CN1532006A - 制程装置排水回收系统及方法 - Google Patents
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Abstract
一种制程装置排水回收系统及方法，是利用导电度计检测制程排水的导电度，将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中。再使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水。然后依据回收水的特性应用于不同的用途上，以提升制程排水的再利用效率。
Description
技术领域
本发明是有关于一种排水回收系统及方法，且特别是有关于一种制程排水回收系统及方法。
背景技术
在集成电路元件的制程中，最频繁的制程步骤就是晶圆洗净。晶圆洗净的目的乃是为了去除附着于晶圆表面上的有机化合物、金属杂质或微粒(Particles)。然而，晶圆洗净需要耗用大量水资源，容易造成生产成本大增，因此如何回收制程装置排水以供纯水、制程冷却水、冷却水塔等系统再次使用是很重要的。而且，如果可以有效的管制制程装置排水，使其有效的回收再利用的话，就可以减少耗用水资源、降低生产成本与提升产业竞争力。
然而，如果回收水只重视量的增加，而忽略回收水质的要求，将限制回收水的用途甚至发生污染超纯水供应品质，导致产能降低，其所带来的损失反而更巨大，所以需借由良好的管制设计，有效地提升优良的回收水质。
现有半导体厂回收制程排水的方式，系采用汇集后再选别的方式，先将各制程的排水汇集在一起，再根据水质的种类做不同用途的利用。此种回收制程排水的方法，虽然能增加回收水量，但无法有效地提升回收水的品质，而会限制回收水的用途。而且当某一制程的排水有问题时，就可能会造成全部排水都无法回收的情形。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在提供一种制程装置排水回收系统及回收方法，利用对个别机台加装导电度计以进行分类回收，如此才不会因单一机台排水水质有问题而造成全部排水无法回收的情形。
本发明的另一目的在提供一种制程装置排水回收系统及回收方法，利用导电度计与总有机碳分析仪(Total Organic Carbon，TOC)配合中间槽液位控制分类回收水，可有效提升回收水的水质。
为达到上述目的，本发明提供一种制程装置排水回收系统，包括制程装置、导电度分析装置、三向阀、控制器、回收槽、缓冲槽、中间槽、第一原水槽、第二原水槽、第一阀、第二阀、第一泵、第二泵与总有机碳分析装置。其中，三向阀系连接至制程装置的排水口。导电度分析装置系设置于制程装置与三向阀之间的管路中，用以分析排水中的导电度。控制器电性连接三向阀与导电度分析装置，并根据导电度分析装置的讯号控制三向阀的动作，使三向阀依据导电度分析装置的讯号决定排水的流向。
回收槽连结至三向阀的排水口，收集初步选别出来的回收水。缓冲槽连接回收槽，使来自回收槽的回收水在缓冲槽内接受TOC分析。中间槽连接缓冲槽，在中间槽内设置有液位测量装置，以量测中间槽的液位。第一原水槽与第二原水槽连接中间槽，分别收集不同等级的回收水。于中间槽与第一原水槽之间设置有第一阀，且于中间槽与第二原水槽之间设置第二阀。第一泵与第二泵分别设置于中间槽与第一阀、第二阀之间。总有机碳分析装置连接缓冲槽，用以分析缓冲槽内回收水的TOC含量，并电性连接第一阀与第二阀，以控制第一阀与第二阀的开启与关闭。制程装置在缓冲槽与中间槽之间的管路上设置有第三阀，此外设置另一组导电度分析装置连接至缓冲槽，并电性连接至第三阀，以控制第三阀的开启与关闭。此制程装置排水回收系统可依据本发明回收水的选别精神设置更多个回收槽，连接至三向阀的排水口，进行后续的回收水选别流程。
本发明的制程装置排水回收系统，是对个别机台加装导电度计以进行分类回收，将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不会因单一机台排水水质有问题而造成全部排水无法回收的情形。再使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水，可以严格管制各种品质的回收水排至适当的原水槽，以提升制程排水的再利用效率。
为达到上述目的，本发明又提供了一种制程装置排水回收方法，此方法系从制程装置排出一排水后，以导电度分析装置分析排水的导电度，并根据导电度以控制三向阀使排水导入一第一回收槽。接着，使导入第一回收槽的排水导入一缓冲槽，并使导入缓冲槽的排水导入一中间槽。然后，以总有机碳分析装置分析缓冲槽内排水，以控制中间槽的排水导入一第一原水槽或一第二原水槽。
