CN1637336A - 通过感应加热液化气体罐的系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于输送以液态形式储存在容器中的气体的系统，所述容器在其下部包含所述气体的液相并在其上部包含所述气体的气相，该容器包括用于与应用装置相连的装置以及用于对所述容器下部进行加热的装置。按照本发明，该液化气体和/或该容器的外壳是导电元件，并且该加热装置包括电磁感应装置，该电磁感应装置能够在该外壳和/或该液体中产生交变磁场，以便对该外壳下部和/或该容器中的液体进行加热，同时限制通过所述装置加热气体。

Description

通过感应加热液化气体罐的系统
技术领域
本发明涉及一种用于输送以液态形式储存在容器中的气体的系统，所述容器在其下部包含所述气体的液相并在其上部包含所述气体的气相，这种容器包括用于将该容器与应用装置相连的装置，以及用于对所述容器下部进行加热的装置。
技术背景
当前，半导体产业面临着对所谓专用气体越来越大的需求，该专用气体用于制造集成电路所必需的各种步骤。这些专用气体中的一些，如HCl、Cl2、HBr、N2O、NH3、WF6、BCl3和3MS——这里仅引用其中一些——当处于环境温度时发生液化，这样就使它们的分配存在困难。这些困难直接关系到在使用期间它们的压力和/或它们的流速。
液化气体包括两种相/状态，即液态和气态，其互相保持平衡。这种平衡意味着在给定温度下液化气体具有被很好地确定的压力，该压力作为温度的函数根据每种气体所特定的(温度压力)关系而变化。因此，图1是三甲硅烷(被称为3MS)的液相和气相的平衡曲线，该图示出作为温度的函数的在液相之上处于平衡的气体压力。人们发现，该压力随温度升高而升高，反之亦然。
当从液化气体罐中抽出气相时，部分液体必须转化为气体以再产生与所使用的量成比例的气体，以便保持平衡。因此液体利用可获得的能量(通常是围绕罐的外部介质的能量)而开始沸腾/汽化。随着抽出速率的增大，所需的能量也增大，液体将剧烈沸腾，从而产生在气相中夹带含有杂质的液滴的很大危险。这些液滴不仅污染气体，而且还会加速腐蚀过程，并导致流速调节和压力测量的不稳定。如果可获得的能量不足以使液体气化并再产生气相，则由于必须保持平衡，该温度——并且进而该压力——会降低。
通过加热从外部提供能量可以限制所观测到的冷却和压力降低情况。从而可以设想几种解决方案。
一个解决方案如图1所示，它包括加热罐的下部或底部，同时利用罐中的压力控制该加热。当压力低于对应于环境温度的压力时，允许进行加热，而当液体达到或处于环境温度时，停止加热。通过将气体保持在稍低于环境温度的温度，可以避免不得不在沿分配网没有冷点的限制下布置分配网的问题。这种系统在美国专利5761911，6076359和6199384中进行了说明。
一般来说，迄今为止用于增大液化气体流速的加热技术包括使用加热带或加热条型的电阻加热元件，或者甚至热空气来加热罐的体部。这种加热的缺点是能量传递受到从加热元件到罐的热传导的很大的限制，这导致尽管有大量的能量输入，但是可使用的流速还是受到限制。换句话说，这种设备具有低的能量效率。
更普遍的是，存在增大从罐中排出的气体流速的问题，该罐以液相形式储存气体。当要求将罐所输送的气体的压力增大到其相对于罐中处于环境温度下的液体的平衡压力之上时，会出现另一个技术问题。在这两种情况下可以采用的解决方案是在上述专利中所说明的方案，即增大由加热系统传送的能量。在这种情况下，很快加热系统可以达到100℃以上的温度，通过热传导传递给罐和/或液体的加热能量导致罐的温度升高，至少局部升高，从而罐壁所吸附的杂质如CO、CO2等会发生解吸，这导致输送的气体中包含杂质，如CO、CO2等，这对于用户来说是无法接受的，尤其是在半导体制造领域(但是在其它技术领域也是如此)。
因此，现在我们面临这样一个问题，即，增大由贮存器(罐等)输送的气体的流速和/或压力但不产生附加杂质，产生附加杂质将与预定的目的相背离(因为这与气体汽化已经可以消除存在于液体中的不易汽化的杂质正相反)。
