CN1745040A - 催化剂组件和配有所述催化剂组件的废液处理装置 - Google Patents
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Abstract
一种催化剂组件，其包含用于废液流入的通道及其用纤维活性炭形成的分隔壁，其中所述纤维活性炭具有附着于其上或包含于其中的催化剂，并且其中所述废液从通道内部通过分隔壁排出；上述催化剂组件具有为管束形式的多个上述通道；并且上述催化剂组件中所述分隔壁包含由多片层压纤维活性炭组成的纤维活性炭层。
Description
技术领域
本发明涉及通过应用纤维活性炭分解各种废液中的组分的处理技术，如处理含过氧化氢的废液的技术。更具体地，其涉及通过应用形成片的纤维活性炭而得到极好处理效率的技术。
背景技术
各种废液如由半导体或液晶生产过程排放的含过氧化氢的废液处理方法的例子通常包括：包含酶降解的方法；包含化学中和的方法；和包含催化剂分解的方法。
包含酶降解的方法通常需要预定的反应时间并因而需要大的反应罐。另外，必须给反应罐配备搅拌设施，因此反应器本身可能根据水的体积而在尺寸上显著增加。
包含化学中和的方法存在中和时需要应用酸和碱化学物质的问题，以及形成中和副产品的问题。在废液处理中，必须使排出处理系统的这些化学物质和副产品最少。因此需要附加的处理设施等。
包含催化剂分解的方法不存在与化学物质、副产品等相关的问题。另外，反应进行得相对较快，因此对连续的废液处理过程来说该方法是合适的。但是，当催化剂以颗粒状态存在时，催化剂较小的比表面积将会抑制处理效率的提高，因而倾向于增大反应器本身的尺寸。当催化剂以颗粒状存在并且在废液组分的分解反应中产生气体时，为了使气体排出系统，反应器必须具有通道结构来引导废液向上流动。这种情况存在有催化剂物理磨损的问题，并且磨损后的催化剂易于以细粉向上分散。
同时，最近开发了纤维活性炭。纤维活性炭被模制为片，然后螺旋状卷起，作为筒型催化剂组件而应用(JP 07-144189A)。
应用这种通过使活性炭形成片并螺旋卷起活性炭片而制备的催化剂层可以抑制细粉的产生，但其问题在于废液流通阻力增大，因此很难进行高速处理。当催化剂层含有缠绕的纤维活性炭时，通常很难使废液与催化剂层均匀接触而进行反应，在废液入口部分，催化剂层易于不能起到足够作用。另外，废液中存在细粉易于使废液入口堵塞。当在部分催化剂层上进行反应并且通过催化剂层内的反应产生气体时，气体不能平稳地排出。因此无法确保有效的废液处理。
因此，本发明提供：一种采用能有效进行废液处理的纤维活性炭的催化剂组件；和配有所述催化剂组件的废液处理装置。
发明内容：
本发明的发明者对能够实现有效废液处理的催化剂组件的构造进行了许多研究。本发明的发明者已经发现：具有如下构造的催化剂组件能够在催化剂组件中形成均匀的催化反应区域，并可进行有效的废液处理：其中多个废液入口通道以管束形式进行排列，或废液入口通道的分隔壁由纤维活性炭层构成。因此，本发明人完成了按如下所述构造的本发明。
(1)一种催化剂组件，其具有用于废液流入的废液入口通道，入口通道的分隔壁由纤维活性炭形成，其中：纤维活性炭用催化剂浸渍或含有催化剂；废液入口通道中的废液通过分隔壁并排出废液入口通道。
(2)上述第(1)项的催化剂组件，其中多个废液入口通道以管束形式排列。
(3)上述第(2)项的催化剂组件，其中多个废液入口通道中的每一个均在第一分隔壁和第二分隔壁之间形成，其中所形成的第一分隔壁具有波纹区，而第二分隔壁贴着第一分隔壁的一个侧面排列。
(4)上述第(3)项的催化剂组件，其中第一分隔壁和第二分隔壁同心或螺旋状排列。
(5)上述第(1)-(4)任一项的催化剂组件，其中纤维活性炭用作为催化剂的银浸渍或含有银。
