CN1737548A - 目视确认装置和检查系统 - Google Patents

Abstract

一种目视确认装置和检查系统，通过提供适宜操作者检查基板缺陷的照明，能提高操作者确认缺陷时的作业效率。在目视确认装置的控制部设置照明控制部(486)。在照明控制部(486)设置方向确定部(486a)和光量确定部(486b)。将照明机构(46)制成为环状配置多个光源的分割环形照明。方向确定部(486a)和光量确定部(486b)根据作为有关缺陷的信息的缺陷数据(100)确定照明方向和照明光量。照明控制部(486)通过选择照明机构(46)的多个光源中点亮的光源来控制照明机构(46)，使得成为方向确定部(486a)确定的照明方向。控制照明机构，使点亮的光源的光量成为光量确定部(486b)确定的照明光量。

Description

目视确认装置和检查系统

技术领域

本发明涉及一种在操作者确认基板的缺陷时照明该基板的缺陷的技术。

背景技术

在操作者确认基板的缺陷时，作为辅助操作者的装置使用目视确认装置。目视确认装置具有实际情况显微镜或确认监视器。操作者观察显微镜或通过确认监视器中显示的图像数据观察缺陷，进行缺陷的确认。这样的目视确认装置中，为了操作者容易观察，一般用照明光源进行照明。

以前，提出有在检查基板的表面时将照明光调整成适当状态的技术。例如，专利文献1记载着调整照明光的光量的技术。在专利文献1中，对基板一次摄像，从图像数据获取图形的亮度，调整照明光的光量，使该亮度成为目标亮度。由此，将图形的亮度调整成与平常同样(适当的)亮度。

在专利文献2中记载着调整照明光的方向的技术。专利文献2记载着这样的技术：在摄像光轴的周围将8个照明光源配置成圆环状，在这8个照明光源之中适当选择点亮的照明光源。

专利文献1：日本专利申请特开2003-256814公报，

专利文献2：日本专利特许第3197443号公报。

但是，专利文献1记载的技术中，为了观察图形的缺陷，调整照明光成为最佳亮度，相反有不适宜观察基板的基体材料部的问题。

专利文献2记载的技术，是根据各检查项目选择照明光的照明方向的技术。因而，关于操作者检查的部分(基板缺陷)，不是提供最佳的照明。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研制的，其目的在于通过提供适宜于操作者检查基板的缺陷的照明，提高操作者确认缺陷时的作业效率。

为了解决上述问题，本发明所述的一种目视确认装置，用于操作者确认基板的缺陷，其特征是，具有：保持基板的保持装置；向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光的照明装置；将有关上述基板的缺陷的信息作为缺陷信息而获取的信息获取装置；根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷信息控制上述照明装置的照明控制装置；将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者的提供装置。

本发明所述的目视确认装置，其特征是，上述照明控制装置根据上述缺陷信息确定上述照明光的光量，以成为所确定的光量的形式控制上述照明装置。

本发明所述的目视确认装置，其特征是，上述照明控制装置根据上述缺陷信息确定上述照明光的照射方向，以成为所确定的照射方向的形式控制上述照明装置。

本发明所述的目视确认装置，其特征是，上述照明装置具有对上述基板的缺陷从相互不同的方向照射光的多个光源，上述照明控制装置通过使上述多个光源选择性地点亮，从而确定上述照明光的照射方向。

本发明所述的目视确认装置，其特征是，上述提供装置具有扩大上述基板的缺陷的像的显微镜。

本发明所述的目视确认装置，其特征是，上述提供装置还具有：将被上述照明装置照明了的上述基板的缺陷的像作为图像数据进行摄像的摄像装置；用于操作者的目视确认而画面显示上述摄像装置所摄像的上述图像数据的显示装置。

本发明所述的一种检查系统，检查基板的缺陷，其特征是，具有：检查出基板的缺陷的缺陷检查装置；操作者确认由上述缺陷检查装置检查出的上述基板的缺陷用的目视确认装置，上述目视确认装置具有：保持通过上述缺陷检查装置而检查出缺陷的基板的保持装置；向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光的照明装置；将与由上述缺陷检查装置检查出的上述基板的缺陷有关的信息作为缺陷信息、从上述缺陷检查装置通过网络而获取的信息获取装置；根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷信息控制上述照明装置的照明控制装置；将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者的提供装置。

在本发明中，通过根据信息获取装置获取的缺陷信息而控制照明装置，从而操作者能观察进行适当照明的缺陷，所以能正确且容易地目视确认缺陷。

在本发明中，通过根据缺陷信息确定照明光的光量，以成为所确定的光量的形式控制照明装置，从而能适当调整照明光。

在本发明中，通过根据缺陷信息确定照明光的照射方向，以成为所确定的照射方向的形式控制照明装置，从而能适当调整照明光。

在本发明中，具有对基板的缺陷从相互不同的方向照射光的多个光源，通过选择性点亮上述多个光源，确定上述照明光的照射方向，所以能容易确定照明光的照射方向。

在本发明中，由于具有扩大上述基板的缺陷的像的显微镜，所以操作者能直接观察基板缺陷。

在本发明中，由于用于操作者的目视确认而画面显示图像数据，而该图像数据是将被上述照明装置照明了的基板的缺陷的像作为图像数据而进行摄像的摄像装置摄像了的图像数据，所以操作者能容易观察基板缺陷。

