CN1631772A - 一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法 - Google Patents
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Abstract
一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,涉及碳热还原法制备氮化铝粉体工艺的方法。其特征在制备过程是将在氢氧化铝与氟化物和/或硼化物添加剂混合,在500~900℃温度下煅烧2~4小时,得到一种多孔的活性氧化铝,再把粉碎后的活性氧化铝在水中配制成为悬浮液,加入铝盐、碳粉进行凝胶化,经干燥、粉碎后通入氮气还原得到氮化物粉体。所制备出来的氮化铝粉体颗粒细小,无硬团聚,同时反应温度较低。
Description
技术领域
一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,涉及碳热还原法制备氮化铝粉体工艺的方法。
背景技术
AlN(氮化铝)是III-V族半导体化合物,其晶体是以[AlN4]四面体为结构单位,具有Warzjte结构的共价键化合物。25℃时晶格常数α0=3.1127,c0=4.9816,属六方晶系,粉体真密度为3.255g/cm3。
AlN材料具有热导率高(是的Al2O3的8~10倍)、高温电绝缘性好、介电性能好、热膨胀系数低(4.4×10-6℃),与单晶硅相近,比Al2O3、BeO都低,耐热冲击电阻高、高温下材料强度大、硬度高、无毒等优异的特性,从而在诸多领域中得到广泛应用。在国际上用于混合集成电路(HIC)、微波集成电路(MIC)、电力电子模块(GTRM、IGBTM)、激光二极管(LD)、坩埚、刀具材料等领域。尤其是它的热膨胀与半导体硅材料相匹配并且无毒性、是较理想的电子半导体封装所用的支撑散热材料,以取代毒性大的材料。
目前的氮化铝合成方法主要有以下几种:铝粉直接氮化法、碳热还原法、气相反应法、裂解法、等离子体法、电弧熔炼法、自蔓延高温合成法、微波合成法等。每种氮化铝制备方法都有自身的优点与缺点,相比较而言,碳热还原法制备的氮化铝粉末纯度高、性能稳定、粉末粒度细小均匀、成形和烧结性能良好,是一种具有良好应用前景的氮化铝粉体制备方法。但是在碳热还原法制备氮化铝粉体的过程中,还有很多不足之处,如反应温度高,反应时间长等。
发明内容
本发明的目的是针对碳热还原法制备氮化铝粉体的不足之处,提供一种有效的降低反应温度、缩短反应时间、提高氮化铝品质的碳热还原法制备氮化铝粉体的方法。
本发明的方法是通过以下技术方案实现的。
一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在制备过程是将在氢氧化铝与氟化物和/或硼化物添加剂混合,在500~900℃温度下煅烧2~4小时,得到一种多孔的活性氧化铝,再把粉碎后的活性氧化铝在水中配制成为悬浮液,加入铝盐、碳粉进行凝胶化,经干燥、粉碎后通入氮气还原得到氮化物粉体。
本发明的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于加入的添加剂的量为:0.5%~3.5%。
本发明的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于悬浮液配制中在60~90℃的水浴条件下加入铝盐,铝盐为硝酸铝、氯化铝、硫酸铝中的一种或二种以的混合物。
本发明的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于加入铝盐后的悬浮液在60~90℃的水浴条件下,加入表面活性剂,用无机酸调整悬浮液的PH值为0~6之间,搅拌5~60分钟。