以总有机碳分析装置分析缓冲槽内排水，以控制中间槽的排水导入第一原水槽或第二原水槽的步骤系(a)对排水进行第一总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于一标准值；(b)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一第一高液位；(c)当中间槽的液位为第一高液位，开启一第一泵与一第一阀，关闭一第二阀，使排水导入第一原水槽；(d)对排水进行第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；(e)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；(f)当中间槽的液位为第二高液位，开启第二泵，使排水加速导入第一原水槽；(g)在步骤(a)中，当排水的总有机碳含量高于标准值，检测中间槽的液位是否为中液位；(h)当中间槽的液位为中液位，开启一第一泵、一第二泵与第二阀，关闭第一阀，使排水导入第二原水槽；(i)对排水进行第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；(j)当排水的总有机碳含量低于该标准值，检测中间槽的液位是否为一低液位；以及(k)当中间槽的液位为低液位，关闭第二泵与第一泵。
本发明的制程装置排水回收方法在回收半导体制程排水时，利用对个别机台加装导电度计做先期选别，使用控制器将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不会因单一机台排水水质有问题而造成全部排水无法回收的情形。而且使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水，可以严格管制各种品质的回收水排至适当的原水槽，以提升制程排水的再利用效率。
附图说明
图1所绘示为本发明实施例回收水选别机制图；
图2所绘示为本发明实施例中间槽液位控制图；
图3所绘示为本发明实施例回收水TOC管制流程图；
图4(A)与图4(B)所绘示为RCA晶圆洗净制程排水选别机制流程图。
具体实施方式
图1为绘示本发明实施例的一种制程装置排水回收系统示意图。此制程排水回收系统包括制程装置100、三向阀102、导电度分析装置104、控制器106、回收槽108、缓冲槽110、中间槽112、原水槽114与原水槽116、阀118与阀120、泵122与泵124，以及总有机碳分析装置(Totalorganic carbon，TOC)126。此处水槽的名称系以水槽放置的位置命名，例如制程排水从机台排至工厂内部的水槽，再回收至厂务设备的水槽。位于工厂内的水槽会泛称为缓冲槽，而位于厂务设备端的水槽则称为原水槽。
三向阀102连接制程装置100的排水口，并依据来自导电度分析装置104的讯号决定排水的流向。此导电度分析装置104设置于制程装置100与三向阀102之间的管路中，用以分析排水中的导电度，并将量测结果传送至控制器106。控制器106电性连接三向阀102与导电度分析装置104，并根据来自导电度分析装置104的讯号控制三向阀102的动作。
回收槽108连结至三向阀102的排水口128，收集初步选别出来的回收水。缓冲槽110连接回收槽108，使来自回收槽108的回收水在缓冲槽110内接受TOC分析。中间槽112连接缓冲槽110，且在中间槽112与缓冲槽110之间的管路上设置有阀130。导电度分析装置132连接至缓冲槽110，并电性连接至阀130，以控制此阀130的开启与关闭。在中间槽112内设置有液位测量装置134，以量测中间槽112的液位。原水槽114与另一原水槽116连接中间槽112，分别收集不同等级的回收水。于中间槽112与原水槽114之间设置有阀118，而中间槽112与另一原水槽116之间设置有阀120。此外，于中间槽112与阀118、阀120之间分别设置有泵122与泵124，用以从中间槽112抽送回收水至原水槽114或原水槽116。总有机碳分析装置126连接缓冲槽110，以分析槽内回收水的TOC含量，并电性连接阀118与阀120，以控制阀118与阀120的开启与关闭。
在本实施例中，制程排水回收系统是以设置一个回收槽为实例作说明，当然可依据本发明回收水的选别精神设置更多个回收槽，连接至三向阀102的排水口，例如设置另一回收槽136，连接至三向阀102的另一排水口138，进行后续的回收水选别流程。
因此如上述说明，本发明提供的制程排水回收系统，利用对个别机台加装导电度计做先期选别，使用控制器将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不会因单一机台排水水质有问题而造成全部排水无法回收的情形。再使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水，可以严格管制各种品质的回收水排至适当的原水槽，以提升制程排水的再利用效率。
