CN1713381A - 从属装置、主装置以及层叠装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种端子配置相同的多个从属装置以及主装置层叠而成的层叠装置。这里，主装置具有向相邻的从属装置的端子输入识别命令的命令发送机构。另外，从属装置具有将相邻的从属装置及自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线、接收识别命令的命令接收机构，以及根据识别命令，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构。连接相邻从属装置之间的端子位置在从属装置中各不相同，各个从属装置的命令接收机构，接收通过从在各个上述从属装置中连接位置不同的贯通布线中通过，而在各个从属装置中变化为不同值的识别命令。因此，本发明的目的在于提供一种能够识别出所层叠的多个装置，容易地制造层叠装置的技术。

Description

从属装置、主装置以及层叠装置

技术领域

本发明涉及一种主装置及多个从属装置所层叠而成的层叠装置，以及该从属装置与主装置。

背景技术

现在正在开发将分别执行各种处理的多个半导体装置，与控制各个半导体装置的CPU等的控制装置层叠在接线板(board)上所构成的层叠装置。通过像这样在接线板上层叠半导体装置，能够将包含有半导体装置的制品小型化、轻量化。这里，对各个半导体装置，在晶片上进行制造的阶段中预先对其付与固有的识别ID。控制装置，能够根据该固有的识别ID来访问各个半导体装置，对各半导体装置进行控制。

另外，专利文献1中，公示了一种识别被3维安装的各半导体装置的方法。图32是上述专利文献1的3维层叠半导体装置的结构图。如图32所示，第1半导体装置1上层叠有具有相同端子构造的第2、第3半导体装置2、3。各个半导体装置中，通过贯通基板内部的贯通布线电连接表背面。另外，各个半导体装置的相同位置的端子之间相接触。根据该构成，用来控制各个装置的信号，从控制装置共同发送给第1、第2、第3半导体装置1、2、3。

各个半导体装置，设有被输入各种控制信号的控制端子，和被输入用来让各个装置变为选择状态的选择信号的CS(Chip Select)端子。作为第1半导体装置1的控制端子，可以列举出例如控制端子12a以及控制端子12b。另外，作为第1半导体装置1的CS端子，可以列举出CS端子11a、11b、13a、13b、15a、15b。第1半导体装置1的背面1a的控制端子12a与表面1b的控制端子12b通过垂直贯通布线51相连接。这里，垂直贯通布线是指垂直于表背面的贯通布线，用来发送各种控制信号。另外，第1半导体装置1的表面1b的控制端子12b与第2半导体装置2的背面2a的控制端子18a相接触，第2半导体装置2的表面2b的控制端子18b与第3半导体装置3的背面3a的控制端子20a相接触。通过该构成，经互相接触的各个端子以及垂直贯通布线，向第1、第2、第3半导体装置10、20、30发送公共控制信号。

另外，第1半导体装置1的背面1a的CS端子11a、13a、15a，与表面1b的CS端子11b、13b、15b经斜贯通布线31、33、35相连接。这里，斜贯通布线是贯通半导体装置的表背面，且与表背面倾斜交叉的贯通布线。另外，第1半导体装置1的表面1b的CS端子11b与第2半导体装置2的背面2a的CS端子17a相接触，第1半导体装置1的表面1b的CS端子13b与第2半导体装置2的背面2a的CS端子19a相接触。其他的CS端子以及斜贯通布线也如图32所示互相连接。这里，设置在第1半导体装置1下部的控制装置(图中未示出)，经给定的端子发送用来让各个半导体装置变为选择状态的选择信号，通过这样，能够访问所希望的半导体装置。

例如，由第1半导体装置1的CS端子11a所发送的选择信号，经CS端子11a→贯通布线31→CS端子11b→CS端子17a→贯通布线37→CS端子17b→CS端子21a→贯通布线41→CS端子21b，到达第3半导体装置3的CS端子21b。由此，第3半导体装置3变为选择状态，第3半导体装置3经控制端子以及垂直贯通布线，从控制装置接收各种控制信号。同样，由第1半导体装置1的CS端子13a所发送的选择信号，经CS端子13a→贯通布线33→CS端子13b→CS端子19a→贯通布线39→CS端子19b，到达第2半导体装置2的CS端子19b。由此，第2半导体装置2变为选择状态。另外，由第1半导体装置1的CS端子15a所发送的选择信号，经CS端子15a→贯通布线35→CS端子15b，到达第1半导体装置1的CS端子15b。由此，第1半导体装置1变为选择状态。

如上所述，通过选择CS端子并发送选择信号，能够分别访问各个半导体装置。

但是，在晶片上的制造阶段中预先付与固有的识别ID的情况下，需要在控制各个半导体装置的控制装置中存储预先所设定的识别ID。因此，需要管理是哪个识别ID的半导体装置进行层叠。尤其是，由于在晶片上制造大量的半导体装置，因此通过所付与的识别ID来管理各个半导体装置是非常烦杂的。

另外，专利文献1中，由于能够通过CS端子以及斜贯通布线的连接来识别各个半导体装置，因此，不需要在晶片制造时对各个半导体装置付与固有的识别ID。但是，为了通过1个CS端子只能够访问1个半导体装置，必须考虑斜贯通布线以及各个CS端子的组合之后再层叠各个半导体装置。也即，上述图32中，经CS端子11a只能够访问第3半导体装置3，经CS端子13a只能够访问第2半导体装置2，经CS端子15a只能够访问第1半导体装置1。因此，必须一边考虑CS端子与访问目的地的半导体装置的层叠场所的组合，一边层叠各个半导体装置。

另外，专利文献1中，为了让半导体装置分别变为选择状态，需要特意形成斜贯通布线。而形成斜贯通布线，需要特殊加工，并不容易高精度地形成。另外，还需要设置控制端子之间的连接中所使用的垂直贯通布线与CS端子之间的连接中所使用的斜贯通布线这两种贯通布线，制造工艺变得复杂。

专利文献1：特开2002-50735号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够识别出层叠装置中所层叠的多个装置，且可容易地制造层叠装置的技术。

本申请的第1发明，为了解决上述问题，提供一种层叠有端子配置相同的多个从属装置以及主装置的层叠装置。

这里，上述主装置具有：向相邻的从属装置的端子输入识别命令的命令发送机构；以及从各个从属装置，接收对应于上述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID的识别ID接收机构；以及将各个从属装置与各个识别ID对应存储起来的对应存储机构。

另外，上述从属装置具有：将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线；以及接收上述识别命令的命令接收机构；以及根据上述识别命令，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构，连接上述相邻从属装置之间的端子位置，在从属装置中各不相同，各个从属装置的上述命令接收机构，接收通过从在各个上述从属装置中连接位置不同的贯通布线中通过，而在各个从属装置中变化为不同值的识别命令。

端子配置相同，是指例如地址端子、读/写端子、CS(Chip Select)端子等各个端子的配置在从属装置以及主装置中相同。从属装置至少具有层叠数目个例如被输入识别命令的CS端子。另外，识别命令，例如是由层叠数目量位数所构成的命令。各个从属装置的至少1个CS端子之间，经贯通从属装置的贯通布线相连接，各个CS端子被钳位成第1电位。这里，通过让贯通布线的设置位置不同，而让CS端子之间的连接的组合，在各个从属装置中不同。例如，某个CS端子之间经贯通布线电连接之后，从主装置向其发送对应的1位量的识别命令，该CS端子的电位从第1电位开始变化。另外，由于其他CS端子之间的连接部分中没有设置贯通布线，因此不向该CS端子输入识别命令，从而不产生电位的变化。

通过构成上述构成，主装置所发送的识别命令被各个从属装置接收时，变为在各个从属装置中各不相同的信息。从属装置的识别ID设定机构，根据该从属装置的各不相同的识别命令，设定各个从属装置固有的识别ID。因此，即使在各个从属装置的相同端子构成的端子之间经贯通布线相连接的情况下，主装置也能够通过所设定的识别ID，来访问各个从属装置。例如，首先，主装置根据识别ID来选择进行控制的从属装置，让该从属装置变为选择状态。之后，向该从属装置发送命令，进行各种控制。这里，识别ID，也可以是用来识别只对各个从属装置进行访问的选择信号线的信息。通过从属装置分别设定固有的选择信号线，能够只让各个从属装置变为选择状态。

另外，由于相同端子构成的相对应的端子之间通过贯通布线相连接，因此，贯通布线能够垂直于从属装置而形成。因此，不需要例如让贯通布线形成为相对从属装置倾斜等的复杂的制造工序，从而能够容易地制造层叠装置。

另外，还可以将识别ID尚未设定的从属装置层叠起来，制造层叠装置，在该层叠装置的初始设定时，可进行如上所述的识别ID的设定。初始设定结束之后，主装置根据所设定的各个识别ID，来访问各个从属装置。这样，即使作为层叠装置而构成的上述从属装置不具有识别ID，也能够在层叠装置制造之后设定识别ID。换而言之，在层叠装置制造之前，不需要事先给各个从属装置付与识别ID。因此，在晶片上大量制造芯片形式的从属装置时，不需要给各个从属装置付与识别ID。通过这样，能够消除通过识别ID来管理切割之后的各个从属装置的这种烦杂。例如，不需要进行从由晶片切割而成的大量的从属装置中，根据识别ID来选择从属装置等烦杂的作业。

另外，各个从属装置，接收到对应于层叠之后的贯通布线的连接构成的识别命令。之后，从属装置对该识别命令进行应答，设定识别ID，因此，不需要考虑从属装置在层叠时的层叠顺序等层叠方法。所以，例如能够任意层叠各个从属装置，从而能够容易地制造层叠装置。

另外，输入有层叠命令的从属装置的CS端子，经贯通布线而互相连接。也即，不需要用来接收识别命令的各个从属装置所专用的CS端子。另外，由于识别命令因其在各个从属装置中的通过而发生变化，从而不需要对各个从属装置输入各个从属装置固有的识别命令。

本申请的第2发明，提供一种如第1发明所述的层叠装置，其特征在于，各个从属装置，将被输入了上述识别命令的端子，钳位成上述识别命令的输入前的给定电位(以下称作第1电位)，上述命令接收机构所接收到的识别命令，是上述端子的电位，通过经由上述贯通布线的识别命令的输入，从上述第1电位开始变化而生成的。

各个从属装置具有多个CS(Chip Select)端子，相应的CS端子通过贯通布线相连接。这里，贯通布线的连接构成在从属装置中各不相同。在通过贯通布线将各个CS端子连接起来的情况下，各个CS端子的电位，接收到对应于识别命令的电位，并从给定的电位开始变化。另外，没有通过贯通布线相连接的CS端子仍然被钳位成给定的电位。识别命令，是通过各个CS端子是被钳位，还是对应于识别命令进行变化而生成的。

具体地说，以层叠3个从属装置的情况为例进行说明。按照与主装置相邻的顺序，分别设为第1从属装置A、第2从属装置B、第3从属装置C，分别具有3个CS端子。这里，第1从属装置A具有第1CS端子A1、第2CS端子A2、第3CS端子A3，第2从属装置B具有第1CS端子B1、第2CS端子B2、第3CS端子B3，第3从属装置C具有第1CS端子C1、第2CS端子C2、第3CS端子C3。另外，各个CS端子被钳位成第1电位，第1CS端子A1、B 1、C1的CS端子配置、第2CS端子A2、B2、C2的CS端子配置以及第3CS端子A3、B3、C3的CS端子配置相同。另外，第2CS端子A2与第2CS端子B2，经贯通第2从属装置B的贯通布线相连接。通过这样，主装置与最近的从属装置A的第2CS端子A2，以及第2近的从属装置B的第2CS端子B2电连接。另外，第3CS端子A3与第3CS端子B3，经贯通第2从属装置B的贯通布线相连接，同时，第3CS端子B3与第3CS端子C3，经贯通第3从属装置C的贯通布线相连接。通过这样，主装置与最近的从属装置A的第3CS端子A3，以及第2近的从属装置B的第3CS端子B3、第3近的从属装置C的第3CS端子C3电连接。

