CN1501116A - 反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法 - Google Patents

反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法 Download PDF

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Abstract

为了提供一种能够利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法，在硅衬底1上，设置：与所述反射镜10整体地形成、设置在与反射镜10不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和设置在反射镜10端部的至少一个第2反射镜侧作用部；在玻璃衬底2上，设置：在与所述第1反射镜侧作用部之间作用库仑力的相对侧作用部23、24，和在与第2反射镜侧作用部之间作用库仑力的相对侧作用部21，形成玻璃衬底2使得第1反射镜侧作用部和相对侧作用部23、24的间隔，与第2反射镜侧作用部和相对侧作用部21的间隔相比较要窄。

Description

反射镜装置、光开关、电子 设备和反射镜装置驱动方法
技术领域
本发明涉及一种反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法。
背景技术
在驱动反射镜时，存在利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的课题。
为了解决这种课题，在特开2001-311900号公报中，提出了一种光扫描装置，其在反射镜的驱动方向的下面设置具有倾斜面的相对电极，在该倾斜面的倾斜方向上设置槽。
对于驱动反射镜装置的驱动力，例如，在通过库仑力静电驱动的情况下，具有随着电极间距离的接近驱动力增加，而随着电极间距离的变远驱动力减少的距离决定。
因此，利用特开2001-311900号公报的方式，考虑可以适用于倾斜平缓的情况，但是随着倾斜角加大，反射镜和相对电极的距离拉开，需要更大的驱动力，不能合适地解决利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的课题。
发明内容
本发明是鉴于上述课题作出的，其目的是提供一种能够利用较小的驱动力较大地驱动反射镜的反射镜装置、光开关、电子设备和反射镜装置驱动方法。
为解决上述课题，本发明涉及一种反射镜装置，
其包括：具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；
其特征在于：
所述反射镜衬底具有：
所述距离决定驱动力作用的同时，与所述反射镜整体地形成、设置在与所述反射镜不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和在所述距离决定驱动力作用的同时，设置在驱动所述反射镜的一个方向和与该方向相反的方向中的至少一个方向的反射镜端部的至少一个第2反射镜侧作用部；
所述支持衬底具有：
在与所述第1反射镜侧作用部之间所述距离决定驱动力作用的至少一个第1相对侧作用部，和在与所述第2反射镜侧作用部之间所述距离决定驱动力作用的至少一个第2相对侧作用部；
所述第1和第2反射镜侧作用部以及所述第1和第2相对侧作用部形成为，可以产生作为所述距离决定驱动力的至少一部分的吸引力；
所述反射镜衬底和所述支持衬底中的至少一个形成为，使得所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔，与所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔相比较窄。
另外，本发明涉及一种光开关，其特征在于：具有上述反射镜装置，通过所述反射镜的驱动来切换光路。
另外，本发明涉及一种电子设备，其特征在于：具有上述反射镜装置。
另外，本发明涉及一种反射镜装置的驱动方法，其驱动反射镜装置，该反射镜装置包括：具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；
其特征在于：
所述距离决定驱动力作用于所述反射镜衬底的至少一部分和所述支持衬底的至少一部分之间；
处于离开所述反射镜的位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔，形成为使得与所述反射镜和处于该反射镜的相对位置处的所述支持衬底的间隔相比较，较窄，
通过从位于离开所述反射镜位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底向着所述反射镜一侧产生所述距离决定驱动力，通过逐渐变窄所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的向对位置的所述支持衬底的间隔，所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄；