(6)上述第(2)-(4)任一项的催化剂组件，包括包围在管束状排列的多个废液入口通道外周边的表面层，其中所述表面层由抑制液体通过的材料形成。
(7)上述第(6)项的催化剂组件，其中所述表面层由抑制液体通过但允许气体通过的材料形成。
(8)上述第(1)项的催化剂组件，其中所述分隔壁由纤维活性炭层形成，而所述纤维活性炭层通过层压多层片状纤维活性炭而制备。
(9)上述第(8)项的催化剂组件，其中所述分隔壁包含凸出到废液入口通道内的凸出部件。
(10)上述第(8)项的催化剂组件，其中所述片状纤维活性炭形成具有下端开口的袋。
(11)上述第(8)项的催化剂组件，其中在片状纤维活性炭层之间排列有丝网元件。
(12)上述第(8)项的催化剂组件，其中：废液入口端口设在废液入口通道下端；而与入口端口相对的废液入口通道端封闭以阻止液体通过。
(13)上述第(8)-(12)任一项的催化剂组件，其中纤维活性炭用作为催化剂的银浸渍或含有银。
(14)一种废液处理装置，包括能够容纳一个或多个上述第(1)-(4)任一项的催化剂组件的废液处理罐，其中：所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；并且在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
(15)一种废液处理装置，包括能够容纳一个或多个上述第(5)项的催化剂组件的废液处理罐，其中：所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；并且在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
(16)一种废液处理装置，包括能够容纳一个或多个上述第(8)-(12)任一项的催化剂组件的废液处理罐，其中：所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；并且在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
(17)一种废液处理装置，包括能够容纳一个或多个上述第(13)项的催化剂组件的废液处理罐，其中：所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；并且在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
(18)上述第(15)项的废液处理装置，其中多个催化剂组件平行于废液流入方向装在所述废液处理罐中。
附图说明
图1是催化剂组件的透视图。
图2是催化剂组件的放大剖面图。
图3是通过使第一分隔壁和第二分隔壁连接在一起而形成的纤维活性炭的剖面图。
图4是与图1的催化剂组件构造不同的催化剂组件的透视图。
图5是另一种构造的催化剂组件的透视图。
图6是另一种构造的催化剂组件的透视图。
图7是另一种构造的催化剂组件的透视图。
图8是催化剂组件的制备方法的示意图。
图9的透视图表示了在分隔壁中配有凸出部件的催化剂组件的一个例子。
图10的透视图表示了在分隔壁中配有凸出部件的催化剂组件的另一个例子。
图11的透视图表示了在分隔壁中配有凸出部件的催化剂组件的另一个例子。
图12是图9所示的催化剂组件的制备方法的示意图。
图13是图10所示的催化剂组件的制备方法的示意图。
图14是图11所示的催化剂组件的制备方法的示意图。
图15是催化剂组件的另一种制备方法的示意图。
图16是形成片或袋状的纤维活性炭的透视图。
图17是废液处理装置的剖面图。
图18的透视图表示了废液处理装置的内部。
图19是半导体基质生产装置的流程图。
