CN1526067A - 用于测量波阵面像差的方法和装置 - Google Patents

用于测量波阵面像差的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1526067A
CN1526067A CNA028137221A CN02813722A CN1526067A CN 1526067 A CN1526067 A CN 1526067A CN A028137221 A CNA028137221 A CN A028137221A CN 02813722 A CN02813722 A CN 02813722A CN 1526067 A CN1526067 A CN 1526067A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polarization
wave front
reflection mirror
discrete lines
mirror array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA028137221A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100374833C (zh
Inventor
L・G・琼斯
L·G·琼斯
D·罗斯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Johnson and Johnson Vision Care Inc
Original Assignee
Johnson and Johnson Vision Care Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Johnson and Johnson Vision Care Inc filed Critical Johnson and Johnson Vision Care Inc
Publication of CN1526067A publication Critical patent/CN1526067A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100374833C publication Critical patent/CN100374833C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B3/00Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
    • A61B3/10Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B3/00Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
    • A61B3/10Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
    • A61B3/1015Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for wavefront analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Eye Examination Apparatus (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

本发明披露了一种用于测量波阵面像差的方法和装置。分束器把具有像差的波阵面分成两个部分,反射镜阵列把每个部分聚焦成为多个离散线,一个部分的离散线和另一个部分的离散线具有不同的方向,成像装置检测所述离散线,以便确定波阵面像差。所述方法包括把波阵面分成两个部分,聚焦所述每个部分成为多个离散线,一个部分的离散线和另一个部分的离散线具有不同的方向,成像装置检测所述离散线,以及检测与所述离散线相关的信息。

