CN1461018A - 静电驱动式微机械可变电感器 - Google Patents
静电驱动式微机械可变电感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1461018A CN1461018A CN 03131650 CN03131650A CN1461018A CN 1461018 A CN1461018 A CN 1461018A CN 03131650 CN03131650 CN 03131650 CN 03131650 A CN03131650 A CN 03131650A CN 1461018 A CN1461018 A CN 1461018A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- inductor
- driver
- planar spiral
- control electrode
- spiral inductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
本发明公开了一种静电驱动式微机械可变电感器,由平面螺旋电感和驱动器组成,平面螺旋电感和驱动器设在衬底上,驱动器为静电驱动器,该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成,在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层,在悬臂梁上至少设有2个触点,该触点位于平面螺旋电感的上方。当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时,悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲。当直流电压增大到某一值时,悬臂梁自由端最外面的触点首先和平面螺旋电感相接触,此时输出一电感值;随着驱动电压的逐渐增大,悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触,输出的电感值逐渐变小,实现输出电感可调。
Description
一、技术领域
本发明涉及一种可变电感器的微机械结构,尤其涉及一种静电驱动式微机械可变电感器。
二、背景技术
现有的微机械可变电感器有矩形螺旋电感,矩形螺旋电感的下面是连接导线,这些连接导线把线圈分为数段,每段对应的电感值为L1、L2、…。每段电感线都有一个热驱动继电器。通过控制热驱动继电器的闭/合,来短接或断开电感段,以实现输出电感可调。由于该结构中,采用多个热驱动继电器,所以这种结构复杂,此外,其制作工艺繁琐和响应速度慢等]缺点。
三、技术内容
技术问题:本发明提供一种输出电感可调,响应速度快、结构简单、简化制作工艺的静电驱动式微机械可变电感器。
技术方案:本发明是一种静电驱动式微机械可变电感器,由平面螺旋电感和驱动器组成,平面螺旋电感和驱动器设在衬底上,驱动器为静电驱动器,该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成,在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层,在悬臂梁上至少设有2个触点,该触点位于平面螺旋电感的上方。
技术效果:①当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时,悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲。当直流电压增大到某一值时,悬臂梁自由端最外面的触点首先和平面螺旋电感相接触,此时输出一电感值;随着驱动电压的逐渐增大,悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触,输出的电感值逐渐变小,实现输出电感可调。②本发明与现有技术相比,克服了现有技术必须采用多个热执行器的缺陷,利用带多个触点悬臂梁的静电驱动器即可实现电感输出值的调整,具有结构简单的优点。③本发明采用静电驱动器的技术措施,使其具有响应速度快的优点。④本发明在平面螺旋电感的上方,运用表面微加工技术制作带触点的悬臂梁。悬臂梁触点的正下方是对应的平面螺旋电感线。通过施加不同的直流驱动电压,使得悬臂梁的触点依次和平面螺旋电感线相接触,以得到不同的电感值,因此,本发明具有制作工艺简单的优点。
四、附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的A-A剖视图。
五、具体实施方案
本发明是一种静电驱动式微机械可变电感器,由平面螺旋电感1和驱动器组成,平面螺旋电感1和驱动器设在衬底5上,驱动器为静电驱动器,该静电驱动器由控制电极2和兼电极的悬臂梁4组成,在控制电极2上且处于控制电极2和悬臂梁4之间的位置设有绝缘介质层3,在悬臂梁4上至少设有2个触点6,该触点6位于平面螺旋电感1的上方,上述平面螺旋电感1即可以采用平面螺旋方电感,也可以采用平面螺旋圆电感。
Claims (3)
1、一种静电驱动式微机械可变电感器,由平面螺旋电感(1)和驱动器组成,平面螺旋电感(1)和驱动器设在衬底(5)上,其特征在于驱动器为静电驱动器,该静电驱动器由控制电极(2)和兼电极的悬臂梁(4)组成,在控制电极(2)上且处于控制电极(2)和悬臂梁(4)之间的位置设有绝缘介质层(3),在悬臂梁(4)上至少设有2个触点(6),该触点(6)位于平面螺旋电感(1)的上方。
2、根据权利要求1所述的静电驱动式微机械可变电感器,其特征在于平面螺旋电感(1)采用平面螺旋方电感。
3、根据权利要求1所述的静电驱动式微机械可变电感器,其特征在于平面螺旋电感(1)采用平面螺旋圆电感。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 03131650 CN1206669C (zh) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 静电驱动式微机械可变电感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 03131650 CN1206669C (zh) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 静电驱动式微机械可变电感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1461018A true CN1461018A (zh) | 2003-12-10 |
CN1206669C CN1206669C (zh) | 2005-06-15 |
Family
ID=29591218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 03131650 Expired - Fee Related CN1206669C (zh) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 静电驱动式微机械可变电感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1206669C (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101345123B (zh) * | 2007-07-11 | 2012-09-12 | 深圳创维-Rgb电子有限公司 | 电感可调装置 |
CN103022018A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-03 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法和电感调谐方法 |
CN104876176A (zh) * | 2014-02-28 | 2015-09-02 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种可动电感电极结构以及制备方法 |
CN104876176B (zh) * | 2014-02-28 | 2016-11-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种可动电感电极结构以及制备方法 |
-
2003
- 2003-05-30 CN CN 03131650 patent/CN1206669C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101345123B (zh) * | 2007-07-11 | 2012-09-12 | 深圳创维-Rgb电子有限公司 | 电感可调装置 |
CN103022018A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-03 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法和电感调谐方法 |
CN104876176A (zh) * | 2014-02-28 | 2015-09-02 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种可动电感电极结构以及制备方法 |
CN104876176B (zh) * | 2014-02-28 | 2016-11-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种可动电感电极结构以及制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1206669C (zh) | 2005-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101093966B (zh) | 压电驱动mems装置 | |
CN101621261B (zh) | 基于u+v型的柔性复合梁电热微驱动器 | |
KR101036063B1 (ko) | 액추에이터 및 이를 사용한 전자 기기 | |
CN102674231B (zh) | 静电致动器 | |
JP2008091167A (ja) | マイクロメカニカルデバイス | |
CN1206669C (zh) | 静电驱动式微机械可变电感器 | |
CN101590999B (zh) | 基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件 | |
CN102576629B (zh) | 可配置的多栅开关电路系统 | |
WO2001080258A2 (en) | A micro relay | |
JP4144717B2 (ja) | 静電リレー | |
CN100336148C (zh) | 增大压电传感器的行程的方法和利用该方法的mems开关 | |
TW200421643A (en) | Push-mode latching relay | |
CN114019674A (zh) | 一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备 | |
JP2007103312A (ja) | スイッチ | |
CN113630037B (zh) | 一种驻波式压电马达运动分辨率提升装置和方法 | |
JP3985229B2 (ja) | マイクロメカニカルスイッチ | |
CN1453804A (zh) | 横向驱动微机械式可变电容器 | |
US20070103843A1 (en) | Electrostatic mems components permitting a large vertical displacement | |
KR101352941B1 (ko) | 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 | |
CN101039082A (zh) | 静电力驱动拱形制动器 | |
CN1314689A (zh) | 硅、金属、介质膜桥射频微机电系统开关 | |
JP5277977B2 (ja) | 光学装置 | |
CN101661853B (zh) | 闭锁电热双稳态微开关 | |
CN1699140A (zh) | 电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳 | |
KR100520891B1 (ko) | 잔류응력 및 압전구동력을 이용한 초소형 전기 기계시스템 고주파 스위치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |