CN1790131A - 彩色显示用基板及其制造方法、滤色片用基板、彩色电致发光用基板和电光装置 - Google Patents

彩色显示用基板及其制造方法、滤色片用基板、彩色电致发光用基板和电光装置 Download PDF

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CN1790131A
CN1790131A CN 200510137735 CN200510137735A CN1790131A CN 1790131 A CN1790131 A CN 1790131A CN 200510137735 CN200510137735 CN 200510137735 CN 200510137735 A CN200510137735 A CN 200510137735A CN 1790131 A CN1790131 A CN 1790131A
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有贺久
片上悟
山田善昭
木口浩史
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Abstract

本发明的课题是,提供一种能以高效率获得将多个彩色显示元件排列成矩阵状的彩色显示用基板,例如滤色片用基板和彩色发光用基板的制造方法。彩色显示用基板的制造方法具有根据所输入的数据,有选择地从喷嘴喷出液滴,以此形成多个彩色点(100a)的工序。多个彩色点(100a构成多个像素,多个像素构成多个滤色片元件(100)。多个滤色片元件(100)被排列成矩阵状。多个彩色点(100a)在与第1基准线BL1正交的方向上具有第1点间距Px。多个彩色点(100a)的每一个被形成为位于相对于第1基准线BL1至少为第1点间距Px的实质上的整数倍的距离。

Description

彩色显示用基板及其制造方法、 滤色片用基板、彩色电致发光用基板和电光装置
本申请系母案(申请号为02119035.6)的分案。
技术领域
本发明涉及彩色显示用基板、滤色片用基板、彩色发光用基板、彩色显示用基板的制造方法、电光装置、电子装置、成膜方法、成膜装置、以及显示装置用母基板。
背景技术
近年来,伴随个人计算机,特别是便携式个人计算机及便携式信息装置等的进步,对液晶彩色显示器的需求急剧增加。
与此相对应,当务之急是确立以适当的价格供给性能优越的器件的技术。另外,近年来,从环境保护的观点也要求向减轻环境负荷的工艺转换,以期改善环境。
以往,作为滤色片的制造方法之一已知有以下的方法。在该方法中,首先用光刻和刻蚀法对作为遮光材料的铬薄膜构图,形成黑矩阵。其后,在该黑矩阵间的间隙,对每一种颜色用转涂法等涂敷红、绿和蓝的感光性树脂,然后用光刻法对其进行构图。由此,可构成红、绿和蓝的着色层(彩色点)被相邻配置的彩色矩阵。在该制造方法中,对红、绿、蓝的每一种颜色必须重复光刻工序,另外,在对各种颜色构图时,因为要去除掉不需要的部分而产生感光性材料的损耗,以至于成为环境负荷高的高成本的滤色片。
因此,作为解决这样的制造方法的问题的方法在例如特开昭59-75205号公报中提出了应用喷墨法的方法。在该方法中,在透明基板上形成呈矩阵状的间壁,以便用对油墨沾润性低的材料分隔着色层的形成区域,然后通过用喷墨法将非感光性材料涂敷在间壁内,形成着色层。
在该制造方法中,光刻工序的繁杂性得到缓解,还可期待减低着色材料的损耗。今后,将要提出用喷墨法的非感光性着色材料的涂敷工艺的滤色片的多种制造方法。
本发明的目的在于提供能够以高效率获得将多个彩色显示元件排列成矩阵状的彩色显示用基板,例如滤色片用基板和彩色发光用基板。
本发明的另一目的在于提供用上述制造方法形成的彩色显示用基板,例如滤色片用基板和彩色发光用基板。
本发明的叉一目的在于提供具有从上述彩色显示用基板得到的彩色显示体的电光装置和电子装置。
发明内容
本发明是一种彩色显示用基板,其特征在于:
具有排列成矩阵状的多个彩色显示元件;
构成上述多个彩色显示元件的每一个的多个像素;以及
构成上述多个像素的每一个的多个彩色点,
上述多个彩色点在与第1基准线正交的方向上有第1点间距,
上述多个彩色点的每一个位于相对于第1基准线至少为第1点间距的实质上的整数倍的距离。
用后述制造方法可高效率地获得该彩色显示用基板。
本发明的彩色显示用基板可以取以下各种形态。
(A)上述彩色显示元件的彩色点还位于相对于与上述第1基准线正交的第2基准线为在与该第2基准线正交的方向上第2点间距的实质上的整数倍的距离。
(B)上述彩色显示元件相互间的间隔在上述第1基准线的方向上为第2点间距的实质上的整数倍,而且在上述第2基准线的方向上为第1点间距的实质上的整数倍。通过这样的设定,可用第1点间距和第2点间距的实质上的整数倍规定彩色显示元件的间距。即,如果从彩色显示元件的间距看这一点,则上述彩色显示元件的排列在上述第1基准线的方向上为第2元件间距的实质上的整数倍,而且在上述第2基准线的方向上为第1元件间距的实质上的整数倍。
(C)在上述彩色显示元件中,上述像素的排列可以是条型、镶嵌型、三角型、以及方型中的任何一种。
(D)上述彩色点可由从喷嘴喷出的液滴形成。而且,上述彩色点可包含彩色显示层和分隔该彩色显示层用的围堤层。该围堤层具有阻止从喷嘴喷出的液滴流出的间壁的功能。
本发明的彩色显示用基板能适用于可借助于红、绿和蓝光的3原色进性彩色显示的各种显示基板。作为有代表性的显示基板,有滤色片用基板和彩色发光用基板。
例如,本发明的滤色片用基板
具有排列成矩阵状的多个滤色片元件;
构成上述多个滤色片元件的每一个的多个像素;以及
构成上述多个像素的每一个的多个彩色点,
上述多个彩色点在与第1基准线正交的方向上有第1点间距,
上述多个彩色点的每一个位于相对于第1基准线至少为第1点间距的实质上的整数倍的距离。
本发明的彩色发光用基板
具有排列成矩阵状的多个彩色发光元件;
构成上述多个彩色发光元件的每一个的多个像素;以及
构成上述多个像素的每一个的多个彩色点,