在本发明中，由于将由缺陷检查装置检查出的有关基板的缺陷的信息作为缺陷信息，并通过网络从缺陷检查装置获取，从而能减轻操作者的作业负担。

附图说明

图1是表示包含本发明第1实施例的目视确认装置的检查系统的构成例的图。

图2是表示缺陷检查装置的构成的方块图。

图3是第1实施例的目视确认装置的正视图。

图4是第1实施例的目视确认装置的侧视图。

图5是第1实施例的目视确认装置的方块图。

图6是表示照明机构的平面图。

图7是和数据流一起表示第2实施例的控制部的功能构成的方块图。

图8是表示第1实施例的检查系统中的主要缺陷检查装置的动作的流程图。

图9是表示第1实施例的检查系统中的主要目视确认装置的动作的流程图。

图10是表示第1实施例的目视确认装置的确认处理动作的流程图。

图11是表示第1实施例的目视确认装置的确认处理动作的流程图。

图12是表示在比较光量下降的状态下对金属制的图形和涂敷抗蚀剂的部分进行摄像的实例的图。

图13是表示以中间光量对金属制的图形和涂敷抗蚀剂的部分进行摄像的实例的图。

图14是表示在比较光量上升的状态下对金属制的图形和涂敷抗蚀剂的部分进行摄像的实例的图。

图15是表示在比较光量下降的状态下对凹处缺陷进行摄像的实例的图。

图16是表示以中间光量对凹处缺陷进行摄像的实例的图。

图17是表示在比较光量上升的状态下对凹处缺陷进行摄像的实例的图。

图18是表示照射没有指向性的环状光照明而对缺陷进行摄像的实例的图。

图19是表示从规定的方向照射照射光而对缺陷进行摄像的实例的图。

图20是表示从和图19不同的方向照射照射光而对缺陷进行摄像的实例的图。

图21是第2实施例的目视确认装置的外观图。

图22是第2实施例的目视确认装置的总线配线图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的最佳实施例。

1.第1实施例

图1是表示包含本发明第1实施例的目视确认装置4的检查系统1构成例的图。检查系统1是通过网络2连接缺陷检查装置3和目视确认装置4的构成。网络2也可以是以LAN(Loca Area Network)或公用电路等在缺陷检查装置3和目视确认装置4之间用规定的通信规定能数据通信那样的网络。而且，缺陷检查装置3和目视确认装置4也可以与网络2多个连接。

图2是表示缺陷检查装置3构成的方块图。缺陷检查装置3具有：在操作者输入指示时进行操作的操作部30；显示缺陷检查装置3的操作信息等的显示部31；对作为检查对象物的基板90的检查面进行摄像的摄像部32；使摄像部32移动到规定位置的移动机构33；对用摄像部32摄像的图像数据进行处理的图像处理部34；通过网络2在和目视确认装置4之间进行数据通信的通信部35；控制其他构成的控制部36。

操作部30在操作者对缺陷检查装置3输入指示的情况等进行操作。具体地说，各种按钮类、键盘、鼠标等适宜，但也可以是跟踪球和操纵杆、触感开关面板等。显示部31是显示各种数据的液晶显示器，但也可以是LED(Light Emitting Diode)和显示灯等。

摄像部32有和一般的CCD摄像机同等的功能，作为图像数据在分割成规定尺寸的每个区间对基板90的检查面进行摄像，将已摄像的图像数据传递到图像处理部34。

移动机构33根据控制部36来的控制信号，移动摄像部32到规定位置。而且，用编码器等的传感器检出摄像部32的位置，传递给控制部36。

图像处理部34对摄像部32已摄像的图像数据(将基板90分割在每个区间并已摄像的图像数据)进行规定的图像认识处理，判定是否存在缺陷。图像处理部34根据检出的缺陷区域位置和缺陷区域的尺寸，生成缺陷数据100(图7)，传递给控制部36。

本实施例的缺陷检查装置3，作为缺陷区域位置信息，用对基板90的该缺陷区域摄像了的图像数据的中心座标和该图像数据的该缺陷区域的中心座标，作为缺陷区域的尺寸信息，用缺陷区域的纵横尺寸。但是，作为缺陷区域位置信息和缺陷区域的尺寸信息不限于这些。例如，作为表示缺陷区域位置的信息，也可以直接用对基板90的座标。作为表示缺陷区域尺寸的信息，也可以用缺陷区域的像素数量和围绕缺陷区域的圆的直径等。也可以将图像处理部34的处理的一部分制成控制部36进行的构成。

通信部35有通过控制部36获取由图像处理部34生成的缺陷数据100，并通过网络2发送到目视确认装置4的功能。控制部36由未图示的CPU和存储装置构成，执行各种数据的存储和演算，生成控制信号，由此控制缺陷检查装置3的其他构成。

