CN1469289A - 制造装置预约管理系统、管理方法及储存其程式的记录媒体 - Google Patents

Abstract

提供一种制造装置预约管理系统，可使制造装置的工作效率平均化，并符合市场的供求动向而使制造装置有效地发挥作用，是一种进行管理制造装置的利用的预约的制造装置预约管理系统，具备有在每次预约存储制造装置的利用期间的利用预定数据库，从预约者取得包括指示可开始制造的时间及制造结束期限的指定期间，以及制造所需的生产能力预约的预约取得部，参照利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出部、将利用可能期间抽出部抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库的利用预定更新部。

Description

制造装置预约管理系统、管理方法及储存其程式的记录媒体

技术领域

本发明是关于一种制造装置预约管理系统、制造装置预约管理方法以及程式，特别是关于一种将制造装置的利用的预约进行管理的制造装置预约管理系统。

背景技术

在半导体产业中，因为需要减轻投资负担和适应迅速的技术进步，半导体制品的设计、制造所需信息的开发、实际的制造的分工正在进展。作为这种分工的结果，诞生了以半导体制品的制造为专业的企业(圆片代工)、计划设计半导体产品而委托外部制造的企业(IC设计公司)。然后，圆片代工和IC设计公司借由相对交易而决定生产受托价格、生产交货期等。而且，在日本专利早期公开2001-283020号公报中，揭露了一种借由开放式交易而交易半导体圆片加工等的生产能力的交易方法。

对IC设计公司而言，在必要时可供给必要量的圆片代工的存在是前提，但是一旦圆片代工的工作效率上升，则向IC设计公司的生产范围就缩小。而且，在进行相对交易时，圆片代工企业难以对市场的供求变化迅速做出反应，不能迅速使价格变动。加上圆片代工企业不管有无接受订货都必须使设备持续运转，所以固定费用的向下僵固性(downward rigidity)变得显著。即，借由进行相对交易，难以使圆片代工企业的工作效率平均化并配合市场的供求动向有效地发挥作用。而且在借由日本专利早期公开2001-283020号公报所宣布的交易方法进行生产能力的交易的场合，使制造装置的工作效率平均化是困难的。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种能够解决上述的课题的制造装置预约管理系统。该目的借由专利权利要求中的独立项所述的特征的组合而达成。而且从属项规定本发明的更加有利的具体例。

即，本发明的第一形态是一种管理制造装置的利用的预约的制造装置预约管理系统，具备有在每次预约存储制造装置的利用期间的利用预定数据库，从预约者取得包括指示可开始制造的时间及制造结束期限的指定期间，以及制造所需的生产能力之预约的预约取得部，参照利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出部，将利用可能期间抽出部抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库的利用预定更新部。

利用预定数据库也可对多个种类的制造装置，在每次预约存储利用期间；预约取得部也可再从预约者处取得指定机种；利用可能期间抽出部也可抽出符合指定机种的制造装置的利用可能期间。

在利用预定更新部将利用可能期间作为利用期间存储于利用预定数据库的场合，也可还具有将可预约制造装置以在指定期间内提供生产能力之事，对预约者进行通知的预约完成通知部。

利用预定数据库也可在每次预约将预约取得部取得的指定期间作为容许期间再次存储；利用可能期间抽出部关于利用预定数据库存储的预约，也可借由在容许期间变更利用期间而生成利用可能期间并抽出。

利用可能期间抽出部在不能抽出连续的利用可能期间的场合，也可将在指定期间内能够提供生产能力的制造装置的利用可能期间分割成为多块而抽出；利用预定更新部也可将分割为多块的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库中。

也可还具有使制造装置的利用的价格与利用期间对应存储的价格数据库，利用可能期间抽出部参照价格数据库，选择价格变得更便宜的制造装置的利用可能期间进行抽出。

为了提供预约取得部取得的生产能力，也可还具有算出必要的制造装置的运转时间的运转时间算出部，利用可能期间抽出部根据运转时间抽出制造装置的利用可能期间。

制造装置为半导体制造装置；预约取得部也可作为生产能力取得图形数据及生产量；运转时间算出部也可根据图形数据及生产量算出制造装置的运转时间。

也可还具有使制造装置的利用的价格与利用期间对应存储的价格数据库，将在利用可能期间抽出部抽出的制造装置的利用可能期间的价格，参照价格数据库抽出的价格抽出部，将价格抽出部抽出的价格通知预约者的价格通知部。