接着说明本发明最佳实施例的一种制程排水的回收方法，请再次参照图1，此制程排水的回收方法首先是从制程装置100排出欲废弃的排水，接着以导电度分析装置104分析排水的导电度，根据分析排水的导电度以控制三向阀102使排水导入回收槽108或其他的回收槽例如是回收槽136。接着使导入回收槽108的排水导入缓冲槽110后，将排水导入中间槽112，以总有机碳分析装置126分析缓冲槽110内的排水，以控制中间槽112的排水导入原水槽114或原水槽116。接着，说明中间槽112的控制方法。
图2所绘示为本发明实施例中间槽液位控制图，亦即图1的虚线所围的区域，在图2中，构件与图1相同者给予相同的标号，并省略其详细说明。在中间槽112内设置有液位测量装置134，以量测中间槽112的液位，在本实施例中例如是将中间槽112内液位分成五种液位，分别为LL液位、L液位、M液位、H液位及HH液位，此五种液位例如是分别离槽底0.40、0.55、1.2、1.7及2.15公尺。
假设TOC测试管线140的直径例如是0.9公分，则TOC测试管线140的截面积例如是0.65平方公分，又假设TOC测试管线140总长度例如是10公尺，回收水从缓冲槽110流至TOC分析仪器126的流速例如是200毫升/分钟，所以回收水从缓冲槽110流至TOC分析仪器126所需的时间3.5分钟，而TOC分析仪器126测试一次的时间例如是约需3至5分钟，因此TOC分析仪器126测试包括取样及分析总共约需6至8分钟。在TOC分析仪器126进行分析的同时，回收水亦从缓冲槽110流至中间槽112，当TOC分析仪器126测出TOC值大于1000ppb时，则TOC值大于1000ppb的回收水可能已排入预设标准值为小于1000ppb的原水槽114槽中，因此若无法有效地将此TOC大于1000ppb的回收水排至预设标准值为大于等于1000ppb的原水槽116中，则TOC值大于1000ppb的回收水将污染原水槽114的水质。
防止上述回收水污染原水槽114的水质的做法，是借由定义中间槽112适当的操作液位及TOC控制程式，有效的管制回收水系统。假设中间槽112的底面积例如是5.0平方公尺，回收水从M液位流至LL液位的距离例如是0.8公尺，而只启动一组泵122的情况下，抽水速率为52立方公尺/小时，液位下降的速度为(52立方公尺/小时)/(5.0平方公尺)＝10.4公尺/小时，以较严苛的条件计算，回收水从液位M流至液位LL所需的时间(0.8公尺)/(10.4公尺/小时)＝0.077小时约等于4.6分钟。当进出水量相近，而液位保持在高于M液位，由回收水从M液位流至LL液位约4.6分钟置换一次，而TOC测试讯号输出所需时间约6至8分钟，如果此时发生回收水TOC测试不合格的情况，且未设定开启泵122、泵124与阀120，关闭阀118使回收水排入原水槽116，则会使TOC测试不合格的回收水流向原水槽114中约2分钟，而污染原水槽114的水质。所以上述当回收水的总有机碳含量高于预设值时，需检查中间槽112液位是否为M液位，若为M液位则开启泵122、泵124与阀120，关闭阀118，使TOC测试不合格的回收水排入原水槽116。而开启泵122与泵124的状态下，抽水速率变成83立方公尺/小时，其他假设条件与上述条件相同，此时由回收水从M液位流至LL液位约2.9分钟置换一次，可快速将TOC不合格的回收水排入原水槽116。
接着请参照图3及对照图2说明制程装置排水的回收方法中，以总有机碳分析值及液位来控制中间槽排水的方法包括以下步骤：
步骤300，对缓冲槽内的排水进行第一次总有机碳含量检测，判断排水的总有机碳含量是否低于预设的标准值，若是则进行步骤302，若否则进行步骤312；
步骤302，检测中间槽112的液位是否为H液位，若是则进行步骤304，若否则进行步骤300持续检测缓冲槽排水的总有机碳含量；
步骤304，开启泵122与阀118，关闭阀120，使排水导入原水槽114；
步骤306，对排水进行第二次总有机碳含量检测，判断排水的总有机碳含量是否低于预设的标准值，若是则进行步骤308，若否则进行步骤312；
步骤308，检测中间槽112的液位是否为HH液位，若是则进行步骤310，若否则进行步骤326；
步骤310，开启另一泵124，使排水加速导入原水槽114；
步骤312，检测中间槽112的液位是否为M液位，若是则进行步骤314，若否则持续检测中间槽112的液位是否为M液位；
步骤314，开启泵122、泵124与阀120，关闭阀118，使排水导入原水槽116；
步骤316，对排水进行第二次总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于预设的标准值，若是则进行步骤318，若否则进行步骤322；
步骤318，检测中间槽112的液位是否为L液位，若是则进行步骤320，若否则进行步骤324；
