdoyunPlating Chemicals Inc.)中,然后在25℃下以2.5A/dm2的电流密度进行镀银,从而在镀金属Ti基底上形成厚度为3.5μm的Ag电极。用纯水洗涤其上形成有Ag电极的镀金属Ti基底,将丙烯酸系树脂(得自Geomyung Co.,Ltd.)即粘结层放在Ag电极上,然后在Ag电极和Ti基底之间的角度为45度时从镀金属Ti基底上分离Ag电极。另外,制备包含PbO-SiO2玻璃料作为无机粘结剂和丙烯酸系树脂(得自Geomyung Co.,Ltd.)作为载体的粘合剂组合物。在粘合剂组合物中,PbO-SiO2玻璃料的量为5重量份,作为载体的丙烯酸系树脂的量为95重量份。然后,将粘合剂组合物涂在没有接触粘结层的分离的Ag电极部分上至40μm的厚度,然后在120℃下干燥10分钟。然后,将所得物放在为PDP下部基底的后基底上,然后在600℃下在氧气氛中热处理形成1μm厚的粘合层,从而固定Ag电极到PDP的后基底上。随后,依次形成后介电层、发射单元和发射单元中的磷光体层来产生PDP的后面板。后面板连接到前面板上,前面板包括前基底、一对支持电极、覆盖支持电极的前介电层、和MgO保护层。然后,对连接的后面板和前面板抽真空,接着注入放电气体,制造PDP。
根据本发明的平板显示设备包括由金属构成的电极和固定电极到基底上的粘合层。根据本发明的平板显示设备的电极不同于使用电极形成糊组合物形成的电极,在于电极仅仅由金属形成,没有热处理在糊组合物中包含的有机和无机材料得到的产物。因此,根据本发明的平板显示设备的电极具有优异的导电性。
使用根据本发明的制造平板显示设备的方法可降低制造成本为使用Ag糊组合物曝光和显影来形成Ag电极时所需制造成本的至少50%。另外,当使用根据本发明的方法形成Cu电极时,制造成本可降低90%或更多。也就是说,使用预制电极降低了制造成本和加工时间。另外,由于正常工作的电极可选自预制电极,因此平板显示设备的电极具有直线轮廓和精密图案,并可防止不正常工作电极的产生。因此,使用本发明的方法制造的平板显示设备是高度可靠的。
尽管参考示例性的实施方案具体展示和描述了本发明,但本领域中那些普通技术人员能认识到,只要不脱离下面权利要求限定的本发明的精神和范围,就可在其中进行各种形式和细节上的改进。
Claims (15)
1.一种平板显示设备,包括:
基底;
由金属构成的电极;和
插在基底和电极之间的粘合层。
2.权利要求1的平板显示设备,其中该金属包括选自Ag、Au、Cu、Ni、Pt、Pa、Al中的金属或其中至少两种金属的组合。
3.权利要求1的平板显示设备,其中电极包括由不同金属构成的至少两层的结构。
4.权利要求1的平板显示设备,其中粘合层包括热处理的无机粘结剂。
5.权利要求4的平板显示设备,其中无机粘结剂包括选自PbO-SiO2、PbO-B2O3-SiO2、ZnO-SiO2、ZnO-B2O3-SiO2、Bi2O3-SiO2和Bi2O3-B2O3-SiO2的至少一种粘结剂。
6.权利要求1的平板显示设备,其中粘合层具有在0.2μm-4μm范围内的厚度。
7.权利要求1的平板显示设备,其中电极包括等离子显示设备的寻址电极。
8.权利要求1的平板显示设备,其中电极包括等离子显示设备的总线电极。
9.一种制造平板显示设备的方法,该方法包括:
制备金属基底;
通过在金属基底上形成镀覆掩模层形成镀金属基底;
在镀金属基底上形成电极;
使用粘结层将形成在镀金属基底上的电极与镀金属基底分离;
使用粘合剂组合物将分离的电极放在另一基底上;
从电极上分离粘结层;和
热处理粘合剂组合物形成粘合层,该粘合层将电极附着到另一基底上。
10.权利要求9的方法,其中镀金属基底上的镀覆掩模层包括硼-磷-硅酸盐玻璃(BPSG)层、自旋玻璃(SOG)层、磷-硅酸盐玻璃(PSG)层、类金刚石碳(DLC)层、SiOx层、SiNx层、SiONx层、TiOx层、AlOx层、Cr层、CrOx层、光刻胶层中的一种或这些层的至少两种的组合。
11.权利要求9的方法,其中电极通过电镀形成。
12.权利要求9的方法,其中电极由选自Ag、Au、Cu、Ni、Pt、Pa、Al中的至少一种金属或其中至少两种金属的组合形成。
13.权利要求9的方法,其中粘合剂组合物包括无机粘结剂和载体。
14.权利要求13的方法,其中无机粘结剂包括选自PbO-SiO2、PbO-B2O3-SiO2、ZnO-SiO2、ZnO-B2O3-SiO2、Bi2O3-SiO2和Bi2O3-B2O3-SiO2的至少一种化合物。
15.权利要求13的方法,其中载体包括丙烯酸系树脂。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050010964A KR20060090433A (ko) | 2005-02-05 | 2005-02-05 | 평판 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법 |
KR1020050010964 | 2005-02-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1815672A true CN1815672A (zh) | 2006-08-09 |
Family
ID=36780551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2006100068423A Pending CN1815672A (zh) | 2005-02-05 | 2006-02-05 | 平板显示设备及其制造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060178074A1 (zh) |
JP (1) | JP2006215533A (zh) |
KR (1) | KR20060090433A (zh) |
CN (1) | CN1815672A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111903199A (zh) * | 2018-03-26 | 2020-11-06 | 应用材料公司 | 用于生产柔性装置、柔性电子装置及多个电子装置的柔性布置的方法 |
CN115404459A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-11-29 | 湖南新锋科技有限公司 | 一种分布式掺硼金刚石/金属基复合材料及其制备方法和应用 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100823203B1 (ko) * | 2006-10-17 | 2008-04-18 | 주식회사 다이온 | 플라즈마 디스플레이 소자의 전면판 구조 및 그 제조방법 |