发明内容
本发明的系统可以克服这些缺点，其特征在于液化气体和/或容器的外壳是导电元件，并且加热装置包括电磁感应装置，该电磁感应装置可以在外壳和/或液体中产生交变磁场从而对外壳下部和/或容器中的液体进行加热。所提出的发明包括利用感应加热液化气体罐：已经发现可以获得非常高的效率，例如对于钢可达到80-90％。由于感应器所感应的电流直接在罐的厚度内加热罐的材料，所以感应加热可以不通过热传导进行能量传递。这样，例如对于液化气体如C4F8，我们发现所产生的效果是使用具有相同装机功率的加热元件的加热系统的效果的5到10倍，同时不会引起容器表面杂质大量解吸。
本发明尤其可用于满足两种类型的需要，这些需要是尤其以液相形式储存在容器中的气体的用户所产生的。
例如，第一种需要可以是，在罐中的液体处于环境温度时(当罐没有被加热时)在使用位置提供压力高于气体平衡压力的气相形式的气体。在这种情况下，本发明可以在不引起杂质从罐的内表面上解吸的情况下对罐和/或液体(或气体)进行加热，并且不会对使用安全性产生危险，这是因为在电磁感应加热装置附近的容器的温度保持较低，不会对用户产生危险。杂质的解吸受到一定程度的限制，即在使用位置所需的压力对应于贮存器内的液化气体的温度，该温度最多比环境温度高5到10℃(或者通常是30℃的温度)。该加热装置可以放置在对应于容器内的液体存量的高度处，但是优选地覆盖罐的整个高度。
第二种需要可以是在不对容器加热的情况下，增大在所述容器出口处的气体流速，但是这样做时不会显著增大容器壁的温度(一般地，容器的外部温度低于35℃)，从而避免所述壁上的杂质发生解吸。
因此，本发明可以应用于专用的液化气体的分配，应用于液化气体向气相的转化，尤其是用于液化气体的封装和净化。本发明可以显著地减少输送时间，从而提高了设备的生产率。另外，本发明的优点还在于可避免表面温度(40-50℃)升高，该表面温度的升高会促使轻的物质如CO和CO2发生解吸而进入产品中。利用本发明所述的感应加热，罐的表面温度一般不会超过大约30℃。当从第一容器向第二容器进行(气体)输送时，优选地确保第二容器被充分冷却，以使第二容器中的气体冷凝的速度至少和第一容器中气体的汽化速度一样快。
本发明并不限于加热小容量罐(50升或更少)。它可以应用于任何类型的贮存器，其中该感应器则适合于所述贮存器的几何形状，并且发生器被控制以配合该感应器的工作。
该交变磁场优选地利用在50Hz到4MHz之间的频率下操作的发生器形成。
尽管可以使用主频率(50Hz或60Hz)或高频率，但是为了控制成本，优选地使用中频发生器，即频率在1kHz和100kHz之间的发生器。感应器则由漆包绞线(Litz wire)或金属带或冷却金属管制成，对于每种要被加热的材料来说，谐振电路(感应器加上负载加上平衡电容)的阻抗要调配成尽可能地接近发生器的特性阻抗。当该容器是罐时，感应器优选地围绕罐的下部或在罐的底部下方放置，当该容器是除了罐的其它容器时，感应器围绕该容器底部或在容器底部下方放置。
加热装置优选地包括至少一匝导线，该导线优选地环绕容器的至少90％。
当要将感应器放置在容器底部下面时，该感应器的形状可适于每种类型的容器底部。一般来说，为了以最小的效能实现加热，本发明的电磁感应加热装置包括至少一匝具有任何横截面的导线，其厚度一般至少为1mm(设有或不设有铁氧体，其一般沿该线匝具有均匀的间隔)。这种电磁感应加热装置可以从容器下部(或者甚至可以位于容器下方，当要加热容器下部时在容器下方至少有一匝)延伸到容器顶部。当涉及一个罐，或两个罐的组合时，尤其是当容器具有能形成单个连续表面的底壁和侧壁时，容器的下部可具有一个或多个只在容器下方(例如，罐的底部)或仅从容器下侧部进行环绕的线匝，如下面所说明的图8和随后的附图中的容器。