这里，将被钳位成第1电位的第1CS端子A1、第2CS端子A2、第3CS端子A3的状态，通过(1，1，1)的位组合来表示。这样，第1CS端子A1、第2CS端子A2、第3CS端子A3，分别被输入了(0，0，0)组合所构成的识别命令。于是，第1CS端子A1、第2CS端子A2、第3CS端子A3的状态从(1，1，1)变化成(0，0，0)。因此，第1从属装置A，从第1CS端子A1、第2CS端子A2、第3CS端子A3接收到(0，0，0)。这里，(0，0，0)是对应于来自主装置的识别命令，第1从属装置A所接收到的识别命令。由于第1CS端子B1并不与第1CS端子A1相连接，因此第2从属装置B的第1CS端子B1保持被钳位成第1电位。因此，第2从属装置B接收到识别命令(1，0，0)。另外，由于第1CS端子C1并不与第1CS端子B1相连接，且第2CS端子C2并不与第2CS端子B2相连接，因此第3从属装置C的第1CS端子C1以及第2CS端子C2保持被钳位成第1电位。因此，第3从属装置C接收到识别命令(1，1，0)。如上所述，主装置所发送的识别命令，在从属装置中变为各不相同的值。从属装置的识别ID设定机构，对应于该识别命令来设定各个从属装置固有的识别ID，通过这样，主装置能够根据识别ID来识别各个从属装置。

本申请的第3发明，提供一种端子配置相同的多个从属装置与主装置层叠而成的层叠装置。

这里，上述主装置具有：向相邻的从属装置的端子输入识别命令的第1命令发送机构；以及从各个从属装置，接收对应于上述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID的识别ID接收机构；以及将各个从属装置与各个识别ID对应存储起来的对应存储机构。

另外，上述从属装置具有：将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线；以及从上述主装置或相邻的从属装置接收识别命令的命令接收机构；以及通过上述识别命令的接收，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构；以及将所接收到的识别命令，变更为各个从属装置固有的识别命令的命令变更机构；以及经上述贯通布线，将所变更的识别命令输入给相邻的从属装置的第2命令发送机构。

各个从属装置，变更所接收到的识别命令，输出给相邻的从属装置。因此，各个从属装置接收到固有的识别命令，根据该固有的识别命令来设定各个从属装置固有的识别ID。

本申请的第4发明，提供一种如第3发明所述的层叠装置，其特征在于，还包括在上述识别ID设定机构设定了识别ID之后，将表示上述识别ID的设定已完成的通知，经上述贯通布线发送给上述主装置的完成通知发送机构。

由于完成通知发送机构，向主装置发送完成通知，因此，主装置能够判断各个从属装置是否完成了识别ID的设定。例如，主装置在发送了识别命令后经过了给定的时间之后，仍然没有接收到来自从属装置的完成通知的情况下，判断各个从属装置中的识别ID的设定已经完成。由于从属装置的层叠数根据制品所要求的功能而变更，并不是固定的信息，因此，主装置无法把握从属装置的层叠数。所以，主装置通过接收各个从属装置中的识别ID的设定完成信息，能够不再浪费时间等待设定完成。另外，主装置能够在完成通知同时，进入下一个动作。

本申请的第5发明，是一种端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的主装置，其特征在于，具有向相邻的从属装置的端子输入识别命令的命令发送机构；以及从各个从属装置，接收对应于上述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID的识别ID接收机构；以及将各个从属装置与各个识别ID对应存储起来的对应存储机构。

主装置能够根据各个识别ID，来访问各个从属装置。这样，由于能够在层叠装置制造之后设定识别ID，因此，在制造时不需要给各个从属装置付与固有的识别ID。因此，在晶片上大量制造芯片形式的从属装置时，消除了通过识别ID来管理各个从属装置的这种烦杂，使得管理更加容易。

本申请的第6发明，是一种端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的从属装置，其特征在于，具有将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线；以及从上述主装置接收识别命令的命令接收机构；以及根据上述识别命令，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构。连接上述相邻从属装置的端子的端子位置，在从属装置中各不相同，各个从属装置的上述命令接收机构，接收通过从在各个上述从属装置中连接位置不同的贯通布线中通过，而在各个从属装置中变化为不同值的识别命令。

通过该构成，能够得到与本申请的第1发明相同的作用效果。

本申请的第7发明，是一种端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的从属装置，其特征在于，具有将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线；以及从上述主装置或相邻的从属装置接收识别命令的命令接收机构；以及将所接收到的识别命令，变更为各个从属装置固有的识别命令的命令变更机构；以及经上述贯通布线，将所变更的识别命令输入给相邻的从属装置的第2命令发送机构，以及通过上述识别命令的接收，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构。通过该构成，能够得到与本申请的第3发明相同的作用效果。

另外，本申请还能够提供端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的如下所述的层叠装置。

这里，上述主装置具有：给相邻的从属装置的端子输入让其开始产生随机数的随机数产生命令的命令发送机构，以及接收各个从属装置所产生的随机数，并判断是否是值互相不同的随机数的判断机构，以及从各个从属装置接收对应于上述随机数产生命令所设定的各个从属装置的识别ID的识别ID接收机构，以及将各个从属装置与各个识别ID对应起来进行存储的对应存储机构。

另外，上述从属装置具有：将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线，以及接收上述随机数产生命令的命令接收机构，以及对上述随机数产生命令进行应答而产生随机数，并将所产生的随机数发送给上述主装置的随机数产生机构，以及根据上述主装置的判断机构的判断结果，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构。

主装置接收各个从属装置内部所产生的随机数，判断这些随机数是否都不相同。各个从属装置，在所产生的随机数都不相同的情况下，根据各个从属装置所产生的随机数来设定固有的识别ID。因此，即使在层叠有相同端子结构的从属装置的层叠装置中，主装置也能够根据其识别ID，来对各个从属装置进行控制。

另外，还可以不变更从属装置的物理的布线结构以及连接状态，设定能够识别各个从属装置的识别ID。另外，不需要根据从属装置的层叠数，来变更从属装置中所设置的端子数以及物理的连接状态。

另外，本申请中，作为优选方式，上述从属装置还包括存储识别ID的识别ID存储机构。另外，作为优选方式，上述识别ID存储机构是非易失性存储器。通过这样，能够防止识别ID的数据丢失。另外，作为优选方式，上述识别ID存储机构，在组装上述层叠装置之前的检查时，对上述识别ID进行存储。

另外，本申请还可以提供一种端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的主装置，其特征在于，具有给相邻的从属装置的端子输入让其开始产生随机数的随机数产生命令的命令发送机构，以及接收各个从属装置所产生的随机数，并判断是否是值互相不同的随机数的判断机构。上述命令发送机构，在上述判断机构判断来自各个从属装置的随机数的值不同的情况下，将识别ID决定命令发送给上述从属装置。

从属装置接收到识别ID决定命令之后，根据自装置所产生的随机数，设定自装置的识别ID。通过这样，能够得到与上述相同的作用效果。

作为优选方式，还包括存储上述从属装置的层叠数的层叠数存储机构，以及根据上述层叠数，决定表示上述从属装置所产生的随机数的范围的范围信息的范围设定机构，上述命令生成机构，生成包含有上述范围信息的随机数产生命令。

另外，作为优选方式，提供一种主装置，其特征在于，各个从属装置分别具有内部电阻，主装置具有经各个内部电阻与各个从属装置相互连接的第1布线，以及与上述第1布线相连接，根据上述从属装置的连接数，检测出输出给上述第1布线的电位的电位检测机构，以及根据所检测出的电位，计算出上述从属装置的连接数的连接数计算机构。

由于向第1布线输出对应于从属装置的连接数的电位，因此，主装置能够根据这一点，来把握从属装置的连接数。因此，不需要预先存储连接数，从而提高了层叠装置中的从属装置的层叠数的自由度。例如，还能够与迅速的层叠数的变更相对应。

(发明效果)

通过使用本发明，能够提供一种能够识别出层叠装置中所层叠的多个装置，且容易地制造层叠装置的技术。

附图说明

图1A为本发明的第1实施方式例的相关层叠装置的概要图。

图1B为表示图1A的从属装置以及主装置的端子构成的概要图。

图2为表示本发明的第1实施方式例的相关层叠装置的总线布线构成的示意图。

图3为说明第1实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。

图4为说明主装置以及从属装置的功能结构图。

图5为从图3中所示的第1～第3从属装置的命令接收部所接收到的识别命令的一例。

图6为移动电话的一例。

图7为另一个第1实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。

图8为表示第2实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。

图9为表示图8中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的概要时序图。

图10为主装置以及从属装置的功能结构图。

图11为表示图8中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的概要的概要图。

图12为另一个第2实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。

图13为另一个第2实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。

图14为表示图13中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的概略的概略图。

图15为使用本发明的第3实施方式例的相关设备识别方法的系统的结构图。

图16A为从属装置的结构图。

图16B为主装置的结构图。

图17为说明主装置识别各个从属装置时的整体处理的概要的流程图。

图18为表示随机数确认处理的内容的流程图。

图19为表示从属装置从主装置接收到命令时的处理的概要的流程图。

图20为使用第4实施方式例的设备连接数计算装置的系统的结构图。

图21A为第4实施方式例中的从属装置的结构图。

图21B为第4实施方式例中的主装置的结构图。

图22为第4实施方式例的相关装置数检测机构的结构图。

图23为装置数检测机构的具体例子。

图24为用来通过判断信号电位计算出装置数的装置数检测表。

图25为使用本发明的实施方式3中的设备识别方法的系统的结构图。

图26

(a)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的图。

(b)为本发明的第5实施方式例中的从属装置的剖面图。

图27

(a)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第1制造工序的图。

(b)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第2制造工序的图。

(c)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第3制造工序的图。

(d)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第4制造工序的图。

(e)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第5制造工序的图。

(f)为表示本发明的第5实施方式例中的从属装置的第6制造工序的图。

图28A为本发明的第5实施方式例中的主装置的结构图。

图28B为本发明的第5实施方式例中的从属装置的结构图。

图29为说明本发明的实施方式3中的设备识别方法的具体例子的图。

图30为说明使用本发明的实施方式4中的设备识别方法的系统的结构图。

图31A为本发明的实施方式4中的主装置的结构图。

图31B为本发明的实施方式4中的从属装置的结构图。

图32为专利文献1的3维层叠半导体装置的结构图。

图中：100、200、300、401：主装置，110～130、210～240、310～330：从属装置，181、294：命令接收部，182、282：识别ID设定部，183、283：识别ID存储部，184、284：选择信号接收部，185、285：控制信号接收部，186、286：处理部，187、287：识别命令发送部，189、289：识别ID接收部，190、290：对应存储机构，191、291：选择信号发送部，192、292：控制信号发送部，151、153、155、273、271、275、277、279、281：贯通布线，101、103、105、111、113、115、121、123、125、131、133、135、211、213、215、221、223、225、231、233、235、311、313、315、317、321、323、325、327、331、333、335、337：CS端子，107、117、127、137、207、217、227、237、309、319、329、339：控制端子，501：命令处理机构，502：随机数产生机构，503：数据处理机构，504：识别ID存储机构，551：命令产生机构，552：应答确认机构，553：数据处理机构，554：连接数存储机构，811：装置数检测机构，902：连接数计算机构，903：A/D转换机构，1301、1801：CS检测机构，1311、1811：CS决定机构，1803…频率存储机构。