上述多个彩色点在与第1基准线正交的方向上有第1点间距,
上述多个彩色点的每一个位于相对于第1基准线至少为第1点间距的实质上的整数倍的距离。
本发明的彩色显示用基板的制造方法
具有根据所输入的数据通过有选择地从喷嘴喷出液滴以形成多个彩色点的工序,
上述多个彩色点构成多个像素,
上述多个像素构成多个彩色显示元件,
上述多个彩色显示元件排列成矩阵状,
上述多个彩色点在与第1基准线正交的方向上有第1点间距,
上述多个彩色点的每一个位于相对于第1基准线至少为第1点间距的实质上的整数倍的距离。
如果按照该制造方法,由于构成上述彩色显示元件的各彩色点的形成区域被设定为位于相对于第1基准线在与该第1基准线正交的方向上至少是第1点间距的实质上的整数倍的距离,所以可用第1点间距规定彩色点的形成区域的位置数据,使设计变得很容易。
作为有选择地从喷嘴喷出上述液滴的方法,可用例如喷墨方式。
本发明的制造方法可取以下各种形态。
(A)上述彩色显示元件的彩色点的形成区域还可被设定为位于相对于与上述第1基准线正交的第2基准线为在与该第2基准线正交的方向上第2点间距的实质上的整数倍的距离。通过这样的设定,不仅对第1基准线,而且也对第2基准线可用第2点间距规定彩色点的形成区域的位置数据,使设计变得更容易。
(B)上述彩色显示元件相互间的间隔可被设定为在上述第1基准线的方向上为第2点间距的实质上的整数倍,在上述第2基准线的方向上为第1点间距的实质上的整数倍。
通过这样的设定,可用第1点间距和第2点间距规定彩色显示元件的间距。而且,上述彩色显示元件的排列在上述第1基准线的方向上为第2元件间距的实质上的整数倍,而且在上述第2基准线的方向上为第1元件间距的实质上的整数倍。
(C)可以有形成分隔上述彩色点的彩色显示层用的围堤层的工序;以及对被上述围堤层分隔的区域供给液滴的工序。
该围堤层具有作为阻止液滴流出的间壁的功能。
(D)为喷出上述液滴的液滴喷出用的头具有多个喷嘴被排列成直线状的喷嘴列,该喷嘴列可在上述第1基准线的方向上按规定间距配置,而且具有在上述第1基准线的方向上包含多个彩色显示元件的形成区域的有效喷嘴列长。如果利用具有这样的有效喷嘴长度的液滴喷头,则通过一次扫描即可形成多个列的彩色显示元件。
上述喷嘴列在上述第1基准线的方向的有效喷嘴列长还可以为上述彩色显示元件的第2元件间距的实质上的整数倍。
(E)上述彩色显示元件可包含滤色片元件和彩色发光元件。
本发明的电光装置可包含从本发明的彩色显示用基板得到的彩色显示体。
本发明的电光装置可包含本发明的从滤色片用基板得到的滤色片;与上述滤色片设置规定间隔而被配置的对置基板;以及被配置在上述滤色片与上述对置基板之间的电光材料层。此处,上述电光材料层是液晶材料层。
本发明的电光装置可包含从本发明的彩色发光用基板得到的彩色发光体。此处,上述彩色点的发光层可包含电致发光材料。
本发明的电子装置可包含本发明的电光装置。
本发明的显示装置用母基板可包含分别构成显示装置的多个单位和并行排列的多个点要素,
上述多个点要素在各单位内在规定的方向上以第1点间距排列,
包含在各上述单位内的上述多个点要素之一和包含在另外的上述单位内的上述多个点要素之一在上述规定的方向上以上述第1点间距的实质上的整数倍排列而成。
本发明的成膜方法可具有通过有选择地从喷嘴喷出液滴以形成多个点要素的工序,
上述多个点要素在与基准线正交的方向上有点间距,
可形成上述多个点要素的每一个,使得位于相对于上述基准线至少为上述点间距的实质上的整数倍的距离。
本发明的成膜装置具有可扫描的头和排列在上述头上并喷出液滴的多个喷嘴,
通过使上述头进行扫描并且有选择地从上述喷嘴喷出上述液滴以形成多个点要素,
上述多个点要素在基准线的方向排列,并且在上述基准线的方
向有规定的点间距,
上述喷嘴列对于上述基准线的方向有有效喷嘴列长,
上述有效喷嘴列长为上述规定的点间距的实质上的整数倍。
作为可进行上述扫描的头可采用例如喷墨头。
附图说明
图1是原理性地示出本发明的第1实施例的滤色片用基板的斜视图。
图2是示出构成图1所示的滤色片用基板的滤色片元件的平面图。
图3是原理性地示出沿图2的A-A线的部分的局部剖面图。
图4(A)~(D)是原理性地示出图1至图3所示的滤色片用基板的制造工序的局部剖面图。
图5(A)~(D)是原理性地示出图1至图3所示的滤色片用基板的制造工序的局部剖面图。
图6是原理性地示出第1实施例的滤色片用基板的制造方法的平面图。
图7是示出作为第1实施例的滤色片用基板、具有三角型排列的滤色片元件的滤色片用基板的制造方法的平面图。
图8是原理性地示出本发明的第2实施例的彩色发光用基板的斜视图。
图9是示出构成图8所示的彩色发光用基板的彩色发光元件的平面图。
图10(A)~(D)是原理性地示出8和图9所示的彩色发光用基板的制造工序的局部剖面图。
图11是原理性地示出第2实施例的彩色发光用基板的制造方法的平面图。
图12是说明有效喷嘴列长用的图。
图13是原理性地示出作为本发明地第3实施例的电光装置的一例的液晶显示装置的剖面图。
图14是示出作为本发明的电子装置的一例的数码相机的斜视图。
图15(A)~(C)示出本发明的电子装置的应用例,(A)是移动电话机,(B)是手表,(C)是便携式信息装置。
图16示出了第1实施例的滤色片用基板的变例,(a)是滤色片元件的平面图,(b)是沿(a)的D-D线的剖面图,(c)是沿(a)的E-E线的剖面图。
图17是原理性地示出作为本发明的第3实施例的电光装置的一例的EL显示装置的剖面图。
具体实施方式
第1实施例
图1是原理上示出作为应用本发明的彩色显示用基板(显示装置用母基板)的一例的滤色片用基板的斜视图,图2是示出构成滤色片用基板的滤色片元件(构成显示装置的单位)的重要部分的平面图,图3是示出沿图2的A-A线的部分的剖面图。
(滤色片用基板的概要)
首先,说明滤色片用基板1000的概要。滤色片用基板1000是光透过型,系在玻璃、塑料等的透明基板10上将多个滤色片元件100排列成矩阵状。该滤色片用基板1000通过以后所述在规定位置上剖断该基板可得到多个滤色片。