但是，一般来说，当为了增大气体从容器到用户的流速时，电磁感应加热装置将只是放置在容器下部(这与上述它可以放置在任何位置的情形相反)，优选在尽可能多地对应于容器中液体高度的高度处。在感应器围绕罐的下部放置的情况下，加热高度通常限制在50mm。在任何情况下，其目的都是将加热集中在液相上，以便能够例如利用与压力成比例的温度控制(如以上所引用的专利中所述的那样)。实际上，液化气体罐(或其它容器)从不会被用户完全排空。已经发现，如果对容器的加热高度限于最多与装在容器中的液体重量的5％对应的高度，则几乎可以确定总是对液体进行加热，这就是当要增大从容器中排出的气体流速时通常所追求的目标。
优选使用可以和若干类型的感应器配合操作的发生器，这些感应器根据要加热的罐的材料和直径而定。考虑到感应加热的良好效率，可以用单个发生器同时控制两个或更多罐的加热。
也可以使用单个感应器，该感应器优选在打算使用的具有最大直径的罐上缠绕至少一匝，或者对于具有较小直径的罐，该感应器缠绕在自身之上或缠绕成螺旋形。这一方案可以减少所需的感应器数量，但是会导致较低的效率。尽管如此，试验显示即使采用这种构型气体流速也是使用电阻加热系统能达到的流速的5倍多(试验是对10升和50升罐中的C4F8进行的)。
该试验采用工业感应烘烤所用类型的半桥式发生器进行，该工业感应烘烤使用漆包绞线感应器(互相绝缘并绞合的许多纤维制成的金属线)。也可以使用其它实施例，如与水冷式感应器连接的工业型发生器(半桥式或整桥式，串联或并联电路)——该发生器尤其用于钢铁工业或热处理中。这样效率会更好。这一方案尤其适于加热铝制的罐或容器。
一般来说，可以使用任何类型的能自动调频的发生器，该发生器与优选由漆包绞线、金属片或金属管制成的感应器连接，并且规定感应器具有合适的尺寸，并被适当地控制从而与发生器相适配。假设在这种情况下，作为要加热的罐的本质功能，用于补偿虚功(reactive energy)的电容值被最优化，则也可以使用固定频率的发生器；如果与振荡电路的谐振频率相适配，则还可以使用可控制的变频发生器。
每种感应器可以由漆包绞线、金属带或冷却金属管(例如，冷却液在其中循环的中空管)制成，在每种情形下可具有或不具有铁氧体，且在每种情形下由一层或更多层制成。感应器优选以使加热将集中在液化气体的液相上的方式放置在容器上。但是本发明也可应用于容器内含有处于超临界状态的液体的情况。
附图说明
通过以下以非限制性示例给出的实施例的示例以及附图，可以更好地理解本发明，该附图是：
图1，三甲硅烷即3MS的液-汽平衡曲线；
图2，用于圆筒形罐的第一种类型的闭合感应器；
图3，用于圆筒形罐的第二种类型的感应器；
图4，用于罐的第三种类型的感应器；
图5，利用本发明对罐的底部进行侧面加热的第一个示例；
图6，通过底部进行加热的第二个示例；
图7，具有多个罐的实施例的一个示例；
图8，用于装在具有任何形状的大容量贮存器中的气体的本发明的实施例的示例；
图9表示具有大容量贮存器的本发明的实施例的另一示例；
图10表示用图9中的系统所获得的性能；
图11，在将液体抽取到罐中的情况下应用本发明的一个示例；
图12，在现有技术的情况下和本发明的情况下从罐中排出的气体的气体流速变化曲线。
具体实施方式
图2表示称为“标准圆筒形”感应器的第一种类型的感应器。这种感应器的尺寸与容器的直径相适配。它包括绝缘材料，在该绝缘材料中导线1缠绕成线匝10的形式。该感应器通过沿罐纵向滑动进行安装。如上所述，线匝10的数量与罐的材料相适应。这组线匝10(相互串联和/或并联连接)形成感应线圈，该感应线圈的端部2和3与可调频交流发生器(图2中未示出)连接。由铁氧体或磁片4(变压器型)制成的元件可环绕感应器安装，以使磁场集中朝向感应器内部，并且该感应器本身可以制成多层的。尽管这种“标准”感应器由于必须适应于每种容器直径和每种材料而更难以处理，但是它却是能提供最好效果的感应器。
图3表示称为“标准扁平形”感应器的第二种类型的感应器。这种感应器放置在罐底部的下方并与罐的几何形状相适应。它包括绝缘材料，该绝缘材料包含在11、12连接到交流发生器的电线同心线匝10。线匝的数量继而也与要加热的材料相适应。由铁氧体或磁片14(变压器型)制成的元件可安装在感应器内部面上，以使磁场集中朝向罐的底部，并且该感应器本身可设置成多层的。
