CN1670546A - 光波导装置和光波导装置的制造方法以及光波导装置的中间体 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光波导装置和光波导装置的制造方法以及光波导装置的中间体，可防止由于包层的固化收缩在包层上产生褶皱和气泡等。在支撑基板(2)的上面突起设置用于支撑上包层(7)的具有规定的高度的凸台(3、4)。在支撑基板(2)的上面设有与凸台(3、4)连续的、位于比凸台(3、4)上表面低的位置上的中间面(22、23)。结果，凸台(3、4)的高度被分为凸台(3、4)和中间面(22、23)之间的阶差、中间面(22、23)的阶差，使阶梯部分被分解成小的阶差。结果，分散了因包覆用树脂的固化收缩而产生的应力，使下包层不易产生褶皱和气泡等的不良现象。
Description
技术领域
本发明涉及向在芯内透射传输光的光波导附加光纤导向器或光学元件设置部、光调制功能等的光波导装置及其制造方法。并且，涉及该光波导装置的中间体。
背景技术
在光通信中使用的光纤的连接部和末端部中，为了与其他光纤或投光元件、感光元件连接而使用光波导装置。作为这种光波导装置，以往在红外线波长区域使用低损耗的石英系列材料的光波导装置成为主流。但是，最近在进行使用廉价的高分子材料形成的高分子光波导的开发。作为这种高分子波导装置，例如有如专利文献1所述的在硅基板上形成高分子波导的光波导装置。
因此，本发明的发明者们试制了图1和图2所示结构的光波导装置1。图1是光波导装置1的立体图，图2是其分解立体图。该光波导装置1形成为在支撑基板2上层压光波导10的结构。支撑基板2由硅基板构成，在其上面两端部形成凸台3、4，在凸台4上面设置用于定位光纤的V槽5。光波导10形成在由玻璃基板构成的玻璃罩基板6的下面，其在由聚甲烯酸甲酯(PMMA)等透明树脂构成的上包层7下面，设有折射率大于上包层7的由透明树脂构成的芯8，在其下面层压由和上包层7相同的树脂构成的下包层9。该光波导10被配置在支撑基板2上面的凸台3、4之间，在从与支撑基板2的上面垂直向下观看时，芯8的端部和V槽5形成一条直线。
上述的光波导装置1在制造工序中不是单个制造的，而是通过分割图3和图4所示的集合体一次制造多个。图3是表示被分割前的多个光波导装置的集合体的俯视图，图4是图3的X1-X1线剖面图。符号2A表示最后被分割，成为支撑基板2的支撑母体基板，例如是硅晶片。6A表示最后被分割，成为玻璃罩基板6的玻璃罩母体基板，例如是玻璃晶片。为了得到图3和图4的集合体，在支撑母体基板2A的上面通过蚀刻形成多个凸台3、4和V槽5，另一方面，在玻璃罩母体基板6A下面形成多个上包层7和芯8。然后，在支撑母体基板2A的上面滴下用于形成下包层9的包覆用树脂，使玻璃罩母体基板6A上下反转地重叠在支撑母体基板2A上，在支撑母体基板2A和玻璃罩母体基板6A之间按压包覆用树脂使其扩展。此时，通过把凸台3、4按压在上包层7的下面，包覆用树脂形成为一定厚度。在该状态下，例如通过照射紫外线光使包覆用树脂固化，在支撑母体基板2A和上包层7之间形成下包层9。另外，符号11表示用于防止包覆用树脂流到V槽5内的堰部。
然后，沿着图3所示的点划线切割集合体，分割成各个光波导装置1。然后，在相当于凸台3、4的内侧端部的部位切割玻璃罩基板6和上包层7，去除不要部分的玻璃罩基板6、上包层7、下包层9(包覆用树脂)，并且切割支撑基板2的端部，使V槽5的端部在支撑基板2的端面敞开，得到图1和图2所示的光波导装置1。此处，进行上述紫外线光照射时，如果预先遮挡住与凸台3、4相对的部位，使紫外线光不能到达包覆用树脂，则可以容易去除凸台3、4的部位的玻璃罩基板6和上包层7等。并且，上述堰部11也可以在此时利用小块切割机的切刀进行切削来去除。
但是，试制上述的光波导装置1的结果是，在下包层9产生了细微的褶皱和气泡(空隙)。其原因被认为是用于包覆用的树脂的固化收缩率大(固化收缩率约10％)。图5是为了调查产生褶皱的状态而使包覆用树脂整体固化的试样的俯视图。图6是图5的X2-X2线剖面图。在图5中，利用粗实线表示褶皱2的产生部位，判明在凸台3、4的阶梯部分附近容易产生褶皱。并且，有时也与褶皱12同时产生气泡。如果产生这种褶皱12和气泡，具有在光波导装置1产生外观不良，并且上包层7和芯8因残留应力而变形，在芯8内传输的光信号泄漏，使光信号的传输效率降低的问题。
