CN1597087A

CN1597087A - 紫外线照射装置

Info

Publication number: CN1597087A
Application number: CNA2004100640216A
Authority: CN
Inventors: 胜木和光
Original assignee: Keyence Corp
Current assignee: Keyence Corp
Priority date: 2003-06-04
Filing date: 2004-06-04
Publication date: 2005-03-23
Anticipated expiration: 2024-06-04
Also published as: US20050023488A1; KR100770619B1; CN100398221C; TWI272622B; US7173266B2; KR20040104932A; JP4303582B2; JP2005015764A; TW200510078A

Abstract

本发明提供一种小型、廉价、操作性优异的部件粘结用紫外线照射装置。其将发光二极管作为光源，并将其内置在头部中。其用电缆连接固化粘结构件用的紫外线固化型树脂的多个头部(12)和控制部(11)。其多个头部(12)分别具有筒状外壳和设置在其内部的发出近紫外线的发光二极管，从设置在外壳前端面处的近紫外线照射口向外照射从该发光二极管发出的近紫外线，控制部(11)具有用于分别驱动控制多个头部(12)的发光二极管的电源电路(11a)和控制电路(11b)。

Description

紫外线照射装置

技术领域

本发明涉及由电缆连接多个头部和控制部而成的紫外线照射装置，其用于使在粘结小部件时所用的紫外线固化型树脂固化。

背景技术

紫外线固化型树脂从形成和印刷抗蚀剂膜的领域到在光传感器等的安装工序中小部件的粘结固定领域被广泛使用。一般紫外线固化型树脂设计成由波长为365nm附近的近紫外线照射而固化。但是，由于在与空气接触的树脂的表面附近，随着氧分子与树脂分子的结合，产生阻碍树脂固化反应的现象(所谓氧阻)，故需要有克服它的大功率的(波长短的)紫外线。即，如果将切开氧分子和树脂分子用的短波长(例如254nm左右)紫外线与波长为365nm附近的近紫外线共同进行照射，在树脂表面及其内侧可均匀地固化。

在现有的使紫外线固化型树脂固化用的紫外线照射装置中，一般在光源中使用水银氙灯。从水银氙灯发出的紫外线的波长包括200-600nm的较宽区域，因此其短波长成分有助于树脂表面附近的固化，可以得到比较均匀的固化状态。

此外，即使在使用采用水银氙灯的紫外线照射装置的情况下，为了抑制树脂的特别是表面附近的氧分子的不利影响，促进树脂的固化，也可以在作为惰性气体的氮气氛围中对树脂进行紫外线照射。即，如在专利文献1中所记载的，在充满氮气氛围的腔室中，实施对紫外线固化型树脂照射紫外线的方法。

在专利文献1中记载的紫外线照射装置是形成和印刷抗蚀剂膜领域中所用的大型生产设备。在用于光传感器等的安装工序中的小部件(例如塑料透镜)粘结的紫外线照射装置中使用更小型的设备。例如，使用用光缆连接内置使用水银氙灯的光源的装置主体和小型头部而成的装置。从水银氙灯发出的紫外线通过光缆导入到头部，从头部向涂布有树脂的粘结部进行照射。

此外，例如在将塑料透镜的外缘部固定在其支持件上的情况下，需要将紫外线固化型树脂涂布在塑料透镜外周部和支持件相接触的多个部位(例如三～四个部位)，将多个部位同时进行固定。即，需要使多个部位的树脂同时固化。这是因为在使每一个部位顺序固化时，塑料透镜的固定位置的精度变差的缘故。

因此，上述小部件粘结用的紫外线照射装置具有多个头部，并将装置主体和多个头部用多个光缆分别连接。在装置主体中内置一个水银氙灯，从水银氙灯发出的紫外线同时入射到多个光缆中。各自在光缆内传播的紫外线从分别与光缆端部连接的头部同时向外照射。

专利文献1特开平5-305259号公报

发明内容

发明所要解决的问题

由于从上述水银氙灯发出的紫外线包含热线，因此需要采用滤光器遮断热线。但即使这样，例如用于粘结、固定超小型塑料透镜那样的精密光学部件时，照射的紫外线中包含的热可能会对部件的固定精度产生不利影响，或者由于热使精密部件变形。