Description

用于测量波阵面像差的方法和装置
技术领域
本发明总体上涉及光学仪器,尤其涉及用于测量波阵面像差的方法和装置。本发明尤其适用于但不限于:在眼科应用中测量光波阵面,例如测量眼睛的像差;制造校正装置,例如透镜(例如隐形眼镜、眼镜、人工晶状体);并用于在屈光矫正手术之前和手术期间估算眼睛的像差,以便改善视力。
背景技术
人的眼睛是一种光学系统,其中使用若干个透镜元件把代表图像的光线聚焦在眼睛内的视网膜上。在视网膜上产生的图像的锐度是决定眼睛的视觉灵敏的一个因素。不过,在眼睛内的透镜和其它部分和材料的缺陷可以使光线偏离所需的路径。这些偏差被称为像差,其引起模糊的图像和降低的视觉敏锐度。因而,需要一种用于测量像差的方法和装置,用于帮助校正这个问题。
用于检测眼睛引入的像差的一种方法涉及确定从眼睛内离开的光线的像差。作为视网膜上的一点被引入眼内的一束光线作为一个波阵面从眼睛被向回反射或散射,这个波阵面含有由眼睛引入的像差。借助于确定所述波阵面的离散部分(即采样)的传播方向,可以确定由眼睛引入的像差并进行校正。在这种类型的系统中,可以通过减小采样尺寸来提高在确定像差时的精度。
图1是关于产生波阵面的一般性说明。图1通过眼睛16的视网膜14反射激光束12而产生的波阵面10的示意图。激光束12聚焦在视网膜14上的一个小点18上。视网膜14作为扩散反射器以便反射激光束12,以产生点源波阵面10。在理想情况下,波阵面10应当用球形波阵面或平面波阵面20表示。不过,当波阵面10通过眼睛16时由眼睛16引入的像差导致有缺陷的波阵面,如波阵面10所示。波阵面10表示像差,其引起散焦、散光、球面像差、慧形像差和其它的不规则性。测量并且校正这些像差可以使眼睛16接近其全部的潜能,即视觉分辨率的极限。
图2表示用于测量图1所示的波阵面10的现有技术的装置。借助于测量像差,可以制造校正透镜与/或进行校正处理,以便改善视力。在图2中,激光器22产生激光束12,其借助于分束器24被引向眼睛16。激光束12在眼睛16的视网膜14上形成光点18。视网膜14反射来自光点18的光,产生点源波阵面10,当其通过眼睛16内的透镜和其它部分和材料时,便形成了像差。然后波阵面10通过分束器24,射向波阵面检测器26。
一般的现有技术的波阵面检测器26包括像差镜28和成像平面30,如图3所示,或者包括Hartman-Shack检测器32和成像平面30,如图4所示。波阵面检测器26借助于使波阵面通过像差镜28或Hartman-Shack检测器32采样波阵面10,得到在成像平面30上形成光点阵列的波阵面10。在成像平面30上的每个光点表示波阵面10的一部分,其中具有能够以较大的精度确定像差的较小的部分。一般地说,成像平面30是一种电荷耦合器件(CCD)照相机。通过比较由波阵面10在成像平面30上产生的光点阵列和相应于理想的眼睛的波阵面的光点的参考阵列,可以计算由眼睛16引入的像差。
在1999年7月2日申请的Williams等人的名称为Method andApparatus for Improving Vision and the Resolution of RetinalImages的美国专利6095651描述了Hartman-Shack系统的一个例子,该专利被包括在此作为参考。
不过,在这种现有技术的装置中的像差的分辨率受到像差镜28中的次孔间距34和次孔尺寸36的限制(图3),并受到在Hartman-Shack检测器32中的小透镜的次孔间距38和焦矩的限制(图4)。此外,因为每个区域由一个光点表示,对于每个区域获取的信息量受到限制。此外,因为叠影、次孔间距34和尺寸36以及次孔间距38的减少,获得更详细的信息的能力受到限制。
例如,当两个或多个光点40A,40B和40C在成像平面30上重叠时,在像差镜检测器28中发生叠影,从而导致在相邻的次孔光点之间的模糊。类似地,在Hartman-Shack检测器32中,当两个或多个光点42A,42B,42C,42D在成像平面30上重叠时,发生叠影。叠影可以由以下条件引起:太小的小次孔间距34、次孔尺寸36、或者透镜间距38;高度的像差;或者这些条件的组合。因而,在像差镜28中的次孔间距34和次孔尺寸36,以及在Hartman-Shack检测器32中的小透镜次孔间距38和焦矩必须被选择,以便实现好的空间分辨率,同时能够测量大的像差。因而,测量高度像差的能力以空间分辨率与/或动态范围为代价,反之亦然。
由像差镜和Hartman-Shack方法强加的约束限制了这些系统以高的精度测量像差的效果。这些限制阻止光学系统实现其全部的潜能。因而,需要能够以高的精度测量像差的眼科的装置和方法。
发明内容
本发明提供一种以高的精度确定波阵面像差的装置和方法。所述装置包括分束器,其用于把波阵面分离成两个部分;反射镜阵列,其用于把所述每个部分聚焦而成为多个离散的线,使得一个部分的离散的线具有和另一个部分的离散线不同的方向;以及成像装置,其用于检测所述离散的线,从而确定波阵面像差。所述方法包括把所述波阵面分离成两个部分,把每个部分聚焦成为多个离散的线,使得一个部分的离散的线具有和另一个部分的离散线不同的方向,并检测关于所述离散线的信息。