并且，由于下包层9的固化收缩，如图7所示，在上包层7和芯8和下包层9之间产生剥离13，有时形成不良品。另外，在实验的结果中判明，凸台3、4的阶差越大，越容易产生褶皱12和剥离13等。
另外，为了防止这种特性劣化等，作为包覆用树脂可以使用固化收缩小的树脂，但是固化收缩小的树脂非常昂贵，所以光波导装置1的成本提高，树脂的选择范围狭小。因此，期望有一种不依赖于树脂种类的、可防止因固化收缩造成的特性劣化的方法。
专利文献1特开2001-281479
发明内容
本发明就是鉴于上述技术问题而提出的，其目的在于，防止因包层的固化收缩产生褶皱等，缓和光波导装置的特性劣化和外观不良。
本发明的第1光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板上设有：支撑所述上包层的下面，用于进行定位的凸台；位于形成所述第2基板的下包层的下表面的面与所述凸台的上表面之间的中间高度位置，且与所述凸台连续的中间面。
此处，所说功能部位，例如是收纳光纤的端部并定位的V槽，或形成用于安装发光元件和感光元件等的金属膜(衬垫)的面等。并且，中间面可以不是一个而是多个。
在本发明的第1光波导装置中，可以利用凸台规定下包层的厚度，可以使下包层的厚度均匀。而且，凸台的上面和中间面的阶差、中间面彼此间的阶差、中间面和形成第2基板的下包层下表面的面的阶差均小于下包层的厚度，所以能够使下包层的树脂固化收缩时的内部应力分散，可以降低下包层的褶皱和气泡等的产生，可以防止光波导装置的外观不良和特性劣化。
特别是如果使凸台的上面和中间面的阶差、中间面彼此间的阶差、中间面和形成第2基板的下包层下表面的面的阶差均小于等于20μm，则可提高缓和应力以及抑制褶皱和气泡产生的效果。
本发明的第2光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，位于所述第2基板的最高位置的面，位于比所述下包层的上表面低的位置。
在制作第1光波导装置后，通过裁断去除凸台的一部分，可以得到第2光波导装置，所以在第2光波导装置中也能获得和第1光波导装置相同的作用效果。
在第1光波导装置的实施方式中，可以使所述中间面位于芯的下方。如该实施方式那样，通过在芯的下方形成中间面，可以缓和芯附近的应力集中。并且，通过使中间面从没有芯的区域延长到芯的下方区域，可以延长中间面的长度，所以在应力缓和上更有效果。
本发明的第3光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板上设有：支撑所述上包层的下表面、用于进行定位的凸台，在所述凸台的外周面形成有倾斜面。并且，倾斜面可以设在凸台的全周，也可以设在一部分上。
在第1光波导装置中，通过形成中间面来减小阶差，但通过形成无数个无限小的阶差的中间面使近似于倾斜面，利用倾斜面也可以获得和第1光波导装置相同的作用效果。此处，倾斜面的倾斜角度优选小于等于55°。
本发明的第4光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板上设有用于支撑所述上包层的下表面、并进行定位的凸台，使所述凸台的上表面的面积小于等于所述第2基板的面积的10％。并且，凸台的上面面积优选小于第2基板的面积的3％。
并且，本发明的第5光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板上设有用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台，使所述凸台的上面的一边长度小于等于1mm。
在本发明的第4和第5光波导装置中，通过减小凸台的面积，使凸台变细，减小因在下包层产生的树脂的固化收缩造成的应力集中。因此，根据该光波导装置，也能够抑制下包层的褶皱和气泡的产生，防止光波导装置的外观不良和特性劣化。