如图2和图3所示,本实施例的滤色片元件100包含透明基板10、实质上不透光(可见光)的遮光区20、以及可透过光的透光区30。遮光区20有遮光层22和在该遮光层22上形成的围堤层24。而且,透过区30是被遮光区20分隔的区域,具有在基板10上形成的着色层32。
在本实施例中,如图2所示,将相当于1个点间距的长度的着色层32和围住该着色层32的规定宽度的遮光区20规定为1个彩色点(点要素)100a。在以下的说明中,将构成滤色片元件100的彩色点100a在x方向的点间距称为第1点间距Px,将y方向的点间距称为第2点间距Py。再有,所谓点间距,如图2所示,是指例如相邻的彩色点的中心间距离。
另外,在滤色片用基板1000中,如图1所示,将滤色片元件100在x方向的元件间距称为第1元件间距PBx,将y方向的元件间距称为第2元件间距PEy。再有,再本实施例中,所谓元件间距,如图1所示,假定是从滤色片元件的一边到相邻的滤色片元件的一边的距离。不言而喻,该元件间距与相邻的滤色片元件的中心间距离相同,可用该中心间距离来定义。
构成遮光区20的遮光层22在基板10上以规定的图形被形成。而且,遮光层22有充分的遮光性,具有黑矩阵的功能即可,对其材料不作特别限定,使用金属、树脂等就可以了。作为遮光层22的材料,就小的膜厚下能获得充分而且均匀的遮光性而言,以使用金属为宜。对用作遮光层22的金属并无特别限定,在考虑包含成膜以及光刻的全部工序的效率后加以选择即可。作为这样的金属,最好采用例如铬、镍、铝等的电子器件加工工艺。
围堤层24在遮光层22上形成,有规定的图形。该围堤层24具有分隔形成着色层的区域、防止混合相邻的着色层的颜色(混色)的间壁的功能。因此,围堤层24的膜厚(高度h(参照图3))通过与该油墨层的高度等的关系来设定,使得作为形成着色层时所注入的着色材料的油墨组成物(以下,称为“油墨”)不至溢流。从这样的观点看,围堤层24最好在例如膜厚为1~5微米的范围内形成。
围堤层24用可进行光刻的树脂层构成。这样的感光性树脂可在广阔的范围内进行选择,不一定必须是对水的接触角大的疏水性的优质树脂或具有遮光性的树脂。作为构成围堤层24的树脂,例如可用包括聚氨酯类树脂、丙烯酸类树脂、酚醛清漆类树脂、卡尔多(カルド)类树脂、聚酰亚胺树脂、聚羟基苯乙烯、以及聚乙烯醇等感光性树脂组成物。
着色层32由具有构成光的三原色的红、绿和蓝的各种颜色的多个着色层32(R)、32(G)、32(B)构成。这些着色层32用规定的排列,例如条型排列、三角型排列、镶嵌型排列或方型排列等的排列图形配置,由连续的三色的着色层构成1个像素。
后面将叙述本实施例的滤色片用基板1000和滤色片元件100的特征。
(滤色片用基板的制造方法)
下面,参照图4和图5,说明滤色片的制造例子的概要。图4和图5是原理性地示出各工序中对应于图2的B-B线的部分的层结构的剖面图。
(1)遮光层的形成
首先,如图4(A)所示,在透明基板10上用干镀法,例如溅射法、蒸镀法、化学蒸镀法以0.1~0.5微米的膜厚淀积金属层220。作为金属层220的材料,如前所述,可采用铬、镍、铝等各种金属。接着,在金属层220的表面用光刻法形成具有规定图形的抗蚀剂层R1。其后,以该抗蚀剂层R1作为掩模进行刻蚀,对金属层220进行构图。这样一来,如图4(B)所示,在基板10上形成具有规定的矩阵图形的遮光层22。
(2)围堤层的形成
接着,如图4(C)所示,在形成遮光层22的基板10上形成树脂层240。该树脂层可用负型或正型抗蚀剂形成。树脂层240由例如聚氨酯类或丙烯酸类等的光固化型(负型)的感光型树脂构成。然后,用光掩模M1进行曝光,再进行显影,以此对树脂层240构图。由此,如图4(D)所示,形成围堤层24并形成遮光区20。关于围堤层24的结构,由于上面已述及,故其说明从略。在该工序中,被遮光区20分隔的着色层形成区域330按规定的矩阵图形形成。
接着,根据需要,在下面的着色层形成工序之前,对基板表面进行表面处理。作为这样的表面处理,可采用紫外线照射、等离子体照射、激光照射等方法。通过进行这样的表面处理可除去附着于基板10的露出面10a上的污染物质等,减小该表面10a对水的接触角,提高油墨的沾润性。更具体地说,希望基板10的露出面10a和围堤层24的表面对水的接触角之差为15°以上。这样,通过控制基板10的露出面10a和围堤层24的表面对水的接触角,可使油墨在良好的状态下与着色层形成区域330的露出面10a有紧密接触性,同时利用围堤层24不沾油墨的性质,可防止油墨越过围堤层24而溢流。作为表面处理方法,可采用气体等离子体法、紫外线照射法、界面活化剂涂敷法等方法。
(3)着射层的形成
首先,如图5(A)所示,在用遮光层22和围堤层24分隔的着色层形成区域330上给予油墨,形成油墨层320。
在本实施例中,作为给予油墨的方法,应用了在喷墨打印方式中所用的由打印头喷出的喷墨法。例如,作为在例如50微米见方的微细着色层形成区域330以高精度形成油墨层的方法,以可使喷出的墨滴微细化、而且可控制喷出的墨滴数的喷墨打印法为最佳。
为了以高精度将微细化了的墨滴打到目标位置(基板10的露出面10a),首先,控制墨滴的尺寸,使之与作为目标的着色层形成区域330的露出面10a的尺寸一致。对于例如50微米见方的着色层形成区域330,最好将墨滴的尺寸控制为6~30皮升。如果考虑生产率,则墨滴的尺寸以12~20皮升更好。另外,为了使墨滴从喷墨打印头喷射出来,准确地命中目标,最好控制喷射条件,不使墨滴在喷射途中分裂,并且要直射。
在本实施例中,着色层32被依次形成为红、绿和蓝各色。对这些着色层32的形成顺序并无特别限定。在图5(B)所示的例子中,首先形成红色着色层32(R),其后如图5(C)所示,形成绿色着色层32(G)或蓝色着色层32(B)中的任意一种,最后形成剩下颜色的着色层。再有,如果选择喷墨打印方式的彩色头或多个头,则红、绿和蓝各色的着色层可同时形成。
(4)外覆盖层等的形成
