CN2697108Y - 一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器，它具有在筒体一侧的上、下位置处设置载流气体进口，分别通过带有流量控制器的管路与其载流气源管路的三通管连接，在筒体上设置两个原料循环接口，分别通过循环管路连接一个循环泵。该蒸发器具有增加了携载蒸气方式，及对调整鼓泡或液面拂过载气的比例，控制混合蒸气的浓度，同时还可通过对其强制循环，促进了液体原料温度的均匀和稳定，满足对液体原料蒸发量的调控。

Description

一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体说就是提供了一种气体载流法中使用的液体蒸发器，即一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器。

背景技术

在该技术领域中，对于利用化学气相沉积技术制备新材料时，经常需要将液体原料转变成气体状态使用。常用的方法是气体载流法，即将载流气体(如氮气或其它惰性气体)通入液体原料中，靠载气鼓泡的作用把某一温度下液体原料的蒸气带走，形成蒸气混合气体。这种蒸发器的结构特征在于载气进口开在液面以下。公开号为CN21119580的中国专利公开了一种用于高沸点腐蚀性液体的鼓泡式蒸发器，它是将载流气体通入液体原料中，在液体内部形成载流气体气泡，促进液体原料蒸发的设备。但现有的这种液体蒸发器提供的蒸气混合气有其局限性，在某一温度下，只能提供原料蒸气分压为其该温度下饱和蒸气压浓度的混合气，在温度确定的情况下，只能提供这一种浓度的蒸汽混合气，其浓度具有不可调节性。在实际生产和科研工作中，对蒸气混合气浓度的要求是多种多样、随时变化的，而上述这种液体蒸发器由于结构的限制不能充分满足这些要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器，在原料温度均匀恒定的前提下，通过对已经预热的载流气体流量的调节控制液体原料的蒸发量，进而满足工艺要求的蒸气量。

为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是这样来完成的：一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器，它是利用在筒体一侧的上、下位置处设置载流气体进口，分别通过带有流量控制器的管路与供载流气源管路的三通管连接，在筒体上设置两个原料循环接口，分别通过循环管路连接一个循环泵。

本新型的技术方案还包括：所述的加热装置是由筒体内部设置一个由上至下排布的加热盘管，分别与导热油进、出口连通。

所述的加热盘管是一螺旋管体状或蛇形管体状。

所述的上、下载流气体进口分别与流量控制器之间的管路上设置控制阀门。

本实用新型的积极效果是通过在筒体原料液上方和原料液下方各设一个载流气体进气口连接有流量控制器。一方面，通过上载气在液面上拂过，下载气在液体中鼓泡促进液体原料蒸发；另一方面，通过流量控制器调整用于鼓泡或液面拂过载气的比例，控制混合气蒸气的浓度；再一方面，蒸发器筒体中液体原料采取外置强制循环工艺，促进了液体原料温度的均匀稳定，使之对液体原料蒸发量的调控成为可能。

附图说明

图1是本新型的结构示意图。

具体实施方式

由图1所示的可调控蒸气浓度的液体蒸发器，它由金属材料制成的蒸发器罐形筒体2，使其上端通过法兰连接一上盖1。该上盖1的顶部设有一个蒸气混合气出口6与筒体2相通。在筒体2的底部和侧端分别设有液体原料进料口13和卸料口7。由筒体2内部设置一个由上至下排布的加热盘管8，通过两端分别与固定在筒体2上设置的导热油进口5和导热油出口3连通接于高温供热系统。通过设置的加热盘管8实现对筒体2内的液体原料加热。该筒体2一侧的上、下位置处水平设置两个载流气体进口9和12。使其载流气体进口9和12分别通过带有流量控制器14和17的管路与供载流气源管路的三通管15连接，实现双路提供载流气体。该上载流气体进口9应位于筒体2内原料液面的上方；用于下载流气体进口12应位于筒体2内原料液面下方，从而保证所进载气在液面上拂过和载气在液体中鼓泡；而流量控制器14和17的作用是用于调整鼓泡或液面拂过载气的比例，控制混合气蒸气的浓度。在上、下载流气体进口9和12之间的筒体2上设置两个原料循环接口10和11。该循环接口10和11上分别通过循环管路连接一个循环泵16。利用循环泵16使筒体2中液体原料外置强制循环，促进了液体原料温度均匀稳定。该筒体2上安装有液位计4，用以显示液体原料量。在所述的上、下载流气体进口9和12分别与流量控制器14和17之间的管路上设置一控制阀门18和19，以实现单独采用鼓泡或液面拂过方式控制液体原料蒸发，为化学气相沉积工艺提供蒸气混合气。

上述中的加热盘管8制成一个螺旋管体状，也可以制成多排垂直分布的蛇形管体状。

另外，对于化学气相沉积工艺有时需要对混合气浓度进行调控，在这种情况下只采用鼓泡这种工艺难以实现对混合气浓度的调节，因而可以通过调整载流气体进口9和12的流量来实现对混合气浓度的调节。

上述中的原料循环接口10和11与循环泵16连接的管路上也可设置控制阀门。

Claims (4)

1、一种可调控蒸气浓度的液体蒸发器，包括筒体及其上带有蒸气混合气出口的上盖，该筒体上带有载流气体进口，其内设有加热装置，筒体的底部分别带有原料进料口和卸料口，其特征是它具有在筒体(2)一侧的上、下位置处设置载流气体进口(9、12)，分别通过带有流量控制器(14、17)的管路与供载流气源管路的三通管(15)连接，筒体(2)上设置两个原料循环接口(10、11)，分别通过循环管路连接一个循环泵(16)。

2、按权利要求1所述的可调控蒸气浓度的液体蒸发器，其特征是所述的加热装置是由筒体(2)内部设置一个由上至下排布的加热盘管(8)，分别与导热油进、出口(5、3)连接。

3、按权利要求2所述的可调控蒸气浓度的液体蒸发器，其特征是所述的加热盘管(8)是一螺旋管体状或蛇形管体状。

4、按权利要求1所述的可调控蒸气浓度的液体蒸发器，其特征是上、下载流气体进口(9、12)分别与流量控制器(14、17)之间的管路上设置控制阀门(18、19)。

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