图3是目视确认装置4的正视图，图4是目视确认装置4的侧视图，图5是目视确认装置4的方块图。在图3，定义水平X轴和Y0轴、铅垂Z0轴，在图4定义：

(1)从水平Y0轴在铅垂面内边向下倾斜一些边与X轴正交的Y轴；

(2)与X轴和Y轴正交的Z轴。

在该实施例Y轴和Z轴分别从Y0轴和Z轴倾斜，Y轴和Z轴也可以分别与Y0轴和Z轴一致。

目视确认装置4具有：输入操作者的指示用的操作部40；在画面上显示操作目视确认装置4用的必要信息和图像数据的确认监视器41；将基板90的缺陷地方作为图像数据进行摄像的摄像部42；保持基板90的检查载物台43；配置在检查载物台43两侧的左右一对移动机构44；使摄像部42在X轴方向移动的移动机构45；照明机构46；通信部47；控制部48。还具有有从检查载物台43的两侧部分略水平架渡的架桥构造的支持座490、在目视确认装置4的上方支持确认监视器41的支持构件491和保护摄像部42用的保护盖492。

详细后述，但目视确认装置4，在将对被检查基板90已摄像的图像数据与主图像(例如，对成为基准的基板已摄像得到的图像数据，或者从CAD数据制成的数字位标志图像数据)比较并进行检查的系统1，具有作为操作者对缺陷的某地方目视确认用的装置的功能。

操作部40在操作者对目视确认装置4输入指示的情况等操作。具体地说，各种按钮类、键盘、鼠标等适宜，但也可以是跟踪球和触感开关面板等。本实施例的目视确认装置4具有直接操作摄像部42的变焦透镜位置的转盘、和直接操作摄像部42的XY轴位置的操纵杆，作为操作部40。

确认监视器41被支持构件491支持在目视确认装置4的上部，根据控制部48来的控制信号画面显示各种数据。作为确认监视器41，例如，液晶显示器是适宜的。

摄像部42是一般的CCD摄像机，用配置在内部的2维显像元件(CCD)，对沿摄像透镜等的光轴(略垂直于X轴和Y轴的轴)入射的光进行光电变换。用光电变换得到的电信号分别作为像素值被传递给控制部48。

摄像部42具有变焦机构420和聚焦机构421。变焦机构420由于能根据控制部48来的控制信号确定摄像部42的光学系统的变焦透镜位置，所以有确定摄像部42的摄像倍率的功能。由于变焦机构420确定摄像倍率，所以能确定摄像部42的摄像领域宽度。聚焦机构421有根据控制部48来的控制信号重合摄像部42焦点的功能。

检查载物台43的上面与XY平面略平行，用操作者和未图示的搬送机构，将移送到目视确认装置4的被检查用的基板90保持在规定位置。

一对移动机构44分别被安装在支持座490的两侧，使支持座490在Y轴方向移动。因此，用控制部48能控制支持座490的移动量和位置。移动机构45被安装在支持座490上，沿支持座490在X轴方向移动摄像部42。因此，用控制部48能控制摄像部42的移动量和位置。

作为有这样功能的移动机构44、45，例如，能用伺服电动机、滚珠丝杠和送进螺母的众知机构。即，沿规定的方向延设滚珠丝杠，用伺服电动机旋转，使送进螺母在规定的方向移动，通过控制部48控制伺服电动机的旋转角，能控制各自的位置。当然，作为移动机构44、45的机构不限于这些，也可以用其他的机构实现。

这样由于目视确认装置4具有移动机构44、45，目视确认装置4通过控制部48的控制，能使摄像部42移动到XY平面的任意位置。因而，摄像部42对被检查载物台43保持的基板90能相对移动，能对该基板90的任意领域进行摄像。即，用移动机构44、45确定摄像部42的摄像领域位置。

图6是表示照明机构46的平面图。图6的V-V线表示图5所示的照明机构46的剖面位置。照明机构46由6个照明光源460至465构成。照明光源460至465是以点0为中心环状配置的光源。因此，照明机构46构成所谓分割环照明。

各照明光源460至465用未图示的电源和电缆连接，通过和该电源电连接点亮，通过电切断灭灯。通过点亮时该电源的电压值增减使光量变化。即，各照明光源460至465，用控制部48能分别独立地进行ON·OF控制和光量控制。

作为本实施例的照明光源460至465，利用多个白色LED，当然不限于这些。例如，也可以用同步控制的多个萤光灯构成1个照明光源。本实施例的目视确认装置4有6个照明光源460至465，但能分割光源的数不限于这些数。

如图5所示，照明机构46围着摄像部42的光轴的周围，配置摄像部42的光轴(更详细地说，光轴的中心轴)，大致通过照明机构46的中心点0。如图4所示，在本实施例的目视确认装置4，摄像部42和照明机构46形成整体的构造物。因而，即使用移动机构44、45移动摄像部42，摄像部42和照明机构46的配置关系也能固定。

因此，在图5所示的实施例，照明光源460对基板90在照射方向D0照射照明光。同样，照明光源463对基板90在照射方向D3照射照明光。即，各照明光源460至465将摄像部42的摄像领域配置为分别从各自的方向照明的光源。