具体实施方式

<第1实施方式例>

(层叠装置的概要)

图1A为本发明的第1实施方式例的相关层叠装置的概要图，图1B为表示图1A的从属装置以及主装置的端子构成的概要图。层叠装置1000依次层叠有对所层叠的各个从属装置进行控制的主装置100，以及根据来自主装置的命令来进行各种控制的第1～第3从属装置110、120以及130。主装置100以及各个从属装置的端子α，如作为各个端子的平面图的图1B所示，由相同端子配置所构成。因此，如果将主装置100与各个从属装置层叠起来之后，各个装置的端子α之间相接触。另外，各个从属装置中，与各个端子相对应地设有贯通由基板所构成的从属装置的贯通布线β。另外，对于贯通布线的设置位置将在后面进行说明，但也有不设置贯通布线的位置。这样，将相同端子配置的装置层叠起来，同时，通过贯通布线将对应的端子之间连接起来，通过这样，来自主装置的各种命令经各个端子以及贯通布线被发送给各个从属装置。

(对各个从属装置的访问的概要)

图2为表示本发明的第1实施方式例的相关层叠装置的总线布线构成的示意图。总线布线中，包括用来让各个从属装置变为选择状态的选择信号线(第1～第3选择信号线171、172、173)以及数据信号线175。主装置100经第1选择信号线171与第1从属装置110相连接，经第2选择信号线172与第2从属装置120相连接，经第3选择信号线173与第3从属装置130相连接。另外，主装置100经数据信号线175分别与第1～第3从属装置110～130相连接。这里，主装置100经各个选择信号线访问所期望的从属装置，之后，经数据信号线175只向访问目的地的从属装置发送数据。例如，在让第1从属装置110进行各种控制的情况下，主装置100经第1选择信号线171发送选择信号，让第1从属装置110变为选择状态，经数据信号线175向第1从属装置110发送控制信号。通过这样，即使在层叠有相同端子配置的从属装置的情况下，也能够对任意的从属装置只进行期望的控制。

(层叠装置的具体构成)

(1)整体构成

图3为第1实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。层叠装置1000层叠有主装置100、第1从属装置110、第2从属装置120以及第3从属装置130。主装置100以及第1～第3从属装置110～130的端子，如上述图1B所示，具有相同的端子构成。另外，端子中包括被输入用来让各个从属装置进行各种处理的控制信号的多个控制端子，以及被输入来自主装置100的识别命令的多个CS端子。这里所显示的是层叠有3个从属装置的例子，但对于层叠数目并没有进行限定。

(2)CS端子构成以及经贯通布线的CS端子的连接构成

主装置100的表面100b上的第1CS端子101b、第2CS端子103b、第3CS端子105b，是将来自主装置100的识别命令发送给层叠在上部的各个从属装置的端子。这里，识别命令是指，用来让各个从属装置进行识别各个从属装置的识别ID的设定的命令，例如是由层叠数的位数所构成的命令。例如，如图3所示，在层叠有3个从属装置的情况下，识别命令例如是由(0，0，0)这3位组成的命令所构成的。这里，对于识别命令(0，0，0)，设从左开始依次是第1位、第2位、第3位。因此，从第1CS端子101b发送第1位“0”，从第2CS端子103b发送第2位“0”，从第3CS端子105b发送第3位“0”。

各个从属装置，在与主装置100相同的配置位置上还具有各个CS端子。这些主装置100以及各个从属装置的CS端子，至少设置有从属装置的层叠数目个。另外，各个CS端子在识别命令的输入之前，被钳位到例如电源或地等的给定的定位(以下称作第1电位，通过“1”来表示)。另外，各个从属装置的CS端子之间的一部分，通过贯通布线151、153、155相连接。也即，让某个CS端子之间经贯通布线相连接，但其他CS端子之间并不通过贯通布线相连接等，使贯通布线的设置位置在从属装置中各不相同。另外，贯通布线是贯通基板状的从属装置的布线，一概垂直于基板的主面。接下来对照图3，对具体的CS端子构成以及经贯通布线的CS端子的连接构成进行说明。

主装置100的表面100b上的第1CS端子101b、第2CS端子103b、第3CS端子105b，分别与第1从属装置110的背面110a上的第1CS端子111a、第2CS端子113a、第3CS端子115a相接触。另外，第1从属装置110的背面110a上的第2CS端子113a、第3CS端子115a，分别经贯通布线151、153与第1从属装置110的表面110b上的第2CS端子113b、第3CS端子115b相连接。另外，第1从属装置110的表面110b上的第2CS端子113b、第3CS端子115b，分别与第2从属装置120的背面120a上的第2CS端子123a、第3CS端子125a相接触。另外，第3CS端子125a，经贯通布线155与第2从属装置120的表面120b上的第3CS端子125b相连接。另外，第3CS端子125b，与第3从属装置130的背面130a上的第3CS端子135a相连接。因此，经贯通布线向第1CS端子111a，第2CS端子113a、113b、123a，以及第3CS端子115a、115b、125a、125b、135a，输入识别命令。

另外，第1从属装置110的表面110b上的第1CS端子111b，并不通过贯通布线与背面110a上的对应的第1CS端子111a相连接。同样，第2从属装置120的背面120a上的第2CS端子123a，并不通过贯通布线与表面120b上的对应的第2CS端子123b相连接。因此，并不向第1CS端子111b、121a、121b、131a、131b，以及第2CS端子123b、133a、133b输入识别命令。

通过这样的CS端子及贯通布线的连接构成，使得用来识别各个从属装置的识别ID的设定成为可能。关于识别ID的设定方法将在后面进行说明。

(3)控制端子构成以及经贯通布线的控制端子的连接构成

各个从属装置的控制端子具有相同的端子设置，各个相对应的控制端子经贯通布线相连接。所谓具有相同端子构成，是指例如地址端子、读/写端子等各个端子的配置相同。像这样，通过进行相同的端子配置，从主装置100向各个从属装置发送具有相同功能的信号。

各个控制端子，经贯通布线进行例如如下所述的连接。如图3所示，主装置100的表面100b上的控制端子107b与第1从属装置110的背面110a上的控制端子117a相接触，第1从属装置110的表面110b上的控制端子117b与第2从属装置120的背面120a上的控制端子127a相接触，第2从属装置120的表面120b上的控制端子127b与第3从属装置130的背面130a上的控制端子137a相接触。另外，控制端子117a经贯通布线161与控制端子117b连接，控制端子127a经贯通布线163与控制端子127b连接，控制端子137a经贯通布线165与控制端子137b连接。通过这样的构成，从主装置100向由被预先所发送的选择信号变为选择状态的从属装置，发送控制信号。

(功能构成)

接下来，对用来设定识别ID的主装置以及各个从属装置的功能构成进行说明。图4为主装置以及从属装置的功能结构图。

(1)主装置

主装置100包括识别命令发送部187、识别ID接收部189、对应存储机构190、选择信号发送部191、控制信号发送部192。

识别命令发送部187生成识别命令，经第1～第3CS端子101b、103b、105b向各个从属装置发送识别命令。识别ID接收部189，接收各个从属装置所设定的各个从属装置固有的识别ID。主装置100，例如，经将控制端子之间连接起来的贯通布线，接收各个从属装置的识别ID。另外，识别ID接收部189如下所述，还可以接收各个从属装置的选择信号线的信息，作为识别ID。对应存储机构190，将所接收到的识别ID与各个从属装置对应起来进行存储。

选择信号发送部191，为了让能够执行必要的处理的从属装置变为选择状态，而向该从属装置发送选择信号。此时，选择信号发送部191，根据对应存储装置190中所存储的识别ID，生成选择信号，向该从属装置发送选择信号。例如，所生成的选择信号包含有访问目的地的从属装置的识别ID。接下来，控制信号发送部192，向处于选择状态的从属装置发送用于让其进行各种控制的控制信号。由此，主装置能够只让该从属装置执行所期望的处理。

(2)从属装置的功能构成

各个从属装置，包括命令接收部181、识别ID设定部182、识别ID存储部183、选择信号接收部184、控制信号接收部185以及处理部186。命令接收部181，经各个CS端子从主装置100接收识别命令。识别命令从主装置100发送给各个从属装置。但是，如上述图3所示，根据各个从属装置的CS端子是否通过贯通布线相连接，存在没有发送识别命令(0，0，0)的全位的情况。例如，第2从属装置120的第1CS端子121a，无法接收到识别命令的第1位“0”。这是由于第2从属装置120的下部的第1从属装置110的第1CS端子111b，并不通过贯通布线相连接。因此，第1CS端子121a保持被钳位成第1电位“1”的状态。另外，第2从属装置120的第2CS端子123a以及第3CS端子125a，接收到识别命令的第2位“0”以及第3位“0”。因此，第2从属装置120的命令接收部181，经第1CS端子121a、第2CS端子123a、第3CS端子125a，接收识别命令(1，0，0)。

如上所述，各个从属装置的命令接收部181，接收根据贯通布线的配置位置而其值变化的识别命令。图5为图3中所示的第1～第3从属装置110、120、130的命令接收部所接收到的识别命令。如图3所示，由于贯通布线的配置位置对每个从属装置都不同，因此，各个从属装置的命令接收部181所接收到的识别命令的值各不相同。

识别ID设定部182，根据值各不相同的识别命令，来设定自装置的识别ID。如前所述，由于各个从属装置的识别命令的值各不相同，因此，通过根据它来设定识别ID，能够设定各个从属装置固有的识别ID。识别ID存储部183，存储所设定的自装置的识别ID。

选择信号接收部184，从主装置的选择信号发送部191接收包含有例如识别ID的选择信号。另外，选择信号接收部184，对识别ID存储部183内的识别ID与选择信号中所包含的识别ID进行比较，判断自装置是否被选定。这里，在自装置被选定的情况下，选择信号接收部184，命令控制信号接收部185接收来自主装置100的控制信号。控制信号接收部185根据该命令，经控制端子从主装置100的控制信号发送部192接收控制信号。

处理部186对控制信号接收部185所接收到的控制信号进行处理，执行各种控制。

另外，各个从属装置的识别ID设定部182，如后所述，可以识别出用来根据识别命令让自装置变为选择状态的选择信号线。这样，识别ID存储部183将识别ID设定部182所识别出的选择信号线存储起来。通过像这样让每个从属装置设定选择信号线，也能够让各个从属装置变为选择状态。

(识别ID的设定处理)

接下来，对根据如上述图3所示的CS端子以及贯通布线的连接构成，由各个从属装置所进行的识别ID的设定处理进行说明。

(1)识别命令发送前

在将识别命令发送给各个从属装置之前，各个CS端子全部被钳位成第1电位“1”。接下来，主装置100的识别命令发送部187，将通过3位(0，0，0)所构成的识别命令，经第1～第3CS端子101b、103b、105b发送给各个从属装置。也即，从第1CS端子101b发送第1位“0”，从第2CS端子103b发送第2位“0”，从第3CS端子105b发送第3位“0”。通过该识别命令的发送，各个从属装置以及主装置，进入识别ID的设定模式。