此外，在将水银氙灯发出的紫外线导入到头部的光缆中，使用由不锈钢挠性电缆覆盖石英光纤的光缆，但由于该光缆价格高，而且紫外线衰减大，故存在不能导入到远处的问题。

另外，如上所述，由于从一个水银氙灯发出的紫外线在多个光缆中传播，并从多个头部照射，因此，不能分别控制从各个头部照射的紫外线强度(光量)和通断时间。

近年来，作为代替高压水银灯和水银氙灯的紫外线光源，高输出的发光二极管(LED)正在付诸使用。如果将该发光二极管作为光源，并内置在头部中，则可以将上述的现有问题一并解决。

本发明的主要目的是通过把发光二极管作为光源，并内置在头部中，提供一种小型、廉价、操作性优异的部件粘结用的紫外线照射装置。

此外，在将发出近紫外光的发光二极管用作光源时，该发光波长区域例如为380±10nm的非常狭窄的区域，不能发出如水银氙灯的200nm附近处的短波长成分的紫外线。因此，如上所述，在与空气接触的树脂的表面附近，随着氧分子和树脂分子的结合，会阻碍树脂的固化反应，结果发生即使树脂内部固化，表面也不固化的现象(所谓表面胶粘性)。

本发明的另一目的是提供一种采用发光二极管作为光源，同时可以有效地改善树脂表面难以固化的现象的紫外线照射装置。

根据本发明第一方面的紫外线照射装置，用电缆连接紫外线固化型树脂固化用的多个头部和控制部。其多个头部分别具有外壳和设置在其内部的发出近紫外线的发光二极管，从该发光二极管发出的近紫外线从设置在外壳前端面上的近紫外线照射口向外照射；控制部具有电源电路和控制电路，以对多个头部的发光二极管分别进行驱动控制。

在本发明的第二方面的实施例中，多个头部进一步分别具有设置在外壳内的气体流路和设置在外壳前端面上的气体喷射口，从外壳基部端面提供的惰性气体通过气体流路，从近紫外线照射口向外喷射。

在本发明的第三方面的实施例中，控制部具有一个惰性气体输入口和多个惰性气体输出口以及分支连接惰性气体输入口和多个惰性气体输出口的分支连接管，从惰性气体供给源提供的惰性气体通过控制部提供给多个头部。

在本发明的第四方面的实施例中，控制部进一步具有分别对多个惰性气体输出口进行开关控制的电磁阀。

根据本发明第一方面的紫外线照射装置，与使用水银氙灯作为光源，将头部与装置主体用光缆连接而成的现有紫外线照射装置相比，在构成小型化的同时可以价格便宜地构成。此外，由于头部和控制部用电缆连接，因此可将头部拉至与控制部隔开的位置。进而，也可以用控制部发出的电信号分别控制从各个头部照射的近紫外线的强度和通断时间。

根据本发明的第二方面的实施例，由于用从头部喷出的惰性气体驱除树脂表面附近的空气，氧分子的浓度降低，因此可抑制或缓和随着氧分子与树脂分子结合而造成的阻碍树脂的固化反应的现象。结果可获得树脂内部和表面大致均匀的固化效果。此外，用在头部的外壳内部(气体流路)流动的惰性气体，还可获得冷却发光二极管的发热的效果。此外，尽管发出近紫外线的发光二极管与通常的发出可见光的发光二极管相比，在自身发热较大、散热不充分的情况下寿命变短，但是根据上述的冷却效果，可以保证长寿命。

根据本发明的第三方面的实施例，多个头部可以仅与控制部分别连接，与惰性气体供给源(例如氮气发生器)的连接可以仅在控制部的一个部位进行。由于分支连接管内置于控制部中，因此不需要外置分支连接管，其在惰性气体供给源上直接连接多个头部的情况下是必须的。