制造装置为半导体制造装置；也可还具有使识别IP(IntellectualProperty)的IP识别信息、折扣率对应存储的IP信息数据库；预约取得部也可作为生产能力取得IP识别信息；价格抽出部也可与预约取得部取得的IP识别信息对应，根据IP信息数据库存储的折扣率，参照价格数据库决定抽出的价格；价格通知部也可将价格抽出部决定的价格通知预约者。

也可还具有根据借由IP识别信息所识别的IP的利用次数，决定IP信息数据库存储的折扣率的IP信息更新部。IP信息更新部也可使IP的利用次数越大则折扣率越大。

也可还具有根据制造装置的机种、指定期间及利用期间的至少一个而决定在制造装置的所定利用期间价格的价格决定部，价格数据库使价格决定部决定的价格，对应制造装置及利用期间进行存储。

价格决定部也可使从接受预约时到利用期间的时间越长，每单位时间的价格越便宜。价格决定部也可使从接受预约时到指定期间的时间越长，每单位时间的价格越便宜。价格决定部也可使利用期间越长，每单位时间的价格越便宜。价格决定部也可使指定期间越长，每单位时间的价格越便宜。

预约取得部也可还取得含有指定期间未指定的其它的生产能力的其它的预约；利用预定更新部参照利用预定数据库，在制造装置不被利用时将其它的预约存储于利用预定数据库。

也可还具有存储包括指定期间及生产能力的预约的出售信息及购买信息的买卖信息数据库，判断与买卖信息数据库所存储的出售信息和购买信息的要求是否一致的买卖信息判断部，在买卖信息判断部判断与出售信息和购买信息的要求一致的场合，进行出售信息的提供者和购买信息的提供者之间的收费处理的收费处理部。

也可还具有集合多个出售信息而生成集合出售信息的出售信息生成部，买卖信息判断部判断与集合出售信息和购买信息的要求是否一致，收费处理部在买卖信息判断部判断与集合出售信息和购买信息的要求一致的场合，进行多个出售信息的各个提供者和购买信息的提供者之间的收费处理。

出售信息生成部也可使符合多个出售信息的多个指定期间的期间作为集合出售信息的指定期间，并将多个出售信息的生产能力之和作为集合出售信息的生产能力。

本发明的第二形态是管理制造装置的利用的预约的制造装置预约管理方法，具备有从预约者处取得包括指示可开始制造的时间及制造完成期限的指定期间，及制造所需的生产能力预约的预约取得阶段，参照将制造装置的利用期间在每次预约进行存储的利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出阶段，将在利用可能期间抽出阶段所抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库的利用预定更新阶段。

本发明的第三形态是一种记录媒体，储存管理制造装置的利用的预约的制造装置预约管理系统用的程式，使制造装置预约管理系统进行多个阶段步骤，包括作为从预约者处取得包括指示可开始制造的时间及制造完成期限的指定期间以及制造所需的生产能力预约的预约取得阶段，参照将制造装置的利用期间在每次预约进行存储的利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出阶段，将利用可能期间抽出阶段抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间存储于利用预定数据库的利用预定更新阶段。