本发明的第1光波导装置的中间体是制造光波导装置的过程中的中间体，该光波导装置通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板上设有：用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台；和位于形成所述第2基板的下包层下表面的面与所述凸台上表面之间的中间高度，且与所述凸台连续的中间面。此处，所说光波导装置的中间体(中间产品)指光波导装置的最终产品完成前的制造工序中的状态。
在本发明的第1光波导装置的中间体中，可以利用凸台规定下包层的厚度，可以使下包层的厚度均匀。而且，凸台的上面和中间面的阶差、中间面彼此间的阶差、中间面和形成第2基板的下包层下表面的面的阶差均小于下包层的厚度，所以能够使下包层的树脂固化收缩时的内部应力分散，在制造工序中可以降低下包层的褶皱和气泡等的产生，可以防止光波导装置的外观不良和特性劣化。
本发明的第2光波导装置的中间体是制造光波导装置的过程中的中间体，该光波导装置通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，在所述第2基板设置用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台，在所述凸台的外周面形成有倾斜面。
在第1光波导装置的中间体中，通过形成中间面来减小阶差，但通过形成无数个无限小的阶差的中间面使近似于倾斜面，利用倾斜面也可以获得和第1光波导装置的中间体相同的作用效果。此处，倾斜面的倾斜角度优选小于55°。
本发明的光波导装置的制造方法，其特征在于，具有：在第1基板上形成使光透射传输的芯和包围芯的上包层的工序；在第2基板上形成用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台；位于形成所述第2基板的下包层的下表面的面与所述凸台上表面之间的中间高度，且与所述凸台连续的中间面；和功能部位的工序；在第2基板与第1基板之间，夹着包覆用树脂，把第1基板载置在第2基板的凸台上，使包覆用树脂固化，在两基板之间形成下包层的工序；和去除所述凸台的工序。
在本发明的光波导装置的制造方法中，可以利用凸台规定下包层的厚度，使下包层的厚度均匀。而且，凸台的上面和中间面的阶差、中间面彼此间的阶差、中间面和形成第2基板的下包层下面的面的阶差均小于下包层的厚度，所以能够使下包层的树脂固化收缩时的内部应力分散，在制造工序中可以防止下包层的褶皱和气泡等的产生，可以防止光波导装置的外观不良和特性劣化。
另外，本发明的以上说明的构成要素可以尽可能地任意组合。
附图说明
图1是表示由本发明的发明者们制作的作为试制例的光波导装置的立体图。
图2是图1的光波导装置的分解立体图。
图3是表示分割前的多个光波导装置的集合体的俯视图。
图4是图3的X1-X1线剖面图。
图5是为了调查产生褶皱的状态而使包覆用树脂整体固化的试样的俯视图。
图6是图5的X2-X2线剖面图。
图7是表示光波导装置产生剥离的状态的剖面图。
图8是本发明实施例1的光波导装置的立体图。
图9是成为最终产品的前一个阶段的状态的光波导装置的分解立体图。
图10是表示制造工序的光波导装置的集合体的俯视图。
图11是图10的X3-X3线剖面图。
图12是表示进一步增加阶梯部分的数量的示例的剖面图。
图13是表示本发明实施例1的变形例的剖面图。
图14是表示本发明实施例1的其他变形例的俯视图。
图15是图14的X4-X4线剖面图。
图16是表示本发明实施例1的另外其他变形例的剖面图。
图17是本发明实施例2的光波导装置的立体图。
图18是上述光波导装置的部分分解立体图。
图19是表示实施例2的变形例的立体图。
图20是将上述光波导装置的一部分分解的分解立体图。
图21是本发明实施例1和2的另外其他变形例的支撑基板的立体图。
图22是本发明实施例3的光波导装置的集合体的俯视图。
图23是图22的X5-X5线剖面图。
图24是表示在上述光波导装置的集合体中，去除玻璃罩基板和上包层的一部分的状态的俯视图。
图25是表示上述光波导装置的集合体中的一个光波导的剖面图。
图26是将所分割的光波导装置的一部分分解的分解立体图。
图27是装配了滤色器的光波导装置的立体图。