进而，根据本发明的第四方面的实施例，可对惰性气体向多个头部的供给进行分别控制。即，可以分别控制从各个头部喷射惰性气体的时间。

附图说明

图1是表示包含作为本发明实施例1的紫外线照射装置的树脂固化系统的构成例的流程图；

图2是表示实施例1的紫外线照射装置的头部的大致结构的示意图；

图3是表示实施例1的紫外线照射装置的头部的分解立体图；

图4是表示实施例1的紫外线照射装置的头部的变形例的大致结构的剖面图；

图5表示作为实施例1的紫外线照射装置的头部的另一变形实例的图；

图6是表示通过控制部将氮气提供给多个头部的结构例的方框图；

图7是表示包括内置于控制部中的电源电路和控制电路的电气系统的结构例的方框图；

图8是表示设置在控制部前面板上的显示部和操作部的配置例的图；

图9是表示作为本发明实施例2的紫外线照射装置的外观的图；

图10是表示作为本发明实施例2的紫外线照射装置的头部结构的上面分解立体图；

图11是表示作为本发明实施例2的紫外线照射装置的头部结构的下面分解立体图；

图12是表示作为本发明实施例3的紫外线照射装置的结构的图；

图13(a)表示从实施例3的紫外线照射装置中的控制部向转发器供电时的结构图，图13(b)表示从外部向该相同的转发器供电时的结构图；

图14是表示实施例3的紫外线照射装置的使用例的图。

符号说明

11控制部

11a电源电路

11b控制电路

12头部

21外壳

21F外壳的前端面

22发光二极管(LED)

23电缆(电线束)

25a气体喷射口

26a近紫外照射口

33惰性气体输入口(氮气输入口)

34惰性气体输出口(氮气输出口)

35分支连接管

36电磁阀

FP气体流路

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施例进行说明。

(实施例1)

图1是表示包含作为本发明实施例1的紫外线照射装置的树脂固化系统的构成例的流程图。该树脂固化系统使用由控制部11和多个头部12组成的紫外线照射装置10，空气供给源13、氮气发生器14。

作为空气供给源13，在工厂内时可使用空气配管。也可以在氮气发生器14上直接连接压缩器。氮气发生器14可使用市场上销售的一种氮气发生装置，其采用由中空分离膜将空气分离为氮气和富含氧气的空气的方式。这种氮气发生装置一般例如在电焊和热处理等时用于防止氧化。

从氮气发生器14发出的氮气提供给紫外线照射装置10的控制部11，并通过以下所述的分支连接管和电磁阀提供给多个头部12。之后，从设置在头部12的前部端面上的喷射口喷出。

图2是表示紫外线照射装置10的各头部12的大致结构的图。图2(a)为正面图、图2(b)为剖面图。此外，图3是紫外线照射装置10头部12的分解立体图。紫外线照射装置10的头部12具有中空圆筒状的外壳21，其大小为操作者可把持的程度，在其内部设置有发出近紫外线的发光二极管(LED)22。LED22由控制部11发出的电信号驱动，发出波长为380nm左右的近紫外线。

控制部11具有电源电路11a和控制电路11b(参照图1)，其用于分别驱动控制各头部12的LED22，通过电缆(电线束)将LED22的驱动信号(电信号)送至各头部12。

如图2和图3所示，各头部12的外壳21由基端侧部件21a和前端侧部件21b构成，二者通过螺纹结合形成为一体。外壳21(基端侧部件21a和前端侧部件21b)例如可通过用铝块进行切削加工制得。在外壳21(基端侧部件21a)的基端部上，将用于电连接控制部11和头部12的电线束23和通过控制部11由氮气发生器14提供氮气的氮气腔室24连接(参照图3)。

在外壳21的前端部，中空圆筒部件25通过螺纹结合固定，在其内侧圆环状的帽部件26通过螺纹结合固定。如图2(b)所示，透镜27以夹在中空圆筒部件25和帽部件26之间方式被支持。此外，在帽部件26的中央部，即外壳21的前端面21F的中央部形成圆孔(近紫外线照射口)26a。从LED22发出的近紫外线如图2(b)中虚线箭头LB所示，通过透镜27从帽部件26的中央部的近紫外线照射口26a向外照射。

在外壳21的前端面21F配置有多个(在图2(a)中为10个)小孔(气体喷射口)25a，把近紫外线照射口26a的周围围成圆环状。即这些气体喷射口25a沿着与外壳21的前端部螺纹结合的中空圆筒部件25的圆环状前端面形成，连通外壳21的内部空间和外部空间。