步骤320，关闭两组泵；
步骤322，检测中间槽112的液位是否为L液位，若是则进行步骤320，若否则进行步骤316持续检测缓冲槽排水的总有机碳含量；
步骤324，使两组泵运转一段时间例如是15分钟；
步骤326，检测中间槽112的液位是否为M液位，若是则进行步骤328，若否则进行步骤304；
步骤328，关闭两组泵；
步骤330，对缓冲槽排水进行第三次总有机碳含量检测，判断排水的总有机碳含量是否低于预设的标准值，若是则进行步骤332，若否则进行步骤312；以及
步骤332，检测中间槽112的液位是否为H液位，若是则进行步骤304，若否则进行步骤310。
因此如上述说明，使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制分类回收水，可以严格管制各种品质的回收水排至适当的原水槽，以提升制程排水的再利用效率。
本发明所提供的一种制程装置排水的回收系统及方法，适用于半导体业制程装置例如是RCA晶圆洗净制程，以下即以RCA晶圆洗净制程为例，说明RCA制程应用本发明作排水的回收。依RCA制程所使用的化学品的不同及清洗流程的不同，使用导电度计检测制程排水中的导电度值，加以分类控制回收，共大致可分为纯水回收/排水回收、排水回收/酸排水回收、排水回收/氟酸排水回收及酸排水回收/氟酸排水回收四大类。
请参照图4(A)，图4(A)所绘示为RCA晶圆洗净制程排水选别机制流程图。通常将废SPM清洗液400、废SC1清洗液402及废SC2清洗液404排至酸排水收集槽406；跟随在SPM清洗液、SC1清洗液及SC2清洗液之后的快速清洗制程，以大量溢流去离子水408清洗晶圆后的废水，经导电度计410量测导电度值，若导电度值介于10至1000mS/cm之间则排入废水回收槽412，若介于1000至2000mS/cm之间则排入酸排水回收槽414；因后续废水处理单元的要求，稀氢氟酸(DHF)416废水则需分流排入氟酸排水回收槽418输送至废水处理厂处理；稀氢氟酸(DHF)清洗制程之后的清洗晶圆的溢流(0ver flow)去离子水420回收，依排水回收/氟酸排水分类，若导电度值介于10至1000mS/cm之间则排入废水回收槽412，若介于1000至2000mS/cm之间则排入氟酸排水回收槽418；最后水洗(Final Rinse，FR)槽422的水回收依纯水回收/废水回收分类，若导电度值介于0至10mS/cm之间则排入纯水回收槽424，若介于10至1000mS/cm之间则排入废水回收槽412。此外乾燥制程所用的异丙醇的回收及处理，例如是由异丙醇(IPA)槽426冷凝回收异丙醇蒸气则排至异丙醇回收系统428，而废异丙醇则排至废异丙醇收集槽430。
接着请参照图4(B)，图4(B)所绘示为衔接图4(A)初步完成制程排水选别机制之后所进行的回收水TOC选别流程图。完成晶圆清洗制程机台洗净排水的初步分类后，将机台分类后的回收水例如是收集在纯水回收槽424、废水回收槽412或酸排水回收槽414，再经由导电度及总有机碳分析(Total Organic Carbon，TOC)，控制分类至纯水回收、排水回收或酸排水回收的回收系统，供纯水及制程冷却水系统再次使用。其中纯水回收的导电度值介于0至10mS/cm之间、排水回收的导电度值介于10至1000mS/cm之间及酸排水回收的导电度值介于1000至2000mS/cm之间。
经选别回收的回收水由纯水回收槽424流至缓冲槽432，先利用导电度计434量测回收水的导电度值，若小于10mS/cm排至中间槽436，若大于等于10mS/cm则排至中间槽438。再以TOC分析仪器440分析回收水的总有机碳含量，当TOC＜500ppb排入纯水回收过滤槽442，当TOC值介于500至1000ppb之间则排至排水回收原水槽444，而当TOC＞1000ppb则排至酸排水回收原水槽446。
经选别回收的另一回收水流至缓冲槽448，先利用导电度计450量测回收水的导电度值，若小于1000mS/cm排至中间槽438，若大于等于1000mS/cm则排至中间槽452。再以TOC分析仪器454分析回收水的总有机碳含量，当TOC＜1000ppb排入另一排水回收原水槽456，而当TOC＞＝1000ppb则排至另一酸排水回收原水槽458。
至于经选别回收的再一回收水，则利用导电度计460量测回收水的导电度值，若小于2000mS/cm排至中间槽452，再排至酸排水回收原水槽462，若大于等于2000mS/cm则排至酸硷排水原水槽464。
综合上述的说明，本发明利用对个别机台加装导电度计以进行分类回收，将不同导电度的制程排水排放至不同的管路中，再使用导电度计与总有机碳分析仪(TOC)配合中间槽液位控制，并分类上述不同管路中的回收水具有提升回收水品质的优点，不限应用于RCA晶圆洗净制程排水选别回收，亦可应用于任何制程装置排水回收。
