CN1756933A - 使用线材的搬送机构和使用了它的热处理炉及热处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及在热处理炉内用于依次搬送太阳电池基板等被加热物的搬送机构和使用了它的热处理炉以及热处理方法，还涉及使被加热物以从炉内壳隔离的状态来支撑的炉内支撑方法。本发明是在对被加热物进行热处理的热处理炉内为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构。本发明的搬送机构具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材(5)，把被加热物(10)放置在线材(5)上，通过使线材(5)移动来进行被加热物(5)的搬送。

Description

使用线材的搬送机构和使用了它的热处理炉及热处理方法

技术领域

本发明涉及在热处理炉内用于依次搬送太阳电池基板等被加热物的搬送机构和使用了它的热处理炉以及热处理方法，还涉及使被加热物以从炉内壳隔离的状态来支撑的炉内支撑方法。

背景技术

原来，活动梁能够用作对金属进行热处理时的炉内搬送机构，但在近年来，在炉内对等离子体显示器面板基板那种薄型基板进行干燥时也使用，并且现在还在研究用于太阳电池基板的热处理。

这种用途扩大的主要理由是，活动梁与例如一般用作对太阳电池基板进行热处理时的炉内搬送机构的网带式输送机等相比显热容量小，可预见到热处理所要的能量成本大幅地降低及迅速地升降温。

在用活动梁把太阳电池基板那样在基材背面的中央部也形成有电极导电胶等功能薄膜材料的基板搬送到炉内的场合，在梁上设置仅在基板的外周近旁部与基板接触的支撑栓以便不与功能薄膜材料的形成部分干涉，通过该支撑栓把基板支撑在梁上。

然而，如前所述，对做成仅在其外周近旁部通过支撑栓把基板支撑在梁上的活动梁来说，在搬送中因热冲击或某种振动而在基板上产生破裂的场合，由于不能支撑该破裂的基板，从而不进行正常的搬送而在处理工程的途中停住，并且，此后依次被搬送的基板堆积于此，产生许多次品。此外，在产生这种基板的破裂时，由于不得不停止工程来进行去除次品的作业等，从而热处理炉的工作效率低。

并且，活动梁虽然如前所述与网带式输送机相比显热容量小，但需要开发热容量更低的搬送机构。

发明内容

本发明是鉴于这种原有技术的状况而提出来的，其目的是提供热容量与原有的活动梁同等或在其之下，同时，即使在热处理炉内搬送中的基板等被加热物产生破裂时也能够防止该破裂的被加热物的恶劣影响于未然，可以正常地搬送剩下的被加热物的搬送机构。

采用本发明，提供在对被加热物进行热处理的热处理炉中为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材，把上述被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动来搬送上述被搬送物的搬送机构(第一搬送机构)。

此外，采用本发明，提供在对板状的被加热物进行热处理的热处理炉内为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，具有以所定间隔配置成相对于上述热处理炉进行不同动作的2种线材，或者相互间以所定间隔配置成一个固定在上述热处理炉上同时另一个相对于上述热处理炉移动的2种线材，上述2种线材在搬送路径的中间线左右两侧分别配置成每多根平行，在上述2种线材的每个上，沿搬送方向隔开间隔安装多个仅与上述被加热物的边缘部接触来支撑上述被加热物的支撑器具。

此外，采用本发明，提供一种具备上述第一或第二搬送机构的热处理炉。

采用本发明，提供一种在热处理炉内一边使用上述第一或第二搬送机构进行被加热物的搬送，一边进行上述被加热物的热处理的热处理方法。

再有，采用本发明，提供一种在对被加热物进行热处理的热处理炉内，通过把上述被加热物支撑在热处理炉内绷紧的线材上，使上述被加热物从炉内壳隔离的被加热物的炉内支撑方法。

本发明的搬送机构较好是设置在保持与相对于上述热处理炉移动的线材轻轻接触的状态下与上述线材同期动作的振动抑制部件。此外，本发明的搬送机构在上述被加热物是在基材上形成有薄膜功能材料时，其中特别是在基材的背面的中央部也形成有电极导电胶等功能薄膜材料的太阳电池基板等场合特别有用。