借助于产生代表波阵面的离散线,本发明的装置和方法能够以高的精度测量波阵面。因为多个离散线的每一个具有不同的方向,多个离散线基本上作为一个栅格代表波阵面。本发明能够比现有技术的系统提供更精确的信息,因为本发明的栅格线对于栅格的每个部分比由现有技术的系统产生的用于表示等效区域的光点能够提供更精确的信息。
在用于测量眼睛的波阵面的系统中,波阵面作为眼睛内的一个点源发出。所述点源是通过把辐射束(例如激光)引导到眼睛,并且散射或反射所述的辐射束而产生的。设置在激光束通路中的分束器把激光束引入眼睛。眼睛的视网膜作为漫射反射器,以便反射或散射所述光束。由点源产生到的波阵面由眼睛发出,并通过分束器到达本发明的波阵面检测器。波阵面检测器测量由眼睛引入的波阵面像差。然后利用与波阵面检测器相连的处理器计算所述像差。
附图说明
图1是由眼睛的视网膜反射的激光束产生的波的示意图;
图2是用于测量由眼睛引入的像差的现有技术的装置的示意图;
图3是在现有技术的用于测量像差的装置中使用的像差镜的示意图;
图4是在用于测量像差的现有技术的装置中使用的Hartman-Shack小透镜阵列的示意图;
图5是用于测量由按照本发明的光学系统引入的波阵面中的像差的装置的示意图;
图6是在按照本发明的图5所示的装置中使用的用于反射和聚焦波阵面的反射镜阵列的示意图;
图6A是在由图5的一个反射镜阵列形成的成像表面上显示的一个方向的多个离散线的示意图;
图6B是在由图5的另一个反射镜阵列形成的成像表面上显示的另一个方向的多个离散线的示意图;以及
图6C是图6A的离散线和图6B的多个离散线的组合的示意图。
具体实施方式
图5所示是按照本发明的用于测量光学系统102的像差的波阵面测量装置100的优选实施例,此处的光学系统是眼睛104。概括地说,产生光束106,并将其引入眼睛104。光束106作为波阵面108被反射,其从眼睛104射出,然后把引向波阵面检测(WD)装置110,以便检测波阵面108内的像差。在WD装置110中,使波阵面108通过朝向WD分束器112,在其中波阵面108被分离成两个部分。波阵面的一个部分被反射朝向第一反射镜阵列114A,另一个部分则通过分束器114朝向第二反射镜阵列114B。反射镜阵列114A,114B使得入射到其各个表面上的所述波阵面部分分开、反射和聚焦,以形成多个最终由成像装置116检测的多个离散的线。在WD装置110内的其它元件用于确定两个波阵面部分的路径。下面更详细地说明本发明。
在优选实施例中,为了说明的目的,辐射源118产生束106,波阵面产生(WG)分束器120把光束106引向眼睛104,此后把从眼睛104射出的合成波阵面108引向WD装置110。在优选实施例中,波阵面108被线性地偏振。此外,波阵面108可以是非偏振的,或者是圆形偏振的。
所示的光学系统102是眼睛104。另外,光学系统102可以包括反射表面和隐形眼镜或眼镜,眼睛和隐形眼镜或眼镜,显微镜、望远镜、或者其它类型的要被分析的光学系统。在所示的实施例中,来自辐射源108的光束106在眼睛104的视网膜124上聚集成光点122。可以在束106的路径中使用聚焦透镜或透镜系统,以便计算眼睛104的散焦与/或散光。视网膜104作为漫射反射器有效地成为离开眼睛104的光的光源,从而产生波阵面108。
辐射源110是一种能够产生聚焦的光束的装置,最好是激光器。另一种辐射源110包括激光二极管,超发光二极管,或者是现有技术中已知的能够产生聚焦光束的基本上所有的辐射装置。此外,辐射源110可以包括空间滤光器,以用于校正与辐射源110有关的干扰。在优选实施例中,被辐射源110产生的光束106是偏振的。
WG分束器120能够选择地通过并引导光束。这里,WG分束器120被配置用于朝向光学系统102反射光束106,并使来自光学系统102的波阵面108朝向WD装置110通过而不改变。在优选实施例中,WG分束器120是一种偏振分束器,其通过沿一个方向偏振的光,并反射沿另一个方向偏振的光。通常的命名习惯是,把沿一个方向偏振的光称为“p”偏振光,而把和p偏振光成90度角偏振的光称为“s”偏振光。一旦WG分束器120被对准,通过p偏振光的轴线便被称为p轴。下面描述在优选实施例中使用的能够使WG分束器120正确地引导光。
四分之一波板126是一种光学元件,其协助此处所述的系统100,即,利用偏振来引导光束的系统,识别进入眼睛104的光束和离开眼睛104的光束。在到达板126之前,光束106被线性极化(例如沿s方向)。在通过板126之后,使光束106沿一个方向圆形偏振。使圆形偏振的光束106在眼睛104的视网膜124上聚焦成光点122。通过反射圆形偏振的光束106离开视网膜124而产生波阵面108。本领域技术人员能够理解,由于视网膜124的反射,波阵面108沿着与光束106的方向相反的方向圆形偏振。在波阵面108从眼睛104发出之后,四分之一波板126使得圆形偏振的波阵面108线性地偏振,从而产生线性偏振的波阵面108(例如沿p方向),其具有与进入眼睛104的光束106的线性偏振相差90度的方向。