另外上述发明的概要并未列举本发明的必要特征的全部，这些特征群的局部组合也可再成为发明。

附图说明

图1所示为关于本发明一个实施例的制造装置预约管理网络10的构成的一例。

图2所示为制造装置预约管理系统100的机能构成的一例。

图3所示为利用预定数据库150的数据格式的一例。

图4所示为价格数据库152的数据格式的一例。

图5所示为买卖信息数据库154的数据格式的一例。

图6所示为IP信息数据库156的数据格式的一例。

图7所示为IP信息通知部130向预约者通知的IP顺序信息的表示例。

图8所示为借由制造装置预约管理系统100的制造装置预约管理方法的流程图的一例。

图9所示为制造装置预约管理系统100的硬件构成的一例。

符号说明

    10     制造装置预约管理网络

    102    预约取得部

    104    利用可能期间抽出部

    106    利用预定更新部

    108    预约完成通知部

    110    运转时间算出部

    112    价格决定部

    114    价格抽出部

    116    价格通知部

    118    买卖信息取得部

    120    买卖信息判断部

    122    收费处理部

    124    交易完成通知部

    126    出售信息生成部

    128    IP信息更新部

    130    IP信息通知部

    150    利用预定数据库

    152    价格数据库

    154    买卖信息数据库

    156    IP信息数据库

具体实施方式

以下通过发明的实施例说明本发明，但是以下的实施例并不只限定于权利要求的发明，另外本发明所必须的解决手段也不限于实施例中所说明的特征的所有组合。

图1所示的是关于本发明的一个实施例的制造装置预约管理网络10的构成的一例。制造装置预约管理网络10具备管理有制造装置群300a～300c的制造装置的利用的预约的制造预约管理系统100、通过国际互联网络(因特网)400与制造装置预约管理系统100相接续的用户终端200a及200b。有制造装置群300a～300c的制造装置可为半导体制造装置，更具体地说可为曝光装置。

制造装置群300a～300c为例如圆片代工企业，制造装置预约管理系统100从圆片代工企业取得制造装置的信息进行管理。而且，用户终端200a及200b为例如IC设计公司和投资家使用的个人计算机，制造装置预约管理系统100接受来自IC设计公司和投资家等的、制造装置群300a～300c具有的制造装置的利用范围的预约。

而且，制造装置预约管理系统100从用户终端200a及200b取得制造装置群300a～300c具有的制造装置的预约的出售信息及购买信息进行管理，并进行出售信息和购买信息之间的交易。即，制造装置预约管理系统100将制造装置的预约作为生产权，进行生产权的开放交易。例如，作为出售信息和购买信息之间的交易，制造装置预约管理系统100也可进行生产权的选择交易和期货交易等。

如利用本实例的制造装置预约管理网络10，制造装置预约管理系统100可统一管理多个制造装置群300a～300c，即多个圆片代工企业具有的多个制造装置，所以可使制造装置的工作效率平均化。而且，借由制造装置预约管理系统100进行生产权的开放交易，可对应供求的平衡使生产权的价格变动，可形成符合供求动向的市场。

图2所示为制造装置预约管理系统100的机能构成的一例。制造装置预约管理系统100从预约者处取得指示可开始制造的时间及制造完成期限的指定期间、制造所需的生产能力，并在指定期间内确保可提供从预约者取得的生产能力的制造装置的利用期间而接受预约。这样一来，制造装置预约管理系统100可在将从预约者接受的多个预约填满各个指定期间的范围内设定日程。例如，作为生产能力也可以取得圆片的大小以及片数(或批数)，也可取得制造装置名及使用时间。而且，在成为预约的对象之制造装置为半导体制造装置的场合，也可取得图形数据及生产量并从图形数据及生产量求生产能力。在成为预约的对象的制造装置为曝光装置时，作为生产能力也可取得图形数据或拍摄数及生产量，并由图形数据或拍摄数及生产量求生产能力。

制造装置预约管理系统100具备有在每次预约存储制造装置的利用期间的利用预定数据库150，从预约者取得包括指定期间及生产能力预约的预约取得部102，参照预定数据库150并根据预约取得部102取得的指定期间及生产能力、抽出制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出部104，将利用可能期间抽出部104抽出的制造装置的利用可能期间作为利用期间、存储于利用预定数据库150的利用预定更新部106，将预约取得部102取得的预约已完成的事对预约者进行通知的预约完成通知部108。

制造装置预约管理系统100为了提供预约取得部102取得的生产能力，也可还具备有计算出必要的制造装置的运转时间的运转时间算出部110。在成为预约的对象的制造装置为半导体制造装置的场合，运转时间算出部110也可根据借由预约者所指定的图形数据及生产量，算出制造装置的运转时间。然后，利用可能期间抽出部104也可根据运转时间算出部110算出的运转时间，抽出制造装置的利用可能期间。

预约取得部102也可还从预约者处取得指定机种。例如，预约取得部102也可取得指定特定的制造装置的信息，也可取得指定制造装置的机种的信息。而且，预约取得部102也可以取得指示制造装置的特性的信息。然后利用可能期间抽出部104也可以抽出适合预约取得部102取得的指定机种的制造装置的利用可能期间。

另外，制造装置预约管理系统100具备有根据制造装置的机种及指定期间以及利用期间的至少1个、决定在制造装置的所定利用期间价格的价格决定部112，使价格决定部112决定的价格与利用可能期间对应存储的价格数据库152，将在利用可能期间抽出部104抽出的利用可能期间的价格、参照价格数据库152进行抽出的价格抽出部114，将价格抽出部114抽出的价格通知预约者的价格通知部116。