附图说明

图1是示意本发明的第一搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。

图2是示意本发明的第一搬送机构的实施方式的另一个例子的说明图。

图3是展示振动抑制部件的设置方法的说明图。

图4是展示线材与振动抑制部件的接触状态的说明图。

图5是展示放置基板的方法的一个例子的说明图。

图6是展示放置基板的方法的另一个例子的说明图。

图7是示意本发明的第二搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。

图8(a)是安装在固定侧线材上的支撑器具的俯视图。

图8(b)是安装在固定侧线材上的支撑器具的侧视图。

图9(a)是安装在移动侧线材上的支撑器具的俯视图。

图9(b)是安装在移动侧线材上的支撑器具的侧视图。

图10是从搬送方向所见的用安装在固定侧线材上的支撑器具支撑被加热物时的状态的侧视图。

图11是从搬送方向所见的用安装在移动侧线材上的支撑器具支撑被加热物时的状态的侧视图。

图12(a)～12(e)是展示在第二搬送机构中2种线材相对于热处理炉进行不同的动作来构成时的搬送动作的一个例子的说明图。

图13是展示用安装在配置于搬送路径的中间线右侧的线材的支撑器具和安装在配置于左侧的线材的支撑器具在搬送方向中的位置错开的说明图。

具体实施方式

以下，利用其实施方式对本发明的搬送机构进行具体说明。本发明的第一搬送机构是在对太阳电池基板等被加热物进行热处理的热处理炉内，为了依次搬送例如在基板上形成有功能薄膜材料的大致四边形的多个基板所使用的机构。本发明的第一搬送机构是基于代替原来的活动梁中的梁而使用线状物或链状物那种线材的想法而提出的方案，其特征在于，具有设置成相对于热处理炉移动的线材，把被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动进行上述被加热物的搬送。

作为具体的结构，可以是做成所谓的双活动梁那样，以所定的间隔配置成相对于热处理炉进行相互不同的活动梁动作的2种线材组成，也可以做成如一般的活动梁那样，以所定间隔配置成一边是固定在热处理炉的固定侧线材同时另一方相对于热处理炉使活动梁动作的移动侧线材那样的2种线材组成。此外，可以采用并用线材和梁的结构，也可以例如由固定在热处理炉上、在上面具备所定高度的支撑栓的梁和设置成相对于热处理炉移动的线材组成。考虑到支撑被支撑物时的稳定性，使这些线材和梁的数目各种在2根或其以上，较好是3根或其以下。还有，在本发明中，所谓‘活动梁动作’是指周期性地重复进行原来一般所知道的活动梁的动作，即上升→前进→下降→后退的移动动作。

上述2种线材或者线材和梁在被加热物的外周近旁部与被加热物接触，没有发生破裂的被加热物支撑在上述2种线材或线材和梁上。

发生了破裂的被加热物容易从上述2种线材或线材和梁之间脱落到热处理炉的炉床上。在本发明的第一搬送机构中，通过这样使用线材作为搬送机构，即使在搬送中被加热物发生破裂的场合，也可能通过使该破裂的被加热物自由地掉落到炉床上，正常地搬送剩余的被加热物来继续搬送。

图1是示意本发明的第一搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。固定在炉上不移动的固定侧线材1，把一端固定在固定侧线材2、另一端固定在固定侧平衡块3上。由于固定侧平衡块3通过固定侧滑轮4固定在固定侧线材1上，所以与固定侧线材1的拉伸无关，能够一直使相同的张力施加到固定侧线材1上。

同样地，相对于炉移动的移动侧线材5把一端固定在移动侧线材支架6上，另一端固定在移动侧平衡块7上。由于移动侧平衡块7通过移动侧滑轮8固定在移动侧线材5上，所以与移动侧线材5的拉伸无关，能够一直使相同的张力施加到固定侧线材5上。还有，在图1中，所示的是被加热物为太阳电池基板，该基板10的宽度为15cm时，2根固定侧线材1相互以13～14cm的间隔平行地配置，移动侧线材5相互以12～13cm的间隔平行地配置的场合。