此外，在外壳21的内部设置LED22的基板以及支持该基板的铝块圆筒状支持部件28。圆筒状支持部件28配置成与构成圆筒状外壳21的前端侧部件21b同轴状，在前端侧部件21b的内周面和圆筒状支持部件28的外周面之间形成截面为圆环状的气体流路FP。

从氮气腔室24提供给外壳21内部的氮气如图2(b)实线箭头GS所示，通过截面为圆环状的气体流路FP，从在中空圆筒部件25的圆环状前端面(外壳21的前端面)上形成的多个气体喷射口25a向外喷射。

根据这种结构，利用通过气体流路FP的氮气，可获得冷却LED22的效果。发出近紫外线的LED(发光二极管)与通常发出可见光的LED相比，其自身发热量较大，在散热不足的情况下寿命变短，但是由于有如上所述的冷却效果，可保证有较长寿命。

通过采用具有上述结构的头部12的紫外线照射装置，可在对紫外线固化型树脂照射近紫外线的同时，向该部分喷出氮气。由于用氮气将树脂表面附近的空气驱除，氧分子的浓度下降，因此可抑制或缓和随着氧分子与树脂分子结合而产生的阻碍树脂的固化反应的现象。结果也可获得使树脂内部和表面大致均匀的固化效果。

此外，由于作为光源的LED22内置在头部12中，头部12和控制部11用电缆(电线束)23连接，因此可将头部12拉至与控制部11离开的位置。其与将作为光源的水银氙灯内置在装置主体中并用光缆连接装置主体和头部的现有的紫外线照射装置相比，可以小型化，而且可较便宜地构成。

图4是表示作为紫外线照射装置10的头部12的变形例大致结构的剖面图。在该例中，安装着第二透镜30的透镜支持件31以覆盖外壳21的前端侧部件21b的方式进行安装。透镜支持件31的内周面的一部分和前端侧部件21b的外周面的一部分形成螺纹(图4中的螺纹结合部位32)，透镜支持件31相对于前端侧部件21b拆装自由地进行螺纹结合。

根据这种结构，从LED22发出的近紫外线如图4虚线箭头LB所示，通过第1透镜27和第二透镜30向外部照射。通过交换装有不同焦距的透镜30的多个透镜支持件31，可改变近紫外线的照射角(广角)。

此外，也可以形成代替第二透镜30把光纤基端部安装在透镜支持件31上，使从LED22发出的近紫外线通过透镜27入射到光纤中的结构。此时，近紫外线在光纤内传播，从其前端部向外照射。

此外，氮气通过在中空圆筒部件25中形成的第一气体喷射口25a后，进一步通过在透镜支持件31上形成的第二气体喷射口31a向外部喷射。此时，如果旋转透镜支持件31，则第一气体喷射口25a和第二气体喷射口31a的距离和位置关系(从前端面看，为重合的情形)发生改变，则氮气向外喷射的范围发生变化。即，通过旋转透镜支持件31，可调整氮气向外喷射的方式(扩展角)。

此外，在图2(b)和图4所示的任何一种结构中，如果旋转螺纹结合在中空圆筒部件25上的帽部件26，将其从中空圆筒部件25上卸下，可以卸下透镜27进行更换。进而，如果旋转螺纹结合在外壳21的前端侧部件21b上的中空圆筒部件25，将其从端侧部件21b卸下，可以卸下LED22进行更换。

图5是表示作为紫外线照射装置10的头部12的另一变形例。在图5(a)所示例中，在外壳21的前端面21F的中央部配置气体喷射口25a，并以将其周围包围成圆环状的方式，设置多个(在图示例中为六个)近紫外线照射口26a。与此相对应，在外壳21的内部的中央处设置氮气的气体流路，配置多个(6个)LED(图中未示出)，把该气体流路围成圆环状。

在该例的结构中，通过使用多个发光二极管，可根据需要增加近紫外线的照射量。此外，在配置成圆环状的多个LED中，利用通过中央部的氮气，也可以获得冷却效果。

在图5(b)所示的例中，具有头部是大致立方体状的外壳，沿着其长方形前部端面21F的长边方向配置有多个近紫外线照射口26a，同时，沿长边方向设置狭缝状的气体喷射口25a。