在所示的例子中,WG分束器120反射朝向眼睛104反射线性地“s”偏振的光束106(即,和WG分束器120的p轴成90度角偏振)。从眼睛104发出的线性偏振的波阵面108是“p”偏振的(即在WG分束器120的p轴的轴线上偏振),这是由于四分之一波板126和眼睛104内的反射所致。因为波阵面108的偏振在沿着WG分束器120的p轴的轴线上,WG分束器120将允许波阵面108朝向WD装置110通过而不发生改变。
一个或几个光学器件,例如透镜128,被设置在波阵面测量装置100内,以用于在眼睛104和波阵面检测装置110之间引导波阵面108。当构成波阵面108的波从眼睛104通过到达WD装置110时,它们保持所述波的传播方向。这种装置在现有技术中是熟知的。
在优选实施例中,波阵面检测装置110包括WD分束器112,两个反射镜阵列114A,114B,半波板132,和成像装置116。WD分束器112把进入的波阵面108分成两个部分108A、108B,使得每个部分都代表整个波阵面108。WD分束器112朝向反射镜阵列114A反射波阵面108A,其强度大约是波阵面108的强度的一半(例如沿s方向偏振的光),并朝向反射镜阵列114B通过波阵面108B,其强度是波阵面108的强度的另一半(例如沿p方向偏振的光)。
本领域技术人员能够理解,沿给定方向偏振的光可以借助于使偏振分束器的轴线和偏振光的偏振轴线彼此定向成45度角从而分成两个部分。在本发明中,偏振分束器反射偏振光的强度的一半,透射偏振光的强度的一半。例如,可以借助于使WD分束器112的轴线和波阵面108的偏振轴线相互成这样的关系,使得WD分束器112反射作为波阵面108A的s偏振光,而通过作为波阵面108B的p偏振光,把波阵面108分成两个偏振部分(例如s偏振光和p偏振光)。
为了使WD分束器112的轴线和波阵面108的偏振轴线相互成40度角,可以使波阵面108的偏振相对于WD分束器112的轴线转动,与/或使WD分束器112的轴线相对于波阵面108的偏振转动。在优选实施例中,已知的半波板132用于把波阵面108的偏振轴线改变45度,从而获得“p*”偏振光。如果WD分束器112的轴线被校准使得通过p偏振光并反射s偏振光,则p*偏振光可被分成两个部分(例如s和p),因为p*偏振的波阵面108的方向和WD分束器112的p偏振轴线成45度角。在另一个实施例中,使WD分束器的轴线连同WD装置110内的其它部分一道相对于波阵面108转动45度,借以使得不需要半波板132。在这种结构中,WD分束器112将通过作为p*偏振光的p偏振光的强度的一部分,并反射作为s偏振光的p偏振光的强度的其余部分。
此外,可以理解,如果波阵面108由圆形偏振光或非偏振光构成,则WD分束器112的方向是不相关的,因为圆形偏振光和非偏振光都可以概念地被分成两个部分,而和WD分束器112的轴线的方向无关。圆形偏振光和非偏振光都可以被分成两个部分而与WD分束器112的方向无关,因为它们都含有使得它们能够被分成相互成直角的两个相等的分量的相等的光的分布。因此,对于圆形偏振光或非偏振光,WD分束器112将朝向反射镜阵列114A反射一半的光作为s偏振光,并朝向反射镜阵列114B通过一半的光作为p偏振光,而与WD分束器112的方向无关,因而不使用半波板132。
再次参见图5,反射镜阵列114A,114B使得入射到其表面上的光分开、反射并聚焦,以形成多个离散的线。每个反射镜阵列114A,114B由多个圆柱形反射镜134构成,每个圆柱形反射镜134相应于波阵面108的一个矩形部分。最好是,圆柱形反射镜134由多个平行的反射槽形成。反射镜阵列114A,114B相互的方位被这样设置,使得矩形部分和由一个反射镜阵列114A的矩形部分产生的离散的线可以与矩形部分以及由另一个反射镜阵列114B的矩形部分产生的离散的线区分开来。
图6表示一个反射镜阵列114A的操作,另一个反射镜阵列114B以类似的方式进行操作。对于朝向反射镜阵列114A行进的波阵面108A,圆柱形反射镜134将分割入射到其各个表面上的波阵面108A成为波阵面部分136。圆柱形反射镜阵列114A反射波阵面部分136,并将其聚焦而成为离散的线138A(由成像装置116上的光点表示)。最好是,圆柱形反射镜阵列114A在成像表面116A(由成像装置116的底部边沿表示)上聚焦多个离散的线。