价格决定部112也可根据制造装置的运转成本或工作效率决定制造装置的利用的价格。例如，价格决定部112也可为越是预约多的时期越提高每单位时间的制造装置的利用的价格。

另外，制造装置预约管理系统100具备有取得包括指定期间及利用期间的制造装置的预约的出售信息以及购买信息的买卖信息取得部118、存储买卖信息取得部118取得的出售信息及购买信息之买卖信息数据库154、判断与买卖信息数据库154所存储的出售信息和购买信息的要求是否一致的买卖信息判断部120、在买卖信息判断部120判断与出售信息和购买信息的要求一致的场合，在出售信息的提供者和购买信息的提供者之间，进行通过例如金属机关的决算等收费处理的收费处理部122、将交易完成之事向出售信息的提供者及购买信息的提供者进行通知的交易完成通知部124。

制造装置预约管理系统100具备有使识别IP(IntellectualProperty)的IP识别信息和折扣率对应存储的IP信息数据库156、更新IP信息数据库156存储的信息的IP信息更新部128、将IP信息数据库156存储的信息向预约者通知的IP信息通知部130。

在成为预约对象的制造装置为半导体制造装置的场合，预约取得部102也可作为图形数据从预约者处取得IP识别信息。然后，价格抽出部114也可参照IP信息数据库156，并根据与预约取得部102取得的IP信息对应存储的折扣率，将制造装置的利用的价格进行折扣，向价格通知部116提供。而且，IP信息更新部128在预约取得部102取得含有IP识别信息的预约并完成该预约的场合，根据预约取得部102取得的IP识别信息，更新IP信息数据库156存储的信息。

另外，制造装置预约管理系统100也可具备有集合多个出售信息而生成集合出售信息的出售信息生成部126。然后，买卖信息判断部120也可判断与出售信息生成部126生成的集合出售信息和购买信息的要求是否一致。然后，收费处理部122也可在买卖信息判断部120判断与集合出售信息和购买信息的要求一致的场合，进行多个出售信息的各个提供者和购买信息的提供者之间的收费处理。

如利用本实施例的制造装置预约管理系统100，则统一进行制造装置的预约的管理、制造装置的利用的价格的决定及制造装置的预约的买卖的交易，所以可实现工作效率的平均化及价格的合理化。

图3所示为利用预定数据库150的数据格式的一例。利用预定数据库150对多个制造装置的每一个，使每次预约所分配的预约识别信息、利用期间及容许期间对应存储。利用预定数据库150在每次预约与预约识别信息对应，将预约取得部102取得的指定期间作为容许期间进行存储。

利用预定数据库150对应预约识别信息“0001”，存储利用期间“2002年1月1日0时～2002年1月5日4时(100个小时)”、容许期间“2002年1月1日～2002年1月31日”，对应预约识别信息“0002”，存储利用期间“2002年1月5日4时～2002年1月5日14时(10个小时)”、容许期间“2002年1月1日～2002年1月7日”。

然后，在预约取得部102取得生产能力“20个小时”、指定期间“2002年1月4日～2002年1月18日”的预约的场合，利用可能期间抽出部104参照利用预定数据库150，在指定期间“2002年1月4日～2002年1月18日”内抽出可提供生产能力“20个小时”的利用可能期间“2002年1月5日14时～2002年1月6日10时(20个小时)”。然后，利用预定更新部106将利用可能期间“2002年1月5日14时～2002年1月6日10时(20个小时)”作为利用期间，或将指定期间“2002年1月4日～2002年1月18日”作为容许期间，对应预约识别信息“0003”存储于利用预定数据库150中。

随后，在预约取得部102取得生产能力“30个小时”、指定期间“2002年1月4日～2002年1月6日”的新预约的场合，利用可能期间抽出部104在指定期间“2002年1月4日～2002年1月6日”内没有可提供生产能力“30个小时”的利用可能期间，所以关于利用预定数据库150存储的预约，借由在容许期间内变更利用期间，而在指定期间“2002年1月4日～2002年1月6日”内生成可提供生产能力“30个小时”的利用可能期间并抽出。例如，利用可能期间抽出部104借由将预约识别信息“0003”的利用期间变更为“2002年1月6日20时～2002年1月7日6时”，而生成新预约的利用可能期间“2002年1月5日14时～2002年1月6日20时(30个小时)”并抽出。而且，利用可能期间抽出部104也可借由变更多个预约的利用期间，而生成新预约的利用可能期间并抽出。