虽然本发明已以一较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定的为准。
Claims (19)
1.一种制程装置排水回收系统，其特征在于，包括：
一制程装置装置，包含至少一排水口；
一第一三向阀，连接该制程装置的排水口；
一第一导电度分析装置，设置于制程装置与第一三向阀之间的一管路中；
一第一控制器，电性连接第一三向阀与第一导电度分析装置，并根据第一导电度分析装置的讯号控制第一三向阀；
一第一回收槽，连接第一三向阀的一第一排水口；
一缓冲槽，连接第一回收槽；
一第一中间槽，连接缓冲槽；
一第一原水槽与一第二原水槽，连接中间槽；
一第一阀，设置于中间槽与第一原水槽之间；
一第二阀，设置于中间槽与第二原水槽之间；
一第一泵与一第二泵，设置于中间槽与第一阀、第二阀之间；以及
一总有机碳分析装置，连接缓冲槽，并电性连接第一阀与第二阀，以控制第一阀与第二阀的开启与关闭。
2.如权利要求1所述的制程装置排水回收系统，其特征在于，其中更包括一第二回收槽，连接第一三向阀的一第二排水口。
3.如权利要求1所述的制程装置排水回收系统，其特征在于，其中更包括一第三阀，设置于缓冲槽与中间槽之间的管路上。
4.如权利要求3所述的制程装置排水回收系统，其特征在于，其中更包括一第二导电度分析装置连接缓冲槽，并电性连接第三阀，以控制第三阀的开启与关闭。
5.如权利要求1所述的制程装置排水回收系统，其特征在于，其中更包括一液位测量装置，设置于中间槽内，以量测中间槽的液位。
6.一种制程装置排水的回收方法，其特征在于，该方法包括：
从一制程装置排出一排水；
以一导电度分析装置分析该排水的一导电度；
根据该导电度以控制一三向阀使排水导入一回收槽；
使导入回收槽的排水导入一缓冲槽；
使导入缓冲槽的排水导入一中间槽；以及
以一总有机碳分析装置分析缓冲槽内排水，以控制中间槽的排水导入一第一原水槽或一第二原水槽。
7.如权利要求6所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中以总有机碳分析装置分析缓冲槽内排水，以控制中间槽的排水导入第一原水槽或第二原水槽的步骤包括：
(a)对排水进行一第一总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于一标准值；
(b)当排水的总有机碳含量低于该标准值，检测中间槽的液位是否为一第一高液位；
(c)当该中间槽的液位为该第一高液位，开启一第一泵与一第一阀，关闭一第二阀，使排水导入第一原水槽；
(d)对排水进行一第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；
(e)当排水的总有机碳含量低于该标准值，检测中间槽的液位是否为一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；
(f)当中间槽的液位为第二高液位，开启第二泵，使排水加速导入第一原水槽；
(g)在步骤(a)中，当排水的总有机碳含量高于标准值，检测中间槽的液位是否为中液位；
(h)当中间槽的液位为中液位，开启第一泵、一第二泵与第二阀，关闭第一阀，使排水导入第二原水槽；
(i)对排水进行第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；
(j)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
(k)当该中间槽的液位为低液位，关闭第二泵与第一泵。
8.如权利要求7所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(d)中，当排水的总有机碳含量高于标准值时，则进行下列步骤：
(l)检测中间槽的液位是否为一中液位；
(m)当中间槽的液位为中液位，开启第一泵、第二泵与第二阀，关闭第一阀，使排水导入第二原水槽；
(n)对排水进行一第三总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；
(o)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
(p)当中间槽的液位为低液位，关闭第二泵与第一泵。
9.如权利要求8所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(n)中，当该排水的总有机碳含量高于标准值，则进行下列步骤；
检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
当中间槽的液位约略等于低液位时，关闭第一泵与第二泵。