串并联连接的线匝使得可以调整电路阻抗以便与发生器阻抗相匹配。
图4表示称为“扁平带形”感应器的第三种类型的感应器。这种感应器可以绕罐的下部缠绕。它由其上缠绕有线匝的柔性绝缘材料制成，并且在图中为矩形形状(但是可以考虑能缠绕该罐的任何形状)。该感应器的尺寸(L)使它可以在最大直径的罐上缠绕至少一匝。该感应器的高度(1)被限制以便只加热罐(该罐大致为竖直方向)的下部。对于较小直径的罐，感应器可以绕罐的下部自缠绕或缠绕成螺旋形。线匝20的数量取决于要加热的材料。由铁氧体或磁片(变压器型)制成的元件24可以环绕感应器安装，以使磁场集中朝向感应器内部，并且该感应器本身可以构造成多层的。一电流或电压发生器与感应器20的端部21和22连接。这一方案——(称为“扁平带形感应器”)——尽管没有提供最好的能量效率，但是在大量的应用中是足够的，从装有液化气体的罐中排出的气体的流速是使用传统的加热系统所获得的流速的5到10倍。
图5表示按照本发明对液化气体罐进行加热的第一种变型。
罐56的下部包含要汽化的液体57且在该液体57之上包含同一液体的气相58，该气体通过阀59和管路60组成的中间环节被引导到应用设备61。与管路60连接的装置51用于测量从罐56出来的气体的压力。该压力装置通过虚线(路径)52与发生器53连接(例如电连接)，以便当测量到的压力低于一定的设定值时启动发生器进行操作，而当测量到的压力高于该设定值时停止发生器的操作。当启动发生器53时，使得交流电通过电连接线路54在感应器55(如上所述，例如图2或4中的感应器)中流动，从而通过电磁感应对罐56(可能和/或液体57)进行加热。只对罐的下部和/或液体进行加热导致由于液体的上表面和液体的下部之间的温差而使液体在罐中循环流动(这促进了对液体加热的均匀性)。为了监测罐中存量的变化，在罐56下方放置一称量器63，且在罐和称量器之间有一薄板62(通常是铜的)，该薄板可通过线路64接地，从而避免磁场对称量器的影响。
图6表示以相同方式操作的图5的一个变型，图2或4中的感应器例如由放置在罐56下方的图3中所示类型的感应器所代替。
图7表示多罐系统，其中每个罐配备有根据本发明的系统(图5或6的变型，每组罐具有单独一个测量压力的装置)；在半导体工业中用于分配液化气体的系统通常使用两个(或更多)罐，这两个罐在其中一个的压力降到一定的阈值以下时以一种交替方式使用。然后该控制装置调整从一个罐到另一个的切换，从而不使气体的分配中断。图7的多罐装置包括n个罐76a、76b、76c、…(见该图的左半部分)，这些罐通过阀79a、79b、79c、…和管路70与设备100和n个其它相同的罐86a、86b、86c、…(见该图的右半部分)相连接，以便当罐76中的压力降到一预定值以下时，即，当从罐中抽出气体太快或当罐变空时，对罐76进行“切换”。罐86分别通过阀89a、89b和89c以及管路80连接到设备100。
压力测量装置71和81分别测量区域70和80内的气体压力，并且信号(电信号)分别通过72和82传送给发生器73，该发生器分别通过74a、74b、74c、…和84a、84b、84c、…将交流电信号传送给感应器75a、75b、75c和85a、85b、85c、…，以用于感应加热液体77a、77b、77c、…和87a、87b、87c、…，以便在需要时分别产生气体78a、78b、78c、…和88a、88b、88c、…。薄板101、201同样放置在罐的底部和称量器102、202之间并通过(线路)103、203接地。
发生器73可以在压力传感器71、81用于n个罐的情况下控制必需的n个感应器75、85的加热，该感应器为串联、并联和/或顺序模式。当n个罐的压力(在一侧)降低到一预定阈值以下时，自动切换到另一侧的n个罐，从而确保连续的分配。已经被断开的罐继续被加热，直到它们的压力升高到对应于环境温度的压力，因此它们可以在必要时进行接替。与现有技术利用热传导的加热系统相比，本发明的感应加热系统可以使气体压力快速回到对应于环境温度。图7所示是图2中的感应器。也可以使用图3和4中的感应器。