接着,如图5(C)所示,在着色层32形成后,根据需要,可形成为得到平滑表面用的外覆盖层40。此外,如图5(D)所示,在外覆盖层40的表面上,根据需要,形成公用电极50,完成其上的滤色片元件100被排列成矩阵状的滤色片用基板1000。这些外覆盖层40和公用电极50可根据应用滤色片的电光装置的结构而设置。其后,通过在规定位置剖断滤色片用基板1000,可形成多个滤色片。
(制造方法的特征)
图6是说明本发明的制造方法的特征用的平面图,示出了对应于图5(A)、(B)的工序。在图6中,为了使图面简化,只示出了彩色点100a和彩色点形成区域100b。另外,在图6中,示出了形成条型像素的例子。
在图6所示的例子中,沿y方向设定第1基准线BL1,沿x方向设定第2基准线BL2。
在本实施例中,在喷墨打印方式中所用的喷墨头1对基板10在x方向作相对移动,在彩色点形成区域100b,具体地说对着色层形成区域330(参照图5(A)、(B))供给油墨,形成着色层32,完成彩色点100a。
喷墨头1具有其多个喷嘴1a被排列成直线状的喷嘴列。该喷嘴列相对于第1基准线BL1的方向以规定间距(在本例中,该间距与第2点间距Py相同)被配置。喷墨头1还被设定为,相对于第1基准线BL1的方向,该喷嘴列包含多个列(在本例中为2列)的滤色片元件100的形成区域。在本例的情况下,由于喷嘴1a的间距被设定为与第2点间距Py相同,所以喷墨头1的喷嘴列长与有效喷嘴列长实质上相同。
此处,如图12所示,所谓“有效喷嘴列长”,是指使喷墨头1对第1基准线BL1倾斜规定的角度θ时,对第1基准线BL1的喷嘴列的长度LN0。在喷嘴1a的间距与第2点间距Py不同的情况下,如图12所示,通过使喷墨头1对第1基准线BL1倾斜,可设定所希望的喷嘴间距。在图12中,符号“LN”表示喷墨头1的喷嘴列长。
基准线BL1、BL2、滤色片元件100、彩色点100a和彩色点形成区域100b,满足以下的条件(a)~(c)。
(a)滤色片元件100用的各彩色点形成区域100b被设定为位于相对于y方向的第1基准线BL1至少为x方向的第1点间距Px的整数倍的距离(NPx,N为整数)。滤色片元件100用的各彩色点形成区域100b还被设定为位于相对于x方向的第2基准线BL2为y方向的第2点间距Py的整数倍的距离(N′Py,N′为整数)。
(b)滤色片元件100相互间的间隔被设定如下。在第2基准线BL2的方向的间隔Lx1被设定为第1点间距Px的整数倍(nPx,n为除零以外的整数)。另外,在第1基准线BL1的方向的间隔Ly1被设定为第2点间距Py的整数倍(n′Py,n′为除零以外的整数)。
即,在第2基准线BL2的方向的第1元件间距PEx被设定为第1点间距Px的整数倍,在第1基准线BL1的方向的第2元件间距PEy被设定为第2点间距Py的整数倍。
(c)从第1基准线BL1到第1列的滤色片元件100的间隔Lx2被设定为第1元件间距Px的整数倍(mPx,m为整数)。另外,从第2基准线BL2到第1列的滤色片元件100的间隔Ly1被设定为第2元件间距Py的整数倍(m′Py,m′为整数)。
如果满足上述条件的(b)和(c),则满足条件(a)。因此,在本实施例中,为借助于采用喷墨头1的喷墨方式形成彩色点100a,油墨的喷出位置被设定为满足上述条件(a)或条件(b)+(c)。
而且,根据基准线BL1、BL2的位置信息和为形成着色层的必要信息,在规定的位置喷出油墨,形成彩色点100a。为形成彩色点100a的必要信息可根据喷墨头的工作方法等作适当的选择,包含例如特别指定彩色点形成区域的位置的信息、特别指定着色层的颜色的信息、以及特别指定对彩色点形成区域的喷出时序的信息等。
再有,在图6所示的例子中,作为彩色点100a或彩色点形成区域100b的位置的基准,采用各彩色点100a或各彩色点形成区域100b的基准线BL1、BL2侧的一条边。当然,作为这样的位置基准,也可采用各彩色点或彩色点形成区域的中心,或者其它的位置。
下面,参照图6,更具体地说明彩色点100a的形成方法。在图6中,示出了直至第2列的滤色片元件的第1列的彩色点形成区域移动喷墨头1的状态。利用喷墨头1的喷嘴1a进行油墨喷射的区域用黑圆圈表示,不利用喷墨头1的喷嘴进行油墨喷射的区域用白圆圈表示。
首先,在本例中,使喷墨头1对基板10在x方向作相对移动,根据为形成上述彩色点的必要信息,喷出第1色(在本例中为红色(R))的油墨,形成红的彩色点100a。此时,在红以外的颜色的彩色点形成区域100b和不形成滤色片元件100的区域,不喷出油墨。喷墨头1通过在x方向移动1次,就形成在y方向的第1、第2列的第1色彩色点。
接着,使喷墨头1对基板10在y方向作相对移动,形成第3、第4列的第1色彩色点。以下,用同样的做法依次按每2列形成第1色彩色点。
接着,用不同颜色的喷墨头1,与第1色同样地形成第2色(蓝或绿)和第3色(剩下的颜色)的彩色点100a。这样一来,3原色的各彩色点100a就在规定位置形成,得到多个滤色片元件100被排列成矩阵状的滤色片用基板1000。
如果采用本实施例的制造方法,则各彩色点100a被设定为位于相对于第1基准线BL1和第2基准线BL2为第1点间距和第2点间距的整数倍的距离,所以可用第1点间距和第2点间距规定彩色点的形成区域的位置数据,使设计变得很容易。
(滤色片用基板的特征)
如图1和图2所示,用以上的制造方法得到的滤色片用基板1000反映了制造方法的特征,具有以下的结构。
(a)构成滤色片元件100的各彩色点100a位于相对于y方向的第1基准线BL1为x方向的第1点间距Px的整数倍的距离(NPx,N为整数)。各彩色点100a还位于相对于x方向的第2基准线BL2为y方向的第2点间距Py的整数倍的距离(N′Py,N′为整数)。
(b)滤色片元件100相互间的间隔如下所述。在第2基准线BL2的方向的间隔Lx1为第1点间距Px的整数倍(nPx,n为除零以外的整数)。另外,在第1基准线BL1的方向的间隔Ly1为第2点间距Py的整数倍(n′Py,n′为除零以外的整数)。
即,第2基准线BL2的方向的第1元件间距PEx为第1点间距Px的整数倍,第1基准线BL1的方向的第2元件间距PEy为第2点间距Py的整数倍.