本发明的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于向悬浮液中添加超细的碳黑,碳黑加入的摩尔数为悬浮液中总铝摩尔数的1.5~3倍,加入碳黑时应缓慢加入,同时搅拌,使得加入的碳黑与氧化铝一起形成悬浮液,此过程在60~90℃的水浴条件下进行
本发明的方法所用氢氧化铝可以是工业的工业氢氧化铝、也可是超细的氢氧化铝,根据所用氢氧化铝的一次晶体的大小,所制备出来的氮化铝粉体的一次晶体有所不同,如:(1)采用一次晶体为约3~4μm的工业氢氧化铝所制备出来的氮化铝粉体的一次晶体约为4~5μm;(2)采用一次晶体为约0.3~0.5μm的工业超细氢氧化铝所制备出来的氮化铝粉体的一次晶体约为1~2μm。
采用本发明的方法所制备的氮化铝粉体,分散性好,无硬团聚,只有少量的软团聚存在,只要稍加研磨即可打碎。本发明涉及一种氮化铝粉体制备方法,旨在提高氮化铝的品质,降低氮化温度,节能降耗,开发出一种低成本生产高品质氮化铝的方法。
采用氢氧化铝和超细碳粉为起始原料,并采用溶胶-凝胶工艺,将碳热还原法制备氮化铝粉体的所有原料进行原位固定,加速反应过程,同时引入表面活性剂,阻止生成的氮化铝发生团聚。将氢氧化铝与添加剂混合,在低温(500~900℃之间)下煅烧,制备出高活性的氧化铝粉体,然后配制悬浮液,加入表面活性剂,在搅拌的情况下加入一定数量的超细碳黑,碳黑加入完毕后,经过一段时间的均匀化,以氨水调整体系的PH值至9以上,得到黑色的胶状物,干燥并将干燥后的胶状物粉碎成2~8mm的小颗粒,将小颗粒在真空碳管炉内氮气气氛下烧结,得到氮化铝及没有反应完全的碳黑混合的颗粒状物,将颗粒粉碎并在马夫炉内氧化气氛下600~800℃的温度范围内脱碳,得到氮化铝粉体。
附图说明
图1为本发明的方法的工艺流程示意图。
具体实施方案
一种氮化铝粉体制备方法,制备过程为a:将氢氧化铝与添加剂氟化物和/或硼化物混合,添加剂可以是固体的,也可以是液体的,加入添加剂的目的脱除杂质,如钠,在500~900℃之间煅烧2~4小时,得到一种多孔的活性氧化铝,这种氧化铝的比表面积在120~300m2/g之间,用球磨机或气流磨将氧化铝粉碎成0.5~2μm的粉体;b:将得到的活性氧化铝粉体在水中配制成为悬浮液,在60~90℃的水浴条件下加入铝盐,如硝酸铝、氯化铝、硫酸铝等,加入的铝盐为其中的一种或几种的混合物,并加入一些表面活性剂,如聚乙二醇,用无机酸调整悬浮液的PH值为0~6之间,搅拌20~30分钟,得到稳定的悬浮液;此过程在60~90℃的水浴条件下进行;c:向悬浮液中添加超细的碳黑,碳黑加入的摩尔数为微悬浮液中总铝摩尔数的1.5~3倍,加入碳黑时应缓慢加入,同时搅拌,使得加入的碳黑与氧化铝一起形成悬浮液,此过程在60~90℃的水浴条件下进行;d:向悬浮液中缓慢滴加氨水,调整PH值为9~14之间,同时搅拌,20~30分钟后,形成一种混合均匀黑色胶状物;e:将胶状物在在70~90℃的温度范围内干燥,干燥方式可以是自由干燥,也可以是真空干燥,干燥后得到一种黑色的块状物;f:将块状物破碎成2~8mm的小颗粒,小于2mm的颗粒重新加入水,并重复d、e、f步骤,最终全部得到2~8mm的小颗粒,大于8mm的颗粒重新破碎,直到破碎成的颗粒全部在2~8mm之间;h:将破碎好的黑色小颗粒放入真空碳管炉内,在氮气气氛下煅烧2~6小时,煅烧温度为1500~1750℃之间,得到的黑色物质为混有没有反应完全的碳粉的氮化铝颗粒;i:将反应后的小颗粒粉碎,得到的黑色物质为混有没有反应完全的碳粉的氮化铝粉体;j:将由I得到的粉体在600~800℃的马夫炉内加热脱碳,得到灰色的氮化铝粉体。
下面结合实例对本发明做进一步说明。
实施例1