具体实施方式
下面，通过参考附图更为详细地描述实施本发明的最佳方式。
(催化剂组件)
图1是催化剂组件10的透视图。如图1所示，催化剂组件10配有多个为管束形式的用于废液流入的废液入口通道12。也就是说，在催化剂组件10中，排列多个废液入口通道12使得通道线按同一方向排列。废液入口通道12具有纤维活性炭制成的分隔壁。分隔壁使废液入口通道12相互之间分开。应该注意的是，对于废液入口通道12的截面形状来说，不作任何特别限制，可以应用各种形状。
图2是催化剂组件10的放大剖面图。如图2所示，催化剂组件10中的废液入口通道12在第一分隔壁14a和第二分隔壁14b之间形成，其中第一分隔壁形成具有起伏(波纹)型的不均匀区，而第二分隔壁对应于第一分隔壁14a的一侧排列。第一分隔壁14a和第二分隔壁14b分别由片状纤维活性炭形成。第一分隔壁14a和第二分隔壁14b整体上环状交替排列。
图3是通过使第一分隔壁14a和第二分隔壁14b连接在一起而形成的纤维活性炭的剖面图。如图3所示，第一分隔壁14a和第二分隔壁14b连接在一起并螺旋卷起，从而得到具有多个以管束状排列的废液入口通道12的催化剂组件10。也就是说，第一分隔壁14a和第二分隔壁14b可以环状交替排列，它们也可以连接在一起然后螺旋卷起。第一分隔壁14a和第二分隔壁14b可以通过粘接剂相互之间粘附在一起，它们也可以通过合成树脂等熔合在一起。
图4是具有与图1的催化剂组件10不同构造的催化剂组件20的透视图。如图4所示，催化剂组件20中的废液入口通道22由纤维活性炭的圆柱形管子24形成。也就是说，所形成的催化剂组件20使得多个管子24被捆在一起，从而其相互之间在各侧表面处接触。管子24用作形成废液入口通道22的分隔壁。在这种情况下，相邻管子24之间的空间也用作废液入口通道，用于废液流入。
图5是另一种构造的催化剂组件30的透视图。如图5所示，催化剂组件30中的废液入口通道32以蜂窝状提供，其通过多个分隔壁34分隔圆柱状纤维活性炭的内部而形成。在这种情况下，催化剂组件30可以通过组合预先模制成片的纤维活性炭而构造，或者催化剂组件30可以通过整体模制纤维活性炭而构造。
图6是另一种构造的催化剂组件40的透视图。如图6所示，催化剂组件40配有包围在多个以管束状排列的废液入口通道42的外周边的表面层44。也就是说，表面层44排列在最外层废液入口通道42a的外周边上。表面层44由薄片状材料构成，从而阻止液体通过。因此，可以阻止未处理的废液分散出催化剂组件40。可以提高未处理废液与纤维活性炭中催化剂之间的接触效率。
另外，表面层44可以由具有选择渗透性的材料形成，从而抑制液体通过但允许气体通过。由具有选择渗透性的材料形成的表面层44可以使催化剂组件40中通过分解反应等产生的气体与废液分离，并使气体迅速排出系统。
表面层44可以由具有选择渗透性或选择阻隔特性的已知材料构成。例如，抑制液体和气体通过的表面层44可以通过通用的树脂涂层来形成。抑制液体通过但允许气体通过的表面层44可以通过用具有选择渗透性的商购材料涂覆或覆盖而形成。
图7是另一种构造的催化剂组件50的透视图。如图7所示，催化剂组件50配有由纤维活性炭的分隔壁54形成的废液入口通道52。首先，提供给催化剂组件50的未处理废液流入在催化剂组件50内部形成的废液入口通道52。然后未处理废液通过纤维活性炭的分隔壁54并排出催化剂组件50。分隔壁54由通过层压多层片状纤维活性炭而形成的纤维活性炭层58构成。废液向上通过设在废液入口通道52下端的入口端口56，通过纤维活性炭层58，并从催化剂组件50排出。催化剂组件50可以为各种形状，但优选为圆柱形。