移动侧线材支架6和移动侧滑轮8被支撑在驱动机构(未图示)上。驱动机构能够采用与周期地重复上升、前进、下降、后退的动作的，即所谓的一般的活动梁的动作的驱动机构相同的结构。因此，该移动侧线材5能够同样地周期地进行上述的动作。

在该搬送机构中，最初，放置在固定侧线材1上的基板10在移动侧线材5上升时转置于移动侧线材5上。然后，移动侧线材5前进，向前搬送基板10。并且，一旦移动侧线材5下降，基板10转置于固定侧线材1上。最后，移动侧线材5后退，成为最初的状态。通过重复这些动作，能够搬送基板10，使得一边通过热处理炉(未图示)一边进行所定的热处理成为可能。还有，在炉内温度为比较高的高温的场合，固定侧线材1和移动侧线材5配置在炉内，其它构成要素配置在热处理炉的外部的搬入部和搬出部的近旁。当然也可以考虑耐热性而在炉内设置其它构成要素。

图2是展示代替图1的固定侧线材1而使用梁20的实施方式。梁20的两端相对于热处理炉而被固定。在梁20的上面设置所定高度的支撑栓(栓状的支撑体)21，移动侧线材5下降、后退之间，基板10成为通过支撑栓21放置在该梁20上的状态。通过这样基板10以仅与支撑栓21接触的状态支撑在梁上，就能够极力抑制梁20施加给基板10的热的影响。还有，本实施方式中除梁以外的结构与图1所示的实施方式相同。

然而，如本发明的搬送机构这样，在对被加热物的支撑和搬送使用了线材的场合，线材的支撑间的距离(例如，图1的移动侧线材5中的移动侧线材支架6与移动侧滑轮8之间的距离)长的话，线材易于振动，由于该振动，被加热物掉落或放置位置偏离，有损伤被加热物主体的可能性。

对此，为了防止这种线材的振动，在本发明的搬送机构中，优选设置一直与各线材轻轻地接触，抑制线材的振动的产生，同时，在产生了振动的场合，能够立即使该振动衰减的振动抑制部件。

这种振动抑制部件如图1所示的固定侧线材1那样，相对于固定在热处理炉上的部件，做成固定安装在炉的内侧壁等而容易设置，但如采用了图1的移动侧线材5或双活动梁方式时的线材那样，相对于相对热处理炉移动的线材，为了一直得到恒定的接触状态，需要一边保持轻轻地接触上述部件的状态一边与上述线材同期动作的振动抑制部件。

作为用于使振动抑制部件与线材同期动作的具体的方法，可举出例如如图3所示，通过连接部件12把振动抑制部件11安装在移动侧线材支架6的一部分上的方法。这样，移动侧线材5和振动抑制部件11即使在线材的移动中也不会经常改变其位置关系，同期地动作。

为了早使线材的振动衰减，如图4所示，希望线材5和振动抑制部件11成为轻轻地接触的程度的微妙的接触状态，振动抑制部件11最好是做成易于得到这种接触状态的圆柱状。此外，作为线材11和振动部件11的接触位置最好是不发生共振的位置。为了使线材和振动抑制部件的接触位置能够容易调整，最好是例如，对连接图3的移动侧线材支架6和振动抑制部件11的连接部件12使用其长度可变的部件。

此外，本发明的搬送机构相对于原来的炉内搬送机构而言，其有利的方面可举出，例如，在搬送的基板是在太阳电池基板那种基材上形成有薄膜功能材料的基板的场合，在线材和基板之间不产生冷却斑。对原来的网带式输送机等搬送机构来说，由于该网带式输送机等的热容量大，升温中也难以加热，能够在网带等和基板的接触部有冷却斑。因此，需要仅在没有形成功能薄膜材料的基板的外周近旁部与网带等接触，对基板的放置方法有限制。

对此，在本发明的搬送机构中，由于一直在炉内，并且使用热容量小，升温中容易加热的线材来进行基板的搬送，从而没有在线材和基板的接触部产生冷却斑的问题。因此，对基板放置的方法的自由度变高，例如，可以如图5所示那样，把大致四边形的基板10放置成固定侧线材1以及移动侧线材5的长度方向和基板10面对的两条边大致平行，也可以如图6所示那样，把大致四边形的基板10放置成固定侧线材1以及移动侧线材5的长度方向和基板10的一根对角线大致平行。