在优选实施例中,如图6A和6B所示,反射镜阵列114A,114B被这样定向,使得反射镜114A中的一个把波阵面108A分割成多个垂直的矩形部分,它们被反射并被聚焦在成像表面116A上而成为多个垂直的离散线138A(图6A),而另一个反射镜阵列114B分割波阵面108B成为多个水平的矩形部分,它们被反射并被聚焦在成像表面116A上成为多个水平的垂直线138B(图6B)。最好是,产生离散线138A,B的光借助于WD分束器112引向成像表面116A,这在下面将详细讨论。在优选实施例中,多个离散的垂直线138A和多个类似地水平线138B被聚焦到同一个成像表面116A上而形成代表波阵面108的栅格,如图6C所示。在另一个实施例中,多个离散线的每一个可被聚焦到不同的成像装置上。
成像装置116(图5)能够精确地检测入射到成像平面116A的能量的位置。最好是,成像装置116是一种电荷耦合器件(CCD)照相机,其能够把入射到成像平面上的能量成为一个数字表示。电荷耦合器件是熟知的,并且对于本领域技术人员容易想出用于本发明的合适的器件。
由光学系统102引入的像差影响离散的线138A,B。对于无像差光学系统102,离散的线138A,B应当基本上是直的。不过,光学系统102内的像差将使得离散的线138A,B偏离基本上是直的线。光学系统102的像差,可以通过测量由光学系统102产生的离散的线138A,B上的各个点与无像差光学系统102产生的基本上是直的离散线138A,B上的相应的点之间的位置差,并计算产生每个点的测量的差值的像差被确定。然后,把对各个点确定的像差进行组合,从而确定光学系统102的像差。
本领域技术人员容易理解根据由光学系统102产生的离散的线138A,B和由无像差系统102产生的基本上是直的离散线138A,B之间的差值计算像差的方法。用于表示波阵面108的离散的线138A,B使得波阵面108能够比在产生有限数量的点来表示波阵面108的现有技术的系统中更详细地被分析,因为可以利用较多的参考位置进行计算。
四分之一波板140A,B按照下述修改其各自的波阵面部分108A,B,使得它们可以在WD分束器112被重新组合,以便由一个成像装置116进行测量。参见图5,为了本说明的目的,使用偏振的WD分束器112。如前所述,从眼睛104进入的波阵面108被WD分束器112分成分量波108A,B,波阵面部分108A沿s方向偏振,因而向下朝向反射镜阵列114A反射。波阵面部分108B沿p方向偏振,因而通过WD分束器112朝向反射镜阵列114B。在从WD分束器112反射之后,波阵面部分108A通过四分之一波板140A,其把p线性偏振波阵面部分108A改变为圆形偏振的波阵面108A。当圆形偏振的波阵面108A被反射镜阵列114A反射时,圆形偏振被反向。在向回朝向WD分束器112通过四分之一波板140A时,由于反向的圆形偏振,反向的圆形偏振波阵面108A将被改变为沿与s方向相反的p方向的线性偏振波阵面部分108A。波阵面部分108A现在是沿p方向线性偏振的,其将通过分束器112且朝向成像装置116。
用类似方式,朝向反射镜阵列114B通过WD分束器112的p线性偏振波阵面部分108B通过四分之一波板140B,其把p线性偏振波阵面部分108B改变为圆形偏振波阵面126B。这个波阵面108B被反射镜阵列114B的反射使圆形偏振反向,并且在向回朝向WD分束器112通过四分之一波板140B后被改变为s线性偏振波阵面部分108B,其现在被WD分束器112朝向成像平面116反射,借以与波阵面部分108A重新组合。
在另一个实施例中(未示出),可以使用多个成像装置116,借以使得不需要重新组合波阵面部分108A,108B。因此,按照这个实施例,四分之一波板可被取消,而不脱离本发明的范围和构思。
处理器142接收来自成像装置116的信息,并分析所述信息,以便计算像差。所述信息可在由处理器142处理之前被存储在存储器中,或者可以被立即处理。本领域技术人员应当理解,从成像装置116接收信息以及处理信息可以由一个处理器进行,或者被分配在几个处理器中进行。
按照本发明的实施例,像差校正装置144和处理器142相连。另外,由处理器142计算的信息可被存储在硬盘驱动器、磁盘、服务器、致密盘、数字通用盘、或者任何能够存储信息的装置中。像差校正装置144包括已知的透镜研磨机、隐形眼镜制造系统、手术激光系统或者其它光学系统校正装置。在激光手术系统中,可以用本领域熟知的方式,在光学上使激光器相对于WG分束器120定位,以便朝向眼睛104的视网膜引导激光切割光束,以便进行眼科手术。
为了说明的目的,已经根据测量由人的眼睛引入的波阵面像差说明了本发明。不过,本领域技术人员应当理解,本发明可用于测量由其它的光学系统例如眼镜、望远镜、双筒望远镜、单筒望远镜、隐形眼镜、非人的眼睛或者这些系统的组合产生的像差。
通过说明本发明的几个特定的实施例,本领域技术人员可以容易地对本发明作出各种改变和改型以及改进。根据本说明显然可以作出的这些改型、改变和改进都应当作为本说明书的一部分,尽管这里没有专门说明,并且被包括在本发明的构思和范围内。因而,上面的说明只是举例而已,而不是限制。本发明的范围只由下面的权利要求及其等同物限制。