通信部47通过网络2在和缺陷检查装置3之间进行通信。因此，目视确认装置4接收从缺陷检查装置3发送的缺陷数据100。即，通信部47主要相当于本发明的信息获取装置。

控制部48由CPU480、作为CPU480的暂时工作领域使用的RAM481、读取专用的ROM482和固定磁盘483构成。如图5所示，控制部48在可能的状态连接目视确认装置4的其他构成和信号的发送接收。

CPU480根据程序484动作，一面演算操作部40来的信息和摄像部42来的图像信息，一面进行控制信号生成，控制目视确认装置4的各构成。RAM481、ROM482和固定磁盘483具有作为适宜存储操作者来的指示信息和程序484或获取的各种数据等的存储装置的功能。

图7是和数据流一起表示控制部48功能构成的方块图。CPU480根据程序484动作，实现图7所示的功能构成中数据处理部485、照明控制部486、位置确定部487和倍率确定部488的功能构成。

数据处理部486有将从操作部40输入的设定数据102存储在固定磁盘483的功能。所谓设定数据102是称之所谓秘诀的信息，是使检查条件和照明光基准信息相互关联的信息。该检查条件和照明光基准信息的关联，预先用实验求出。

在本实施例，所谓检查条件是基板90种类、形成图形的物资、要确认的缺陷种类、缺陷部分的材质这些条件。但是，检查条件不限于这些，例如，可以是检查的操作者是谁(操作者姓名)等、操作者目视确认时产生必须变更照明光的可能性的某个条件，也可以将任何条件作为检查条件。所谓基准信息是在关联的检查条件适当控制照明光用的信息，在本实施例是有关最佳照明光的照明方向和照明光量的信息。

数据处理部485通过将操作者输入的设定数据102存储在固定磁盘483，在固定磁盘483构筑设定数据102的数据库。因此，若将检查条件作为检索关键检索固定磁盘483的数据库，就得到该检查条件的最佳照明光的照明方向和照明光量作为基准信息。

照明控制部486具有方向确定部486a和光量确定部486b。

方向确定部486a参照缺陷数据100，获取有关成为确认对象的缺陷的信息，将其作为检索关键检索固定磁盘483，读出最适宜该缺陷的照明方向。即，根据缺陷数据100特定秘诀，确定在特定秘诀中设定的照明方向作为最佳照明方向。

照明控制部486在方向确定部486a确定照明方向时，从6个照明光源460至465选择点亮的照明光源(以下，简略为“点亮照明光源LG”)。如上述那样，各照明光源460至465是分别从不同方向照射光的光源，各自有特有的方向。因而，照明控制部486选择照明光的照射方向与方向确定部486a确定的照明方向一致的照明光源作为点亮照明光源LG。在图5所示的实施例，在方向确定部486a确定照明方向D0时，照明控制部486选择照明光源460作为点亮照明光源LG。还有，点亮照明光源LG没有必要是1个，例如，在环照明是适当时，6个照明光源460至465都是点亮照明光源LG。

光量确定部486b用和方向确定部486a确定照明方向的同样方法确定照明机构46照明光的光量。即，边参照缺陷数据100边检索固定磁盘483，确定最佳的照明光量。

照明控制部486在光量确定部486b确定照明光量时，确定向点亮照明光源LG供给电力的电源电压值，使点亮照明光源LG的照明光为该照明光量。

照明控制部486，将识别已选择的点亮照明光源LG的信息和向点亮照明光源LG供给电力的电源电压值传递给照明机构46。因此，照明控制部486控制照明机构46。

位置确定部487，根据缺陷数据100包含的缺陷位置，确定对确认的缺陷进行摄像用的摄像部42的摄像位置。而且，通过控制移动机构44、45，将摄像部42移动到已确定的摄像位置。

倍率确定部488，根据缺陷数据100包含的缺陷尺寸和确认监视器41的显示领域(显示图像数据的领域)的尺寸，确定摄像部42的摄像倍率。而且，通过控制变焦机构420来调整摄像部42的变焦透镜位置。

还有，一般即使是以相同光量的照明光源为基础进行摄像的图像，若提高摄像倍率，则被摄体摄像成黑暗的像，若降低摄像倍率，则被摄体摄像成明亮的像。因此，本实施例的目视确认装置4，根据倍率确定部488确定的摄像倍率，修正照明机构46的光量。

返回到图3，支持座490有从检查载物台43的两侧部分略水平架渡的架桥构造，有在检查载物台43的上方支持摄像部42的功能。而且，在支持座490上安装着上述移动机构45。

保护盖492不仅保护摄像部42，而且防止其他的入射光，所以具有使摄像部42能对基板90鲜明摄像的功能。用后述的处理适当调整照明机构46的照明。因而，通过保护盖492防止外部的入射光，仅用适当调整过的照明光进行摄像部42的摄像。因此，目视确认装置4能以希望的照明条件对基板90进行摄像。还有，保护盖492被固设在支持座490上，用移动机构44和支持座490一起在Y轴方向移动，经常掩盖摄像部42的上方。