采用图6那种放置方法的话，例如，在把大致四边形的基板10用各自2根线材组成的固定侧线材1和移动侧线材5来搬送的场合，即使该基板10的一条边的长度比2根固定侧线材1的间隔以及2根移动侧线材5之间的间隔更短，只要对角线的长度比该线材的间隔更长的话，就可能进行搬送。

然而，并用图5所示那种放置方法和图6那种放置方法的话，在某种程度的范围内，不变更线材间隔，保持同一线材间隔来搬送尺寸不同的基板成为可能。

其次，对本发明的第二搬送机构进行说明。

如上所述，本发明的第二搬送机构是在对板状的被加热物进行热处理的热处理炉内为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，作为其特征的结构具有，以所定间隔配置成相对于上述热处理炉进行相互不同动作的2种线材，或相互以所定间隔配置成一根固定在上述热处理炉上的同时另一个相对于上述热处理炉移动的2种线材，上述2种线材在搬送路径的中间线左右两侧分别几根几根地平行配置，在上述2种线材的每个上，沿搬送方向隔开间隔安装多个仅与上述被加热物的边缘部接触而支撑上述被加热物的支撑器具。

本发明的第二搬送机构是基于代替原来的活动梁中的梁(柱状部件)而使用对被加热物给与可支撑程度的张力来绷紧的线状物、链状物等线材的想法而提出的方案，可以如所谓的双活动梁那样，以所定间隔配置成相对于热处理炉进行不同的动作的2种线材组成，也可以如一般的活动梁那样，相互以所定的间隔配置成一根是固定在热处理炉的固定侧线材同时另一根相对于热处理炉移动的移动侧线材的2种线材组成。

分别安装在上述2种线材上的支撑器具仅与被加热物的边缘部接触，没有产生破裂的被加热物被支撑在这些支撑器具上。

发生了破裂的被加热物容易从上述2种线材之间掉落到热处理炉的炉床上。在本发明的第二搬送机构中，通过这样使用线材作为搬送机构，在搬送中被加热物产生破裂的场合，通过使该破裂的被加热物自由掉落到炉床上，而正常地搬送剩余的被加热物，就可以连续搬送。

图7是示意本发明的第二搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。固定在炉上不移动的固定侧线材31把端部固定在固定侧线材支架32上。固定侧线材31的端部由于通过卷簧33固定在固定侧线材支架32上，从而一直对固定侧线材31施加相同的张力。同样地，相对于炉移动的移动侧线材35把端部固定在移动侧线材支架36上。移动侧线材35的端部由于也通过卷簧37固定在移动侧线材支架36上，从而一直对移动侧线材35施加相同的张力。还有，在图7中，固定侧线材31以及移动侧线材35的一方的端部被省略，被省略的侧端部也同样地固定在固定侧线材支架32或移动侧线材支架36上。

固定侧线材31和移动侧线材35在被加热物40的搬送路径的中间线L的左右两侧分别2根2根地平行配置，在这2种线材31、35的每个上，沿搬送方向隔开间隔安装多个仅与被加热物40的边缘部接触而支撑被加热物40的支撑器具34、38。

在2种线材31、35的各自中，把配置在搬送路径的中间线L左右两侧的线材的根数取为各自多根(在图7的例子中为各2根)是考虑到安装在线材上的支撑器具的稳定性。如图7那样，把支撑器具34、38安装成横跨2根线材的话，即使放置被加热物40，也不会因其重量而容易地改变位置，使得稳定的支撑成为可能。还有，为了更加提高稳定性，在2种线材31、35中，可以使配置在搬送路径的中间线L左右两侧的线材的根数分别在3根以上，但根数增加过多的话，支撑器具34、38安装的稳定性虽然得到提高，但由于线材的热容量增加，所以最好是像图7所示的例子那样2根2根地配置。