流入废液的废液入口通道52的高度可以低于催化剂组件50的上端，但是废液入口通道52优选与催化剂组件50的高度相同。允许液体通过的圆柱部件可以作为废液入口通道52内部的芯部件而提供。芯部件也可以用作催化剂组件50的结构支撑部件。芯部件可以由具有丝网状壁部分的圆柱状部件构成，也可以由具有树脂、陶瓷或金属的多孔壁部分的圆柱状部件构成。
如图7的催化剂组件50所示，关于废液入口通道52的上端和下端，与设置在废液入口通道52下端的入口端口56相对的一端优选被封闭，以阻止液体通过(即上端被封闭)。更优选地，封闭催化剂组件50的整个上端，包括废液入口通道52的上端。封闭方法可以采用在催化剂组件50的上部粘接封闭部件55而密封的方法。封闭部件55优选由具有选择渗透性的材料形成，该材料抑制液体通过但允许气体单独通过。催化剂组件50配有封闭部件55。因而流入废液入口通道56的废液通过纤维活性炭层58并被迫从催化剂组件50中排出。以这种方式，可以提高废液处理的催化反应效率。
图8是催化剂组件50的制备方法的示意图。如图8所示，应用片状纤维活性炭51可以很容易地生产催化剂组件50。也就是说，绕圆柱形核心元件53卷绕(形成片状)纤维活性炭51几次可以很容易地生产催化剂组件50。应该注意的是，核心元件53由允许液体通过的元件如热塑性合成树脂的丝网元件形成。这种结构为催化剂组件50提供较好的形状保持特性，并有利于保持强度。片状纤维活性炭51可以通过如下过程得到：一种方法包括将纤维活性炭与另一种粘接剂纤维如聚乙烯纤维或聚丙烯纤维混合，并通过造纸方法使混合物形成片；和一种方法包括将含金属的纤维活性炭与具有鞘包芯结构的聚酯复合纤维均匀混合，并通过干燥过程使混合物形成片。
形成圆柱状的催化剂组件50，可以具有凸出部件，该凸出部件从分隔壁54的内壁凸出到废液入口通道52中。当形成这种凸出部件时，流出催化剂组件50的废液通过凸出部件时会加速。
图9-11的每一个透视图均表示在分隔壁中配有凸出部件的催化剂组件的例子。
如图9所示，催化剂组件60配有：由纤维活性炭层形成的分隔壁61；和从分隔壁61的内壁伸出进入废液入口通道62内的凸出部件63。如图9所示，凸出部件63可以构造为肋形，其沿分隔壁61的内壁部分的内周边以规则的间距凸出，并沿催化剂组件60的纵向方向延伸。
如图10所示，催化剂组件64配有：由纤维活性炭层形成的分隔壁65；和从分隔壁65的内壁伸出进入废液入口通道66内的凸出部件67。如图10所示，凸出部件67可以以板状结构提供，其在废液入口通道66的内部向相反于内壁的方向延伸。
如图11所示，催化剂组件68配有：由纤维活性炭层形成的分隔壁69；和从分隔壁69的内壁伸出进入废液入口通道70内的凸出部件71。如图11所示，凸出部件71可以以板状结构提供，其延伸至整个废液入口通道70内。
应该注意的是，与其它元件类似，所形成的凸出部件63、67和71也允许废液通过。也就是说，凸出部件63、67和71由纤维活性炭形成。
图12-14分别为图9-11所示的催化剂组件60、64或68的制备方法的示意图。
如图12所示，可以通过使纤维活性炭层向内弯曲形成分隔壁61而在催化剂组件60的分隔壁61上形成凸出部件63。如图13所示，可以通过部分拉出且弯曲纤维活性炭层的内层形成分隔壁65，从而在催化剂组件64的分隔壁65上形成凸出部件67。如图14所示，可以通过形成两个纤维活性炭层的圆柱形元件而在催化剂组件68的分隔壁69上形成凸出部件71，其中所述圆柱形元件均具有半圆形截面，并将两个圆柱形元件粘合在一起使它们的扁平面相互面对。粘合在一起的扁平面用作凸出部件71。
图15是催化剂组件64的另一种制备方法的示意图。应用圆柱形芯元件80和片状纤维活性炭82可以很容易地制备图13所示的催化剂组件64。