为了确保以非常高的流速分配液化气体，有时使用比传统的罐容量更大的贮存器。具有这种贮存器的本发明的实施例的一个示例如图8所示。这种贮存器的典型容量为大约450升到1000升。
在图8中，容纳液体302和气体301的贮存器300通过插脚313、314由一称量器304支承。加热感应器303设在贮存器下面并向上紧靠贮存器(见横截面A-A)。该感应器通过线路305与发生器306电连接，发生器306通过线路307接收来自压力传感器308的控制信号。压力传感器308通过(线路)309与来自贮存器300的气体管路310连接，并通过管路311与设备312连接。该操作与前述操作相同。该感应器(由一个或多个串联和/或并联连接的元件制成)具有适当的形状以便在或多或少的基本长度上(沿两个方向)与贮存器300的下部相一致。
图9表示应用于大容量贮存器，也称为“吨级贮存器”(通常为水平方向的贮存器)的本发明的实施例的另一个示例。在图9中使用并联分列的多个感应器404以分配对贮存器401的加热功率。每个感应器404均具有铁氧体405，该铁氧体可以使磁场集中并提高效率。贮存器401靠放在一称量器403之上并与具有压力传感器408、压力调节器409和流量计410的分配管路411连接。所使用的感应器是扁平的如图4所示的“扁平带”型。它们借助于缠绕贮存器的带子406而安装在贮存器401的底部下面且在贮存器的支承部件402之间。
对图9的系统用液态形式的氨NH3进行试验。制造液晶平板(LCD显示屏)，也称为TFT(“薄膜晶体管”)显示屏的过程中使用高纯度气态氨(NH3)。这些制造过程需要500到1000升/分钟的流速。NH3是具有低标准密度但却具有非常高的汽化热(大约1200kJ·kg-1)的液化气体。为此，由于所需的加热功率变得非常高，在这种流速下进行(气体)分配尤其困难。
本发明的工艺由于其极高的能量效率，使得可以限制装机加热功率。对450升贮存器进行的试验显示，8kW的额定功率足以获得500slm的流速，同时保持贮存器内的压力。理论计算可以表明，在环境温度(20℃)下，为了使NH3以500L/min进行汽化需要大约7kW的功率，这并不包括较少量的热损失。试验中感应发生器输出功率的测量值为大约7.5kW，也就是说容器接收的能量和有效地用于使氨汽化的能量之间的效率接近于90％。根据本发明，利用感应加热可以获得短得多的响应时间。与利用传统的电阻加热需要几个小时的时间相比，将装在450L贮存器中的250kg氨从10℃预热到22℃需要不到半小时的时间。
对于450L的NH3贮存器获得500L/min的流速的性能总括在图10中。曲线A1表示作为时间的函数的气体压力(以绝对值表示)，气体压力以105帕斯卡为单位，时间以分钟为单位。曲线A2表示作为时间的函数的气体流速，该流速以L/min为单位(像本申请中所有的流速测量值一样，换算成在标准温度和压力状态下的值，即“标准的升/分钟”或slm-按照美国/英国的规定)。在图10中在时间T停止对容器的加热(在开始抽出气体后大约19分钟)。尽管有气体抽出但是仍保持稳定在7和7.5×105帕之间的气体压力在停止加热时(T)会下降，如曲线A1所示。另一方面，由于氨可以利用加热期间预先存储的能量，所以停止加热后液体流速还可以保持10分钟。
本发明优选应用于液化气体，但是也可应用于在同一容器中只容纳气相或只容纳超临界状态物质的容器。尤其可应用于半导体(尤其是预报器)生产所使用的所谓专用气体(特别是SF6、N2O、NH3、HCl、CL2等)以及CO2型(气相和/或液相和/或超临界状态)，或者甚至是乙炔型气体(或者其它焊接气体或用于焊接的气体)。
比较例：
以下示例对于具有相同容积(10L)的罐进行，这些罐均装有C4F8。
两种加热类型的比较：
—使用由互相连接的高功率密度元件组成的1kW电阻带对罐的下部进行加热，
—使用能输送大约900W-1kW功率的发生器进行感应加热
作为参考，在不加热的情况下也进行一个试验。图12示出在每种情况下所抽出的气相C4F8的流速。