图8(a)和图8(b)是分别安装在固定侧线材31上的支撑器具34的俯视图和侧视图。此外，图9(a)和图9(b)分别是安装在移动侧线材35上的支撑器具38的俯视图和侧视图。如这些图所示，本发明的第二搬送机构中所使用的支撑器具34、38较好是利用其结构的一部分，通过夹住在搬送路径的中间线L左右两侧分别几根几根地平行配置的线材31、35而安装在线材31、35上的支撑器具。这种结构的支撑器具容易安装到线材上，同时，能够在安装后使其位置在向搬送方向上错开，能够容易进行支撑器具间的间隔调整。

图10是展示从搬送方向所见的被安装在固定侧线材上的支撑器具34支撑被加热物40时的状态的侧视图。图11是展示从搬送方向所见的被安装在移动侧线材上的支撑器具38支撑被加热物40时的状态的侧视图。如这些图所示，本发明的第二搬送机构中所使用的支撑器具34、38较好是具有以安装在线材上的状态，倾斜成朝向搬送路径的中间线侧变低的倾斜部，在该倾斜部仅与被加热部40的边缘部接触来支撑被加热物40。通过具有这种倾斜部位，支撑器具34、38可以不与被加热物40的背面等接触，仅与被加热物40的边缘部接触来支撑。

在炉内温度超过600℃那种高温区域的热处理中，如上述第一搬送机构的实施方式那样，把被加热物直接放置到线材上，用设在梁上的支撑栓支撑被加热物的话，在被加热物的背面和线材或支撑栓的接触部析出被加热物中的成分，带有烧痕，会对被加热物的性能和外观产生不良影响。如第二搬送机构那样，在各线材上安装仅与被加热物的边缘部接触来支撑被加热物的支撑器具的话，由于能够在被加热物的背面不与任何物体接触来支撑被加热物而搬送，从而能够避免上述那种坏影响。

固定有移动侧线材35的端部的移动侧线材支架36支撑在驱动机构(未图示)上。驱动机构以一定的移动冲程重复上升、前进、下降、后退的动作，能够做成进行与所谓的一般活动梁的动作驱动机构同样的结构。因此，移动侧线材35同样能够周期地重复上述活动梁的动作。

在此搬送机构中，最初，放置于安装在固定侧线材31上的支撑器具34上的被加热物40在移动侧线材35上升时被转置于安装在移动侧线材35的支撑器具38上。然后，移动侧线材35前进，向前搬送被加热物40。接着，一旦移动侧线材35下降，被加热物40就被转置于安装在固定侧线材31上的支撑器具34上。最后，移动侧线材35后退，成为最初的状态。通过重复这些动作，能够搬送被加热物40，使得一边通过热处理炉(未图示)内一边进行所定的热处理成为可能。

还有，在本实施例中，采用2种线材中仅一种(移动侧线材35)相对于热处理炉移动(活动梁的动作)的结构，但也可以如所谓的双活动梁那样，做成以所定的间隔配置的2种线材相对于热处理炉进行不同的动作的结构。

图12(a)～12(e)是展示2种线材相对于热处理炉进行不同的动作来构成时的搬送动作的一个例子的说明图。在这些图中，粗线所画的线材和支撑器具在比细线所画的线材和支撑器具的更上方，支撑被加热物40。图中，配置在内侧的线材与上述图7的例子中的移动侧线材35同样，是以一定的移动冲程周期性地重复上升、前进、下降、后退动作的第一移动线材45，配置在外侧的线材是以一定的移动冲程周期性地重复前进、后退动作的第二移动线材41

对该搬送机构来说，最初，如图12(a)所示，是第一移动线材45下降了的状态，被加热物40被安装在第二移动线材41上的支撑器具44支撑。其次，如图12(b)所示，第二移动线材41前进所定的冲程，另一方面，第一移动线材45下降时后退所定的冲程。接着，如图12(c)所示，第一移动线材45上升所定的冲程，此时被加热物40被转置于安装在第一移动线材45上的支撑器具48上。然后，如图12(d)所示，第一移动线材45上升时前进所定的冲程，另一方面，第二移动线材41后退所定的冲程。最后，如图12(d)所示，第一移动线材45下降，此时被加热物40被转置于安装在第二移动线材41上的支撑器具44上，各线材返回当初的位置。通过重复进行这些动作，能够搬送被加热物40，使得一边通过热处理炉(未图示)内一边进行所定的热处理成为可能。