如图15所示，为了生产催化剂组件64，制备由热塑性合成树脂构成的圆柱形芯元件80，并沿芯元件80的纵向方向形成长且薄的小裂缝84。片状纤维活性炭82的一端插入小裂缝84中，并按一个方向旋转芯元件80。这样，片状纤维活性炭82绕着芯元件80的周边卷起，从而产生催化剂组件64。当所形成的小裂缝84的上端和下端中至少一端开放时，则不必要的芯元件80可以向上或向下从所生产的催化剂组件64中抽出。当芯元件80由允许液体通过的元件(如丝网元件)形成时，芯元件80可以保留在催化剂组件64的内部。
图16是形成片或袋状的纤维活性炭90的透视图。形成单片的纤维活性炭可以用作片状纤维活性炭。但是，如图16所示，形成具有下端开口的袋的纤维活性炭也可以用作片状纤维活性炭。当应用袋状纤维活性炭90时，可以丝网元件92通过下端开口94插入纤维活性炭90，其中所述丝网元件通过使热塑性合成树脂形成丝网而得到。插入丝网元件92使得纤维活性炭90保持预定层间距。按这种方式，可以增强在纤维活性炭层90内部的废液的通过特性。其结果是，应用袋状纤维活性炭90可以增强用于废液处理的催化反应的效率，而不增加废液的流通阻力。
在该实施方案中，用于形成催化剂组件分隔壁的纤维活性炭的例子包括：通过使纤维活性炭与另一种粘接剂纤维如聚乙烯纤维或聚丙烯纤维混合、并通过造纸方法使混合物形成片而制备片状纤维活性炭；和使通过结合等方法形成的含废液处理催化剂如银的纤维活性炭与具有鞘包芯结构的聚酯复合纤维混合、并通过干燥过程使混合物形成片而制备的片状纤维活性炭。
为了形成圆柱状纤维活性炭，通过应用几个百分比的有机聚合物如聚乙烯亚胺、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、聚乙烯纤维或聚丙烯纤维作粘接剂，在水中分散纤维活性炭而制备浆液。然后在减压的条件下通过应用具有无纺布设施的圆柱形过滤器过滤所述浆液而形成圆柱纤维活性炭。
沥青基纤维活性炭、丙烯酸类纤维活性炭、酚基纤维活性炭、纤维素基纤维活性炭等都可用作形成催化剂组件的纤维活性炭。但是，具有非常好抗氧化性的沥青基纤维活性炭是优选的。
向纤维活性炭中添加或其中含有的催化剂的例子包括金属如铁、 钴、镍、锰和银。其中银是特别优选应用的。催化剂的进一步例子可以包括化合物如金属的氧化物或氢氧化物。相对于纤维活性炭的量而言，用作催化剂的金属的量优选为0.01-5wt％。如果金属含量低于0.01wt％，被纤维活性炭本身造成的分解将大于金属所造成的分解，则纤维活性炭可能会被大量消耗。相反，如果金属含量超过5wt％，则纤维活性炭很难含有以细小颗粒存在的金属，并且过氧化氢的分解效率降低。另外，金属含量大于5wt％将是很昂贵的，特别是对钴、镍、银等而言。
用作催化剂的金属可以通过任意方法包含在纤维活性炭中。例如，银可以通过包含如下步骤的方法而包含在纤维活性炭中：在硝酸银的水溶液中浸泡纤维活性炭；从溶液中取出纤维活性炭；使其脱水；和使其加热以分解硝酸银。另外，银可以通过包含银镜面反应或加入的方法而包含在纤维活性炭中。锰作为催化剂，可以通过包含如下的方法而包含在纤维活性炭中：向氯化锰水溶液中吹入臭氧以使其氧化；和在纤维活性炭上吸附所产生的氧化锰和锰离子。另外，锰可以通过包含使二氧化锰的电解细颗粒与片状纤维活性炭混合的方法而作为催化剂包含在纤维活性炭中。
应用上述催化剂组件可以形成废液处理装置，从而有可能形成均匀的催化反应区域和有效的废液处理。
(废液处理装置)
下面，将通过参考附图描述采用所述催化剂组件的废液处理装置的具体结构实施例。
图17是废液处理装置100的剖面图。如图17所示，废液处理装置100配有：催化剂组件102；能够容纳一个或多个催化剂组件102的废液处理罐104。废液处理罐104配有：提供废液的供给接口106；和向后续过程排放废液的排放接口108，其中所述废液通过催化剂组件102并在其中经过处理。