Claims (24)

1.一种用于检测从光学系统发出的波阵面的像差的检测器,所述检测器包括:
分束器,其用于接收波阵面并把波阵面分成具有第一偏振的第一部分和具有第二偏振的第二部分,所述第一偏振可以与所述第二偏振区分开;
第一反射镜阵列,其反射并聚焦所述第一部分以便形成具有第一方向的第一多个离散线;
第二反射镜阵列,其反射并聚焦所述第二部分以便形成具有与所述第一方向不同的第二方向的第二多个离散线;以及
成像装置,其用于检测所述第一多个离散线和所述第二多个离散线。
2.如权利要求1所述的检测器,其特征在于,所述第一反射镜阵列和所述第二反射镜阵列被配置成用于定向基本上垂直于所述第二多个离散线的所述第一多个离散线。
3.如权利要求2所述的检测器,其特征在于,所述成像装置是电荷耦合器件(CCD)。
4.如权利要求3所述的检测器,其特征在于,其还包括处理器,该处理器用于分析在所述CCD上产生的所述第一和第二多个离散线。
5.如权利要求1所述的检测器,其特征在于,其还包括:
第一四分之一波板,其在光学上被置于所述分束器和所述第一反射镜阵列之间,以便当所述第一部分通过所述第一四分之一波板到达所述第一反射镜阵列时,把所述第一部分从第一行进方向的线性偏振转换为圆形偏振,并当所述第一部分从所述第一反射镜阵列通过所述第一四分之一波板时,把所述第一部分从圆形偏振转换为第二行进方向的线性偏振;以及
第二四分之一波板,其在光学上被置于所述分束器和所述第二反射镜阵列之间,以便当所述第二部分通过所述第二四分之一波板到达所述第二反射镜阵列时,把所述第二部分从第三行进方向的线性偏振转换为圆形偏振,并当所述第二部分从所述第二反射镜阵列通过所述第二四分之一波板时,把所述第二部分从圆形偏振转换为第四行进方向的线性偏振。
6.如权利要求5所述的检测器,其特征在于,所述分束器被配置成,以便在所述第一和第二部分分别由所述第一和第二反射镜阵列反射之后组合所述第一和第二部分。
7.如权利要求6所述的检测器,其特征在于,所述分束器是偏振分束器,其被配置成使得沿所述第一行进方向线性偏振的第一部分和沿所述第四行进方向线性偏振的第二部分通过,并使得沿所述第二行进方向线性偏振的第一部分和沿所述第三行进方向线性偏振的第二部分反射。
8.如权利要求7所述的检测器,其特征在于,所述第一行进方向和所述第四行进方向相同,所述第二行进方向和所述第三行进方向相同。
9.如权利要求1所述的检测器,其特征在于,所述成像装置包括单个用于检测所述第一多个离散线和所述第二多个离散线的成像装置。
10.一种用于测量从光学系统发出的波阵面的像差的装置,其包括:
分束器,其用于接收该波阵面并把该波阵面分成具有第一偏振的第一部分和具有第二偏振的第二部分,所述第一偏振可以与所述第二偏振区分开;
第一反射镜阵列,其用于反射并聚焦所述第一部分以便形成具有第一方向的第一多个离散线;
第二反射镜阵列,其用于反射并聚焦所述第二部分以便形成具有与所述第一方向不同的第二方向的第二多个离散线;以及
成像装置,其用于检测所述第一多个离散线和所述第二多个离散线,以及
处理器,其用于由从所述成像装置接收的检测信息计算波阵面像差。
11.如权利要求10所述的装置,其特征在于,其还包括:
辐射源,其用于产生要被引向所述光学系统的光束,以便产生所述波阵面。
12.如权利要求10所述的装置,其特征在于,其还包括:
第一四分之一波板,其被置于所述分束器和所述第一反射镜阵列之间,以便当所述第一部分通过所述第一四分之一波板到达所述第一反射镜阵列时,把所述第一部分从线性偏振转换为圆形偏振,并当所述第一部分从所述第一反射镜阵列通过所述第一四分之一波板时,把所述第一部分从圆形偏振转换为线性偏振;以及
第二四分之一波板,其被置于所述分束器和所述第二反射镜阵列之间,以便当所述第二部分通过所述第二四分之一波板到达所述第二反射镜阵列时,把所述第二部分从线性偏振转换为圆形偏振,并当所述第二部分从所述第二反射镜阵列通过所述第二四分之一波板时,把所述第二部分从圆形偏振转换为线性偏振。
13.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述波阵面是线性偏振的。
14.如权利要求13所述的装置,其特征在于,其还包括:
半波板,其被设置在所述波阵面和所述分束器之间,以用于改变所述波阵面的线性偏振的轴线。
15.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述波阵面是非偏振的。
16.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述波阵面是圆形偏振的。
17.一种用于测量从眼睛发出的波阵面的方法,其包括以下步骤:
(a)把所述波阵面分成第一部分和第二部分;
(b)把所述第一部分聚焦成为具有第一方向的第一系列离散线,把所述第二部分聚焦成为具有第二方向的第二系列离散线,所述第二方向与所述第一方向不同;以及
(c)检测与所述第一系列离散线以及所述第二系列离散线有关的信息,以便确定所述波阵面的像差。
18.如权利要求17所述的方法,其特征在于,所述步骤(a)包括把所述波阵面分成具有不同偏振的两个偏振波阵面。
19.如权利要求18所述的方法,其特征在于,所述聚焦步骤包括把所述偏振波阵面之一聚焦成为所述第一系列离散线,把另一个所述偏振波阵面聚焦成为所述第二系列离散线,对于所述偏振波阵面之一的所述离散线基本上垂直于所述另一个偏振波阵面的所述离散线。
20.如权利要求19所述的方法,其特征在于,步骤(b)还包括组合所述第一部分和所述第二部分。
21.如权利要求20所述的方法,其特征在于,所述分离和所述组合步骤利用分束器来实施。
22.如权利要求21所述的方法,其特征在于,
其中所述分离步骤把波阵面分成具有第一线性偏振的第一中间波阵面,从而产生所述第一部分,并分成具有与所述第一线性偏振不同的第二线性偏振的第二中间波阵面,从而产生所述第二部分;
还包括在所述分离步骤(a)和所述聚焦步骤(b)之间的步骤(a1),其将所述第一线性偏振转换成第一圆形偏振,并将所述第二线性偏振转换成第二圆形偏振;
其中步骤(b)还包括反射所述第一部分和第二部分的步骤,所述反射步骤把所述第一圆形偏振转换成与所述第一圆形偏振方向相反的第三圆形偏振,并把所述第二圆形偏振转换成与所述第二圆形偏振方向相反的第四圆形偏振;
还包括在所述反射和组合步骤(b)之间的步骤(b1),其将所述第三圆形偏振转换成第三线性偏振,并将所述第四圆形偏振转换成第四线性偏振,其中所述第三线性偏振基本上与所述第二线性偏振相同,所述第四线性偏振基本上与所述第一线性偏振相同;以及
其中所述组合步骤包括将所述具有所述第三线性偏振的第一部分和具有所述第四线性偏振的第二部分组合。
23.如权利要求17所述的方法,其特征在于,其还包括用于分析检测的信息从而确定波阵面像差的步骤。
24.如权利要求23所述的方法,其特征在于,所述分析步骤包括:
比较在所述检测步骤期间获得的信息与对于无像差波阵面的已知的值;以及
计算该波阵面的像差。
CNB028137221A 2001-05-08 2002-05-08 用于测量波阵面像差的方法和装置 Expired - Fee Related CN100374833C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/850,942 2001-05-08
US09/850,942 US6598974B2 (en) 2001-05-08 2001-05-08 Method and apparatus for measuring wavefront aberrations