在图示的例子中，配置两列共计十个近紫外线照射口26a，在其两侧各形成一个狭缝状的气体喷射口25a，共计为两个。当然，多个近紫外线照射口26a既可以排成一列，也可以排成三列以上。此外，狭缝状的气体喷射口25a也可以仅在一侧设置一个。在外壳21的内部与多个近紫外线照射口26a对应配置多个LED。

在该例的结构中，通过长边方向并列的多个LED，可对涂布在细长区域上的树脂同时照射近紫外线并使其固化。此外，用上述的氮气流也可以获得冷却效果。从狭缝状的气体喷射口25a喷射出的氮气相对于应固化的树脂以所谓气帘的方式喷出。

图5(c)所示的实例与已经描述的头部构造例稍有不同。在该例中，头部被分为近紫外线照射用头部12A和氮气喷射用头部12B。即使成为这种结构，也可以实施本发明紫外线固化型树脂的固化方法，即对应固化的树脂照射从LED发出的近紫外线，同时喷射氮气。但是，在该情况下，内置于近紫外线照射用头部12A中的LED发热较大时，需要另外的对其冷却的结构。

图6是表示通过控制部11将氮气提供给多个头部12的结构例的方框图。在该例中，控制部11具有一个氮气输入口33和四个氮气输出口34。从氮气发生器14发出的氮气供给氮气输入口33；在四个氮气输出口34处，分别连接四个头部12。

此外，控制部11内置有与氮气输入口33和四个氮气输出口34分支连接的分支连接管35，进而具有四个分别对四个氮气输出口34进行开关控制的电磁阀36。四个电磁阀36由内置于控制部11中的控制电路(参照图1)进行通断控制。

根据这种结构，可将氮气发生器14发出的氮气通过控制部11供给四个头部12，同时通过四个电磁阀36的分别控制，可分别控制向四个头部12供给氮气。即，可以分别控制从各个头部12喷射氮气的时间。如下所述，用从控制部11发出的电信号分别控制从四个头部12照射的近紫外线的通断时间时，也可以与其一致，分别控制氮气的喷射时间。

图7是表示包括内置于控制部11中的电源电路11a和控制电路11b的电气系统的结构例的方框图。在图7中，从AC输入口38提供的商用电经过线路滤波器39、熔断器40和电源开关41提供给电源电路11a，在电源电路11a处生成的直流稳定电压供给控制电路11b。控制电路11b具有微型计算机、EEPROM(储存器)等，按照预先存储的程序和用户的设定操作对各头部12发出的近紫外线的强度、照射时间、氮气的喷射时间等进行控制。

在控制电路11b处，连接有端子台基板42和通信用连接器(RS232C)43，采用这些接口，可将个人电脑或PLC(可编程逻辑控制器)等外部控制设备与控制部11连接。

此外，四个头部连接器44与控制电路11b连接，通过这些头部连接器44，各头部12与控制部11的控制电路11b连接。而控制电路11b向各头部12施加驱动控制各头部12的LED22的电信号，控制从各头部12发出的近紫外线的强度和照射时间。此外，氮气喷射时间的控制可以如上所述，通过分别控制内置于控制部11中的四个电磁阀36实施。

此外，在控制电路11b上连接着前面板基板45。在该前面板基板45上，安装着由设置在控制部11的前面板上的显示部和操作部构成的液晶显示器和各种开关类。用户可以使用显示部和操作部，分别设定四个头部12的近紫外线的强度、照射时间和氮气的喷射时间等。

图8是表示设置在控制部11前面板上的显示部和操作部的配置例的图。在前面板的最上面设有电源开关41和指示灯41a。在其下方设有采用了液晶表示器的显示部51，在其更下部处设置具有用于各种设定的键开关的第一操作部52。在其下方左侧配置四对与四个头部12的氮气管24和电线束23连接的氮气输出口34和头部连接器44。

在四对氮气输出口34和头部连接器44的右侧设有第二操作部53。第二操作部53具有与各头部12的氮气输出口34和头部连接器44的右侧对应配置的四组通断开关53a、七段显示器53b和增减设定用(上下)开关53c。