在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄的状态下，在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底之间产生所述距离决定驱动力，由此，驱动所述反射镜。
按照本发明，反射镜装置等能在使用具有距离依赖性的驱动力(例如，库仑力、电磁力等)来驱动反射镜的情况下，通过从位于离开反射镜位置的反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的支持衬底向着反射镜一侧产生距离决定驱动力，通过逐渐变窄反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的支持衬底的间隔，将所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄。
然后，反射镜装置等能够在反射镜和处于该反射镜的相对位置的支持衬底的间隔变窄的状态，通过在反射镜和处于该反射镜的相对位置的支持衬底之间产生距离决定驱动力，来驱动反射镜。
即，在驱动反射镜时，由于与初期状态相比较变为反射镜和支持衬底的间隔变窄的状态，反射镜装置等能够利用较小的驱动力来驱动反射镜。
另外，即使在驱动反射镜之前的过程中，由于反射镜装置等能够从离开反射镜的位置向着反射镜逐渐变窄反射镜衬底和支持衬底的间隔，所以能够成为以较小的驱动力可以驱动反射镜的状态。
而且，作为产生距离决定驱动力或吸引力的方法，例如，在使用库仑力作为所述距离决定驱动力的情况下，采用在所述反射部侧作用部和所述相对侧作用部产生电位差的方法，而在使用电磁力作为所述距离决定驱动力的情况下，可以采用将所述反射部侧作用部和所述相对侧作用部的极性变为相反(例如，N极和S极)的方法。
另外，作为停止距离决定驱动力或者吸引力的方法，例如，在使用库仑力作为所述距离决定驱动力的情况下，采用消除在所述反射部侧作用部和所述相对侧作用部的电位差的方法，而在使用电磁力作为所述距离决定驱动力的情况下，可以采用将所述反射部侧作用部和所述相对侧作用部的极性变为相同(例如，N极和N极，S极和S极)的方法。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备中，在所述第2反射部侧作用部和所述第2相对侧作用部之间作用吸引力的状态下，为了使所述反射镜之外的所述反射镜衬底恢复到原始位置，也可以形成各反射部侧作用部和各相对侧作用部，使得停止产生在所述第1反射部侧作用部和第1相对侧作用部之间产生的吸引力。
另外，在所述反射镜装置的驱动方法中，也可以通过下述来驱动所述反射镜：在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄的状态下，停止在所述反射镜之外的反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底之间产生的所述距离决定驱动力的产生，扩大处于离开所述反射镜的位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔。
通过这样，由于反射镜装置等在反射镜和处于该反射镜的相对位置的支持衬底的间隔变窄的状态，反射镜之外的反射镜衬底的一部分能够离开支持衬底，所以能够更大地倾斜反射镜。
因此，反射镜装置等能够以较小的驱动力较大地驱动反射镜。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备中，也可以将所述支持衬底形成为阶梯状，使得所述第1反射部侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔，与所述第2反射部侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔相比较要窄。
这样，通过将支持衬底形成为阶梯状，反射镜装置等能够将反射镜衬底阶梯状地靠近支持衬底。
另外，在这里，对于所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备，例如，也可以将所述反射镜衬底形成为平板状，将各相对侧作用部设置在阶梯状的每个段中。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备中，也可以这样，将所述第1反射部侧作用部在与所述反射镜的驱动方向相交的方向以规定的间隔配置多个，为了通过从位于离开所述反射镜位置的所述第1反射部侧作用部和所述第1相对侧作用部，到位于距所述反射镜较近位置的所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部，轮流作用吸引力，而将所述第2反射部侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔逐渐变窄，将位于离开所述反射镜位置的所述第1反射部侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔形成为，与位于距所述反射镜较近位置的所述第1反射部侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔相比，要窄。