(2)识别命令发送后

各个从属装置的命令接收部181，接收到值对应于贯通布线的设置位置而变化的识别命令。这里，各个从属装置的命令接收部181，分别接收如上所述的图5所示的识别命令。具体地说，第1从属装置110的第1CS端子111a，从主装置100的第1CS端子101b接收识别命令(0，0，0)的第1位“0”。同样，第1从属装置110的第2CS端子113a以及第3CS端子115a，分别从第2CS端子103b以及第3CS端子105b接收识别命令(0，0，0)的第2位“0”与第3位“0”。通过这样，第1从属装置110的命令信号接收部181，接收识别命令(0，0，0)。

如上所述，由于第1从属装置110的第1CS端子111a与111b，并不通过贯通布线相连接，因此，识别命令(0，0，0)的第1位“0”，不会到达第2从属装置120的第1CS端子121a。因此，第1CS端子121a保持被钳位成第1电位“1”的状态。另外，经贯通布线151及153，向第2从属装置120的第2CS端子123a以及第3CS端子125a发送识别命令(0，0，0)的第2位“0”以及第3位“0”。因此，第2从属装置120的命令接收部181，接收识别命令(1，0，0)。

另外，由于第1从属装置110的第1CS端子111a与111b，并不通过贯通布线相连接，因此，识别命令(0，0，0)的第1位“0”，不会到达第3从属装置130的第1CS端子131a。同样，由于第2从属装置120的第2CS端子123a与123b，并不通过贯通布线相连接，因此，识别命令(0，0，0)的第2位“0”，不会到达第3从属装置130的第2CS端子133a。因此，第1CS端子131a与第2CS端子133a保持被钳位成第1电位“1”的状态。另外，经贯通布线153、贯通布线155以及第3CS端子125b，向第3从属装置130的第3CS端子135a发送识别命令(0，0，0)的第3位“0”。因此，第3从属装置130的命令接收部181，接收识别命令(1，1，0)。

接下来，各个从属装置的识别ID设定部182，根据各自的识别命令(0，0，0)、(1，0，0)、(1，1，0)，来设定各个从属装置固有的识别ID。识别ID存储部183，存储识别ID设定部182所设定的识别ID。

以上，各个从属装置的识别ID设定部182，根据识别命令来设定识别ID。但是，也可以让识别ID设定部182，根据识别命令，识别出用来让自装置变为选择状态的选择信号线。例如，根据识别命令中的输出了“0”的最高位，来识别各个从属装置。第1从属装置110，接收识别命令(0，0，0)，输出“0”的最高位是识别命令的第1位。因此，第1从属装置的识别ID设定部182，将第1CS端子111a识别为选择信号线，在该第1CS端子111a变为“0”的情况下，则识别出自装置被选定。另外，第2从属装置120，接收识别命令(1，0，0)，输出“0”的最高位是识别命令的第2位。因此，第2从属装置的识别ID设定部182，将第2CS端子123a识别为选择信号线，在该第2CS端子123a变为“0”的情况下，则识别出自装置被选定。另外，第3从属装置130，接收识别命令(1，1，0)，输出“0”的最高位是识别命令的第3位。因此，第3从属装置的识别ID设定部182，将第3CS端子135a识别为选择信号线，在该第3CS端子135a变为“0”的情况下，则识别出自装置被选定。

(各个从属装置的各种控制处理)

主装置100的选择信号发送部191，为了访问所层叠的相同端子构成的从属装置中的1个，从对应存储机构190中检索访问目的地的从属装置的识别ID。之后，选择信号发送部191，生成包含有所检索到的识别ID的选择信号，发送给各个从属装置的选择信号接收部184。通过这样，具有相应识别ID的从属装置，变为能够进行各种控制的选择状态。接下来，该从属装置的控制信号接收部185，从主装置接收控制信号。根据该控制信号，该从属装置执行各种处理。

(作用效果)

通过构成上述构成，主装置所发送的识别命令被各个从属装置接收时，在各个从属装置中变为各不相同的信息。从属装置的识别ID设定机构，根据该从属装置的各不相同的识别命令，设定各个从属装置固有的识别ID。因此，即使在各个从属装置的相同端子构成的端子之间经贯通布线相连接的情况下，主装置也能够通过所设定的识别ID，来访问各个从属装置。例如，首先，主装置根据识别ID来选择进行控制的从属装置，让该从属装置变为选择状态。之后，向该从属装置发送命令，进行各种控制。这里，识别ID，也可以是例如用来识别只对各个从属装置进行访问的选择信号线的信息。通过对从属装置分别设定固有的选择信号线，能够只让各个从属装置变为选择状态。

另外，由于相同端子构成的相对应的端子之间通过贯通布线相连接，因此，贯通布线能够垂直于从属装置而形成。因此，不需要例如让贯通布线形成为相对从属装置倾斜等的复杂的制造工序，从而能够容易地制造层叠装置。

另外，还可以将识别ID尚未设定的从属装置层叠起来，制造层叠装置，在该层叠装置的初始设定时，进行如上所述的识别ID的设定。初始设定结束之后，主装置根据所设定的各个识别ID，来访问各个从属装置。这样，即使作为层叠装置而构成的上述从属装置不具有识别ID，也能够在层叠装置制造之后设定识别ID。换而言之，在层叠装置制造之前，不需要给各个从属装置付与识别ID。因此，在晶片上大量制造芯片形式的从属装置时，不需要对各个从属装置付与识别ID。通过这样，能够消除通过识别ID来管理切割之后的各个从属装置的这种烦杂。例如，不需要从由晶片切割而成的大量的从属装置中，进行根据识别ID来选择从属装置等烦杂的作业。

另外，各个从属装置，接收对应于层叠之后的贯通布线的连接构成的识别命令。之后，从属装置对该识别命令进行应答，设定识别ID，因此，不需要考虑从属装置在层叠时的层叠顺序等的层叠方法。所以，例如能够任意层叠各个从属装置，从而能够容易地制造层叠装置。

另外，输入有层叠命令的从属装置的CS端子，经贯通布线而互相连接。也即，不需要用来接收识别命令的各个从属装置专用的CS端子。另外，由于识别命令因其在各个从属装置中的通过而发生变化，从而不需要对各个从属装置输入各个从属装置固有的识别命令。

作为安装有上述第1实施方式例的层叠装置的制品，可以列举出例如图6所示的移动电话、便携式计算机、PDA、便携式TV接收机、便携式音频播放器、汽车导航系统等等。

(第1实施方式例的变形例1)

上述第1实施方式例中，对如图3所示设置贯通布线的情况进行了说明。但是，贯通布线的设置位置并不仅限于图3，只要能够让各个从属装置经贯通布线接收到不同值的识别命令就可以。例如，可以如图7所示，在第1从属装置110中设置贯通布线151a与153a，在第2从属装置120中设置贯通布线155a。具体地说，第1从属装置110的第1CS端子111a与111b经贯通布线151a相连接。另外，第1从属装置110的第3CS端子115a与115b经贯通布线153a相连接。进一步，第2从属装置120的第3CS端子125a与125b经贯通布线155a相连接。

这里，从第1～3CS端子101b、103b、105b分别输入识别命令之后，各个从属装置所接收到的识别命令如下所述。第1从属装置110的第1～第3CS端子111a、113a、115a，直接接收识别命令(0，0，0)作为识别命令。另外，第2从属装置120的第1CS端子121a以及第3CS端子125a，分别经贯通布线151a及贯通布线153a接收识别命令(0，0，0)的第1位“0”与第3位“0”。另外，由于第1从属装置110的第2CS端子113a与113b，并不通过贯通布线相连接，因此，第2从属装置120的第2CS端子123a保持被钳位成第1电位的状态。通过这样，第2从属装置120的命令接收部181，接收到识别命令(0，1，0)。另外，第2从属装置120的第2CS端子123a与123b，并不通过贯通布线相连接。因此，第3从属装置130的命令接收部181，接收到识别命令(1，1，0)。

通过这样，各个从属装置的识别ID设定部182，根据各自的识别命令(0，0，0)、(0，1，0)、(1，1，0)，来设定各个从属装置固有的识别ID。

(其他)

另外，以上将(0，0，0)作为识别命令，但还可以将(1，1，1)作为识别命令。这样，可以将CS端子所钳位的第1电位设为“0”。这种情况下，上述图7中的识别命令的值，“1”变为“0”，“0”变为“1”。

另外，以上在各个从属装置以及主装置的两面设置端子，但如果让端子之间经贯通布线相连接，则也可以只在单面设置端子。

<第2实施方式例>

(层叠装置的构成)

(1)整体构成

主装置以及各个从属装置的端子，是与第1实施方式例的图1A以及图1B中所示的相同的端子设置。

图8为第2实施方式例的相关层叠装置的剖面的结构图。层叠装置2000层叠有主装置200、第1从属装置210、第2从属装置220、第3从属装置230以及第4从属装置240。另外，端子中包括被输入用来让各个从属装置进行各种处理的控制信号的多个控制端子，以及被输入来自主装置200的识别命令的多个CS端子。这里所显示的是层叠有4个从属装置的例子，但层叠数并没有什么限定。

(2)CS端子构成以及经贯通布线的CS端子的连接构成

主装置200的表面200b上的第3CS端子205b，是将来自主装置200的识别命令，发送给层叠在上部的各个从属装置的CS端子。另外，设置在各个从属装置中的贯通布线271、275以及279，是用来将来自主装置200的识别命令以及来自下部的从属装置的命令，发送给上部的从属装置的贯通布线。另外，贯通布线271、275以及279，交替设置在各个从属装置上。通过这样，输入给形成有贯通布线的CS端子的命令，被发送给上部从属装置。另外，在将命令输入给未形成贯通布线的CS端子的情况下，该命令并不被发送给上部的从属装置。这里，贯通布线是指，贯通基板上的从属装置的布线，且是对基板主面大致垂直而形成的布线。

另外，贯通布线273、277以及281，是用来将表示各个从属装置所进行的识别ID的设定完成的完成通知，从各个从属装置发送给主装置200的贯通布线。另外，贯通布线273、277以及281，在第1～第4从属装置之间将相同配置的CS端子之间连接起来。具体的CS端子以及贯通布线的构成如下所述。

第1从属装置210的背面210a上的第2CS端子213a与表面210b上的第2CS端子213b，经贯通布线271相连接。第2从属装置220的背面220a上的第3CS端子225a与表面220b上的第3CS端子225b，经贯通布线275相连接。第3从属装置230的背面230a上的第2CS端子233a与表面230b上的第2CS端子233b，经贯通布线279相连接。这样，各个从属装置的第2CS端子之间以及第3CS端子之间，通过交替设置在从属装置上的贯通布线相连接。

另外，第1从属装置210的背面210a上的第1CS端子211a与表面210b上的第1CS端子211b，经贯通布线273相连接。第2从属装置220的背面220a上的第1CS端子221a与表面220b上的第1CS端子221b，经贯通布线277相连接。另外，第3从属装置230的背面230a上的第1CS端子231a与表面230b上的第1CS端子231b，经贯通布线281相连接。通过这样，所有从属装置的第1CS端子之间，都通过贯通布线相连接。

另外，相同配置的端子之间，通过从属装置以及主装置的层叠而相接触。另外，各个CS端子在被输入了来自主装置200的识别命令之前，被钳位成例如电源或地等的给定电位(以下称作第1电位，用“1”来表示)。