以上是本实施例的检查系统1的功能和构成的说明，接着，说明检查系统1的动作。图8是表示第1实施例的系统中的主要缺陷检查装置动作的流程图。

首先，缺陷检查装置3待机到搬入基板90之前(步骤S11)，搬入基板90时保持已搬入的基板90(步骤S12)。

接着，控制部36控制移动机构，使摄像部32移动，摄像部32对基板90摄像(步骤S13)。摄像部32的输出信号被传递到像处理部34，作为图像数据被传递到控制部36。

得到对基板90摄像的图像数据时，控制部36进行边缘检出的图形认识处理等的图像认识处理、和与主图像的比较引起的不一致检出处理，检出基板90的缺陷(步骤S14)。控制部36根据已检出的缺陷的大小、位置、形状和类别(碎片、凹处)等已检出的缺陷固有的信息，生成缺陷数据100(步骤S15)。

还有，既有从1次摄像得到的图像数据检出多个缺陷的情况又有从对相同基板90的其他领域摄像的图像数据检出其他缺陷的情况。即，基板90的缺陷不限于1个，缺陷数据100对于多个缺陷，包含各自固有的信息。在控制部36检出第1个缺陷的时刻(生成缺陷数据100的时刻)，缺陷数据100也包含基板90固有信息。所谓基板90固有的信息，例如是基板90的标识符、基板90的材质、形成图形的物质、形成的图形位置等的信息，关于该基板90上检出的缺陷，是共同的信息。因而，所谓缺陷数据100，是关于基板90缺陷的信息，在每个检出缺陷的基板90生成，其包含该基板90固有信息和每个检出的缺陷(不限于1个)的固有信息。

对1次摄像得到的图像数据的处理结束时，判定对基板90全部领域的检出是否结束(步骤S16)。存在没有进行检出的领域时，用移动机构33移动摄像部32(步骤S17)，重复从步骤S13的处理。另一方面，对全部的领域检出已经结束时，通信部35通过网络2将缺陷数据100发送到目视确认装置4(步骤S18)。

缺陷数据100的发送结束，搬出已检查结束的基板90时，缺陷检查装置3返回到步骤S11，待机到搬送下1个基板90。以上是缺陷检查装置3的处理。

图9是表示本实施例的系统1中的主要目视确认装置4动作的流程图。目视确认装置4，在未图示的初始设定结束后，一面分别监视操作者的输入、缺陷检查装置3来的数据接收和基板90的搬入，一面待机(步骤S21、23、25)。

操作者操作操作部40，在目视确认装置4进行设定数据102的输入时(在步骤S21，是)，根据输入的设定数据102，数据处理部485将设定数据102存储在固定磁盘483(步骤S22)。输入的设定数据102是如上述那样与检查条件和基准有关的秘诀信息。因此，在固定磁盘483构筑设定数据102的数据库，应齐备操作者的缺陷确认作业的准备。

检测出缺陷检查装置3来的数据接收时(在步骤S23，是)，将通信部47接收的缺陷数据100传送到RAM481。缺陷数据100包含基板90固有信息，用基板90的标识符能判定是哪个基板90的缺陷数据100。因而，在图7省略图示，但传送的缺陷数据100一旦存储在固定磁盘483(步骤S24)，能在适当的定时读出(将适宜的基板90搬入到目视确认装置4)在后述的处理利用。

检测出在目视确认装置4搬入新基板90时(步骤S25，是)，目视确认装置4执行确认处理(步骤S26)。

图10和图11是表示本实施例的目视确认装置4的确认处理的流程图。在确认处理，首先，检查载物台43将搬入的基板90保持在规定位置(步骤S31)。

接着，控制部48从固定磁盘483到RAM481读出与搬入的基板90有关的缺陷数据100。而且，照明控制部486特定读出的缺陷数据100之中确认的缺陷(步骤S32)。

如上述那样，由于在1个基板90也有检出多个缺陷的情况，1个缺陷数据100(1个基板90的缺陷数据100)有包含关于多个缺陷的固有信息的的情况。因此，照明控制部386执行步骤S32，从缺陷数据100包含的多个缺陷，逐个特定确认的缺陷(以下，称为“确认对象缺陷”)，进行以后的处理。还有，从多个缺陷选择确认对象缺陷的方法也可以是哪种方法，但本实施例的目视确认装置4使用特定的方法，将用缺陷检查装置3轮流检出的多个缺陷作为依次确认对象缺陷。

特定确认对象缺陷时，首先，方向确定部486a，通过参照缺陷数据100，获取基板90的有关该确认对象缺陷的信息(基板90固有的信息和该确认对象缺陷固有的信息，以下称为「对象缺陷信息」)，根据获取的对象缺陷信息，检索固定磁盘483。

本实施例的目视确认装置4，将对象缺陷信息看成检查条件，并将其作为检索关键，通过方向确定部486a检索固定磁盘483，获取关联的基准信息(在对象缺陷信息表示的条件，最佳照明的照明方向)。即，为了确认确认对象缺陷，确定最佳照明光的照明方向(步骤S33)。同样，光量确定部486b将对象缺陷信息作为检索关键，检索固定磁盘483，确定最佳照明光量(步骤S34)。