而且，利用可能期间抽出部104也可在不能对新预约抽出连续的利用可能期间的场合，在指定期间内将能提供生产能力的利用可能期间分割为多块并抽出。然后，利用预定更新部106也可将分割为多块的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库150中。

如利用本实施例的制造装置预约管理系统100，借由使利用预定数据库150所存储的预约的利用期间在指定期间内再配置，生成用于新预约的利用可能期间而可以接受新预约，所以可使制造装置的工作效率提高。

图4所示为价格数据库152的数据格式的一例。价格数据库152对多个制造装置152a～152c的每一个，使指定期间开始日、指定期间、利用期间及价格对应存储。

价格决定部112也可使从接受预约时到指定期间的时间越长则每单位时间的价格越便宜。具体地说，比较指定期间开始日为“2002年1月”的场合，也可以使“2002年2月”的场合的一方价格便宜。而且，价格决定部112也可使从接受预约时到利用期间的时间越长则每单位时间的价格越便宜。具体地说，比较利用期间为“2002年1月”的场合，也可使“2002年2月”的场合的一方价格便宜。

价格决定部112也可使指定期间越长则每单位时间的价格越便宜。具体地说，比较指定期间为“1个星期”的场合，也可使“1个月”的场合的一方价格便宜。而且，价格决定部112也可使利用期间越长则每单位时间的价格越便宜。具体地说，比较利用期间为“10个小时”的场合，也可使“100个小时”的场合的一方价格便宜。

而且，利用可能期间抽出部104也可参照价格数据库152，选择价格变得更便宜的制造装置的利用可能期间并抽出。

如利用本实施例的制造装置预约管理系统100，则可如以上那样决定在制造装置的所定利用期间的价格，所以可实现价格的合理化。

图5所示为买卖信息数据库154的数据格式的一例。图5(a)所示为买卖信息数据库154存储的出售信息文件156的一例。图5(b)所示为买卖信息数据库158存储的购买信息文件154b的一例。

出售信息文件156对多个制造装置156a～156c的每一个，使分配为指定期间、利用期间、出售价格及出售信息的出售信息识别信息对应存储。而且，购买信息文件158对多个制造装置158a～158c的每一个，使分配为指定期间、利用期间、购买价格及购买信息的出售信息识别信息对应存储。

买卖信息判断部120在属性相同的出售信息及购买信息中，将出售信息文件156的出售信息和购买信息文件158的购买信息进行比较，抽出出售价格在购买价格以下的出售信息及购买信息。具体地说，在指定期间“2002年2月1日～2002年2月28日”、利用期间“10个小时”的属性上，出售信息识别信息“3333”的出售价格和购买信息识别信息“7777”的购买价格是相同的，所以买卖信息判断部120使出售信息识别信息“3333”和购买信息识别信息“7777”之间的交易成立。

出售信息生成部126也可集合借由出售信息识别信息“1111”所识别的出售信息、借由出售信息识别信息“1112”所识别的出售信息，生成指定期间“2002年1月1日～2002年1月31日”、利用期间“20个小时”的集合出售信息。然后，买卖信息判断部120也可使出售信息生成的集合出售信息和购买信息文件158所存储的购买信息的交易成立。

而且，出售信息生成部126也可在集合指定期间不同的多个出售信息而生成集合出售信息的场合，将多个出售信息的指定期间的逻辑和作为集合出售信息的指定期间，并将多个出售信息的生产能力的算术和作为集合出售信息的生产能力。例如，也可集合指定期间“2002年3月1日～2002年3月7日”、利用期间“10个小时”的出售信息和指定期间“2002年3月5日～2002年3月12日”、利用期间“10个小时”的出售信息，生成指定期间“2002年3月1日～2002年3月12日”、利用期间“20个小时”的集合出售信息。

在制造装置借由故障等而在利用期间内不能处理接受预约的生产能力的场合，拥有该制造装置的圆片代工企业借由对制造装置预约管理系统100提供购买信息并和出售信息的提供者进行交易，从而确保制造装置的利用期间。

如利用本实施例的制造装置预约管理系统100，则可将制造装置的预约作为生产权进行生产权的开放交易，所以可对应供求的平衡使生产权的价格变动。

图6所示为IP信息数据库156的数据格式的一例。IP信息数据库156使识别IP的IP识别信息、该IP在过去的利用次数、在利用该IP制造芯片的场合的制造装置的利用价格的折扣率对应存储。这里的利用次数是在上层集团中IP被利用的次数，表示IP的利用频度。