这样以2种线材相对于热处理炉进行不同的动作构成，使各线材小幅地动作的话，与仅一个线材移动的结构相比，能够缩短停止被加热物的时间，是活动梁那种间歇搬送方式，得到近似于带式输送机那种连续的搬送方式的搬送动作。

在本发明的第二搬送机构中，在搬送机构的动作中，安装在2种线材中的一个上的支撑器具和安装在另一个上的支撑器具设定支撑器具的安装位置、安装间隔、两线材的配置间隔、动作范围等以使其相互不干涉。

支撑器具的安装间隔(安装间距)较好是采用能够一直以3个或其以上的支撑器具支撑搬送机构上的各被加热物的安装间隔。这是因为，支撑各被加热物的支撑器具在2个或其以下的话，难以稳定地支撑被加热物，对于在搬送机构的动作中一直稳定地支撑被加热物需要以至少3个支撑器具支撑(3点支撑)。但是，使支撑器具的安装间隔变窄而过多地增加支撑各被加热物的支撑器具的话，虽然可以提高支撑的稳定性，但由于有线材的重量和搬送机构的热容量增大的缺点，从而理想的是调整成以得到上述那样稳定的支撑的最低限个数的3个支撑器具来支撑各被加热物。

还有，如图13那样，作为安装在同种线材上的上述支撑器具的位置关系，较好是采用安装在配置于搬送路径中间线L右侧的线材31a上的支撑器具34a和安装在配置于搬送路径中间线L左侧的线材31b上的支撑器具34b在与被加热物的搬送方向正交的方向不存在相对位置的位置关系。同样地，较好是采用安装在配置于搬送路径中间线L右侧的线材35a上的支撑器具38a和安装在配置于搬送路径中间线L左侧的线材35b上的支撑器具38b在与被加热物的搬送方向正交的方向不存在相对位置的位置关系。这样，作为安装在同种线材上的支撑器具的位置关系，通过使在搬送方向上的安装位置错开以使得中间线L的右侧左侧的支撑器具不存在相对位置，由于以比较宽的安装间隔也能够确保3个支撑器具对被加热物的支撑，所以，减少必要的支撑器具的数目，进一步减少热容量成为可能。此外，通过使用这种方法等，能够使支撑器具的安装间隔比线材在前后方向的移动冲程大很多的话，由于安装在2种线材的一种线材上的支撑器具和安装在另一种线材上的支撑器具在搬送机构的动作中能够采用在搬送方向中不交叉的位置关系，从而容易防止支撑器具之间的物理干涉。

作为具体的设计尺寸，在被加热物在搬送方向的长度为X时，使安装在2种线材上的支撑器具的安装间隔K不到X的2/3。使安装在2种线材上的支撑器具在搬送方向最接近时两者的间隔为S时，各线材以1个冲程使被加热物在搬送方向移动的距离D为D＝(K/2)-S。通过2种线材各自动作1次(1个循环)，被加热物移动2个冲程。因此，使被加热物的移动速度为Y的话，2种线材各动作一次(一个循环)所要的时间T为T＝2×D/Y。该动作时间T是由被加热物的尺寸和重量决定的，但由于不能够极短，所以在想提高被加热物的移动速度Y时，需要增长上述距离D。

本发明者们用一条边的尺寸为150mm的正方形太阳电池基板为被加热物，如下设定上述各尺寸来进行搬送时，确认了支撑器具不相互干涉可进行稳定搬送。

X＝150(mm)

K＝90(mm)

S＝15(mm)

D＝30(mm)

Y＝15(mm/sec)

T＝4(sec)

作为在本发明中使用的线材，是具有可耐炉内温度的耐热性和能够给与必要的张力的线材的话，对其材质和形状没有限制，可举出例如，镍铬合金、钛等金属的扭绞线，直径1～2mm的细棒做成的线状物，或者由同样耐热性优良的金属或陶瓷做成的链状物。此外，对第一搬送机构来说，为了降低与被加热物的接触面积，也可以在线材的表面以所定间隔设置突起或短棒。