以工业氢氧化铝为原料,首先将1000g氢氧化铝与15克硼酸添加剂混合,在500℃下煅烧6小时,取200g煅烧后的氧化铝,放入1000ml的烧杯中,加入200ml的去离子水,然后加入硝酸铝25g,然后加入表面活性剂溶液,用硝酸调整PH值在2~3之间,边搅拌边加入70g超细碳粉,加完碳粉后,搅拌20分钟,缓慢加入氨水,调整PH值至12之间,这时浆体变成了一个整体的凝胶状物质,将凝胶在90℃的干燥箱中干燥,干燥后的凝胶破碎成2~8mm的小颗粒,将小颗粒放入真空碳管炉内,控制氮气流量在20~25ml/s,烧结温度为1600℃,时间为3小时。煅烧后的物料粉碎,在750℃的马夫炉内氧化煅烧脱碳,最后得到灰色的氮化铝粉体。
实施例2
将例1中的氧化铝换成超细氢氧化铝,煅烧温度为1550℃,也得到同样的结果。
实施例3
以工业氢氧化铝为原料,首先将1000g氢氧化铝与15克硼酸添加剂混合,在900℃下煅烧2小时,取200g煅烧后的氧化铝,放入1000ml的烧杯中,加入200ml的去离子水,然后加入硝酸铝25g,然后加入表面活性剂溶液,用硝酸调整PH值在2之间,边搅拌边加入70g超细碳粉,加完碳粉后,搅拌30分钟,缓慢加入氨水,调整PH值至13之间,这时浆体变成了一个整体的凝胶状物质,将凝胶在90℃的干燥箱中干燥,干燥后的凝胶破碎成2~8mm的小颗粒,将小颗粒放入真空碳管炉内,控制氮气流量在20~25ml/s,烧结温度为1800℃,时间为2小时。煅烧后的物料粉碎,在800℃的马夫炉内氧化煅烧2小时脱碳,最后得到灰色的氮化铝粉体。
实施例4
以工业氢氧化铝为原料,首先将1000g氢氧化铝与15克硼酸添加剂混合,在800℃下煅烧4小时,取200g煅烧后的氧化铝,放入1000ml的烧杯中,加入200ml的去离子水,然后加入硝酸铝25g,然后加入表面活性剂溶液,用硝酸调整PH值在2之间,边搅拌边加入70g超细碳粉,加完碳粉后,搅拌30分钟,缓慢加入氨水,调整PH值至13之间,这时浆体变成了一个整体的凝胶状物质,将凝胶在80℃的干燥箱中干燥,干燥后的凝胶破碎成2~8mm的小颗粒,将小颗粒放入真空碳管炉内,控制氮气流量在20~25ml/s,烧结温度为1500℃,时间为6小时。煅烧后的物料粉碎,在600℃的马夫炉内氧化煅烧4小时脱碳,最后得到灰色的氮化铝粉体,所制备出来的氮化铝粉体颗粒细小,无硬团聚,同时反应温度较低。
Claims (5)
1、一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在制备过程是将在氢氧化铝与氟化物和/或硼化物添加剂混合,在500~900℃温度下煅烧2~4小时,得到一种多孔的活性氧化铝,再把粉碎后的活性氧化铝在水中配制成为悬浮液,加入铝盐、碳粉进行凝胶化,经干燥、粉碎后通入氮气还原得到氮化物粉体。
2、根据权利要求1所述的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于加入的添加剂的量为:0.5%~3.5%。
3、根据权利要求1所述的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于悬浮液配制中在60~90℃的水浴条件下加入铝盐,铝盐为硝酸铝、氯化铝、硫酸铝中的一种或二种以的混合物。
4、根据权利要求1所述的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于加入铝盐后的悬浮液在60~90℃的水浴条件下,加入表面活性剂,用无机酸调整悬浮液的PH值为0~6之间,搅拌5~60分钟。
5、根据权利要求1所述的一种碳热还原法制备氮化铝粉体的方法,其特征在于向悬浮液中添加超细的碳黑,碳黑加入的摩尔数为悬浮液中总铝摩尔数的1.5~3倍,加入碳黑时应缓慢加入,同时搅拌,使得加入的碳黑与氧化铝一起形成悬浮液,此过程在60~90℃的水浴条件下进行。
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2004
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