IP信息存储部128在预约取得部102取得含有IP识别信息的预约且该预约完成的场合，将与预约取得部102取得的IP识别信息对应被存储的利用次数进行更新。例如，在制造100片利用IP识别信息“IP0001”的芯片的预约完成的场合，IP信息更新部128将与IP识别信息“IP0001”对应被存储的利用次数增加100。而且，IP信息更新部128根据IP的利用次数而决定制造装置的利用价格的折扣率。例如，IP信息更新部128也可使利用次数越大则折扣率越大，也可在利用次数达到所定数以上的场合使折扣率增大。借此可设定对应IP的利用频度的动向的价格。

图7所示为IP信息通知部130向预约者通知的IP顺序信息的表示例。IP信息通知部130也可根据IP信息数据库156存储的利用次数而制作IP的利用顺序，并通知预约者。具体地说，也可按照对IP识别信息的利用次数大小的次序而确定顺序，通知预约者。另外，也可将利用借由IP识别信息所识别的IP的场合的制造装置的利用价格的折扣率通知预约者。而且，也可使IP信息通知部130制作的IP的利用顺序反映为在IP交易所所交易的IP价格。借此，可将利用频度高的IP和利用频度低的IP进行分类，促进IP的事实标准化(DefactStandard)。

图8所示为借由制造装置预约管理系统100的制造装置预约管理方法的流程图的一例。首先，预约取得部102从预约者取得指定期间及生产能力(S100)。然后，利用可能期间抽出部104参照利用预定数据库150，判断能够在预约取得部102取得的指定期间内提供生产能力的连续的利用可能期间是否能够抽出(S100)。

当在S102中判断为可抽出连续的利用可能期间的场合，利用可能期间抽出部104抽出连续的利用可能期间(S108)。而且，当在S102中判断为不能抽出连续的利用可能期间的场合，利用可能期间抽出部104对利用预定数据库150所存储的预约，借由在容许期间内变更利用期间而判断能否抽出连续的利用可能期间(S104)。

当在S104中判断为可抽出连续的利用可能期间的场合，利用可能期间抽出部104对利用预定数据库150所存储的预约，借由在容许期间内变更利用期间而将多个预约的利用可能期间进行再配置(S106)，并抽出连续的利用可能期间(S108)。而且，当在S104中判断为不能抽出连续的利用可能期间的场合，利用可能期间抽出部104分割为多块而抽出利用可能期间(S110)。

接着，价格抽出部114将在对利用可能期间抽出部104抽出的利用可能期间进行利用的场合的价格，从价格数据库抽出(S112)。在S108或S110，利用可能期间抽出部104也可抽出多个利用可能期间，也可对多个利用可能期间的每一个，根据价格抽出部114抽出的价格而选择利用可能期间。即，可选择多个利用可能期间之中价格便宜的。

接着，利用预定更新部106将利用可能期间抽出部104抽出的利用可能期间作为利用期间，存储于利用预定数据库150中(S114)。然后，预约完成通知部108将在指定期间内可提供生产能力而完成预约之事通知预约者(S116)。即，预约者实际上在利用期间的开始时及完成时并不被通知，而是约定好确保在指定期间内可提供生产能力的利用期间。而且，价格通知部116通知在预约的制造装置的利用期间的价格(S116)。

然后，制造装置根据利用预定数据库150中所存储的预约而运转。而且，预约取得部102也可取得含有指定期间不被指定的生产能力的预约。然后，利用预定更新部106也可参照利用预定数据库150，在制造装置不被利用时，将指定期间不被指定的预约存储于利用预定数据库150中。例如，也可将图形数据和数作为预约取得并登录，当在预约和预约之间产生制造装置的空闲情况时，自动地使所登录的生产被实行。指定期间不被指定的场合的价格，也可较指定期间被指定的场合便宜。

如利用本实施例的制造装置预约管理方法，借由统一管理制造装置的利用预定并将预约完成的利用期间进行再分配，而能够接受其它的预约，所以可效率良好地使制造装置运转。

而且，如利用本实施例的制造装置预约管理系统100，可借由制造装置单位而管理生产量，所以例如可管理多个小规模的圆片代工企业，并根据市场的需求动向而柔软地调整每一个的生产量及制造装置的利用价格。借由在流通市场上买卖成为生产权的制造装置的预约，而使组合开放交易的方案成为可能。