构造废液处理罐104用于临时贮存从催化剂组件102排出的处理液体，并在预定液位时从排出接口108排出所贮存的处理液体。在废液处理装置100中，当在催化剂组件102的外周边上提供表面层110时，处理后的废液仅从催化剂组件102的上表面处排放入废液处理罐104。与之相对比，当在催化剂组件102的外周边上不提供表面层110时，则处理废液从催化剂组件102的外周边排放入废液处理罐104。
当催化剂组件102配有表面层110时，催化剂组件102中的催化反应可能被加速。与之相对比，当在催化剂组件102中不提供表面层110时，催化剂组件102的外表面暴露于在废液处理罐104中贮存的废液中。因此，催化反应在废液处理罐104中的废液和催化剂组件102的外表面之间进行。
废液处理装置100的尺寸优选为几乎能够包含催化剂组件102的整个高度。用于排放贮存废液(处理液)的液位优选具有与废液处理罐104中催化剂组件102基本相同的高度。对于在预定液位时排放贮存废液来说，优选提供能够临时接收由废液处理罐104上端排出的废液的环形槽112，并且排放接口108优选设在槽112的底部。
图18的透视图表示了废液处理装置100的内部。应该注意的是，图18所示的废液处理装置100在废液处理罐104内部装有多个催化剂组件102。当废液处理罐104平行于废液流入方向装有多个催化剂组件102时，可以很容易地增加单位时间的废液处理量。
上述废液处理装置100可以用于含过氧化氢的废液的处理过程。具体地说，废液处理装置100可以用于在半导体基板生产装置中基质洗涤所排放的废液的处理过程，或者在液晶生产装置中废液的处理过程。
图19是半导体基质生产装置的流程图，是本发明的废液处理装置的一个应用实施例。如图19所示，在废液处理装置100的上游，配有废液贮罐120、pH控制罐122、过滤器126等。用于贮存处理废液的处理液贮罐124设在废液处理装置100的下游。在废液处理罐104的上游提供pH控制罐122来增加废液处理装置100中的催化反应的效率。另外，在废液处理装置100上游的上游提供过滤器126用于脱除废液中的杂质如残渣和灰尘，以防止催化剂组件102的堵塞等情况发生。依据所要脱除的目标物质，过滤器126的过滤水平可以在约1-300μm之间选择。
废液处理装置100可以配有能够控制废液处理罐104内温度为合适的催化反应温度的温度控制设施。例如，可以在废液处理罐104的外周边上提供夹套类加热设施、冷却设施等，以控制废液的温度。废液的温度优选控制在15℃或更高且60℃或更低。废液温度为15℃或更低会降低过氧化氢的分解速率。废液温度超过60℃则需要各种设施来隔热。废液温度更优选控制在30℃或更高及50℃或更低。
如图19所示，含过氧化氢的废液从半导体生产装置128中排出，经过中间罐130后通过泵132输送到废液处理装置100中。正如上面所述，在pH控制罐122中，调节含过氧化氢的废液，使其具有适合催化反应的pH值。对控制pH的化学物质不作具体限定，但是可以应用通常应用的无机化学物质如苛性钠。
催化剂组件102和上述废液处理装置100可以用于半导体基板或液晶生产过程排放的废液的处理，也可以用于食品生产过程或食品加工过程排放的废液的处理。通过催化反应所分解的废液组分的例子包括：过氧化氢、硫酸/过氧化氢溶液(硫酸和过氧化氢溶液的混合液体)、氨/过氧化氢溶液(氨水和过氧化氢溶液的混合液体)和臭氧。当处理含过氧化氢的废液时，作为在催化剂组件上载带的催化剂，银是特别优选的。