(3)控制端子构成以及经贯通布线的控制端子的连接构成

各个从属装置的控制端子具有相同的端子设置，各个相对应的控制端子经贯通布线相连接。所谓具有相同端子构成，是指例如地址端子、读/写端子等各个端子的配置相同。像这样，通过进行相同的端子配置，从主装置200向各个从属装置发送具有相同功能的信号。

各个控制端子如图8所示那样相连接。因此，例如来自主装置200的控制端子207b的控制信号，经控制端子217a、贯通布线261、控制端子217b、227a、贯通布线263、控制端子227b、237a、贯通布线265以及控制端子237b、247a，被发送给通过选择信号所选定的从属装置。

(识别ID的设定方法的概要)

图9为概要说明图8中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的时序图。

主装置200向第1从属装置210发送识别命令。此时，识别命令中包含有用来在第1从属装置210中进行设定的识别ID“0001”。第1从属装置210，根据该识别命令，将自装置的识别ID设为“0001”。之后，第1从属装置210，生成用来在接下来的第2从属装置220中设定识别ID的命令，发送给第2从属装置220。此时，生成的命令包含有用来在第2从属装置220中进行设定的识别ID“0002”。接下来的从属装置的识别ID，被生成为所层叠的所有从属装置所固有的识别ID。这里，作为一例，通过将自装置的识别ID只加1的方法，来生成下一个从属装置的识别ID。第1从属装置210结束了识别ID的设定之后，将表示结束的“ACK”应答，发送给主装置200。

接下来，第2从属装置220，接收到命令以及识别ID“0002”，将自装置的识别ID设为“0002”。同样，生成用来在接下来的第3从属装置230中设定识别ID的命令，发送给第3从属装置230。这里，所生成的命令中包含有作为识别ID的“0003”。之后，第2从属装置220结束了自装置的识别ID的设定之后，将“ACK”应答，发送给主装置200。

反复进行上述处理，直到所层叠的各个从属装置完成识别ID的设定。

(功能构成)

接下来，对用来设定识别ID的主装置以及各个从属装置的功能构成进行说明。图10为主装置以及从属装置的功能结构图。另外，图10中只显示了第1从属装置210以及第2从属装置220的功能构成，但其他从属装置也具有相同的功能构成。

(1)主装置

主装置200包括识别命令发送部287、识别ID接收部289、对应存储机构290、选择信号发送部291、控制信号发送部292。

识别命令发送部287生成识别命令，经第3CS端子205b向第1从属装置210发送识别命令。

识别ID接收部289，接收各个从属装置所设定的各个从属装置固有的识别ID，以及表示识别ID的设定完成的完成通知。另外，也可以通过识别ID的接收来进行完成通知的接收。对应存储机构290，将所接收到的识别ID与各个从属装置对应起来进行存储。

另外，识别ID接收部289，可以接收包含有层叠数的完成通知，根据层叠数来取得各个从属装置的识别ID。也即，后述的从属装置的命令接收部293，在通过各从属装置时都对层叠数进行计数，将该计数值作为层叠数发送给主装置200。这里，各个从属装置的命令接收部293，通过给定的方法来设定层叠在其上部的从属装置的识别ID。这种情况下，主装置的识别ID接收部289，可以根据所接收到的层叠数以及给定的识别ID设定方法，来得到各个从属装置的识别ID。例如，识别ID接收部289接收到层叠数＝5，作为来自最上部的从属装置的完成通知。另外，各个从属装置的命令接收部293，将自装置的识别ID+1，来设定自装置上部的从属装置的识别ID。这种情况下，识别ID接收部289，即使识别ID接收部289，没有从各个从属装置接收到识别ID，也能够根据层叠数为5，来识别出识别ID按照靠近主装置的顺序，分别为“0001”、“0002”、“0003”、“0004”、“0005”。

选择信号发送部291，为了让能够执行必要的处理的从属装置变为选择状态，而向该从属装置发送选择信号。此时，选择信号发送部291，根据对应存储装置290中所存储的识别ID，生成选择信号，向该从属装置发送选择信号。接下来，控制信号发送部292，向变为选择状态的从属装置，发送用来进行各种控制的控制信号。通过这样，能够只让该从属装置执行所期望的处理。

(2)从属装置的功能构成

各个从属装置，包括识别ID设定部282、识别ID存储部283、选择信号接收部284、控制信号接收部285、处理部286、命令发送部293以及命令接收部294。

命令接收部294，从主装置或下部从属装置接收识别命令。第1从属装置210的命令接收部294a，经主装置200的第3CS端子205b以及第1从属装置210的第3CS端子215a，接收识别命令。这里，输入(0)作为识别命令。另外，发送给第1从属装置210的识别命令中，包含有识别ID“0001”。这里，在输入识别命令之前，第3CS端子215a被钳位成第1电位“1”。因此，第3CS端子215a，由于接收到识别命令“0”，其电位从“1”变为“0”。命令接收部294，根据该变化，而接收识别命令中所包含的识别ID。

命令发送部293，根据命令接收部294所接收到的识别ID，生成上部从属装置的识别ID。之后，生成包含有所生成的识别ID的命令，发送给上部从属装置的命令接收部293。识别ID的生成方法并没有限制，只要能够让所层叠的从属装置的识别ID不同就可以。

识别ID设定部282，根据所接收到的识别ID，来设定自装置的识别ID。识别ID存储部283，存储所设定的自装置的识别ID。另外，识别ID设定部282，在识别ID的设定完成之后，生成完成通知“ACK”，发送给主装置200的识别ID接收部289。通过这样，主装置200在发送了识别命令后经过了给定的时间之后，仍然没有接收到来自从属装置的完成通知“ACK”的情况下，判定各个从属装置中的识别ID的设定已经完成。由于从属装置的层叠数根据制品所要求的功能而变更，并不是固定的信息，因此，主装置200无法把握从属装置的层叠数。所以，主装置通过接收各个从属装置中的识别ID的设定完成信息，能够不再浪费时间继续等待设定完成。另外，主装置能够与完成通知“ACK”同时，进入下一个动作。

选择信号接收部284，从主装置的选择信号发送部291接收包含有例如识别ID的选择信号。另外，选择信号接收部284，对识别ID存储部283内的识别ID与选择信号中所包含的识别ID进行比较，判断自装置是否被选定。这里，在自装置被选定的情况下，选择信号接收部284，命令控制信号接收部285接收来自主装置200的控制信号。控制信号接收部285根据该命令，经控制端子从主装置200的控制信号发送部292接收控制信号。

处理部286对控制信号接收部285所接收到的控制信号进行处理，执行各种控制。

(识别ID的设定处理)

图11为表示图8中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的示意图。下面对照上述图10中所示的从属装置的功能结构图，对识别ID的设定处理进行说明。

主装置200的识别命令发送部287，经主装置200的第3CS端子205b与第1从属装置210的第3CS端子215a，向第1从属装置210发送识别命令。

第1从属装置210的命令接收部294a，接收主装置200所发送的识别命令。这里，由于对第3CS端子215a没有形成贯通布线，因此，识别命令不会原封不动地发送给第2从属装置220。接下来，第1从属装置210的识别ID设定部282a，根据所接收到的识别命令，设定自装置所固有的识别ID。例如，在识别命令中包含有“0001”作为第1从属装置210的识别ID的情况下，识别ID设定部282a，将该识别ID设定为第1从属装置210。这里，识别ID设定部282a，将识别ID设定为自装置之后，生成表示识别ID设定完成的通知“ACK”。之后，识别ID设定部282a，将自装置的识别ID“0001”与完成通知“ACK”发送给主装置200的识别ID接收部289。这里，完成通知“ACK”与识别ID“0001”，经贯通布线273发送给主装置200。

接下来，第1从属装置210的命令发送部293a，生成能够设定上部的第2从属装置220所固有的识别ID的命令。例如，命令发送部293a，根据给自装置的识别ID加1所得到的识别ID，来生成命令。生成包含有给第1从属装置的识别ID“0001”加1所得到的识别ID“0002”的命令。之后，命令发送部293a，沿着图11中的第1从属装置210的箭头方向，将所生成的命令传送给第2CS端子213a。通过这样，所生成的命令，经连接第2CS端子213a与第2CS端子213b的贯通布线271，发送给第2从属装置220的第2CS端子223a。

第2从属装置220的命令接收部294b，经第2CS端子223a从第1从属装置210接收识别命令。这里，由于第2CS端子223a中没有形成贯通布线，因此，识别命令不会原封不动地发送给第3从属装置230。识别ID设定部282b，根据所接收到的命令，将“0002”设定为自装置的识别ID。之后，识别ID设定部282b，将自装置的识别ID“0002”与完成通知“ACK”发送给主装置200的识别ID接收部289。这里，完成通知“ACK”与识别ID“0002”，经贯通布线277与贯通布线273发送给主装置200。

接下来，第2从属装置220的命令发送部293b，给识别ID“0002”加1，根据识别ID“0003”来生成命令。之后，命令发送部293b，沿着图11中的第2从属装置220的箭头方向，将所生成的命令传送给第3CS端子225a。通过这样，所生成的命令，经连接第2从属装置220的第3CS端子225a与第3CS端子225b的贯通布线275，发送给第3从属装置230的第3CS端子235a。

这样，能够根据从主装置200所接收到的识别命令以及从下部从属装置所接收到的命令，设定自装置所固有的识别ID。

(各个从属装置中的各种控制处理)

主装置200的选择信号发送部291，为了访问所层叠的相同端子构成的从属装置中的1个，从对应存储机构290中检索访问目的地的从属装置的识别ID。之后，选择信号发送部291，生成包含有所检索到的识别ID的选择信号，发送给各个从属装置的选择信号接收部284。通过这样，具有相应识别ID的从属装置，变为能够进行各种控制的选择状态。接下来，该从属装置的控制信号接收部285，从主装置接收控制信号。根据该控制信号，该从属装置执行各种处理。

(作用效果)

各个从属装置，变更所接收到的识别命令，输出给相邻的从属装置。因此，各个从属装置接收固有的识别命令，根据该固有的识别命令，能够设定各个从属装置固有的识别ID。因此，即使在层叠装置中层叠有多个从属装置的情况下，主装置也能够识别各个从属装置。例如，首先，主装置根据识别ID来选择进行控制的从属装置，让该从属装置变为选择状态。之后，向该从属装置发送命令，让其能够进行各种控制。除此之外，能够得到与第1实施方式例相同的作用效果。

(第2实施方式例的变形例1)

上述第2实施方式例中，主装置200通过从各个从属装置接收完成通知“ACK”，来结束识别ID的设定处理。但是，也可以在经过给定时间之后，来结束识别ID的设定处理。例如，主装置200，预先另外存储从属装置的层叠数。之后，主装置200，在经过了该层叠数量的从属装置设定识别ID所需要的时间之后，结束识别ID的设定处理。这种情况下，不需要从各个从属装置向主装置200发送完成通知“ACK”。因此，可以如图12所示那样来构成。图12为第2实施方式例的另一个相关层叠装置的剖面的结构图。图12所示的构成中，与图8相比，不需要设置用来发送完成通知“ACK”的贯通布线273、277、281。除此之外的其他构成，与图8相同，因此省略其说明。

(第2实施方式例的变形例2)