CN102765218B (zh) | 2006-12-27 | 2015-06-17 | 日立化成株式会社 | 凹版和使用该凹版的带有导体层图形的基材 |
JP2009158841A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Hitachi Chem Co Ltd | めっき用導電性基材、その製造方法及びそれを用いた導体層パターン付き基材の製造方法、導体層パターン付き基材、透光性電磁波遮蔽部材 |
JP2009224247A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
KR101362884B1 (ko) * | 2011-03-03 | 2014-02-14 | 제일모직주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널용 배면 기판 및 이를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR910003690B1 (en) * | 1988-09-14 | 1991-06-08 | Samsung Electronic Devices | Pdp manufacturing method |
-
2005
- 2005-02-05 KR KR1020050010964A patent/KR20060090433A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-12-19 JP JP2005365325A patent/JP2006215533A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-09 US US11/327,314 patent/US20060178074A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-05 CN CNA2006100068423A patent/CN1815672A/zh active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111903199A (zh) * | 2018-03-26 | 2020-11-06 | 应用材料公司 | 用于生产柔性装置、柔性电子装置及多个电子装置的柔性布置的方法 |
CN115404459A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-11-29 | 湖南新锋科技有限公司 | 一种分布式掺硼金刚石/金属基复合材料及其制备方法和应用 |
CN115404459B (zh) * | 2022-09-07 | 2023-11-21 | 湖南新锋科技有限公司 | 一种分布式掺硼金刚石/金属基复合材料及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060090433A (ko) | 2006-08-11 |
US20060178074A1 (en) | 2006-08-10 |
JP2006215533A (ja) | 2006-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1815672A (zh) | 平板显示设备及其制造方法 | |
CN1637511A (zh) | 场发射背光装置、背光装置驱动方法及制造下面板的方法 | |
CN1512536A (zh) | 包括形成多层结构电子发射源的场发射显示器 | |
CN1512468A (zh) | 图像显示装置 | |
CN1905114A (zh) | 电子发射材料和具有这种电子发射材料的电子发射板 | |
CN1707727A (zh) | 场发射器件及使用该场发射器件的场发射显示器 | |
CN1917227A (zh) | 有机电致发光显示器及其制备方法 | |
CN1218354C (zh) | 一种制造等离子体面板瓦片的方法 | |
CN1750229A (zh) | 电子发射装置及其制造方法 | |
CN1770379A (zh) | 电子发射显示器及其制造方法 | |
US7101243B2 (en) | Field emitter cathode backplate structures for display panels | |
CN101051592A (zh) | 面板和包括该面板的等离子体显示面板及它们的制造方法 | |
CN1710699A (zh) | 图像显示装置 | |
CN1123047C (zh) | 真空荧光显示器 | |
US20070229003A1 (en) | Field emission type backlight unit and method of manufacturing the same | |
CN101079361A (zh) | 图像显示设备 | |
CN1691249A (zh) | 等离子体显示板及其制造方法 | |
CN100346444C (zh) | 图像显示装置 | |
CN1336630A (zh) | 触控面板及其制造方法 | |
CN1763888A (zh) | 叠层体的形成方法及使用了此叠层体的电子源、图像显示装置的制造方法 | |
CN1630015A (zh) | 电子发射装置及其制造方法 | |
US20070164657A1 (en) | Method of manufacturing electron emission device, electron emission device manufactured using the method, and backlight unit and electron emission display device employing electron emission device | |
KR100333690B1 (ko) | 플라즈마디스플레이패널형성방법 | |
CN101127288A (zh) | 电子发射源、形成其的组合物和方法以及电子发射装置 | |
CN1794401A (zh) | 等离子显示面板及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20060809 |