(c)从第1基准线BL1到第1列的滤色片元件100的间隔Lx2为第1元件间距Px的整数倍(mPx,m为整数)。另外,从第2基准线BL2到第1列的滤色片元件100的间隔Ly2为第2元件间距Py的整数倍(m′Py,m′为整数)。
(滤色片用基板的变例)
第1变例
图7是具有三角型排列的滤色片元件100的滤色片用基板的制造方法的示意图。在本例中,可设定y方向的2条第1基准线,即第1基准线BL1和BL1′,可设定x方向的2条第2基准线,即第2基准线BL2和BL2′。
在本例中,如果看x方向,则第奇数列的彩色点列位于相对于一方的第1基准线BL1为第1点间距Px的整数倍的距离,另外,第偶数列的彩色点列位于相对于另一方的第1基准线BL1′为第1点间距Px的整数倍的距离。同样,如果看y方向,则第奇数列的彩色点列位于相对于一方的第2基准线BL2为第2点间距Py的整数倍的距离,另外,第偶数列的彩色点列位于相对于另一方的第2基准线BL2′为第2点间距Py的整数倍的距离。
而且,在x方向的一方的第1基准线BL1和另一方的第1基准线BL1′的间隔为0.5Px,另外,在y方向的一方的第2基准线BL2和另一方的第2基准线BL2′的间隔为0.5Py。
在本例中也基本上满足条型滤色片用基板的制造方法中所述的条件(a)至(c)。再有,在图7所示的例子中,用彩色点的中心规定彩色点100a的位置的基准。
在本例中,也与上述实施例的情况一样,可用第1点间距和第2点间距规定彩色点的形成区域的位置数据,使设计变得很容易。
第2变例
图16(a)~(c)示出了滤色片用基板的变例,图6(a)是构成滤色片用基板的滤色片元件的平面图,图6(b)是沿图6(a)的D-D线的剖面图,图6(c)是沿图6(a)的E-E线的剖面图。对与图2和图3中所示的构件具有实质上相同功能的构件标以相同的符号。
本例的滤色片用基板的滤色片元件100为半透射半反射型,在这一点与上述的透射型的滤色片用基板不同。
如图6所示,本实施例的滤色片元件100包含透明基板10、使光(可见光)反射的反射层26、以及使光通过的透射层28。在反射层26上形成围堤层24。然后,在被围堤层24分隔的着色层形成区域内,设置着色层(彩色点)32(32(R)、32(G)、32(B))。此外,在着色层32上,设置平坦化用的外覆盖层40。
透射层28被形成为位于被围堤层24分隔的着色层形成区域的中央部。着色层(彩色点)32用喷墨法形成。在用喷墨法形成的着色层内,通常具有使着色层形成区域的中央部隆起的趋势。因此,通过在着色层形成区域的中央部形成透射层28,可使在反射显示时和透射显示时的光学上的膜厚大致相等或使两者相近,其结果是,在反射显示时和透射显示时可进行近似的色显示。
即,在反射显示时,被用于显示的光在来往于着色层32的膜厚小的部分的状态下通过,如图6(b)中的箭头X0所示。与此不同,在透射显示时,被用于显示的光通过着色层32的膜厚厚的部分,如图6(b)中的箭头X1所示。因此,着色层32的剖面形状通过形成为图6(b)、(c)所示那样的凸状,可使反射显示时和透射显示时的光学膜厚相近。
第2实施例
图8是原理性地示出作为应用本发明的彩色显示用基板的一例的彩色发光用基板(显示装置用母基板)的斜视图,图9是示出构成彩色发光用基板的彩色发光元件(构成显示装置的单位)的重要部分的平面图,图10(D)是示出沿图9的C-C线的部分的剖面图。
(彩色发光用基板的概要)
首先说明彩色发光用基板2000的概要。在透明基板104上,彩色发光用基板2000的多个彩色发光元件200被排列成矩阵状。该彩色发光用基板通过后面所述的沿规定位置剖断该基板,可得到多个彩色发光体。
如图9和图10(D)所示,本实施例的彩色发光元件200包含透明基板104、实质上不使光(可见光)透过的围堤层105、以及发光的发光区130。而且,发光区130是被围堤层105分隔的区域,有层叠于基板104上的第1电极(在本例中为阳极)、空穴注入层、发光层、以及第2电极(在本例中为阴极)。基板104在作为支撑体的同时,还具有取出光的面的功能。因而,可考虑光的透射特性和热稳定性来选择基板104。
作为透明基板材料,可举出例如玻璃基板、透明塑料等。
在本实施例中,所谓空穴注入层,是指空穴能有效地从阳极注入发光层的层,它还具有空穴输运功能。另外,也可与空穴注入层一起,另行设置空穴输运层。
在本实施例中,与第1实施例一样,将相当于1个间距的发光区130和围堤层105规定为1个彩色点(点要素)200a,如图9所示。在以下的说明中,将构成彩色发光元件200的彩色点200a在x方向的点间距称为第1点间距Px,将y方向的点间距称为第2点间距Py。另外,在彩色发光用基板2000中,如图8所示,将彩色发光元件200在x方向的元件间距称为第1元件间距PEx,将y方向的元件间距称为第2元件间距PEy。再有,关于点间距和元件间距,也与第1实施例一样。
围堤层105有规定的图形。该围堤层105分隔了形成发光层的区域,并具有防止相邻的发光层的着色材料混合(混色)的间壁的功能。
围堤层105与第1实施例一样,由能进行光刻的树脂层构成。
发光区130由多个发光层106(R)、107(G)、108(B)构成,这些发光层能产生构成光的三原色的红、绿、蓝各色。这些发光层按规定的排列,例如条型排列、三角型排列、镶嵌型排列或方型排列等的排列图形配置,由连续的3色发光层构成1个像素。
下面将叙述本实施例的发光用基板2000和彩色发光元件200的特征。
(彩色发光用基板的制造方法)
下面,参照图10说明彩色发光用基板的制造例子的概要。图10(A)~(D)示出使用有机EL的发光用基板(以下,称为“有机EL基板”)的制造工序。
(A)第1电极和围堤层的形成
首先,如图10(A)所示,在透明基板104上形成规定图形的第1电极(以下,称为“像素电极”)101、102、103。作为像素电极的形成方法,可举出例如光刻法、真空蒸镀法、溅射法、高温溶胶法等,而以光刻法为佳。作为像素电极,以透明电极为佳。作为构成透明电极的材料,可举出氧化锡、ITO、氧化铟和氧化锌的复合氧化物等。
接着,用感光性聚酰亚胺形成围堤层105,隔离上述各透明像素电极。由于围堤层105在具有间壁功能的同时,还具有黑矩阵层的功能,所以可提高对比度,防止发光材料的混色,防止来自相邻的彩色点与彩色点之间的光漏泄等。