通断开关53a是用于分别设定来自各头部12的近紫外线照射(即，LED22的通断)的开关。是在接通的状态下点亮的带有背照灯的按钮开关。

七段显示器53b和增减设定用开关53c用于设定由各头部12照射的近紫外线的强度(LED22的驱动占空因数)。使用增减设定用开关53c设定增减的值显示在七段显示器53b上。

从各头部12照射的近紫外线的通断操作可如上述的使用第二操作部53分别设定，同时也可以使用第一操作部52和显示部51一起设定。此外，近紫外线的接通时间(延迟设定)和断开时间(延迟设定)可以用第一操作部52和显示部51进行分别设定。

(实施例2)

图9是表示作为本发明实施例二的紫外线照射装置的外观的图。在该实施例的紫外线照射装置中，在一台控制部61中最多可连接四个头部62。在控制部61的前面板的下部左侧，可纵向并列配置四个电缆连接用连接器611，从上边依次定义为通道1，2，3和4。在图示例中，通道1和通道3通过电缆63与头部62连接。此外，在该实施例的紫外线照射装置的头部62上不具有喷射氮气的功能，控制部61和头部62仅用电缆63连接。

在控制部61的前面板的下部右侧与左侧纵向并列的四个通道的连接器对应，分别纵向并列设置了四个指示器612和四个按钮开关613。用四个按钮开关613可分别开始和停止四个通道的头部62发出的紫外线照射，从各头部62照射紫外线的工作状态或停止状态可用四个指示器612分别表示。

在控制部61的前面板中央部左侧设置键开关614，在其右侧设置电源开关(按钮开关)615。在这些部件的上侧装有设定操作部616和显示部617。在设定操作部616上设置多个按钮开关，使用这些开关可分别设定各头部62的紫外线照射的照射功率、照射时间和照射图案。作为照射图案，可以选择以一定的照射功率进行连续照射，以定比提高照射功率进行连续照射、间隔照射或者以按二次曲线状改变的照射功率进行连续照射。在设定时可以参照显示部617的四行七段显示以及下方的四通道的指示器。

图10是表示作为本发明实施例2的紫外线照射装置的头部62结构的上面分解立体图。此外，图11是表示相同头部62结构的下面分解立体图。头部62由上部外壳621a、下部外壳621b、电缆连接器623、印刷线路板624、紫外线发光二极管625及其冷却块626、透镜支持件627等形成。在上部外壳621a和下部外壳621b合在一起形成的筒状外壳621的内部放置印刷线路板624。在筒状外壳621的根部端侧，电缆连接器623由四个固定螺钉623a固定。此外，在筒状外壳621的前端侧固定紫外线发光二极管625的冷却块626用三个固定螺钉626a固定。

如图11所示，在筒状外壳621的基端侧固定的电缆连接器623通过电线束623b与印刷线路板624连接。即，与控制部61连接用的电缆63通过电缆连接器623和电线束623b连接在印刷线路板624上。此外，冷却块626固定在筒状外壳621的前端侧，固定在冷却块626前端侧的紫外线发光二极管625的导线通过连接器625a连接在印刷线路板624上。

如图10所示，在印刷线路板624的焊锡面上，安装有作为电路部件的非易失性存储器624a、芯片LED624b等表面安装部件。非易失性存储器624a在计算紫外线发光二极管625的累计驱动时间和存储最初辉度特性等时使用。芯片LED624b在紫外线发光二极管625的驱动中，即紫外线照射过程中点亮，使用者可了解其情况。在上部外壳621a中，为了能从外部视认该芯片LED624b点亮或熄灭的状态，设置小孔HL。此外，在包含上部外壳621a的小孔HL的上面部形成浅凹部RS，在与小孔HL相对应的部位形成透明窗TW的树脂片(化妆片)ST贴付在凹部RS处，阻塞住小孔HL。

如图11所示，在下部外壳621b的中央部设置固定用的螺孔TH，使用该螺孔TH可将头部62固定在夹具或设备类上。由于下部外壳621b壁薄，因此螺孔TH形成通孔。如图10所示，在下部外壳621b的内表面上固定有板PL，该板PL在固定头部62时，具有防止螺纹结合插入到螺孔TH中的阳螺栓进入筒状外壳621内部的挡块功能。

(实施例3)