如果这样，通过将第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部设置成多个，与仅设置1个的情况相比较，由于第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部的间隔变得更窄，能够将第2反射镜侧作用部和第2相对侧作用部的间隔设置得更宽，所以反射镜装置等能够以较小的驱动力更大地驱动反射镜。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备中，也可以这样，所述反射镜衬底与所述反射镜整体地形成，具有可旋转地支持所述反射镜的转轴部，将所述第1反射镜侧作用部以在所述转轴部的轴线上夹着所述反射镜的形式设置多个。
另外，在所述反射镜装置驱动方法中，所述反射镜衬底具有可旋转驱动地支持所述反射镜的转轴部，在扩大位于离开所述反射镜位置的所述反射镜衬底和位于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔的时候，也可以通过在将所述反射镜一端靠近所述支持衬底的状态，将所述转轴部拉离所述支持衬底而旋转驱动所述反射镜。
如果这样，反射镜等通过在利用转轴部将反射镜逐渐靠近支持衬底侧，反射镜接近支持衬底的状态下，将反射镜之外的反射镜衬底离开支持衬底，能够扭转转轴部，旋转驱动反射镜。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关、所述电子设备和所述反射镜装置的驱动方法中，所述距离决定驱动力也可以是库仑力。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关和所述电子设备中，所述第1和第2反射镜侧作用部以及所述第1和第2相对侧作用部中的至少一个也可以是电极。
如果这样，反射镜装置等能够通过库仑力(静功率)即使低电压驱动也能较大地驱动反射镜。另外，通过采用静电驱动方式，反射镜装置等能够抑制由于反射镜的驱动而必需的功率消耗和发热。
另外，在所述反射镜装置、所述光开关、所述电子设备和所述反射镜装置驱动方法中，所述反射镜衬底也可以是导电的硅衬底。
如果这样，通过使用导电的硅衬底，反射镜装置等可以在反射镜衬底中不使用电极来进行静电驱动。
附图说明
图1是关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的平面图。
图2A是初期状态的反射镜装置的截面图。
图2B是将反射镜之外的硅衬底吸引到玻璃衬底的状态的反射镜装置的截面图。
图2C是将反射镜吸引到玻璃衬底的状态的反射镜装置的截面图。
图2D是将反射镜之外的硅衬底从玻璃衬底拉离开的状态的反射镜装置的截面图。
图3A是初期状态的反射镜装置的斜视图。
图3B是将反射镜之外的硅衬底吸引到玻璃衬底的状态的反射镜装置的斜视图。
图3C是将反射镜吸引到玻璃衬底的状态的反射镜装置的斜视图。
图3D是将反射镜之外的硅衬底从玻璃衬底拉离开的状态的反射镜装置的斜视图。
图4是表示关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的驱动时的操作流程图。
图5是表示关于本发明实施形式的一个例子的电压和反射镜的斜度之间关系的曲线图。
具体实施方式
下面，以适用于通过反射镜的斜度切换光路的反射镜装置的情况为例，参照附图说明本发明。而且，下面所示的实施形式不对记载在权利要求范围内的发明内容作任何的限定。另外，下面的实施形式所示出的全部构成作为记载在权利要求范围内的发明的解决方法，而不一定局限于此。
(实施例)
图1是关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的平面图。另外，图2是关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的截面图，图2A是初期状态的反射镜装置的截面图，图2B是将反射镜10之外的硅衬底1吸引到玻璃衬底2的状态的反射镜装置的截面图，图2C是将反射镜10吸引到玻璃衬底1的状态的反射镜装置的截面图，图2D是将反射镜10之外的硅衬底1从玻璃衬底2拉离开的状态的反射镜装置的截面图。另外，图3是关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的斜视图，图3A是初期状态的反射镜装置的斜视图，图3B是将反射镜10之外的硅衬底1吸引到玻璃衬底2的状态的反射镜装置的斜视图，图3C是将反射镜10吸引到玻璃衬底1的状态的反射镜装置的斜视图，图3D是将反射镜10之外的硅衬底1从玻璃衬底2拉离开的状态的反射镜装置的斜视图。
首先，说明本实施形式的反射镜装置的构成。
本实施形式的反射镜装置包括：作为具有通过为距离决定驱动力的一种的库仑力而被驱动的反射镜10的反射镜衬底的硅衬底1，和为支持硅衬底1的支持衬底的玻璃衬底2。
另外，硅衬底1的一部分，在库仑力作用的同时，具有作为通过与反射镜10整体地形成的、为转轴部的铰链19设置在反射镜10的两侧的第1反射镜侧作用部的功能。
另外，处于反射镜10的驱动方向的2个端部分别具有作为第2反射镜侧作用部的功能。
另外，玻璃衬底2由下列部件构成：具有作为在与第1反射镜侧作用部之间作用库仑力的第1相对侧作用部的功能的相对侧作用部23，24；和具有作为在与第2反射镜侧作用部之间作用库仑力的第2相对侧作用部的功能的相对侧作用部21，22。