本发明的热处理炉是具备上述本发明的第一或第二搬送机构作为炉内的被加热物的搬送机构的热处理炉，通过使用该热处理炉进行被加热物的热处理，能够在实际的热处理中享受到利用上述本发明的第一或第二搬送机构所得到的效果。此外，本发明的热处理方法是在热处理炉内一边使用上述本发明的第一或第二搬送机构进行被加热物的搬送一边进行被加热物的热处理，通过用该热处理炉进行被加热物的热处理，同样能够在实际的热处理中享受到利用上述本发明的第一或第二搬送机构所得到的效果。还有，对本发明的热处理炉以及热处理方法来说，最好是使用远红外线加热器或近红外线加热器作为对被加热物进行热处理的加热装置。

本发明的被加热物的炉内支撑方法是在对被加热物进行热处理的热处理炉内通过使被加热物支撑在绷紧在炉内的线材上，使被加热物从炉内壳隔离的方法。在热处理炉内，对被加热物进行热处理时需要被加热物不与炉内壳接触而以从炉内壳隔离的状态支撑被加热物，从这样使被加热物从炉内壳隔离的支撑方法的观点来看，例如网带那种支撑部件由于热容量大、与被加热物的接触面积也大，从而不能说是好的支撑材料。

在本发明的炉内支撑方法中，通过使用热容量小、并且与被加热物的接触面积小的线材作为支撑材料，把被加热物支撑在该线材上，通过使被加热物从炉内壳隔离，能够降低对被加热物进行加热所要的能量，同时，能够减小支撑材料给与被加热物的热的影响。还有，对该炉内支撑方法来说，可以是线材像上述搬送机构那样以支撑被加热物的状态移动，也可以不移动而仅以使被加热物从炉内壳隔离的状态支撑。

本发明能够适合地用作在热处理炉内用于依次搬送被加热物、例如在太阳电池基板等基材上形成有功能薄膜材料的多个基板的搬送机构和使用了该搬送机构的热处理炉以及热处理方法，还可用作炉内的支撑方法。

采用本发明的第一以及第二搬送机构的话，即使在热处理炉内搬送中的基板等被加热物产生破裂的场合，也能够容易使该破裂的被加热物自由掉落而正常地搬送剩余的被加热物。因此，不会像以前那样，因搬送中产生破裂的被加热物妨碍其后一次被搬送的其它被加热物的前进而堆积起来产生许多次品。此外，由于不需要为去除产生破裂的被加热物而暂时停止搬送机构，从而能够提高热处理炉的工作效率。此外，本发明的搬送机构由于使用线状物等线材来搬送被加热物，所以，热容量非常小，能够降低能量费用，此外，加热物迅速的加热以及冷却成为可能，能够用理想的加热模式进行被加热物的热处理。此外，在本发明的第二搬送机构中，由于利用安装在线材上的支撑器具，仅与被加热物的边缘部接触来支撑被加热物，从而不会对被加热物的背面产生因与线材和支撑器具的接触导致的坏影响。

本发明的热处理炉由于具备上述本发明的搬送机构作为炉内的被加热物的搬送机构，所以，通过使用该热处理炉进行被加热物的热处理，能够在实际的热处理中享受到利用上述本发明的搬送机构所得到的效果。此外，本发明的热处理方法由于在热处理炉内一边使用上述本发明的搬送机构进行被加热物的搬送，一边进行被加热物的热处理，所以，通过用该热处理方法进行被加热物的热处理，能够同样地在实际的热处理中享受到利用上述本发明的搬送机构所得到的效果。

在本发明的炉内支撑方法中，通过使用热容量小并且与被加热物的接触面积小的线材作为支撑线材，在该线材上支撑被加热物，通过使被加热物从炉内壳隔离，能够降低对被加热物加热所需要的能量，同时，能够减小支撑部件给与被加热物的热的影响。

Claims (22)

1.一种搬送机构，是在对被加热物进行热处理的热处理炉内为依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，其特征在于：

具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材，把上述被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动来进行上述被加热物的搬送。