作为构成围堤层105的材料,只要有对EL材料的溶剂的耐久性,并无特别限定,但由于经过碳氟化合物气体等离子体处理而能实现聚四氟乙烯(注册商标)化,故以例如丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等有机材料为宜。也可以是将液态玻璃等无机材料形成于下层的叠层间壁。另外,围堤层105也可以是在上述材料中混入碳黑等的黑抗蚀剂。作为这些围堤层105的形成方法,可举出例如光刻法。
在涂敷空穴注入层、进而根据需要设置的空穴输运层用的油墨之前,可用氧气和碳氟化合物气体等离子体对基板连续进行等离子体处理。因此,围堤层105的表面被疏水化,透明像素电极101、102、103的表面被亲水化,可控制基板对喷墨所形成的液滴的沾润性。作为发生等离子体的装置,在真空中发生等离子体的装置和大气中发生等离子体的装置可同样地使用。
(B)发光层的形成
接着,如图10(A)所示,从喷墨打印装置109的喷墨头1喷出空穴注入层用油墨,对各像素电极101、102、103供给油墨。其后,去除掉溶剂,再进行热处理,形成与发光层用油墨不相溶的空穴注入层120。在本实施例中,形成了也与各彩色点相同材料的空穴注入层,但也可根据情况在每个发光层中采用适合于发光层的空穴注入材料(或空穴输运材料),形成空穴注入层(或空穴输运层)。
进而,如图10(B)所示,将红色发光层用油墨以及绿色发光层用油墨用喷墨方式依次涂敷在空穴注入层120上。其后,去除掉溶剂,接着在氮气氛中进行热处理,使油墨组成物固化或共轭化,形成红色发光层106、绿色发光层107。经过热处理而共轭化了的发光层不溶于溶剂。
如果采用这样的喷墨方式,则可简便地并且在短时间内进行微细的构图,另外,通过改变油墨的固形成分浓度和喷射量,即可改变膜厚。
另外,在形成发光层之前,可对空穴注入层120在氧气和碳氟化合物气体等离子体中连续进行等离子体处理。由此,通过在空穴注入层(或空穴输运层)120上形成氟化物层、增高离子化电势,即可提供空穴注入效率高的有机EL基板。
(C)发光层的形成
下面,如图10(C)所示,在像素电极103的空穴注入层120上形成蓝色发光层108。通过以上的工序,形成红、绿、蓝三原色的发光层106、107、108。
在蓝色发光层108的形成工序中,在红色发光层106和绿色发光层107上,与蓝色发光层108一起,形成由与该层相同的材料构成的层108a、108a。这些层108a可填埋发光层106、107与围堤层105的台阶差而使之平坦化。通过该围堤层105相互之间实现平坦化,可在平坦的状态下以良好的精度形成第2电极(阴极)。
其结果是,能可靠地防止在上下电极间的短路。然后,通过调整蓝色发光层108的膜厚,在红色发光层106和绿色发光层107上形成的层108a起电子注入输运层的作用,不发蓝色光。
作为这样的蓝色发光层108的形成方法,并无特别限定,作为湿法,可用一般的转涂法或喷墨法。
如本实施例那样,通过用喷墨方式形成有机发光层中的两种颜色,用以往的涂敷方法形成另一种颜色,即使是不太适合于喷墨方式的发光材料,也可通过与喷墨方式中所用的其它有机发光材料的组合来形成全色有机EL基板,从而提高了元件设计的自由度。作为喷墨方式以外的涂敷方法,可举出印刷法、转印法、浸渍法、转涂法、铸塑法、毛细作用法、辊涂法、以及条型码法等。
(D)阴极的形成
接着,如图8(D)所示,形成阴极(对置电极)113。作为阴极113,最好是金属薄膜电极,作为构成阴极的金属,可举出例如镁、银、铝、锂等。还有,除此以外,可用功函数小的材料,例如碱金属或钙等碱土类金属和包含它们的合金。另外,也可应用金属的氟化物。这样的阴极113可用蒸镀法和溅射法等形成。
此外,也可在阴极113上形成保护膜。通过形成保护膜,可防止阴极113和各发光层106、107、108的变坏、损伤和剥离等。
作为这样的保护膜的构成材料,可举出环氧树脂、丙烯酸树脂、液态玻璃等。另外,作为保护膜的形成方法,可举出例如转涂法、铸塑法、浸渍法、条型码法、辊涂法、毛细作用法等。
对置电极113可根据应用彩色发光体的电光装置的结构而设置。其后,通过在规定位置剖断彩色发光用基板2000,形成多个彩色发光体。
在上述的制造方法中,作为各层的材料,可采用熟知的物质。另外,作为空穴注入层、发光层等的材料,本发明的申请人可采用在特愿平11-134320号、特愿平11-250486号中记述的内容。
另外,上述的制造方法中,叙述了用喷墨方式形成3原色发光层中的2色发光层的例子,但当然,也可用喷墨方式形成全部3色。此外,在上述的制造方法中,叙述了用喷墨方式形成了构成彩色点的空穴注入层(空穴输运层)和发光层的例子,但也可以仅仅是发光层。
(制造方法的特征)
图11是说明本发明的制造方法的特征用的平面图,示出了对应于图10(A)、(B)的工序。在图11中,为了使图面简化,只示出了彩色点200a和彩色点形成区域200b。另外,在图11中,示出了形成条型的像素的例子。
在本实施例中,采用与第1实施例的彩色点100a基本上相同的方法形成彩色点200a。即,在第1实施例中,用喷墨方式形成了构成滤色片元件的着色层,而在本实施例中,却是用喷墨方式形成了构成彩色发光元件的空穴注入层和发光层,在这方面两者是不同的。
在图11所示的例子中,沿y方向设定第1基准线BL1,沿x方向设定第2基准线BL2。
在本实施例中,在喷墨打印中所使用的喷墨头1对基板104在x方向作相对移动,对彩色点形成区域200b,具体地说,对发光区130(参照图10(A)、(B))供给油墨(空穴注入层用油墨和发光层用油墨),形成空穴注入层和发光层,完成彩色点200a。
喷墨头1与第1实施例一样,具有多个喷嘴1a被排列成直线状的喷嘴列。该喷嘴列对第1基准线BL1的方向按规定的间距(在本例中,系与第2点间距Py相同的间距)配置。喷墨头1还被设定为该喷嘴列对第1基准线BL1的方向包含多个列(在本例中为2列)的彩色发光元件200的形成区域。
基准线BL1、BL22、彩色发光元件200、彩色点200a、以及彩色点形成区域200b与第1实施例一样,满足以下的条件(a)~(c)。