另外，玻璃衬底2形成阶梯状，第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部的间隔形成为使得比第2反射镜侧作用部和第2相对侧作用部的间隔要窄。
即，如图2A所示，硅衬底1和相对侧作用部23、24的间隔与反射镜10和相对侧作用部21、22的间隔相比要窄。
另外，相对侧作用部21～24形成为电极，可以设定电压的开、关。
即，反射镜侧作用部和相对侧作用部21～24具有所谓的平行平板静电致动器的功能。由此，在反射镜侧作用部和相对侧作用部21～24之间作用作为具有距离依赖性(随着距离的变远作用变弱)的一种驱动力的库仑力(静功率)。
而且，作为为实现这种反射镜装置的材料，例如，能使用下面的材料。
作为硅衬底1，例如，使用低阻抗(0.1Ω·cm)硅衬底等，在硅衬底1的下部覆膜作为绝缘膜的SiO2，作为玻璃衬底2，例如，使用硼酸钠玻璃等，作为反射镜10，例如，也可以使用与硅衬底1相同的材料，也可以使用铝等作为反射镜10，使用ITO等透明电极作为反射镜侧作用部。
另外，作为相对侧作用部21～24，例如，也可以使用ITO等的透明电极。
而且，作为本实施形式的反射镜装置的制造方法，能够使用通常的微机械制造技术来实现，例如，可以使用特开平9-159937号公报中所记载的方法。特别是，通过使用微机械制造技术，能够容易地小型化反射镜装置。
下面，使用流程图说明本实施形式的反射镜装置的操作。
图4是表示关于本发明实施形式的一个例子的反射镜装置的驱动时的操作流程图。
如图2A和图3A所示，在初始状态，相对侧作用部21～24全部处于OFF状态。
在初始状态，反射镜装置将电压施加到为驱动硅衬底1的衬底驱动用电极的相对侧作用部23、24上(步骤S1)。
由此，在第1反射镜侧作用部和相对侧作用部23、24之间产生库仑力，如图2B和3B所示，没有与玻璃衬底2贴紧的硅衬底1、铰链19和反射镜10靠近玻璃衬底2，具有作为第1反射镜侧作用部功能的硅衬底1的一部分和相对侧作用部23、24变为贴紧状态。
然后，在此状态，反射镜装置在保持衬底驱动用电极的施加电压的状态对作为反射镜驱动用电极的相对侧作用部21施加电压(步骤S2)。
由此，在第2反射镜侧作用部和相对侧作用部21之间产生库仑力，如图2C和图3C所示，没有与玻璃衬底2贴紧的铰链19和反射镜10靠近玻璃衬底2，具有作为第2反射镜侧作用部功能的反射镜10的端部和相对侧作用部21变为贴紧状态。
然后，在此状态，反射镜装置在保持反射镜驱动用电极的施加电压的状态将作为衬底驱动用电极的相对侧作用部23、24的施加电压关闭(步骤S3)。
由此，在第2反射镜侧作用部和相对侧作用部21之间产生库仑力，而停止产生在第1反射镜侧作用部和相对侧作用部23、24之间产生的库仑力。
由此，如图2D和图3D所示，具有作为第1反射镜侧作用部功能的硅衬底1离开玻璃衬底2，在反射镜10的端部贴紧在相对侧作用部21不变状态下扭转铰链19，反射镜10处于旋转驱动状态。
通过这种作用，如图3D所示，反射镜10向相对侧作用部21大大倾斜。
这样，通过在与反射镜10的驱动方向相反的方向设置台阶差，将反射镜10阶段地向相对侧作用部21靠近，在反射镜10的端部贴紧相对侧作用部21的状态向上抬起铰链19，反射镜装置能够以小的驱动力大大地倾斜反射镜10。
另外，将反射镜10保持在贴紧相对侧作用部21上的状态时必需的电压与驱动反射镜10时的电压相比较可以是较低电压。
图5是表示关于本发明实施形式的一个例子的电压和反射镜10的斜度之间关系的曲线图。
如图5所示，例如，反射镜10的最大倾斜程度是0.68，在为了得到该斜度而升高电压的情况下，必需利用7V电压驱动反射镜10，为保持该斜度时，可以降低电压到2V。
如上所述，按照本发明，在使用库仑力驱动反射镜的情况下，通过从位于离开反射镜位置的硅衬底1和处于该硅衬底1的相对位置的玻璃衬底2向着所述反射镜10一侧产生库仑力，通过逐渐变窄硅衬底1和处于该硅衬底1的相对位置的相对侧作用部23、24的间隔，反射镜装置能够使反射镜10和处于该反射镜10的相对位置的相对侧作用部21、22的间隔变窄；
然后，在反射镜10和相对侧作用部21、22的间隔变窄的状态下，反射镜装置能够通过在反射镜10和相对侧作用部2 1之间产生库仑力来驱动反射镜10。
即，驱动反射镜10的时候，由于与初始状态相比，反射镜10和相对侧作用部21的间隔处于变窄的状态，反射镜装置能够以较小的驱动力驱动反射镜10。
另外，即使在驱动反射镜10之前的过程中，由于反射镜装置能够从离开反射镜10的位置向着反射镜10逐渐变窄硅衬底1和玻璃衬底2的间隔，所以能够成为以较小的驱动力可以驱动反射镜10的状态。
另外，如通过本实施形式，由于反射镜装置能够在反射镜10和相对侧作用部21的间隔狭窄的状态下，将反射镜10之外的硅衬底1的一部分从相对侧作用部23、24向上力抬起，所以能够更大程度地倾斜反射镜10。
因此，反射镜装置能够以较小的驱动力更大地驱动反射镜10。
另外，反射镜装置能够通过利用铰链19旋转驱动反射镜10，扭转铰链19，从而旋转驱动反射镜10。
另外，由于反射镜装置利用库仑力静电驱动反射镜10等，所以能够降低功率消耗和发热。