还有，方向确定部486a和光量确定部486b各自确定照明方向和照明光量的方法，不限于预先从设定的条件检索的方法(所谓秘诀设定的控制)。例如，缺陷数据100也可以直接包含有关最佳照明光的信息。也可以根据缺陷数据100包含的信息，方向确定部486a和光量确定部486b通过演算求出最佳的照明方向和照明光量。例如，在确认对象缺陷是「碎片缺陷」时，从该确认对象缺陷的位置和图形的配置判定在哪个方向图形有缺陷，因此也可以确定最佳的照明方向。

在方向确定部486a确定照明方向、光量确定部486b确定照明光量时，照明控制部486根据这些控制照明机构46，按照该控制照明机构46开始照明光的照射(步骤S35)。具体地说，照明控制部486根据已确定的照明方向，从6个照明光源460至465选择照明光源LG，将该标识符传递给照明机构46。根据已确定的照明光量，将应提供给点亮照明光源LG的电压值(供给电压值)传递给照明机构46。照明机构46仅使适宜于已传递的标识符的照明光源460至465点亮，同时将向该点亮照明光源LG供给电力的电源电压值设定成供给电压。因此，从照明机构46向基板90照射照明光，开始对基板90的照明。

开始对基板90的照明时，位置确定部487根据缺陷数据100包含的确认对象缺陷的位置信息，控制移动机构44、45，摄像部42移动到能对确认对象缺陷摄像的位置。倍率确定部488根据缺陷数据100包含的确认对象缺陷的大小，确定摄像部42的摄像倍率，控制变焦机构420。这样，确定摄像部42摄像领域的位置和幅度时，用聚焦机构421进行焦点重合后，摄像部42进行摄像(步骤S36)。摄像得到的图像数据101一旦传送给控制部的RAM481，进行规定材料后由确认监视器41显示(步骤S37)。

这里，用图说明因照明光的照明光量和照明方向不同引起的能看得见缺陷的不同。图12至图14是说明因缺陷的材质引起照明光的光量变化时看得见不同的图。图12表示照明光的光量降低的状态，图14相反表示照明光的光量提高的状态。图13表示将照明光的光量作成图12所示的实例和图14所示的实例的中间光量的状态。

在图12，容易确认金属制图形的状态，但不能判断涂敷抗蚀剂的部分黑暗的状态。另一方面，在图14，涂敷抗蚀剂的部分比图12所示的实例容易看见。即，在涂敷抗蚀剂的部分，用通常光量的照明光不能观察缺陷，图14所示的比较强光量的照明光是必要的。但是，这样的照明光由于金属制图形强反射，不能正确观察金属制图形的表面状态和轮廓。即，比较观察图12至图14就明白，在确认缺陷时，根据想要确认的缺陷(确认对象缺陷)是哪样的材质，适当照明光的光量是不同的。

在本实施例的检查系统1，缺陷检查装置3检出缺陷时，缺陷数据100包含该缺陷的材质，目视确认装置4的光量确定部486b参照该缺陷数据100，根据材质确定照明光量。因而，例如，在缺陷存在于涂敷抗蚀剂的部分时，在照明光的光量比较提高的状态已摄像的图像数据101被提示给确认监视器41。即，由于显示图14所示那样的图像，操作者能容易观察涂敷抗蚀剂部分的缺陷。还有，若基板90的材质、图形的材质、涂敷膜的种类等是已知，则缺陷的材质也能从缺陷的位置判定。

图15至图17是说明在凹处缺陷中照明光光量变化时看得见不同的图。还有，图15至图17的照明光量分别与图12至图14所示的实例是同样的。

如图15所示，照明光的光量比较降低时，由于凹处缺陷NG，容易在金属制图形表面形成并观察阴影。另一方面，如图17所示，照明光的光量提高时，凹处缺陷NG看不见。还有，这里未图示，但在附着缺陷等的情况比较光量提高容易观察。这是因为在因金属等不要的部分附着而形成的附着缺陷的情况，该附着物明亮地放光，引人注目，容易观察。

在本实施例的检查系统1，缺陷检查装置3检出缺陷时，缺陷数据100包含该缺陷的种类，目视确认装置4的光量确定部486b参照该缺陷数据100，根据缺陷种类确定照明光量。因而，在目视确认装置4，由于根据缺陷种类显示在适当照明光的前提下摄像的图像数据101，所以操作者能容易观察缺陷。还有，根据缺陷的位置、形状或反射光量等，能特定缺陷种类。

图18至图20是说明变更照明光的照明方向时看见的不同的图。图18表示用环形照明照射没有指向性的照明光的情况。图19和图20表示分别从不同方向照射有指向性的照明光的情况。

如图18所示，在没有指向性的环形照明，由于从全方向照射照明光，在图形表面不形成阴影，观察缺陷不合适。在图19所示的实例，图形表面的缺陷能观察，但在图20所示的实例，虽然照射有相同指向性的照明光，但是图形表面的缺陷难以看见。这被认为由于缺陷的形状和方向有易于形成阴影的倾向。例如，在是细长凹处的情况，对于从和缺陷的延伸方向平行的方向来的照明光，几乎不形成阴影，但对于从和缺陷的延伸方向垂直的方向来的照明光，形成比较清楚的阴影。从图18至图20明白，因缺陷使适当照明光的照明方向不同。