(a)彩色发光元件200用的各彩色点形成区域200b被设定为相对于y方向的第1基准线BL1为x方向的第1点间距Px的整数倍的距离(N′Px,N′为整数)。各彩色点形成区域200b还被设定为相对于x方向的第2基准线BL2为y方向的第2点间距Py的整数倍的距离(NPy,N为整数)。
(b)彩色发光元件200相互间的间隔被设定如下。第2基准线BL2的方向的间隔Lx1被设定为第1点间距Px的整数倍(nPx,n为除零以外的整数)。另外,第1基准线BL1的方向的间隔Ly1被设定为第2点间距Py的整数倍(n′Py,n′为除零以外的整数)。
即,第2基准线BL2的方向的第1元件间距PEx被设定为第1点间距Px的整数倍,第1基准线BL1的方向的第2元件间距PEy被设定为第2点间距Py的整数倍。
(c)从第1基准线BL1到第1列的彩色发光元件200的间隔Lx2被设定为第1元件间距Px的整数倍(mPx,m为整数)。还有,从第2基准线BL2到第1列的彩色发光元件200的间隔Ly1被设定为第2元件间距Py的整数倍(m′Py,m′为整数)。
如果满足上述条件的(b)和(c),则满足条件(a)。因此,在本实施例中,为通过采用喷墨头1的喷墨方式形成彩色点200a,设定喷墨位置,使其满足上述条件(a)或条件(b)+(c)。
然后,根据基准线BL1、BL2的位置信息和为形成空穴注入层和发光层的必要信息,对规定的位置喷墨,形成彩色点200a。根据喷墨头的工作方法等,适当选择为形成彩色点200a的必要信息,包含例如特别指定彩色点形成区域的位置的信息、特别指定发光层的颜色的信息、特别指定对彩色点形成区域的喷射时序的信息。
下面,参照图11,更具体地说明彩色点200a的形成方法。在图11中,直至第2列的滤色片元件的第1列的彩色点形成区域,示出了使喷墨头1移动的状态。由喷墨头1的喷嘴1a进行喷墨的区域用黑圆圈表示,不由喷墨头1的喷嘴进行喷墨的区域用白圆圈表示。
在本例中,使喷墨头1对基板10在x方向作相对移动,根据为形成上述彩色点的必要信息,依次形成空穴注入层、根据需要所形成的空穴输运层、以及发光层。
首先,形成空穴注入层(参照图10(a))和根据需要所形成的空穴输运层。接着,形成第1色(在本例中为红色(R))的彩色点200a。在本例中,通过喷墨头1在x方向移动1次,形成y方向的第1、第2列的空穴注入层、根据需要所形成的空穴输运层、以及第1色发光层。
接着,使喷墨头1对基板10在y方向作相对移动,形成第3、第4列的第1色彩色点,以下,用同样的做法依次每2列形成第1彩色点。
接着,采用不同颜色的喷墨头1,与第1色一样,可形成第2色(蓝或绿)和第3色(剩下的颜色)的彩色点200a。这样一来,至少在规定的位置形成空穴注入层和3原色的各彩色点200a,得到将多个彩色发光元件200排列成矩阵状的彩色发光用基板2000。
另外,如图10所示的方法那样,也可用喷墨方式以外的其它涂敷法形成3色中的1色。
如果采用本实施例的制造方法,则与第1实施例一样,由于可根据点间距设定喷射时序,使设计变得很容易。
(彩色发光用基板的特征)
用以上的制造方法得到的彩色发光用基板2000反映了制造方法的特征,具有以下的结构。
(a)如图8和图11所示,构成彩色发光元件200的各彩色点200a位于相对于y方向的第1基准线BL1为x方向的第1点间距Px的整数倍的距离(NPx,N为整数)。各彩色点200a还位于相对于x方向的第2基准线BL2为y方向的第2点间距Py的整数倍的距离(N′Py,N′为整数)。
(b)彩色发光元件200相互间的间隔如下所述。第2基准线BL2的方向的间隔Lx1为第1点间Px的整数倍(nPx,n为除零以外的整数)。另外,第1基准线BL1的方向的间隔Ly1为第2点间距Py的整数倍(n′Py,n′为除零以外的整数)。
即,第2基准线BL2的方向的第1元件间距PEx为第1点间距Px的整数倍,第1基准线BL1的方向的第2元件间距PEy为第2点间距Py的整数倍。
(c)从第1基准线BL1到第1列的彩色发光元件200的间隔Lx2为第1元件间距Px的整数倍(mPx,m为整数)。还有,从第2基准线BL2到第1列的彩色发光元件200的间隔Ly2被设定为第2元件间距Py的整数倍(m′Py,m′为整数)。
另外,在彩色发光用基板中,三角型排列的像素可以说与第1实施例(参照图7)所述的一样。
第3实施例
(电光装置)
作为组装了从第1实施例的滤色片用基板1000得到的滤色片1000A的电光装置的一个例子,在图13中示出了彩色液晶显示装置1100的重要部分的剖面图。
彩色液晶显示装置1100是通过将滤色片1000A和对置基板80组合起来,并在两者之间封入液晶组成物70而构成的。在液晶显示装置1100的一片基板80的内侧表面上以矩阵状形成TFT(薄膜晶体管)元件(图中未示出)和像素电极52。另外,作为另一基板,在与像素电极52相向的位置上,以排列红、绿、蓝着色层32的方式设置滤色片1000A。在基板80和与之相向的滤色片1000A的各自的表面上形成取向膜60、62。这些取向膜60、62经摩擦处理后,可使液晶分子按恒定方向排列。另外,在基板10和基板80的外侧表面上分别粘贴偏振片90、92。另外,作为背光源,一般用荧光灯(图中未示出)和散射片的组合,液晶组成物使背光的透射率发生变化,具有光阀的功能,以此进行显示。
作为组装了从应用第2实施例的彩色发光用基板2000得到的彩色发光体2000A的电光装置的一个例子,在图17中示出了彩色EL显示装置2100的重要部分的剖面图。
彩色EL显示装置2100是在基体112上配置彩色发光体2000A而构成的。在彩色发光体2000A的基板104上,以矩阵状形成TFT(薄膜晶体管)元件等的开关元件202。相邻的开关元件202用绝缘层206隔离。
发光区130包含发光层112、空穴注入层120、以及由第1和第2电极204、208构成的一对电极层。
发光层122按规定的矩阵图形排列在基板104上,而且被围堤层105分隔开。另外,发光层122在第1电极(阳极)204与第2电极(阴极)208之间形成。发光层122由具有构成光的三原色的红、绿和蓝的各色的多个发光层构成。发光层122由利用例如电致发光而能发光的有机材料形成。另外,在阳极204与发光层122之间形成空穴注入层120。