图9所示为制造装置预约管理系统100的硬件构成的一例。制造装置预约管理系统100的机能可借由具备有CPU810、ROM820、RAM830、通信接口840、硬盘驱动器850的计算机800和在计算机800上所实行的程式的合作而实现。计算机800也可还具有软盘驱动器860及/或CD-ROM驱动器870。

实现制造装置预约管理系统100的机能的程式具备有预约取得模块、利用可能期间抽出模块、利用预定更新模块、预约完成通知模块、运转时间算出模块、价格决定模块、价格抽出模块、价格通知模块、买卖信息取得模块、买卖信息判断模块、收费处理模块、交易通知模块及出售信息生成模块。这些模块是使计算机800作为预约取得部102、利用可能期间抽出部104、利用预定更新部106、预约完成通知部108、运转时间算出部110、价格决定部112、价格抽出部114、价格通知部116、买卖信息取得部118、买卖信息判断部120、收费处理部122、交易通知部122及出售信息生成部126而动作的程式。

以上所示的程序或模块也可存储于外部的存储媒体中。作为存储媒体，除了软盘880、CD-ROM890以外，还可使用DVD和PD等光学存储媒体、MD等光磁存储媒体、磁带媒体、IC卡等半导体存储器等。而且，也可将在接续于专用通信网络和因特网的服务器系统中设置的硬盘或RAM等存储装置作为存储媒体使用，并通过外部网络或接续于计算机800的网络等，将程式向计算机800提供。

以上利用实施例说明了本发明，但是本发明的技术的范围并不限定于上述实施例所述的范围。在上述实施形态上，可加以多样的变更或改良。从权利要求的说明中可知道，那种加以变更或改良的形态也可被包含于本发明的技术的范围。

由以上说明可知，本发明可提供一种制造装置预约管理系统，使制造装置的工作效率平均化，并符合市场的供求动向而使制造装置有效地发挥作用。

Claims (23)

1.一种制造装置预约管理系统，适用于管理制造装置的利用的预约，其特征是包括：

一个利用预定数据库，存储在制造装置的利用期间的每次预约；

一个预约取得部，从预约者取得一个预约，该预约包括指示可开始制造的时间及制造结束期限的指定期间，以及制造所需的生产能力；

一个利用可能期间抽出部，参照该利用预定数据库，抽出在该指定期间内可提供该生产能力的制造装置的利用可能期间；以及

一个利用预定更新部，将该利用可能期间抽出部所抽出的该制造装置的该利用可能期间作为该利用期间，存储于该利用预定数据库。

2.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该利用预定数据库对复数种类的制造装置，在每次该预约时存储该利用期间；

该预约取得部还从该预约者处取得指定机种；

该利用可能期间抽出部抽出符合该指定机种的制造装置的利用可能期间。

3.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征是在该利用预定更新部将该利用可能期间作为该利用期间存储于该利用预定数据库的场合，还具有一个预约完成通知部，将可预约制造装置以在该指定期间内能够提供该生产能力之事，通知该预约者。

4.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该利用预定数据库在每次该预约时，将该预约取得部取得的该指定期间作为一个容许期间再次存储；

该利用可能期间抽出部关于该利用预定数据库存储的该预约，借由在该容许期间变更该利用期间而生成该利用可能期间以抽出。

5.如权利要求4所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该利用可能期间抽出部在不能抽出连续的利用可能期间的场合，将在该指定期间内能够提供该生产能力的制造装置的利用可能期间分割为若干个而抽出；

该利用预定更新部将分割为若干个该利用可能期间作为该利用期间，存储于该利用预定数据库中。

6.如权利要求5所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有一个价格数据库，使该制造装置的利用的价格对应该利用期间而存储；

该利用可能期间抽出部参照该价格数据库，选择价格较便宜的该制造装置的该利用可能期间而抽出。

7.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于为了提供该预约取得部所取得的该生产能力，还具有一个运转时间算出部，算出必要的制造装置的运转时间；