在本实施例的检查系统1，缺陷检查装置3检出缺陷时，缺陷数据100包含该缺陷的种类、形状、位置等的信息，目视确认装置4的方向确定部486a参照该缺陷数据100，根据有关缺陷的信息确定照明方向。因而，在目视确认装置4，根据各个缺陷，显示在适当照明方向照明光的前提下摄像的图像数据101，所以操作者能容易观察缺陷。

这样，在本实施例的检查系统1，根据基板90各个缺陷的有关信息(缺陷数据100)，控制照明机构46照射的照明光，所以能在每个确认的缺陷照射最佳照明光。用确认监视器41给操作者提示在该照明光的前提下摄像的容易看见图像数据101，所以操作者能容易进行缺陷的确认作业。

在确认监视器41显示图像数据101时，目视确认装置4一面监视照明变更指示的输入(步骤S41)，一面待机到确认作业结束(步骤S42)。还有所谓照明变更指示，是变更照明光的照明方向和照明光量的指示，例如，目视确认装置4用由秘诀设定调整了的照明光难以确认缺陷时，输入操作者判断的情况。

到确认作业结束、有照明变更指示的输入时(在步骤S41，是)，接收操作者的该输入(步骤S43)，根据输入的变更指示控制照明机构46，变更照明光(步骤S44)。因此，照明机构46照射的照明光被变更成操作者希望的照明光。

接着，根据照明变更指示所示的照明光的照明方向和照明光量，更新固定磁盘483的设定数据102的数据库(步骤S45)。重新返回步骤S36，在变更照明光的前提下摄像部42进行摄像，反复以下的处理。

因此，操作者在确认作业中也能变更成希望的照明光，操作者能用希望的图像数据101继续确认作业。通过用变更的内容更新数据库，能在确认监视器41提示在下次变更后的照明光前提下摄像的图像数据101。在变更照明光时，也可以选择是否进行数据库的更新(步骤S45)。

关于确认对象缺陷的确认作业结束时(在步骤S42，是)，控制部48参照缺陷数据100，判定有否记录没有确认的缺陷(步骤S46)，存在未确认的缺陷时返回到步骤S32。另外，在基板90上不存在未确认的缺陷时，通过控制部48的控制，照明机构46使点亮照明光源LG灭灯(步骤S47)。而且，待机到搬出基板90后，结束确认处理，返回到图9所示的处理。

如以上那样，本实施例的检查系统1具有目视确认装置4，该目视确认装置4的照明控制部486根据有关基板90缺陷的信息(缺陷数据100包含的对象缺陷信息)，通过控制照明机构46，能在每个各缺陷控制照明光。因而，能照射适宜于操作者观察缺陷的照明光。

方向确定部486a确定照明光的方向，按照成为由方向确定部486a确定照明方向，照明控制部486控制照明机构46，操作者能观察从适当方向照射照明光状态的基板90。

光量确定部486b确定照明光的光量，按照成为由光量确定部486b确定照明光量，照明控制部486控制照明机构46，操作者能观察照射适当亮度的照明光状态的基板90。

在缺陷检查装置3检出基板90的缺陷时，通过对已检出的缺陷生成缺陷数据并传送给目视确认装置4，即使对操作者确认的每个缺陷不输入缺陷信息，也能适当控制照明光。因而，能减轻操作者的负担。

2.第2实施例

在第1实施例，根据检查的上游工序生成的缺陷数据100控制照明机构46，但目视确认装置4也具有不连接网络，作为独立的装置的功能。

图21是根据这样的原理构成的第2实施例的目视确认装置4a的外观图。在图21，关于目视确认装置4a的内部存在的构成，省略图示。图22是目视确认装置4a的总线配线图。在以下的说明中，关于和第1实施例的目视确认装置4大致同样的构成，附加相同的符号，省略适宜的说明。

第2实施例的目视确认装置4a，检查载物台43a、移动机构44a、筐体49和显微镜50是主要和第1实施例的目视确认装置4不同的构成。在图21和图22未图示，但目视确认装置4a也可以适宜具有读取记录磁盘等记录媒体的装置等。在图21，省略遮断从外部来的光的保护盖。

操作部40由键盘400、鼠标401、操纵杆402和按钮403、404构成，在操作者对目视确认装置4a输入指示时使用。操作部40不仅输入指示，而且，如上述那样也在输入缺陷数据100的基本信息时使用。操作部40也可以是与确认监视器41兼用的触感开关面板或具有OCR功能的扫描器等。也可以是并用这些的构成。

检查载物台43a将检查的基板90保持在规定的位置，同时用移动机构44a能在XY平面内移动。本实施例的摄像部42和显微镜50一起固定为整体。可是，由于检查载物台43a能移动，通过控制部48控制移动机构44a，能使摄像部42(和显微镜50)和基板90相对移动。因而，摄像部42能和第1实施例同样对基板90的任意领域摄像。