图中：1光波导装置；2支撑基板；2A支撑母体基板；3、4凸台；5V槽；6玻璃罩基板；6A玻璃罩母体基板；7上包层；8芯；9下包层；10光波导；11堰部；12褶皱；13剥离；21光波导装置；22、22A、23、24、25中间面；26金属图形；27、28、29倾斜面；30凹部；31、32金属安装面；33支撑台；34 V槽部；35切槽；36滤色器
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施例。但是，本发明不限于以下实施例。
(实施例1)
图8是本发明的一实施例的光波导装置21的立体图。图9是成为最终产品的前一个阶段的状态的光波导装置21的分解立体图。并且，图10是表示制造工序的光波导装置21的集合体的俯视图，图11是图10的X3-X3线剖面图。该实施例的光波导装置21中没有特别说明的部分，具有和图1～图4所示的光波导装置1相同的结构，并且通过相同的工序制造，所以对和在图1～图4中说明的光波导装置1对应的部分赋予相同符号，并省略说明。
该实施例的光波导装置21在最终工序的前一个阶段具有图9所示的结构。即，凸台3、4的面积变小，在各自的周围设置高度低于凸台3、4的中间高度的面(以下称为中间面)22、23。并且，在中间面23形成V槽5。为了防止发生褶皱，优选面积较小的凸台3、4，所以在不存在必要强度不足的限度下，优选凸台3、4的面积小于整体面积的10％。并且，优选中间面22、23的高度小于20μm，优选从中间面22、23上面测定的凸台3、4的高度也小于20μm。另外，为了防止产生褶皱，优选阶梯部分彼此离开，所以优选中间面22、23在水平方向上的长度(与芯长度方向平行的方向的长度)大于等于300μm。形成于玻璃罩基板6下面的光波导10在中间面22和中间面23之间被设于支撑基板2的上面。
并且，在最后工序，利用切片锯切割中间面23的端面，去除堰部11，并且沿着图9所示的C线切去支撑基板2的端部，使V槽5的端部敞开，得到图8所示的光波导装置21。
具有这种结构的光波导装置21按照图10和图11所示制造。在由硅晶片构成的支撑母体基板2A的上面一体地形成端部除外的中间面22和23，在各中间面22和23上一体地突起设置凸台3和4。因此，在该支撑母体基板2A上滴下包覆用树脂，利用形成于玻璃罩母体基板6A下面的上包层7和芯8按压包覆用树脂，使其在支撑母体基板2A和上包层7之间扩展。此时，凸台3和4接触上包层7的下面，由此包覆用树脂形成一定厚度。在该状态下，通过玻璃罩母体基板6向包覆用树脂照射紫外线，使包覆用树脂进行UV固化，形成下包层9。此时，利用掩模覆盖中间面22和凸台3的区域、中间面23和凸台4的区域，使紫外线光不能照射在包覆用树脂上。
在下包层9固化后，沿着图10所示点划线切割光波导装置21的集合体，切出各个光波导装置21。另外，由于如果沿着中间面22和中间面23内侧端部切割玻璃罩基板6，则在中间面22、23的区域中包覆用树脂不能固化，所以能够容易去除玻璃罩基板6和上包层7等，可以使中间面22、23和凸台3、4露出。由此得到图9所示光波导装置21。
比较该实施例的图11和试制例的图4，在试制例中设有较深的阶差，所以因包覆用树脂的固化收缩形成的应力集中于阶梯部分，产生较大的内部应力。而在该实施例中，阶梯部分分散在两处，各阶梯部分的阶差变小，所以因包覆用树脂的固化收缩形成的应力不会集中，而分散于各阶梯部分。结果，根据该实施例的光波导装置21，不会在下包层9产生褶皱和气泡，不易在上包层7和下包层9之间产生剥离。
并且，根据实验，如果阶差大于等于20μm，则容易产生褶皱等，所以各阶梯部分的高度如上所述优选小于20μm。但是，根据情况如果下包层9较薄，有时在芯8内传输的光信号容易泄漏。因此，在必须使下包层9的厚度大于等于40μm的情况下，如图12所示，可以使阶梯部分分散于三处以上，使各阶梯部分的高度小于20μm。特别是在图12所示例中，在芯8的端部下方也设置中间面24、25，形成阶梯部分，所以能够缓和芯8端部的应力集中。
图13表示本实施例的变形例。在该变形例中，在重叠玻璃罩母体基板6A之前，在支撑母体基板2A的中间面22上预先形成金属图形26。该金属图形26成为用于安装例如发光元件或感光元件的安装用衬垫。在设置这种金属图形26的情况下，在下包层9容易产生褶皱等，但根据本实施例，使阶梯部分分散，可以缓和应力集中，能够抑制褶皱和气泡的产生。另外，在中间面22设置金属图形26的情况下，如果按图12所示把阶梯部分的阶梯数增加为3段以上，金属图形26的高度的自由度提高。