该利用可能期间抽出部根据该运转时间，抽出该制造装置的该利用可能期间。

8.如权利要求7所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该制造装置为半导体制造装置；

该预约取得部取得图形数据及生产量以作为该生产能力；

该运转时间算出部根据该图形数据及该生产量算出该制造装置的该运转时间。

9.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有：

一个价格数据库，使该制造装置的利用的价格对应该利用期间而存储；

一个价格抽出部，参照该价格数据库，抽出在该利用可能期间抽出部所抽出的该制造装置的该利用可能期间的一个价格；以及

一个价格通知部，将该价格抽出部所抽出的该价格通知该预约者。

10.如权利要求9所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该制造装置为半导体制造装置，还具有一个IP信息数据库，对应存储识别IP(Intellectual Property)的IP识别信息及折扣率；

该预约取得部取得IP识别信息以作为该生产能力；

该价格抽出部对应于该预约取得部所取得的该IP识别信息，并根据该IP信息数据库存储的该折扣率，参照该价格数据库而决定抽出的该价格；

该价格通知部将该价格抽出部所决定的该价格通知该预约者。

11.如权利要求10所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有一个IP信息更新部，根据该IP识别信息所识别的IP的利用次数，决定该IP信息数据库存储的该折扣率。

12.如权利要求11所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该IP信息更新部是IP的该利用次数越大则该折扣率越大。

13.如权利要求9所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有一个价格决定部，根据制造装置的机种、该指定期间及利用期间的至少一个而决定在该制造装置的所定的该利用期间的价格；

该价格数据库使该价格决定部所决定的该价格对应于该制造装置及该利用期间而进行存储。

14.如权利要求13所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该价格决定部是从接受该预约时到该利用期间的时间越长，每单位时间的该价格越便宜。

15.如权利要求13所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该价格决定部是从接受该预约时到该指定期间的时间越长，每单位时间的该价格越便宜。

16.如权利要求13所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该价格决定部是该利用期间越长，每单位时间的该价格越便宜。

17.如权利要求13所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该价格决定部是该指定期间越长，每单位时间的该价格越便宜。

18.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该预约取得部还取得含有指定期间未指定的其它的生产能力的其它的预约；

该利用预定更新部参照该利用预定数据库，在制造装置未被利用时，将上述其它的预约存储于该利用预定数据库中。

19.如权利要求1所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有一个买卖信息数据库，存储包括该指定期间及该生产能力的该预约的出售信息及购买信息；

一个买卖信息判断部，判断与该买卖信息数据库所存储的该出售信息和该购买信息的要求是否一致；以及

一个收费处理部，在该买卖信息判断部判断与该出售信息和该购买信息的要求一致的场合，进行该出售信息的提供者和该购买信息的提供者之间的收费处理。

20.如权利要求16所述的制造装置预约管理系统，其特征在于还具有一个出售信息生成部，集合若干个该出售信息而生成集合出售信息；

该买卖信息判断部判断与该集合出售信息和该购买信息的要求是否一致；

该收费处理部在该买卖信息判断部判断与该集合出售信息和该购买信息的要求一致的场合，进行该若干个出售信息的各个提供者和该购买信息的提供者之间的收费处理。

21.如权利要求17所述的制造装置预约管理系统，其特征在于该出售信息生成部是使符合该多个出售信息的若干个该指定期间的期间作为该集合出售信息的指定期间，并将该若干个出售信息的该生产能力之和作为该集合出售信息的生产能力。

22.一种制造装置预约管理方法，适用于管理制造装置的利用的预约，其特征是包括：

一个预约取得阶段，从预约者处取得包括指示可开始制造的时间及制造完成期限的指定期间，及制造所需的生产能力的预约；

一个利用可能期间抽出阶段，参照存储有制造装置的利用期间的每次预约的利用预定数据库，抽出在指定期间内可提供生产能力的制造装置的利用可能期间：以及

一个利用预定更新阶段，把在该利用可能期间抽出阶段所抽出的该制造装置的该利用可能期间作为该利用期间，存储于该利用预定数据库。

23.一种记录媒体，储存一个制造装置预约管理系统用的程式，用于管理制造装置的利用的预约，其特征在于使该制造装置预约管理系统执行若干个阶段步骤，该些阶段步骤包括：

从预约者处取得包括指示可开始制造的时间及制造完成期限的指定期间以及制造所需的生产能力预约的预约取得阶段；

参照存储制造装置的利用期间的每次预约的利用预定数据库，抽出在该指定期间内可提供该生产能力的制造装置的利用可能期间的利用可能期间抽出阶段；以及

把该利用可能期间抽出阶段所抽出的该制造装置的该利用可能期间作为该利用期间，存储于该利用预定数据库的利用预定更新阶段。

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