下面，作为实施例3，对采用转发器延长控制部和头部之间的连接距离的结构进行说明。如上所述，本发明的紫外线照射装置的各个头部具有光源(紫外线发光二极管)，控制部和头部用电缆连接。因此与在主体部具有光源、采用光纤将紫外线导入到各个头部的现有紫外线照射装置相比，本发明的紫外线照射装置可延长控制部和头部之间的连接距离。但是，由于电信号衰减，其连接距离也存在限度。另一方面，根据用途有时也需要超过数十米的连接距离。

由此，在实施例3的紫外线照射装置中，如图12所示，为实现加长控制部和头部之间配线的距离，使用转发器进行信号的增幅。在图12所示的例中，在控制部71所具有的四个通道CH1-CH4中，CH2-CH4通常分别与一个头部72连接，CH1通过转发器73与两个头部72连接。这样，通过转发器73将控制部71和头部72连接，不仅可延长配线(连接距离)，还可以增加可与一台控制部71连接的头部72的个数。作为驱动转发器73操作用的电源，可由控制部71提供，也可以由外部直接提供。

图13(a)表示从实施例3的紫外线照射装置中的控制部71向转发器73供电时的结构，图13(b)表示从外部向相同的转发器73供电时的结构。在图13(a)的结构中，转发器73上连接有一个头部72。在图13(b)的结构中，转发器73上连接有2个头部72(分支连接)。在任何一种结构中，在转发器73的内部都具有缓冲器731和控制电路732，并分别向其供电。在控制部71和转发器73之间的配线与转发器73和头部72之间的配线可一起由一根电缆实现，电源线和控制信号线可合并为一根电缆。在图13(b)的结构中，控制部71和转发器73之间的电缆不使用电源线。

图14是表示实施例3的紫外线照射装置的使用例的图。图14(a)是对一个工件WK的多个部位在同等条件下同时进行紫外线照射，由紫外线固化型树脂对工件WK实施固定的情形。在这种情况下，由于连接在一个转发器73上的多个(图中为三个)头部72在同一条件下进行紫外线照射，因此可使用本实施例的结构。尽管将多个头部72直接连接在控制部71上，可同时在同一条件下对工件WK的多个部位进行紫外线照射，但是在该情况下需要将连接多个头部72的多个通道全部设置成同一照射条件。与此相反，在图14(a)的结构中，可仅把与转发器73连接的通道设定为规定的照射条件。

图14(b)是将多个头部72发出的紫外线集中在工件WK的一个特定部位的情况下的结构。这样，与仅用一个头部72照射紫外线的情形相比，可以用更大的照射功率进行紫外线照射。结果，有时可缩短固化时间并提高固化强度。

以上用几个实施例和变形例对本发明进行了说明，但是本发明不限于上述实施例和变形例，可以用各种形式实施本发明。例如，也可以代替通过控制部11提供给多个头部12的方式，不通过控制部11直接(通过分支连接管)把从氮气发生器14发出的氮气提供给多个头部12，以。

也可以用向应固化树脂的近紫外线照射部位喷射其它惰性气体(氩气等)代替喷射氮气。此外，也可以采用从气瓶供给氮气(惰性气体)的结构代替氮气(惰性气体)发生器。

Claims

1.一种紫外线照射装置，其用电缆连接固化紫外线固化型树脂的多个头部和控制部，其特征在于，

所述多个头部分别具有外壳和设置在其内部的发出近紫外线的发光二极管，从该发光二极管发出的近紫外线从设置在所述外壳前端面上的近紫外线照射口向外照射，

所述控制部具有电源电路和控制电路，以对所述多个头部的发光二极管分别进行驱动控制。

2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述多个头部进一步分别具有设置在所述外壳内的气体流路和设置在所述外壳前端面处的气体喷射口，从所述外壳基部端面提供的惰性气体通过所述气体流路，从所述近紫外线照射口向外喷射。

3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述控制部具有一个惰性气体输入口和多个惰性气体输出口以及与所述惰性气体输入口和多个惰性气体输出口分支连接的分支连接管，从惰性气体供给源提供的惰性气体通过所述控制部提供给所述多个头部。

4.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其特征在于，所述控制部进一步具有分别对所述多个惰性气体输出口进行开关控制的电磁阀。