按照本发明，应用具有较大比表面积的纤维活性炭。构造催化剂组件和处理设备都为了提供有效的接触状态，从而达到较高的处理效率。另外，增加废液的供给速率，可以很容易地提高处理能力。其结果是，在较高的处理效率下可以很容易地增加处理能力。例如，可以很容易地达到50或更高的空速(SV)。
在操作的开车阶段，只要pH值和温度可以适当控制，则不需要特别的预先过程，并且可以提供废液立即开始处理过程。
例如，按照本发明的处理方法，当处理含约5000ppm过氧化氢的废液时，可以达到99％或更高的分解效率。
Claims (18)
1.一种催化剂组件，其具有用于废液流入的废液入口通道，所述入口通道的分隔壁由纤维活性炭形成，其中：
所述纤维活性炭用催化剂浸渍或含有催化剂；和
所述废液入口通道中的废液通过分隔壁并排出废液入口通道。
2.权利要求1的催化剂组件，其中多个废液入口通道以管束形式排列。
3.权利要求2的催化剂组件，其中多个废液入口通道中的每一个均在第一分隔壁和第二分隔壁之间形成，其中所形成的第一分隔壁具有波纹区，而第二分隔壁沿着第一分隔壁的一侧排列。
4.权利要求3的催化剂组件，其中第一分隔壁和第二分隔壁同心或螺旋状排列。
5.权利要求1-4任一项的催化剂组件，其中纤维活性炭用作为催化剂的银浸渍或含有银。
6.权利要求2-4任一项的催化剂组件，包括包围在以管束状排列的多个废液入口通道外周边的表面层，其中所述表面层由抑制液体通过的材料形成。
7.权利要求6的催化剂组件，其中所述表面层由抑制液体通过但允许气体通过的材料形成。
8.权利要求1的催化剂组件，其中所述分隔壁由纤维活性炭层形成，而所述纤维活性炭层通过层压多层片状纤维活性炭而制备。
9.权利要求8的催化剂组件，其中所述分隔壁包含凸出到废液入口通道内的凸出部件。
10.权利要求8的催化剂组件，其中两个或多个片状纤维活性炭进一步形成包含下端开口的袋。
11.权利要求8的催化剂组件，其中在片状纤维活性炭之间设置丝网元件。
12.权利要求8的催化剂组件，其中：
废液入口端口设在废液入口通道下端；和
与入口端口相对的废液入口通道端封闭以阻止液体通过。
13.权利要求8-12任一项的催化剂组件，其中纤维活性炭用作为催化剂的银浸渍或含有银。
14.一种废液处理装置，包括能够容纳至少一个权利要求1-4任一项的催化剂组件的废液处理罐，其中：
所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；和
在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
15.一种废液处理装置，包括能够容纳至少一个权利要求5的催化剂组件的废液处理罐，其中：
所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；和
在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
16.一种废液处理装置，包括能够容纳至少一个权利要求8-12任一项的催化剂组件的废液处理罐，其中：
所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；和
在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
17.一种废液处理装置，包括能够容纳至少一个权利要求13的催化剂组件的废液处理罐，其中：
所述废液贮存罐临时贮存由催化剂组件排出的处理液体；和
在预定液位时所贮存的处理液体排出所述废液处理罐。
18.权利要求15的废液处理装置，其中多个催化剂组件平行于废液流入方向装在所述废液处理罐中。
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