2.根据权利要求1所述的搬送机构，其特征在于：分别具有2根或其以上以所定间隔配置成相对于上述热处理炉进行相互不同的活动梁的动作的2种线材或相互以所定间隔配置成一根固定在上述热处理炉同时另一根相对于上述热处理炉进行活动梁的动作的2种线材。

3.根据权利要求1所述的搬送机构，其特征在于：分别具有2根或其以上固定在热处理炉中并在上面设有所定高度的支撑栓的梁和设置成相对于热处理炉移动的线材。

4.根据权利要求1所述的搬送机构，其特征在于：设置在保持与相对于上述热处理炉移动的线材轻轻接触的状态下与上述线材同期动作的振动抑制部件。

5.根据权利要求1至4任何一项所述的搬送机构，其特征在于：上述被加热物是在基材上形成有功能薄膜材料的基板。

6.根据权利要求5所述的搬送机构，其特征在于：上述基板是太阳电池基板。

7.一种热处理炉，其特征在于：具备权利要求1至6任何一项所述的搬送机构。

8.根据权利要求7所述的热处理炉，其特征在于：具备远红外线加热器或近红外线加热器作为用于对被加热物进行热处理的加热机构。

9.一种热处理方法，其特征在于：在热处理炉内，一边使用权利要求1至6任何一项所述的搬送机构来进行被加热物的搬送，一边进行上述被加热物的热处理。

10.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于：使用远红外线加热器或近红外线加热器作为用于对被加热物进行热处理的加热机构。

11.一种搬送机构，是在对被加热物进行热处理的热处理炉内为依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，其特征在于：具有，以所定间隔配置成相对于上述热处理炉进行相互不同的动作的2种线材或相互以所定间隔配置成一根固定在上述热处理炉中同时另一根相对于上述热处理炉移动的2种线材，上述2种线材在搬送路径的中间线左右两侧分别每多根平行地配置，在上述2种线材的各自上，沿搬送方向隔开间隔安装多个仅与上述被加热物的边缘部接触来支撑上述被加热物的支撑器具。

12.根据权利要求11所述的热处理方法，其特征在于：上述支撑器具是通过用其结构的一部分夹住在搬送路径中间线左右两侧分别每多根平行地配置的上述线材来安装到上述线材上的支撑器具。

13.根据权利要求11或12所述的搬送机构，其特征在于：上述支撑器具具有以安装在上述线材上的状态朝向搬送路径的中间线变低而倾斜的倾斜部位，仅在该倾斜部位与上述被加热物的边缘部接触来支撑上述被加热物。

14.根据权利要求11至13任何一项所述的搬送机构，其特征在于：上述2种线材内，一种线材以恒定的移动冲程周期性重复上升、前进、下降、后退的动作，另一种线材以恒定的移动冲程周期性重复前进、后退的动作。

15.根据权利要求11至14任何一项所述的搬送机构，其特征在于：作为安装在同种线材上的上述支撑器具的位置关系，采用安装在配置于上述搬送路径的中间线右侧的线材上的上述支撑器具和安装在配置于上述搬送路径的中间线左侧的线材上的上述支撑器具在与上述被加热物的搬送方向正交的方向不存在相对位置的位置关系。

16.根据权利要求11至15任何一项所述的搬送机构，其特征在于：上述被加热物是在基材上形成有功能薄膜材料的基板。

17.根据权利要求16所述的搬送机构，其特征在于：上述基板是太阳电池基板。

18.一种热处理炉，其特征在于：具备权利要求11至17任何一项所述的搬送机构。

19.根据权利要求18所述的热处理炉，其特征在于：具备远红外线加热器或近红外线加热器作为用于对被加热物进行热处理的加热机构。

20.一种热处理方法，其特征在于：在热处理炉内，一边使用权利要求11至17任何一项所述的搬送机构来进行被加热物的搬送，一边进行上述被加热物的热处理。

21.根据权利要求20所述的热处理方法，其特征在于：使用远红外线加热器或近红外线加热器作为用于对被加热物进行热处理的加热机构。

22.一种被加热物的炉内支撑方法，其特征在于：在对被加热物进行热处理的热处理炉内，通过把上述被加热物支撑在绷紧在炉内的线材上使上述被加热物从炉内壳隔离。

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