另外，由于通过将反射镜衬底形成为导电的硅衬底1，不必在反射镜10和硅衬底1上设置电极，所以能够进一步降低功率消耗和发热。
(变形例)
上面说明了适用本发明的较佳的实施形式，但本发明不限于上述实施例，可以有各种变形。
例如，在上述实施例中，第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部23、24在反射镜10的两侧各一个，但也可以在反射镜10的两侧设置多个，对应于第1相对侧作用部的个数增加玻璃衬底2的阶梯数。
如果这样，由于通过设置多个第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部，与仅设置1个的情况相比，第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部的间隔变得更窄，能够将第2反射镜侧作用部和第2相对侧作用部的间隔设置得更宽，所以反射镜装置能够以更小的驱动力来更大地驱动反射镜10。
另外，在这种情况下，由于反射镜装置能够向第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部的每个组施加库仑力，所以能够阶段地控制反射镜10的偏转角。
更进一步，在这种情况下，由于能够停止在第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部的每个组产生库仑力，所以反射镜装置可以不一下子将反射镜10之外的硅衬底1向上方抬起，从处于离开反射镜10的位置的硅衬底1分阶段地向上方抬起而恢复到原始状态。这样，反射镜装置能够降低反射镜10驱动时对反射镜10的冲击，能够更稳定地驱动反射镜10。
另外，例如，在上述实施例中，在反射镜10的两侧设置静电致动器，但是也可以固定反射镜10的一侧，将静电致动器设置在另外的一侧上。即，能够对所谓的悬臂梁方式的反射镜装置适用本发明。在这种情况下，仅在该静电致动器的相对位置设置电极，在没有该静电致动器的一侧的相对位置不必设置电极。
另外，例如，在上述实施例中，作为反射镜10和反射镜侧作用部使用与硅衬底1相同的材料，但是也可以这样，将电极分别设置在反射镜10和反射镜侧作用部上，没有相对侧的相对侧作用部21～24，对该电极施加电压，使得产生电位差，在反射镜侧作用部产生距离决定驱动力，由此进行上述驱动。
另外，如图1所示，也可以不在反射镜10的驱动方向的两端设置第2反射镜侧作用部和第2相对侧作用部21、22，而仅在任一端设置它们。即使在采用在反射镜10的驱动方向的一端设置的方式的情况下，反射镜装置也可以旋转驱动反射镜10。
另外，在上述实施例中，使用库仑力作为具有距离依赖性的驱动力，但是也可以使用例如电磁力等。
例如，在使用电磁力的情况下，在产生距离决定驱动力的时候，也可以采用将反射镜侧作用部和相对侧作用部的极性变为相反(例如，N极和S极)的方法，在停止距离决定驱动力的时候，也可以采用将反射镜侧作用部和相对侧作用部的极性变为相同(例如，N极和N极，S极和S极)的方法。
另外，关于本发明的反射镜装置可以安装在除了利用反射镜的斜度切换光路的光开关上之外，还可以安装在刻纹机、投影机等各种电子设备上。
更进一步，在上述实施例中采用了所谓的平行平板的静电致动器方式，但也可以在硅衬底1的一侧和玻璃衬底2的一侧的至少一处设置斜度，配置电极的玻璃衬底2不设置成阶梯状，形成反射镜10的位置为最深的V字形。
另外，在上述实施例中，也可以将玻璃衬底2一侧形成为阶梯状，而将玻璃衬底2的一侧形成平板状，将硅衬底1的一侧形成阶梯状。
更进一步，反射镜10的驱动方法不限于旋转驱动，例如，通过上下驱动反射镜10并通过反射镜10的位置切换光路的方法等对本发明同样有效。

Claims (14)

1.一种反射镜装置，其包括：具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；
其特征在于：
所述反射镜衬底具有：
所述距离决定驱动力作用的同时，与所述反射镜整体地形成、设置在与所述反射镜不同的位置的至少一个第1反射镜侧作用部，和在所述距离决定驱动力作用的同时，设置在所述反射镜被驱动的一个方向一侧和与该方向相反的方向一侧中的至少一个的反射镜端部的至少一个第2反射镜侧作用部；
所述支持衬底具有：
在与所述第1反射镜侧作用部之间作用所述距离决定驱动力的至少一个第1相对侧作用部，和在与所述第2反射镜侧作用部之间作用所述距离决定驱动力的至少一个第2相对侧作用部；
所述第1和第2反射镜侧作用部以及所述第1和第2相对侧作用部形成为，可以产生作为所述距离决定驱动力的至少一部分的吸引力；
所述反射镜衬底和所述支持衬底中的至少一个形成为，使得所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔，与所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔相比较窄。
2.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：