移动机构44a是在XY平面内移动检查载物台43a的机构。在目视确认装置4a能用操纵杆402直接操作移动机构44a。用位置确定部487也能根据缺陷数据100进行控制。

筐体49将移动机构44a和通信部47、控制部48等收藏在其内部并进行保护，同时具有作为将目视确认装置4a的各构成配置在规定位置的基座的功能。

显微镜50是通过目镜等使已放大的被检查对象物(基板90)的像在操作者的网膜上成像的装置。第1实施例所示的确认监视器41显示的图像数据101引起的缺陷观察，用显像元件的光电变换等间接观察基板90的缺陷来的光。可是，本实施例的目视确认装置4a由于具有显微镜50，操作者能更直接观察基板90缺陷的像。因而，操作者能进行正确的判断。

使用显微镜50的操作者最好在尽可能静止的状态进行确认作业，所以显微镜50被固定在筐体49上，并在大致静止状态使用。操作者对于确认监视器41显示的缺陷，由于希望使用显微镜50观察，最好使摄像部42的摄像位置和显微镜50的观察位置一致。因而，如上述所示，本实施例的目视确认装置4a的摄像部42与显微镜50一起固定，检查载物台43a是一面保持基板90一面移动的构成。

还有，如图21所示，即使在本实施例的目视确认装置4a，整体形成摄像部42、显微镜50和照明机构46，也用照明机构46提供使用显微镜50时的照明光。

本实施例的目视确认装置4a的动作除了用操作者的输入提供缺陷数据100以外，和图9至图11所示的第1实施例的目视确认装置4的动作大致相同。即，在目视确认装置4，搬入基板90后在操作者输入缺陷数据100的时刻，开始确认处理。

即使使用有以上构成的第2实施例的目视确认装置4a，也能得到和第1实施例的检查系统同样的效果。

由于目视确认装置4a具有显微镜50，由于操作者能以更接近实际的状态确认基板90缺陷的像，所以能进行正确判断。

3.变形例

以上说明了本发明的实施例，但本发明不限于上述实施例，能进行各式各样的变形。

在上述实施例的目视确认装置4、4a，从6个照明光源选择点亮照明光源LG，但用这样的方法仅能离散地确定照明方向。因此，例如，也可以是这样地构成，即，设置用移动机构可移动的1个照明光源，通过控制部48控制该移动机构，使照明光源移动到成为适当照明方向的位置。因此，能连续变更照明光的照明方向。

上述实施例的检查系统1和目视确认装置4a的动作，也可以不用已说明的顺序执行。即，若是得到相同效果的顺序，则可以适宜变更各步骤的顺序。

在上述实施例，如照明控制部486那样作为软件实现的功能构成，也可以用硬件实现其一部或全部。也可以用软件实现用硬件实现的构成。

在第1实施例的目视确认装置4，也可以和第2实施例的目视确认装置4a同样构成，固定摄像部42，移动检查载物台43a。

照明机构46的各照明光源460至465也可以不配置成环状。例如，也可以配置成四边形状。即，也可以配置成包围摄像部42的光轴P。

Claims (7)

1.一种目视确认装置，用于操作者确认基板的缺陷，其特征在于，具有：

保持基板的保持装置；

向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光的照明装置；

将有关上述基板的缺陷的信息作为缺陷信息而获取的信息获取装置；

根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷信息控制上述照明装置的照明控制装置；

将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者的提供装置。

2.如权利要求1所述的目视确认装置，其特征在于，

上述照明控制装置根据上述缺陷信息确定上述照明光的光量，以成为所确定的光量的形式控制上述照明装置。

3.如权利要求1或2所述的目视确认装置，其特征在于，

上述照明控制装置根据上述缺陷信息确定上述照明光的照射方向，以成为所确定的照射方向的形式控制上述照明装置。

4.如权利要求3所述的目视确认装置，其特征在于，

上述照明装置具有对上述基板的缺陷从相互不同的方向照射光的多个光源，

上述照明控制装置通过使上述多个光源选择性地点亮，从而确定上述照明光的照射方向。

5.如权利要求1或2所述的目视确认装置，其特征在于，

上述提供装置具有扩大上述基板的缺陷的像的显微镜。

6.如权利要求1或2所述的目视确认装置，其特征在于，

上述提供装置还具有：

将被上述照明装置照明了的上述基板的缺陷的像作为图像数据进行摄像的摄像装置；

用于操作者的目视确认而画面显示上述摄像装置所摄像的上述图像数据的显示装置。

7.一种检查系统，检查基板的缺陷，其特征在于，具有：

检查出基板的缺陷的缺陷检查装置；

操作者确认由上述缺陷检查装置检查出的上述基板的缺陷用的目视确认装置，

上述目视确认装置具有：

保持通过上述缺陷检查装置而检查出缺陷的基板的保持装置；

向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光的照明装置；

将与由上述缺陷检查装置检查出的上述基板的缺陷有关的信息作为缺陷信息、从上述缺陷检查装置通过网络而获取的信息获取装置；

根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷信息控制上述照明装置的照明控制装置；

将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者的提供装置。

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