图13为说明第2实施方式例的另一个相关层叠装置的剖面的结构图。上述第2实施方式例的图8与图11的构成中，例如第1从属装置的第3CS端子215a中没有形成贯通布线。也即，第1从属装置210的背面210a中形成有第3CS端子215a，第3CS端子215a上也不一定形成有贯通布线。但是图13中，在各个从属装置的背面形成CS端子之后，同时在该CS端子上形成贯通布线。例如，第1从属装置310，其背面310a中具有第1CS端子311a、第3CS端子315a、第4CS端子317a。另外，第1CS端子311a中设有贯通布线361，第3CS端子315a中设有贯通布线363，第4CS端子317a中设有贯通布线365。同样，第2从属装置320，其背面320a中具有第1CS端子321a、第2CS端子323a、第3CS端子325a。另外，第1CS端子321a中设有贯通布线367，第2CS端子323a中设有贯通布线369，第3CS端子325a中设有贯通布线371。在像这样将各个端子与贯通布线一体形成的情况下，通过像图13这样层叠从属装置，各个从属装置能够设定识别ID。

图14为表示图13中所示的层叠装置中的识别ID的设定方法的概要的示意图。由于主装置与从属装置的功能结构图，与上述图10相同，因此，对照图14与图10，对图13的构成进行说明。

主装置300的识别命令发送部387，经主装置300的第4CS端子307b与第1从属装置310的第4CS端子317a，向第1从属装置310发送识别命令。

第1从属装置310的命令接收部294a，接收主装置300所发送的识别命令。这里，虽然第4CS端子317a中形成有贯通布线365，但贯通布线365并不与第2从属装置320相连接。因此，识别命令不会原封不动地发送给第2从属装置320。接下来，第1从属装置310的识别ID设定部282a，根据所接收到的识别命令，设定自装置所固有的识别ID。这里，识别ID设定部282a，将自装置的识别ID“0001”与完成通知“ACK”一起发送给主装置300的识别ID接收部289。这里，完成通知“ACK”与识别ID“0001”，是经贯通布线361发送给主装置300的。

接下来，第1从属装置310的命令发送部293a，生成能够设定上部的第2从属装置320所固有的识别ID的命令。之后，命令发送部293a，沿着图14中的第1从属装置310的箭头方向，将所生成的命令传送给第3CS端子315a。通过这样，所生成的命令，经连接第3CS端子315a与第3CS端子315b的贯通布线363，发送给第2从属装置320的第3CS端子325a。

第2从属装置320的命令接收部294b，经第3CS端子325a从第1从属装置310接收识别命令。这里，虽然第3CS端子325a中形成有贯通布线371，但贯通布线371并不与上部的第3从属装置330相连接。因此，第1从属装置310所生成的命令，不会原封不动地发送给第3从属装置330。接下来，第2从属装置320的识别ID设定部282b，根据所接收到的命令，设定自装置固有的识别ID，同时，将完成通知“ACK”与识别ID，经贯通布线367与贯通布线361发送给主装置300。

接下来，第2从属装置320的命令发送部293b，同样也生成命令。之后，命令发送部293b，沿着图14中的第2从属装置320的箭头方向，将所生成的命令传送给第2CS端子323a。通过这样，所生成的命令，经连接第2从属装置320的第2CS端子323a与第2CS端子323b的贯通布线369，发送给第3从属装置330的第3CS端子333a。

反复进行上述处理，直到所层叠的各个从属装置完成了识别ID的设定。通过这样，能够根据从主装置300所接收到的识别命令以及从下部从属装置所接收到的命令，设定自装置所固有的识别ID。

(其他)

另外，以上在各个从属装置以及主装置的两面设置端子，但也可以只在单面设置端子，只要能够让端子之间经贯通布线相连接就可以。

<第3实施方式例>

(概要)

通过将端子配置相同的多个从属装置与主装置层叠起来，构成层叠装置。这里，主装置具有：给相邻的从属装置的端子输入让其开始产生随机数的随机数产生命令的命令发送机构，以及接收各个从属装置所产生的随机数，并判断是否是值互相不同的随机数的判断机构，以及从各个从属装置接收对应于随机数产生命令所设定的各个从属装置的识别ID的识别ID接收机构，以及将各个从属装置与各个识别ID对应起来进行存储的对应存储机构。另外，从属装置具有：将相邻的从属装置与自装置的至少1个端子之间连接起来的贯通布线，以及接收随机数产生命令的命令接收机构，以及对随机数产生命令进行应答而产生随机数，并将所产生的随机数发送给上述主装置的随机数产生机构，以及根据主装置的判断机构的判断结果，设定自装置的识别ID的识别ID设定机构。

这样的构成中，主装置接收各个从属装置内部所产生的随机数，判断这些随机数是否都不相同。各个从属装置，在所产生的随机数都不相同的情况下，根据各个从属装置所产生的随机数来设定固有的识别ID。因此，即使在层叠有相同端子结构的从属装置的层叠装置中，主装置也能够根据该识别ID，来对各个从属装置进行控制。

另外，还可以不变更从属装置的物理的布线结构以及连接状态，设定能够识别各个从属装置的识别ID。另外，不需要根据从属装置的层叠数，来变更从属装置中所设置的端子数以及物理的连接状态。下面对具体的构成进行说明。

(构成)

图15是说明使用本发明的第3实施方式例的相关设备识别方法，进行装置的识别的系统的结构图。

图15中，主装置401与第1从属装置411、第2从属装置412至第n从属装置413之间，分别通过命令线422、434以及数据信号线421、433相连接。主装置经命令线，将用来选择各个从属装置的命令发送给相应的从属装置。

另外，主装置以及各个从属装置的端子，如第1实施方式例的图1A以及图1B所示，为相同的端子设置，对应的端子之间经贯通布线相连接。

(功能构成)

图16A为第3实施方式例中的从属装置的功能结构图，图16B为主装置的功能结构图。图16A与图16B中，对于与图15相同的构成要素采用相同的符号，省略其说明。

图16A中，从属装置具有命令处理机构501、随机数产生机构502、数据处理机构503以及识别ID存储机构504。命令处理机构501，对主装置401所发送的命令进行处理，控制对主装置的应答发送。命令中包括用来让从属装置产生随机数的命令，以及产生随机数的范围的相关范围信息。随机数产生机构502，在主装置所指示的范围内产生随机数。数据处理机构503，进行与主装置之间所发送接收的数据的处理或应答信号的发送处理。识别ID存储机构504，将随机数产生机构502对应于来自主装置的命令所产生的随机数，当做从属装置的识别ID存储起来。

图16B中，主装置401具有命令产生机构551、数据处理机构553、应答确认机构552以及连接数存储机构554。命令产生机构551，产生要求从属装置产生以从属装置的数目为上限的随机数，以及要求其根据所产生随机数来回发应答等的命令。数据处理机构553，进行与从属装置之间所发送接收的数据的处理或应答信号的接收处理。应答确认机构552对从属装置所发送的应答存储其次数。连接数存储机构554，存储与主装置401相连接的从属装置的数目。

(处理)

(1)主装置中的全部处理

图17是表示主装置识别各个从属装置时的全部处理的概要的流程图。对照图17，对主装置识别各个从属装置时的整体处理的概要进行说明。

步骤S401：主装置401的连接数存储机构554取得从属装置数。这里，将从属装置数记录为Dn。从属装置数Dn，既可以在制造主装置时预先记录在连接数存储机构554中，又可以在制造后从主装置外进行记录。

步骤S402：主装置401的命令产生机构551，决定让从属装置所产生的随机数的范围。这里，将所产生的随机数的范围的下限记录为Rmin，将上限记录为Rmax。因此，所产生的随机数的范围为Rmin～Rmax。这里，Rmax减去Rmin所得到的差，为从属装置数Dn以上。另外，也可以将Rmax减去Rmin所得到的差，设置为超出从属装置数Dn。

步骤S403：为了让从属装置产生位于步骤S402所决定的范围内的随机数，命令产生机构551发出随机数产生命令，发送给各个从属装置。该随机数产生命令，包含有表示所产生的随机数的范围的范围信息，通过命令线422传送给各个从属装置。

步骤S404：主装置401的数据处理机构553与应答确认机构552，进行随机数确认处理，以确认对从属装置是否分别产生了固有的随机数。

步骤S405：命令产生机构551，根据步骤S404的结果，判断各个从属装置是否能够设定用于识别各个从属装置的识别ID。

步骤S406：在能够设定识别ID的情况下，命令产生机构551发出识别ID设定命令。该识别ID设定命令，经命令线422、434传送给各个从属装置。

(2)主装置中的随机数确认处理

图18为表示图17中的步骤S404的随机数确认处理的内容的流程图。

步骤S500：应答确认机构552，在随机数确认处理的开始时，进行对寄存器、缓冲器等进行初始化的处理。

步骤S501：应答确认机构552为了确认从属装置是否产生了随机数，而决定最初的随机数的值。这里，将所决定的随机数的值记录为Ra。Ra在步骤S402所决定的随机数的范围内被决定，这里，Ra被设为最小值Rmin。

步骤S502：命令产生机构551，为了要求对识别ID设定命令进行应答，而将产生随机数确认命令经数据处理机构553发送给从属装置。产生随机数确认命令，包含有Ra，在从属装置所产生的随机数等于Ra的情况下，为用来要求从属装置进行应答的命令。通过这样，主装置的应答确认机构552，在从属装置所产生的随机数与Ra相等的情况下，经数据处理机构553从从属装置接收应答。

步骤S503：应答确认机构552，确认是否从从属装置接收到应答。

步骤S504：应答确认机构552，在步骤S504中接收到应答的情况下，记录这是第几次应答。这里，通过将来自从属装置的应答次数记录为An，每次接收到应答时都给应答数An加1。另外，An在步骤S500中被初始化为0。

步骤S505：接下来，应答确认机构552判断Ra是否达到Rmax。

步骤S506：如果应答确认机构552在步骤S505中判断Ra尚未达到Rmax，则给Ra加1，在从属装置中变更所确认的随机数的值。接下来，回到步骤S502，继续通过应答确认机构552所进行的随机数的确认处理。

步骤S507：在应答确认机构552在步骤S505中判断Ra达到Rmax的情况下，也即，确认到对于步骤S402中所决定的随机数的范围内的所有的值，在确认从属装置是否都产生了随机数的情况下，接下来，判断来自从属装置的应答次数An是否等于从属装置数Dn。通过这样，能够确认从属装置是否产生了与其他从属装置不同的随机数。

步骤S508：应答确认机构552，如果在步骤S507中确认到应答次数An等于从属装置数Dn，则输出随机数确定标志。也即，应答确认机构552，在各个从属装置分别产生了不同的随机数的情况下，产生随机数确定标志。在上述的步骤S405中，命令产生机构551，在该随机数确定标志确立了的情况下，判断各个从属装置能够设定识别ID。之后，向各个从属装置发送识别ID设定命令。

(3)从属装置中的全部处理

图19为表示从属装置从主装置接收命令时的处理的概要的流程图。对照图19对从属装置中的处理进行说明。

步骤S601：从属装置的命令处理机构501，经命令线434接收主装置401的命令产生机构551所产生的命令。另外，命令处理机构501，对所接收到的命令要求什么样的处理进行解析。例如，解析出是随机数产生确认命令，还是随机数产生命令，还是识别ID设定命令。

步骤S602：命令处理机构501，对应于所接收到的命令的种类，判断是进行随机数产生处理，还是随机数确认处理，还是识别ID设定处理。

步骤S611：在命令是随机数产生命令的情况下，随机数产生机构502，在主装置的命令产生机构551所设定的随机数范围内产生随机数Rn。这里，将所产生的随机数记录为Rn。

步骤S621：命令处理机构501，接收到包含有要求确认的随机数Ra的产生随机数确认命令之后，执行该处理。也即，命令处理机构501，从随机数产生机构502接收随机数，判断各个从属装置所产生的随机数Rn与Ra是否相等。