在所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部之间作用吸引力的状态下，为了使所述反射镜之外的所述反射镜衬底恢复到原始位置，形成各反射镜侧作用部和各相对侧作用部，使得停止产生在所述第1反射镜侧作用部和第1相对侧作用部之间产生的吸引力。
3.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：将所述支持衬底形成为阶梯状，使得所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔，与所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔相比较要窄。
4.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：将所述第1反射镜侧作用部在与所述反射镜的驱动方向相交的方向以规定的间隔配置多个，
为了通过从位于离开所述反射镜位置的所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部，到位于距所述反射镜较近位置的所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部，轮流作用吸引力，而将所述第2反射镜侧作用部和所述第2相对侧作用部的间隔逐渐变窄，将位于离开所述反射镜位置的所述第1反射部侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔形成为，与位于距所述反射镜较近位置的所述第1反射镜侧作用部和所述第1相对侧作用部的间隔相比要窄。
5.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：所述反射镜衬底与所述反射镜整体地形成，具有可旋转地支持所述反射镜的转轴部，
将所述第1反射镜侧作用部以在所述转轴部的轴线上夹着所述反射镜的形式设置多个。
6.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：所述距离决定驱动力是库仑力。
7.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：所述第1和第2反射镜侧作用部以及所述第1和第2相对侧作用部中的至少一个是电极。
8.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于：所述反射镜衬底是导电的硅衬底。
9.一种光开关，其特征在于：具有权利要求1～8中的任何一个所述的反射镜装置，通过所述反射镜的驱动来切换光路。
10.一种电子设备，其特征在于：具有权利要求1～8中的任何一个所述的反射镜装置。
11.一种反射镜装置的驱动方法，其驱动反射镜装置，该反射镜装置包括：具有通过规定距离决定驱动力被驱动的反射镜的反射镜衬底，和支持该反射镜衬底的支持衬底；
其特征在于：
所述距离决定驱动力作用于所述反射镜衬底的至少一部分和所述支持衬底的至少一部分之间；
处于离开所述反射镜的位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔，形成为使得与所述反射镜和处于该反射镜的相对位置处的所述支持衬底的间隔相比较窄。
通过从位于离开所述反射镜位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底向着所述反射镜一侧产生所述距离决定驱动力，通过逐渐变窄所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔，所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄；
在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄的状态下，在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底之间产生所述距离决定驱动力，由此驱动所述反射镜。
12.根据权利要求11所述的反射镜装置的驱动方法中，其特征在于：通过下述来驱动所述反射镜：在所述反射镜和处于该反射镜的相对位置的所述支持衬底的间隔变窄的状态下，停止在所述反射镜之外的反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底之间产生的所述距离决定驱动力的产生，扩大处于离开所述反射镜的位置的所述反射镜衬底和处于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔。
13.根据权利要求12所述的反射镜装置的驱动方法，其特征在于：所述反射镜衬底具有可旋转驱动地支持所述反射镜的转轴部，
在扩大位于离开所述反射镜位置的所述反射镜衬底和位于该反射镜衬底的相对位置的所述支持衬底的间隔的时候，通过在将所述反射镜一端靠近所述支持衬底的状态，将所述转轴部拉离所述支持衬底而旋转驱动所述反射镜。
14.根据权利要求11～13中的任何一个所述的反射镜装置的驱动方法，其特征在于：所述距离决定驱动力是库仑力。
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