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1526067A true CN1526067A (zh) 2004-09-01
CN100374833C CN100374833C (zh) 2008-03-12

Family

ID=25309509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB028137221A Expired - Fee Related CN100374833C (zh) 2001-05-08 2002-05-08 用于测量波阵面像差的方法和装置

Country Status (13)

Country Link
US (1) US6598974B2 (zh)
EP (1) EP1395799B1 (zh)
JP (1) JP4197124B2 (zh)
KR (1) KR100901277B1 (zh)
CN (1) CN100374833C (zh)
AR (1) AR033630A1 (zh)
AU (1) AU2002314771B2 (zh)
BR (2) BR0209534A (zh)
CA (1) CA2446651C (zh)
DE (1) DE60231036D1 (zh)
HK (1) HK1064148A1 (zh)
TW (1) TW553732B (zh)
WO (1) WO2002090905A2 (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10130278B4 (de) * 2001-06-26 2005-11-03 Carl Zeiss Meditec Ag Verfahren und Vorrichtung zur Darstellung eines Operationsgebietes bei Laseroperationen
US20040027538A1 (en) * 2002-08-08 2004-02-12 Stephen Sinclair System and method for testing visual capability and for assessing ocular toxicity and ocular effects of bio-effective materials
SG121819A1 (en) 2002-11-12 2006-05-26 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method
US9482966B2 (en) 2002-11-12 2016-11-01 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US10503084B2 (en) 2002-11-12 2019-12-10 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
DE10261775A1 (de) 2002-12-20 2004-07-01 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Abbildungssystems
GB0301923D0 (en) 2003-01-28 2003-02-26 Qinetiq Ltd Imaging system
US7213963B2 (en) 2003-06-09 2007-05-08 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP4524669B2 (ja) * 2003-07-25 2010-08-18 株式会社ニコン 投影光学系の検査方法および検査装置
KR100717528B1 (ko) * 2005-04-19 2007-05-11 주식회사 휴비츠 파면 분석 기술을 이용한 자동검안기
WO2007069222A2 (en) * 2005-12-15 2007-06-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. Analysis device with an array of focusing microstructures
US7649611B2 (en) 2005-12-30 2010-01-19 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US7475989B2 (en) * 2006-03-14 2009-01-13 Amo Manufacturing Usa, Llc Shack-Hartmann based integrated autorefraction and wavefront measurements of the eye
US7745777B2 (en) * 2008-03-11 2010-06-29 Northrop Grumman Space And Mission Systems Corp. Active imaging system that recaptures and processes a reflected illumination beam
ES2346392B1 (es) * 2009-03-04 2011-10-03 Voptica, S.L. Metodo de medida y control binocular de las aberraciones de los ojos,presentacion simultanea de estimulos visuales, e instrumento oftalmico que implementa dicho metodo.
CN111811785B (zh) * 2020-07-21 2021-07-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大动态范围望远镜像差的检测方法、装置、设备及介质