步骤S622：命令处理机构501，在随机数Ra与各个从属装置所产生的随机数Rn相等的情况下，经数据处理机构503，向主装置401返回应答。

步骤S631：命令处理机构501，从主装置401的命令产生机构551接收到上述识别ID设定命令之后，将各个从属装置所产生的随机数Rn作为各个从属装置固有的识别ID，输出给识别ID存储机构504。

(作用效果)

根据上述构成，即使在层叠装置中层叠有多个从属装置的情况下，主装置也能够识别各个从属装置。例如，首先，主装置根据识别ID来选择进行控制的从属装置，让该从属装置变为选择状态。之后，向该从属装置发送命令，让其能够进行各种控制。

另外，另外还可以层叠尚未设定识别ID的从属装置，制造层叠装置，在其初始设定时如前所述可进行识别ID的设定。初始设定结束之后，主装置根据所设定的各个识别ID，来访问各个从属装置。这样，即使作为层叠装置所构成的上述从属装置没有识别ID，也能够在从属装置制造之后设定识别ID。换而言之，不需要在制造时对各个从属装置付与固有的识别ID。因此，在晶片上大量制造芯片形式的从属装置时，能够消除通过识别ID来管理各个从属装置的这种烦杂。例如，不需要从由晶片切割而成的大量的从属装置中，进行根据识别ID来选择从属装置等烦杂的作业。因此，切割之后的从属装置的管理较为容易。

尤其是在主装置以及各个从属装置的端子，是与第1实施方式例的图1A以及图1B中所示那样相同的端子设置，对应的端子之间通过贯通布线相连接的情况下，非常有效。也即，即使在各个从属装置的相同端子构成的端子之间经贯通布线相连接的情况下，主装置也能够通过所设定的识别ID，来访问各个从属装置。例如，首先，主装置根据识别ID来选择进行控制的从属装置，让该从属装置变为选择状态。之后，向该从属装置发送命令，让其进行各种控制。另外，由于相同端子构成的对应端子之间通过贯通布线相连接，因此，贯通布线能够垂直于从属装置而形成。因此，不需要例如让贯通布线倾斜于从属装置而形成等烦杂的制造工序，从而能够容易地制造层叠装置。

另外，各个从属装置，根据来自层叠之后的从属装置的随机数，来设定识别ID，因此，不需要考虑从属装置的层叠时的层叠顺序等层叠方法。从而能够任意层叠各个从属装置，能够容易地制造层叠装置。

另外，被输入了识别命令的从属装置的端子，经贯通布线相连接。也即，不需要用接收命令的各个从属装置的专用端子。另外，识别命令因通过各个从属装置而发生变化，因此，不需要给各个从属装置输入固有的识别命令。

(其他)

另外，本实施方式中，识别ID存储机构504可以是非易失性存储器，即使在非通电状态下也能够保持识别ID。

另外，本实施方式中是通过随机数来决定从属装置的识别ID的，但也可以在装配之前，存储各个从属装置固有的序列识别ID。

另外，本实施方式中，随机数产生机构也可以根据上述序列识别ID，来产生多种随机数。

另外，本实施方式中，可以在从属装置的内部保持装置的规格信息，让主装置能够参照上述规格信息。

<第4实施方式例>

(构成)

图20为使用有关本发明的第4实施方式例的主装置进行装置识别的系统的结构图。图20中，判断信号线701、702，是连接主装置与从属装置之间的模拟信号线。

另外，主装置以及各个从属装置的端子，是与第1实施方式例的图1A以及图1B所示的相同的端子设置，对应的端子之间经贯通布线相连接。

(1)从属装置

图21A为第4实施方式例中的从属装置的结构图，图21B为主装置的结构图。图21A以及图21B中，对与图16A以及图16B中相同的构成要素采用相同的符号，省略其说明。

图21A中，从属装置包括命令处理机构501、随机数产生机构502、数据处理机构503、识别ID存储机构504、阻抗801以及开关机构803。判断信号线702，经开关机构803与一定值的阻抗801相连接。阻抗801的另一端与地802相连接。这里，开关机构803，是由命令处理机构501控制其开闭的开关。

(2)主装置

图21B中，主装置401包括命令产生机构551、数据处理机构553、应答确认机构552、连接数存储机构554以及装置数检测机构811。装置数检测机构811，根据判断信号线702的电位，来检测出从属装置数。

(3)装置数检测机构

图22为第4实施方式例的相关装置数检测机构811的一例结构图。图22中，判断信号线702，经开关机构904以及具有一定的电阻值的电阻901，与具有一定的电压值的例如电源VDD相连接。开关机构904，被来自命令产生机构511的命令控制其开闭。另外，判断信号线702，与A/D转换机构903相连接。这里，A/D转换机构903，接收到判断信号线上的判断信号的电位，并变换成数字值之后，输出给连接数计算机构902。连接数计算机构902，根据所输入的判断信号的电位信息，判断出与主装置相连接的从属装置的数目。

图23中显示了装置数检测机构的具体的例子。图23中，对与图22相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图23中，装置数检测机构811的电阻901为1kΩ，VDD为5V。与主装置相连接的从属装置，为第1～第3从属装置411、412、413，从属装置数为“3”。另外，各个从属装置内，判断信号线702经1kΩ的电阻接地。

通过来自命令产生机构551的命令，让开关机构904接通之后，经电阻901判断信号线702与VDD(5V)相连接。由于判断信号线702与地之间，并联有3个1kΩ的电阻，因此，判断信号线702与地之间的阻抗约为333Ω。所以，判断信号线702的电位，由于和电阻901的分压，而变为约1.25V。A/D转换机构903检测出判断信号线702的电位，变换成数字数据，输出给连接数计算机构902。

连接数计算机构902，具有例如像图24那样的用来根据判断信号电位来计算出装置数的装置数检测表。因此，连接数计算机构902，参照装置数检测表，根据所输入的判断信号电位，计算出所连接的从属装置数。图24的装置数检测表，例如是根据主装置401所具有的电阻901的值，以及从属装置内与判断信号线702相连接的电阻的值，而计算出来的。这里，连接数计算机构902，根据判断信号电位为1.25V，计算出从属装置数为“3”。连接数存储机构554，存储所计算出的从属装置数。

如上述第3实施方式例所述，应答确认机构552，从产生了与所确认的数值Ra相等的随机数的从属装置接收应答。此时，命令产生机构551，在所确认的数值Ra与从属装置所产生的随机数Rn相等的情况下，生成只让产生了该随机数的从属装置，接通开关机构803的命令。命令产生机构551，将该命令发送给相应的从属装置，通过这样，装置数检测机构811，能够取得产生了与上述数值Ra相等的随机数Rn的从属装置的数。这里，在装置数检测机构811所取得的从属装置的个数为1的情况下，命令产生机构551，对产生了与上述数值Ra相等的随机数Rn的从属装置，生成用来让其将所产生的随机数输出给识别ID存储机构504的识别ID设定命令。通过这样，接收到识别ID设定命令的从属装置，根据所产生的随机数，对自装置设定识别ID。

同样，装置数检测机构811，对所产生的随机数范围内的所有数值，确认产生了与上述数值相等的随机数的从属装置的个数。之后，在产生了与上述数值相等的随机数的从属装置的个数为1个的情况下，命令产生机构551产生识别ID设定命令。通过这样，接收到识别ID设定命令的从属装置，根据所产生的随机数，对自装置设定识别ID。

这里，命令产生机构551，还可以对识别ID不确定的从属装置，决定不包括所确定的识别ID的数值的范围的随机数范围，发送给各个从属装置。之后，在所决定的随机数范围内进行上述处理。也即，装置数检测机构811，对于所产生的随机数范围，确认产生了与确认的数值Ra相等的随机数Rn的从属装置的个数。之后，对产生了与确认的数值Ra相等的随机数Rn的从属装置的个数为1个的从属装置，将该从属装置所产生的随机数输出给识别ID存储机构504，存储识别ID。

如上所述，在产生了与所确认的数值相等的随机数的从属装置的个数为1个的情况下，确定识别ID，在为多个的情况下，再次产生随机数，反复进行该操作，直到所有的从属装置的识别ID均被确定。

(作用效果)

如上所述，主装置具有根据判断信号线702的电位，检测出从属装置数的装置数检测机构811。此时，判断信号线的电位，根据与判断信号线702相连接的从属装置数而变化。因此，通过判断该电位，就能够检测出与主装置相连接的从属装置的数目。

另外，应答确认时，确认产生了与所确认的数值Ra相等的随机数Rn的从属装置数。之后，对于产生了与所确认的数值Ra相等的随机数Rn的从属装置数为1个的情况，确定识别ID。通过这样，能够降低用来决定识别ID的随机数发生重复的概率。

除此之外，能够得到与第3实施方式例相同的作用效果。

(其他)

以上，连接数计算机构902具有装置数检测表。但也可以根据与判断信号线702相连接的主装置401的电阻901的值(设为Rh)、从属装置的电阻值(设为Rd)、以及与电阻901相连接的电位(设为Vh)的信息，通过例如下式，来根据判断信号电位(设为Vr)，计算出从属装置数(Dn)。

DnRd(Vh-Vr)÷(Rh×Vr)…(1)

<第5实施方式例>

(构成)

图25为使用本发明的第5实施方式例的设备识别方法进行装置识别的系统的结构图。图25中，与图15相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图25中，模拟芯片选择信号布线(以下称作CSA信号布线)1201、1202，是连接主装置401与从属装置之间的模拟信号线。另外，电阻1203是连接从属装置之间的电阻，是串联插入在CSA信号布线上的具有一定值的电阻。

另外，主装置以及各个从属装置的端子，是与第1实施方式例的图1A以及图1B所示的相同的端子设置，对应的端子之间经贯通布线相连接。在这样的3维安装的半导体装置中，实现电阻1203的例子如下所述。

(1)电阻

图26(a)、(b)对本发明的实施方式的相关从属装置进行说明的图，图26(a)为芯片的平面图，图26(b)为沿着图26(a)中的X-X’线的剖面图。

图26(a)、(b)中，半导体基板(例如半导体存储芯片)1511中，沿着四周形成有贯通孔1512。这些贯通孔1512内的半导体基板1511表面，形成有氧化硅等的绝缘膜1513。另外，上述贯通孔1512内，间隔上述绝缘膜1513，设有处于与上述半导体基板1511绝缘的状态下的由导电材料所形成的电极1514。另外，上述电极1514中的基板1511的主表面侧，形成有粘合材料层1518。

另外，上述电极1514的材料，除了上述Cu或W以外，还能够使用包含有Cu或W的合金、Al、Mo、多晶硅、Au或包含有上述元素的合金。另外，上述粘合材料层1518，可以使用Au、Pb/Sn、Sn、Au/Sn、Sn/In、Sn/Bi等。

接下来，对上述半导体装置的制造方法进行说明。图27(a)与(c)分别表示上述半导体装置中的电极1514及其附近的制造工序顺序图。

首先，如图27(a)所示，在半导体基板1511的主表面上形成抗蚀膜1620，通过光刻法形成图案。

如图27(b)所示，通过化学蚀刻法形成开孔1621。也可以通过激光加工法或高密度等离子蚀刻法来形成。

如图27(c)所示，在该开孔1621的内壁，通过热氧化或CVD法，形成氧化硅等绝缘膜1513。

接下来，如图27(d)所示，在开孔1621内通过网板印刷法涂布导电性浆，将电极1514埋入。此时，为了在开孔1621内充分埋入导电性浆，最好进行2次以上的印刷。另外，在进行2次以上的印刷时，为了减少导电性浆中的空隙(void)的进入，最好在减压室等内进行。另外，电极1514的材料最好使用导电性浆。