并且，图14是表示该实施例的变形例的俯视图，图15是图14的X4-X4线剖面图。在此前的实施例中，各阶梯部分形成为带状(阶梯状)，但在该变形例中，使凸台3、4和中间面22、23之间形成为倾斜面27，使中间面22、23和支撑母体基板2A上面之间形成为倾斜面28。作为这些倾斜面27、28的倾斜角优选小于55°。例如，作为支撑母体基板2A使用[100]硅基板等，可以通过蚀刻形成倾斜角54°的倾斜面27、28。另外，形成为倾斜面的可以仅是局部阶梯部分。并且，倾斜面也可以是圆弧状面等的曲面。
并且，通过采用倾斜面，高度逐渐变化，使应力分散，所以即使高度为图16所示倾斜面29那样的阶梯部分的高度时，也可以利用一个阶梯部分实现目的。
(实施例2)
在实施例1中，在最终产品中去除凸台，但也可以保留凸台。图17是表示本发明的实施例2的光波导装置37的外观立体图，图18是将其一部分分解的分解立体图。在该实施例中，在支撑基板2的上面的下包层形成区域内突起设置多个凸台3、4，在其周围形成高度低于凸台3、4的中间面22、23。
在这种实施例中，可以使下包层9的树脂固化时的应力分散，所以能够防止产生褶皱等。并且，在该实施例中，凸台3、4和中间面22、23设在下包层形成区域，所以在作为最终产品的光波导装置37也保留凸台3、4和中间面22、23。
另外，图19是把凸台3、4设在下包层形成区域中的实施例，该凸台3、4的外周面整体或一部分形成为倾斜面27。图20是其分解立体图。在该实施例中，倾斜面27的倾斜角优选小于55°。
该实施例也可以使下包层9的树脂固化时的应力分散，所以能够防止产生褶皱等。并且，在该实施例中，凸台3、4设在下包层形成区域，所以在作为最终产品的光波导装置也保留凸台3、4。
另外，在上述实施例1和实施例2中，凸台3、4和中间面22、23、24、25等配置成一直线，但这些各部分的配置可以任意配置。图21是表示这种示例的支撑母体基板2A的立体图。在该例中，隔着V槽5，在宽度方向的两端形成带状凸台3、4，把凸台3和凸台4之间的区域整体作为高度低于凸台3、4的中间面22A。并且，用于形成下包层9的凹部30被配置成接触V槽5的端部，接触凹部30的相邻的两个边凹陷设置金属安装面31、32上，在金属安装面31、32上形成金属图形26。在这种示例中，为了减小凸台3、4和中间面22A的阶差，对它们进行二维状排列配置。在该示例中，在该支撑基板上重叠玻璃罩基板，在支撑基板和上包层之间形成下包层，在露出V槽部和金属图形26的最终产品状态下，也可以不去除凸台3和4而将它们保留。
(实施例3)
图22～图27按照制造步骤表示本发明的其他实施例的光波导装置。图22是表示该光波导装置的集合体的俯视图，图23是图22的X5-X5线剖面图，图24是表示去除玻璃罩基板和上包层的一部分的状态的俯视图，图25是一个光波导装置的剖面图，图26是将所分割的光波导装置的一部分分解的分解立体图，图27是装配了滤色器的光波导装置的立体图。
在该实施例中，减小凸台3、4的面积，使长边的长度小于等于1mm。根据实验判明，在凸台3、4俯视时呈长方形时，下包层9的褶皱容易产生在长边侧。这被认为是由于在长边侧不易供给包覆用树脂。并且，通过减小凸台3、4的面积，特别是使长边的长度小于等于1mm，使得即使凸台3、4的阶差大，在下包层9也不易产生褶皱。因此，在该实施例中，使凸台3、4变细，以使一边尺寸小于1mm，利用多个凸台3、4支撑上包层7。并且，伴随凸台3、4的减小，设置与凸台3、4不同的支撑台33和V槽部34，在支撑台33的上面设置金属图形26，在V槽部34上面形成V槽5。
凸台3、4的优选面积的上限值可以利用其他形式规定。即，凸台3、4的面积优选小于支撑基板2的面积的10％，更优选小于3％。
使支撑母体基板2A的凸台3、4上面接触上包层7的下面，支撑玻璃罩母体基板6A和上包层7，在支撑母体基板2A和上包层7之间利用包覆用树脂形成下包层9。图23和图24表示该状态。