10.如权利要求8所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(o)中，当中间槽的液位高于低液位时，则进行下列步骤；
使第一泵与第二泵运转一段时间；以及
关闭第一泵与第二泵。
11.如权利要求7所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(f)中，当中间槽的液位低于第二高液位时，则进行下列步骤：
检测中间槽的液位是否为一中液位；以及
当中间槽的液位为中液位，关闭第一泵。
12.如权利要求7所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(i)中，当排水的总有机碳含量高于标准值，则进行下列步骤；
检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
当中间槽的液位约略等于低液位时，关闭第一泵与第二泵。
13.如权利要求7所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(j)中，当中间槽的液位高于低液位时，则进行下列步骤；
使第一泵与第二泵运转一段时间；以及
关闭第一泵与第二泵。
14.如权利要求7所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中于步骤(f)之后更包括下列步骤；
对缓冲槽的排水进行一第三次总有机碳含量检测，判断排水的总有机碳含量是否低于预设的标准值，若是则进行检测中间槽的液位是否为第一高液位，若否则进行检测中间槽的液位是否为中液位；以及
检测中间槽的液位是否为第一高液位，若是则进行步骤(c)，若否则进行步骤(f)。
15.一种制程装置排水的回收方法，其特征在于，该方法包括：
(a)从一制程装置排出一排水；
(b)根据排水的一导电度，判断排水应导入哪一个回收槽并导入该回收槽；
(c)使导入回收槽的排水导入一缓冲槽；
(d)使导入缓冲槽的排水导入一中间槽；
(e)对排水进行一第一总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于一标准值；
(f)当排水的总有机碳含量高于标准值，检测中间槽的液位是否为该中液位；
(g)当中间槽的液位为中液位，开启一第一泵、一第二泵与一第二阀，关闭一第一阀，使排水导入一第二原水槽；
(h)对排水进行一第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；
(i)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
(j)当中间槽的液位为低液位，关闭第二泵与第一泵。
16.如权利要求15所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(e)中，当排水的总有机碳含量低于标准值时，则进行下列步骤：
(k)检测中间槽的液位是否为一第一高液位；
(l)当中间槽的液位为第一高液位，开启一第一泵与一第一阀，关闭一第二阀，使排水导入第一原水槽；
(m)对排水进行第二总有机碳含量检测，检测排水的总有机碳含量是否低于标准值；
(n)当排水的总有机碳含量低于标准值，检测中间槽的液位是否为一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；以及
(o)当中间槽的液位为第二高液位，开启第二泵，使排水加速导入一第一原水槽。
17.如权利要求16所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(n)中，当中间槽的液位低于第二高液位时，则进行下列步骤：
检测中间槽的液位是否为一中液位；以及
当中间槽的液位为中液位，关闭第一泵。
18.如权利要求15所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(h)中，当排水的总有机碳含量高于标准值，则进行下列步骤；
检测中间槽的液位是否为一低液位；以及
当中间槽的液位约略等于低液位时，关闭第一泵与第二泵。
19.如权利要求15所述的制程装置排水的回收方法，其特征在于，其中在步骤(i)中，当中间槽的液位高于低液位时，则进行下列步骤；
使第一泵与第二泵运转一段时间；以及
关闭第一泵与第二泵。
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| CN102024675B (zh) * | 2009-11-20 | 2012-09-05 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 多种化学品分类排放回收系统 |
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