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4405232A (en) * 1981-09-02 1983-09-20 United Technologies Corporation Wave front sensing device
EP0172133B1 (de) 1984-07-20 1987-12-09 Rondo AG Verpackung bestehend aus einem Schachtelkörper und Verfahren zum Zusammenbauen und Füllen der Verpackung
FR2665955B1 (fr) * 1985-11-20 1993-04-23 Onera (Off Nat Aerospatiale) Analyseur opto electronique de surfaces d'onde a mosauique de micro-lentilles.
US5303709A (en) * 1991-12-16 1994-04-19 Dreher Andreas W Retinal eye disease diagnostic system
US6112114A (en) * 1991-12-16 2000-08-29 Laser Diagnostic Technologies, Inc. Eye examination apparatus employing polarized light probe
US5493391A (en) * 1994-07-11 1996-02-20 Sandia Corporation One dimensional wavefront distortion sensor comprising a lens array system
US5777719A (en) * 1996-12-23 1998-07-07 University Of Rochester Method and apparatus for improving vision and the resolution of retinal images
CA2338060C (en) * 1998-08-19 2005-03-15 Autonomous Technologies Corporation Apparatus and method for measuring vision defects of a human eye
CN1106821C (zh) * 1998-12-02 2003-04-30 贺极苍 人眼象差测量仪及测量方法
US6361170B1 (en) * 2001-02-14 2002-03-26 Heidelberg Engineering Optische Messysteme Gmbh Aberration-free imaging of the fundus of the human eye

Also Published As

Publication number Publication date
CA2446651A1 (en) 2002-11-14
AU2002314771B2 (en) 2007-08-16
WO2002090905A2 (en) 2002-11-14
AR033630A1 (es) 2003-12-26
WO2002090905A3 (en) 2003-12-24
US20020167642A1 (en) 2002-11-14
US6598974B2 (en) 2003-07-29
CA2446651C (en) 2011-08-30
KR20040002945A (ko) 2004-01-07
HK1064148A1 (en) 2005-01-21
KR100901277B1 (ko) 2009-06-09
JP2004528910A (ja) 2004-09-24
JP4197124B2 (ja) 2008-12-17
DE60231036D1 (de) 2009-03-19
EP1395799A2 (en) 2004-03-10
BR0209534A (pt) 2004-06-29
TW553732B (en) 2003-09-21
BRPI0209534B1 (pt) 2019-10-29
EP1395799B1 (en) 2009-01-28
CN100374833C (zh) 2008-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100374833C (zh) 用于测量波阵面像差的方法和装置
CN100337581C (zh) 测量波前像差的方法和设备
US9832365B2 (en) Autofocus based on differential measurements
CN1585619A (zh) 眼波前测量装置
JP3610569B2 (ja) 能動共焦点撮像装置とそれを用いた三次元計測方法
KR102031947B1 (ko) 광학 촬상 시스템의 결상 특성들을 측정하기 위한 디바이스 및 방법
CN1511248A (zh) 共焦点显微镜、光学式高度测定方法及自动聚焦方法
CN1589122A (zh) 利用干涉测量法进行非穿刺血液葡萄糖监测
JP4213590B2 (ja) 高画質のハートマン・シャック画像のための範囲拡大システムと空間フィルタ及び関連方法
JPH0723844B2 (ja) 表面形状測定器
CN113544497B (zh) 利用空间变化偏振转子及偏振器进行敏感性粒子检测
AU2002314771A1 (en) Method and apparatus for measuring wavefront aberrations
US6540356B1 (en) Instrument and a method for measuring aberration of human eyes
JPH0674863A (ja) 光コネクタのコア偏心測定方法及び光コネクタ
US6884980B2 (en) Method and apparatus for automatic focusing of an optical device
CN113483692B (zh) 一种孔检测光学系统
JP2004102032A (ja) 走査型共焦点顕微鏡装置
JP4492859B2 (ja) 眼屈折力測定装置
JP2003177292A (ja) レンズの調整装置および調整方法
EP2390706A1 (en) Autofocus imaging.
JP2002156578A (ja) 焦点検出装置、及びそれを備えた対物レンズ、光学顕微鏡又は光学検査装置
JP2505042B2 (ja) レンズ偏心測定装置
JPH11161963A (ja) 傾き検査・調整装置とその検査・調整方法
FR2650461A1 (fr) Dispositif et procede de montage, de positionnement et de reglage de camera a capteur lineaire a transfert de charge

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20080312

Termination date: 20200508