然后，切割对应支撑台33和V槽部34的部分的玻璃罩母体基板6A和上包层7，将其切离。结果，如图24和图25所示，支撑台33和V槽部34从玻璃罩母体基板6A上露出。
然后，切割光波导装置的集合体，并分离成各个光波导装置，在切取堰部11的同时，切割支撑基板2的端部，使V槽5的端部在支撑基板2的端面敞开。图26表示该状态的分解立体图。然后，如图27所示，在玻璃罩基板6、上包层7、芯8、下包层9和支撑基板2的一部分倾斜切出切槽35。向该切槽35插入使规定波长区域的光透射、使其他波长区域的光反射的滤色器36，仅使规定波长区域的光选择性地在芯8内透射传输。
这样，即使凸台3、4变细，也能够抑制下包层9的褶皱等的产生，所以减小由于在芯8传输的光的泄漏造成的损耗。
Claims (13)
1.一种光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板上设有：
支撑所述上包层的下表面，用于进行定位的凸台；
位于形成所述第2基板的下包层的下表面的面与所述凸台的上表面之间的中间高度位置，且与所述凸台连续的中间面。
2.一种光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
位于所述第2基板的最高位置的面，位于比所述下包层的上表面低的位置。
3.根据权利要求1所述的光波导装置，其特征在于，所述中间面位于所述芯的下方。
4.根据权利要求1所述的光波导装置，其特征在于，形成于所述第2基板上的阶梯部分的阶差小于等于20μm。
5.一种光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板上设有：支撑所述上包层的下表面、用于进行定位的凸台，在所述凸台的外周面形成有倾斜面。
6.根据权利要求5所述的光波导装置，其特征在于，所述倾斜面的倾斜角度小于等于55°。
7.根据权利要求1所述的光波导装置，其特征在于，所述功能部位是形成有金属膜的区域。
8.根据权利要求1所述的光波导装置，其特征在于，所述功能部位是用于支撑光纤的V槽。
9.一种光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板上设有用于支撑所述上包层的下表面、并进行定位的凸台，使所述凸台的上表面的面积小于等于所述第2基板的面积的10％。
10.一种光波导装置，通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板上设有用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台，使所述凸台的上面的一边长度小于等于1mm。
11.一种制造光波导装置的过程中的中间体，该光波导装置通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板上设有：用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台；和
位于形成所述第2基板的下包层下表面的面与所述凸台上表面之间的中间高度，且与所述凸台连续的中间面。
12.一种制造光波导装置的过程中的中间体，该光波导装置通过在具有使光透射传输的芯和包围芯的上包层的第1基板与具有功能部位的第2基板之间形成下包层，而将所述第1基板与所述第2基板接合，其特征在于，
在所述第2基板设置用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台，在所述凸台的外周面形成有倾斜面。
13.一种光波导装置的制造方法，其特征在于，具有：
在第1基板上形成使光透射传输的芯和包围芯的上包层的工序；
在第2基板上形成用于支撑所述上包层的下表面并进行定位的凸台；位于形成所述第2基板的下包层的下表面的面与所述凸台上表面之间的中间高度，且与所述凸台连续的中间面；和功能部位的工序；
在第2基板与第1基板之间，夹着包覆用树脂，把第1基板载置在第2基板的凸台上，使包覆用树脂固化，在两基板之间形成下包层的工序；和
去除所述凸台的工序。
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