—曲线C1对应于用电阻带进行的加热，
—曲线C2对应于按照本发明的感应加热，
—曲线C3对应于不进行加热的情况。
图12的曲线清楚地示出本发明(曲线C2)与使用具有相同额定功率电阻带的情况相比所具有的优点。所获得的流速可以是后者的5倍(20L/min与4L/min相比)。根据比较，本发明的流速是不对罐进行加热的情况下的十倍。
本发明的各种应用：
按照本发明对液化气体贮存器进行加热对其能提供真正的好处的第一种应用是，以非常高的流速对这些液化气体进行分配。
在第一种情况下，本发明可用于利用罐的压力对加热进行监测。液化气体的液汽平衡曲线使得可以在任何时间获知贮存器内部液体的温度值。从而可仅对容器提供保持该压力所必需的加热量，以便不超过环境温度。假设沿分配管路下游没有较冷的点，则因为消除了在分配管路中气体再冷凝的危险，从而可避免对所述分配管路进行加热。
在第二种情况下，本发明可用于保持贮存器温度恒定。当贮存器中所要保持的温度高于沿分配管路的环境温度时，对分配管路下游进行加热就变得必不可少。
本发明可应用于通过输送气相来封装液化气体：以高流速从液化气体贮存器中抽出气相的能力使得可以将该液化气体封装在其它包装件中。通过利用本发明的加热所获得的流速可以显著提高这种设备的生产率，只要用于接纳该液化气体的包装件的冷却能力至少等于该感应加热能力即可。
由于相当于是进行单级蒸馏，所以这种类型的气相传输具有净化液化气体的优点。另外，感应作用可以限制原始贮存器的表面温度，从而避免可能污染液化气体的挥发性物质从贮存器的壁上发生解吸。
本发明的另一个应用包括将处于液态形式的气体抽取到罐内：可以利用气体自身的蒸汽压力而不是利用运载气体如氮气——该运载气体存在溶解于液化气体的危险——将该气体以液态形式推动流过汲取管。在这种情况下，例如如图11所示进行操作：在该图中罐500靠放在称量器501(为监测罐的重量，以及进而其排空)之上。如上所述，在罐的下部设有加热液体508的感应带502，该感应带与发生器连接，液体508汽化成509：509中的气体压力升高，以便液体508可以上升进入汲取管504，通过阀505并通过管路510以液态形式分配给设备507。压力调节监测装置506也设在管路510上，用于控制502的加热。

Claims (11)

1.一种用于输送尤其以液态形式储存在容器中的气体的系统，所述容器在其下部包含所述气体的液相并在其上部包含所述气体的气相，该容器包括用于与应用装置相连的装置以及加热装置，其特征在于：该液化气体和/或该容器的外壳是导电元件，并且所述加热装置包括电磁感应装置，该电磁感应装置能够在该外壳和/或该液体中产生交变磁场以便对该外壳和/或该容器中的液体进行加热。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于：该交变磁场是利用在50Hz和4MHz之间的频率下工作的一发生器产生的。
3.如权利要求1或2所述的系统，其特征在于：该容器放置在一称量器上面以监测该容器内的液位。
4.如权利要求3所述的系统，其特征在于：一电导体薄板放置在该感应器与该称量器之间以保护该称量器不被磁场干扰。
5.如上述权利要求之一所述的系统，其特征在于：该产生交变磁场的发生器为若干个感应器供电。
6.如权利要求1至5之一所述的系统，其特征在于：该加热装置包括至少一匝导线，该导线优选地环绕该容器的至少90％。
7.如权利要求6所述的系统，其特征在于：每一匝的厚度至少为1mm。
8.如权利要求1至7之一所述的系统，其特征在于：该容器是通常为竖直方向的罐。
9.如权利要求1至7之一所述的系统，其特征在于：该容器是通常为水平方向的“吨级罐”类型。
10.利用如权利要求1至9之一所述的系统，在使用位置提供一种气体，该气体的压力高于在该罐中的液体处于环境温度下时该气体的平衡压力。
11.利用如权利要求1至9之一所述的系统增大该气体的流速，但是不显著增加该容器壁的温度。
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