第4实施例
(电子装置)
以下,示出用液晶显示装置作为本发明的电光装置的电子装置的例子。
(1)数码相机
现在对将本发明的液晶显示装置1100用于取景器的数码相机进行说明。图14是示出该数码相机的结构的斜视图,还简易地示出与外部装置的连接。
通常的照相机由被拍摄物体的光像使胶卷感光,而数码相机2000是用CCD(电荷耦合器件)等摄像元件使被拍摄物体的光像进行光电变换生成摄像信号的照相机。此处,在数码相机2000的机壳2202的背面(在图14中为前面一侧),设置了上述液晶显示装置1100的液晶面板,根据CCD所产生的摄像信号进行显示。因此,液晶显示装置1100具有作为显示被拍摄物体的取景器的功能。另外,在机壳2202的前面一侧(在图14中为背面一侧),设置了含有光学镜头或CCD等的受光单元2204。
此处,当摄影者确认在液晶显示装置1100中显示的被拍摄物体像,按下快门按钮2206时,在该时刻的CCD的摄像信号便传送并存储到电路基板2208的存储器中。另外,在该数码相机2000中,在机壳2202的侧面,设置了视频信号输出端子2212和数据通信用的输入输出端子2214。然后,如图14所示,可根据需要,将电视监视器2300连接到前者的视频信号输出端子2212上,或将个人计算机2400连接到后者的数据通信用的输入输出端子2214上。进而,按照规定的操作,将存储于电路基板2208的存储器内的摄像信号输出给电视监视器2300或个人计算机2400。
(2)移动电话、其它电子装置
图15(A)、(B)和(C)是示出用液晶显示装置作为本发明的电光装置的其它电子装置的例子的外观图。图15(A)是移动电话机4000,在其前面上方配备液晶显示装置1100。图15(B)是手表5000,在本体的前面中央处设置了使用液晶显示装置1100的显示部。图15(C)是便携式信息装置6000,配备有由液晶显示装置1100构成的显示部和输入部5100。
在这些电子装置中,除液晶显示装置1100外,其余部分在图中均未示出,但这些电子装置却包含由显示信息输出源、显示信息处理电路、时钟发生电路等各种电路、以及向这些电路供给电力的电源电路等构成的显示信号生成部。在显示部中,在例如便携式信息装置6000的情况下,根据从输入部5100输入的信息等,由显示信号生成部供给所生成的显示信号,从而形成显示图像。
作为组装有本发明的液晶显示装置1100的电子装置,并不限于数码相机、移动电话机、手表和便携式信息装置,还可考虑电子笔记本、寻呼机、POS终端、IC卡、微型唱片播放机、液晶投影仪、有对应多媒体的个人计算机(PC)和工程工作站(EWS)、笔记本型个人计算机、文字处理器、电视机、取景器型或监视器直视型的录像机、电子计算器、车辆导行装置、配备触摸屏的装置、时钟等各种电子装置。
再有,如果就驱动方式而言,液晶显示面板有在面板本体上不用开关元件的简单矩阵液晶显示面板及静态驱动液晶显示面板,还有使用以TFT(薄膜晶体管)为代表的三端开关元件或以TFD(薄膜二极管)为代表的二端开关元件的有源矩阵液晶显示面板,就电光特性而言,可用TN型、STN型、宾主型、相变型、铁电型等各种类型的液晶面板。
本发明的装置可按照其中的几个特定的实施例加以说明,但本发明在其要旨的范围内可作各种变形。例如,在上述的实施例中,作为电光装置的影像显示装置(电光显示部),可就使用液晶显示装置及EL显示装置的情况加以说明,但在本发明中,却不限于此,还可使用例如应用薄型布劳恩管或液晶快门等的小型电视机、电致发光板、等离子体显示器、CRT显示器、FED(场发射显示器)面板、电泳显示器等各种电光装置。

Claims (8)

1.一种显示装置用母基板,其特征在于:
包含分别构成显示装置的多个单位和并行排列的多个点要素,
上述多个点要素在各单位内在规定的方向上以第1点间距排列,
包含在各上述单位内的上述多个点要素之一和包含在另外的上述单位内的上述多个点要素之一在上述规定方向上以上述第1点间距的实质上的整数倍排列而成。
2.如权利要求1中所述的显示装置用母基板,其特征在于:
上述点要素在各单位内在与上述规定的方向正交的方向上以第2点间距排列,
包含在各上述单位内的上述多个点要素之一和包含在另外的上述单位内的上述多个点要素之一在与上述规定方向正交的方向上以上述第2点间距的实质上的整数倍排列而成。
3.一种成膜方法,其特征在于:
具有通过有选择地从喷嘴喷出液滴以形成多个点要素的工序,
上述多个点要素在与基准线正交的方向上有点间距,
形成上述多个点要素的每一个,使得位于相对于上述基准线至少为上述点间距的实质上的整数倍的距离。
4.一种成膜装置,其特征在于:
具有可扫描的头和排列在上述头上并喷出液滴的多个喷嘴,
通过使上述头进行扫描并且有选择地从上述喷嘴喷出上述液滴以形成多个点要素,
上述多个点要素被排列在基准线的方向上,并且在上述基准线的方向有规定的点间距,
上述喷嘴列对于上述基准线的方向有有效喷嘴列长,
上述有效喷嘴列长为上述规定的点间距的实质上的整数倍。
5.一种显示装置用母基板,其特征在于:
具有分别构成显示装置的多个单位,
构成上述多个单位的每一个的多个像素,以及
构成上述多个像素的每一个的多个点要素;
上述多个点要素在与第1基准线正交的方向上有第1点间距;
上述多个点要素的每一个位于相对于第1基准线至少为第1点间距的实质上的整数倍的距离。
6.如权利要求5中所述的显示装置用母基板,其特征在于:
上述多个点要素的每一个还位于相对于与上述第1基准线正交的第2基准线为在与该第2基准线正交的方向上第2点间距的实质上的整数倍的距离。
7.如权利要求6中所述的显示装置用母基板,其特征在于:
上述多个单位相互间的间隔在上述第1基准线的方向上为第2点间距的整数倍,而且在上述第2基准线的方向上为第1点间距的整数倍。
8.如权利要求7中所述的显示装置用母基板,其特征在于:
上述多个单位的排列在上述第1基准线的方向上为第2元件间距的整数倍,而且在上述第2基准线的方向上为第1元件间距的整数倍。
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