作为堆叠而成的设备(例如存储器)的CS端子中所作成的通路(也即图26的贯通孔1512)，制作成长为100μm，孔径为10μm，电阻值为10Ω的情况下，该导电性浆的电阻率约为1.0×10^-5Ω·m。由于一般的金属材料的电阻率约为2.0×10^-8～1.0×10^-6Ω·m，因此难以产生所期望的电位差。导电性浆由导电性填料与树脂制成，作为导电性填料的材料的一个例子，能够将Au、Ag、Cu、Ni、Pd、Al的粉末或由它们所形成的合金粒子作为导电材料，将其混入热硬化性树脂中来制成。特别是，Cu导电性良好，迁移较少，价钱便宜，是一种有效的材料。另外，如果使用在Cu粒子上施行Ag涂层所得到的Ag涂层Cu粉末，则由于能够抑制因Cu的氧化所引起的电阻增加，因此优选。在采用Ag涂层Cu粉末的情况下，导电性填料的配比量优选为60～80wt％，特别优选是65～75wt％。如果导电性填料超过了80wt％，则导电性填料的阻抗率会比约1.0×10^-6Ω·m小。另外，在小于60wt％的情况下，便会比约1.0×10^-4Ω·m大。热硬化性树脂中的液状环氧数值在耐热性这方面很稳定。在使用热硬化树脂的情况下，在开孔21中填充有导电性浆时，在200℃的温度下通过30分钟左右将其硬化，通过这样，能够得到所期望的电阻值。

接下来，如图27(e)所示，去除基板1511上的抗蚀膜1620。通过去除抗蚀膜1620，能够将网板印刷法等工序中附着在抗蚀膜1620表面上的异物等全部去除。

接下来，如图27的(f)所示，在基板1511的主表面侧的上述电极1514上，形成粘合材料层1518。

通过这样，能够给图26(a)中所示的贯通孔1512付与给定的电阻。

(2)从属装置

图28A为有关第5实施方式例中的从属装置的结构图，图28B为主装置的结构图。图28A以及图28B中，与图25、图16A以及图16B中相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图28A中，从属装置包括CS检测机构1301、电阻801以及数据处理机构503。CS检测机构1301，检测出CSA信号布线1202的电位。之后，在CSA信号布线1202的电位为给定的电位的情况下，CS检测机构1301，允许数据处理机构503经数据信号线433发送接收数据。

(3)主装置

图28B中，主装置401包括数据处理机构553、CS决定机构1311、连接数存储机构554以及装置数检测机构811。CS决定机构1311，根据应当访问的所期望的从属装置，给CSA信号布线1202施加不同的电位。

(4)CS决定机构

图29表示通过第5实施方式例的CS决定机构1311所进行的芯片选择的具体例子。图29中，与图28A、图28B以及图25中相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图29中，在从属装置411、412、413内与CSA信号线相连接的电阻801为10Ω。另外，各个从属装置之间的电阻1203为10Ω。另外，这里设与主装置401相连接的从属装置的数目为3个。CS检测机构1301，在CSA信号线1202的电位为0.5V±0.1V时，允许数据处理机构553，经数据信号线421与主装置401之间发送接收数据。

在访问第1从属装置411的情况下，主装置的CS决定机构1311给CSA信号线1202施加0.5V。通过这样，第1从属装置411的CS检测机构所检测的点1411中的电位变为0.5V±0.1V。此时，第2从属装置412的CS检测机构，检测出点1412中的电位为0.2V。另外，点1412中的电位被电阻801、1203所分压。另外，第3从属装置413的CS检测机构，检测出点1413中的电位为0.1V。同样，点1413中的电位被电阻801以及两个电阻1203所分压。因此，CS检测机构1301不允许第2、第3从属装置进行数据的发送接收。

接下来，在访问第2从属装置412的情况下，点1412中的电位需要为0.5V±0.1V。因此，主装置的CS决定机构1311给CSA信号线1202施加1.25V。此时，CSA信号线上的点1411中的电位变为1.25V，点1412中的电位变为0.5V，点1413中的电位变为0.25V。因此，CS检测机构1301，只允许第2从属装置412与主装置401之间发送接收数据。

同样，在访问第3从属装置413的情况下，CS决定机构1311给CSA信号线1202施加5V。

(作用效果)

根据上述构成，主装置施加对应于所访问的从属装置的电位。通过这样，从属装置的CS检测机构，能够检测出被插入在从属装置间的电阻所分压的电位，决定是否与主装置之间进行数据的发送接收。

除此之外，能够得到与第3实施方式例相同的作用效果。

<第6实施方式例>

(构成)

图30为说明使用本发明的第6实施方式例的设备识别方法进行装置识别的系统的结构图。图30中，与图15相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图30中，电感1701是连接在从属装置之间，串联插入在CSA信号布线上的具有一定值的电感。

另外，主装置以及各个从属装置的端子，是与第1实施方式例的图1A以及图1B所示的相同的端子设置，对应的端子之间经贯通布线相连接。

(1)从属装置

图31A为第6实施方式例中的从属装置的结构图，图31B为主装置的结构图。图31A以及图31B中，与图16A以及图16B中相同的构成要素使用相同的符号，省略其说明。

图31A中，从属装置包括CS检测机构1801、频率存储机构1803、静电电容1802以及数据处理机构503。CS检测机构1801，与CSA信号布线1202以及静电电容1802相连接。另外，静电电容1802连接在地与CSA信号布线1202之间。这里，电感1701与静电电容1802形成低通滤波器。CS检测机构1801，对CSA信号布线1202中所流过的信号，检测出通过了该低通滤波器之后的具有一定以上的功率的信号频率。之后，在由CS检测机构1801所检测出的频率为频率存储机构1803中所存储的频率以下的情况下，数据处理机构503允许经数据信号线433发送接收数据。

另外，CS检测机构1801，在频率存储机构1803中没有存储频率的情况下，使最初所检测出的具有一定以上的功率的信号频率，存储在频率存储机构1803中。

(2)主装置

主装置401包括数据处理机构553、CS决定机构1811、连接数存储机构554以及装置数检测机构811。在图31B中，CS决定机构1811，根据应当访问的所期望的从属装置，分别给CSA信号布线1201施加具有不同的一定的频率的信号。

(处理以及作用效果)

主装置的CS决定机构，给与主装置相连接的模拟芯片选择信号线，施加对应于所访问的从属装置的频率。如上所述，通过插入在从属装置之间的电感，以及与从属装置的模拟芯片选择信号相连接的静电电容，构成低通滤波器构造。因此，CS检测机构，能够检测出具有一定以上的功率的一定频率的信号，决定是否与主装置之间进行数据的发送接收。

另外，对上述频率存储机构1803的频率存储，例如可以通过由命令线所发送的命令来执行。

除此之外，能够得到与第3实施方式例相同的作用效果。

<其他实施方式例>

让计算机执行上述方法的计算机程序，以及记录有该计算机程序的计算机可读取存储媒体，也包括在本发明的范围内。这里，计算机可读取存储媒体，可以列举出例如软磁盘、硬盘、CD-ROM、MO、DVD、DVD-ROM、DVD-RAM、BD(Blue-ray Disc)、半导体存储器等。

上述计算机程序并不仅限于记录在上述记录媒体中，还可以经由电气通信线路、无线或有线通信线路、以互联网为代表的网络等，进行传送。

(工业上的可利用性)

本发明的相关设备识别方法以及装置，还可以使用于需要通过3维安装进行高密度安装的移动机器，或需要将多个半导体装置多次连接起来的存储模块等用途中。

Claims (7)

1.一种层叠装置，是层叠有端子配置相同的多个从属装置以及主装置的层叠装置，其特征在于：

所述主装置具有：

命令发送机构，其向相邻的从属装置的端子输入识别命令；

识别ID接收机构，其从各个从属装置，接收对应于所述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID；以及

对应存储机构，其将各个从属装置和各个识别ID对应存储起来，

所述从属装置具有：

贯通布线，其将相邻的从属装置及自装置的至少1个端子之间连接起来；

命令接收机构，其接收所述识别命令；以及

识别ID设定机构，其根据所述识别命令，设定自装置的识别ID，

连接所述相邻从属装置之间的端子的位置，在从属装置中各不相同，各个从属装置的所述命令接收机构，接收通过从在各个所述从属装置中连接位置不同的贯通布线中通过，而在各个从属装置中变化为不同值的识别命令。

2.如权利要求1所述的层叠装置，其特征在于：

各个从属装置，将被输入了所述识别命令的端子，钳位成所述识别命令的输入前的给定电位(以下称作第1电位)，

所述命令接收机构所接收到的识别命令，是所述端子的电位，通过经由所述贯通布线的识别命令的输入，从所述第1电位开始变化而生成的。

3.一种层叠装置，是层叠有端子配置相同的多个从属装置以及主装置的层叠装置，其特征在于：

所述主装置具有：

第1命令发送机构，其向相邻的从属装置的端子输入识别命令；

识别ID接收机构，其从各个从属装置，接收对应于所述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID；以及

对应存储机构，其将各个从属装置和各个识别ID对应存储起来，

所述从属装置具有：

贯通布线，其将相邻的从属装置及自装置的至少1个端子之间连接起来；

命令接收机构，其从所述主装置或相邻的从属装置接收识别命令；

识别ID设定机构，其通过所述识别命令的接收，设定自装置的识别ID；

命令变更机构，其将所接收到的识别命令，变更为各个从属装置固有的识别命令；以及

第2命令发送机构，其经所述贯通布线，将所变更的识别命令输入给相邻的从属装置。

4.根据权利要求3所述的层叠装置，其特征在于：

进一步包括完成通知发送机构，其具有在所述识别ID设定机构设定了识别ID之后，将表示所述识别ID的设定已完成的完成通知，经所述贯通布线发送给所述主装置。

5.一种主装置，是端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的主装置，其特征在于，具有：

命令发送机构，其向相邻的从属装置的端子输入识别命令；

识别ID接收机构，其从各个从属装置，接收对应于所述识别命令所设定的各个从属装置的识别ID；以及

对应存储机构，其将各个从属装置和各个识别ID对应存储起来。

6.一种从属装置，是端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的从属装置，其特征在于，具有：

贯通布线，其将相邻的从属装置及自装置的至少1个端子之间连接起来；以及

命令接收机构，其从所述主装置接收识别命令；以及

识别ID设定机构，其根据所述识别命令，设定自装置的识别ID，

连接所述相邻从属装置之间的端子位置，在从属装置中各不相同，各个从属装置的所述命令接收机构，接收通过从在各个所述从属装置中连接位置不同的贯通布线中通过，而在各个从属装置中变化为不同值的识别命令。

7.一种从属装置，是端子配置相同的多个从属装置以及主装置所层叠而成的层叠装置的从属装置，其特征在于，具有：

贯通布线，其将相邻的从属装置及自装置的至少1个端子之间连接起来；

命令接收机构，其从所述主装置或相邻的从属装置接收识别命令；

命令变更机构，其将所接收到的识别命令，变更为各个从属装置固有的识别命令；

第2命令发送机构，其经所述贯通布线，将所变更的识别命令输入给相邻的从属装置；以及

识别ID设定机构，其通过所述识别命令的接收，设定自装置的识别ID。

Images