CN1453804A - 横向驱动微机械式可变电容器 - Google Patents
横向驱动微机械式可变电容器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1453804A CN1453804A CN 03131538 CN03131538A CN1453804A CN 1453804 A CN1453804 A CN 1453804A CN 03131538 CN03131538 CN 03131538 CN 03131538 A CN03131538 A CN 03131538A CN 1453804 A CN1453804 A CN 1453804A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electric pole
- pole plate
- plate
- electrode plate
- microactrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
本发明公开了一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。由于本发明将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。
Description
一、技术领域
本发明涉及一种微电子机械系统中使用的电容器，尤其是涉及一种横向驱动微机械式可变电容器。
二、背景技术
微机械式可变电容器一般都是垂直于衬低方向纵向驱动的一个上电极板和固定的下电极板构成，当在两个电极板之间加上驱动电压，静电吸引力是的两个电极板之间的距离减小，这种设计的缺点是电容的变化和上电极板的位移不是线性关系，因此不利于精确控制，另一种横向驱动微机械式可变电容器是利用高宽深比鹿蚀工艺制备梳状电极，利用静电力驱动一组电极横向运动，这种横向驱动微机械式可变电容器由于采用高宽深比刻蚀，因此制造工艺比较复杂。
三、技术方案
技术问题：本发明提供一种制造工艺简单且位移和电容变化量的线性度好的横向驱动微机械式可变电容器。
技术方案：本发明是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。
有益效果：①由于本发明将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。②本发明的电极板采用条形电极板后，上下两层电极板之间的牺牲层很容易腐蚀去除，整个制作只需要表面微机械加工技术就可以完成，与当前的CMOS工艺兼容。③本发明把多条条形电极板平行排列并相互连接构成条形电极阵列，条形电极的数目由实际应用需要的电容值决定，且条形电极的数目不影响整个可变电容器的可控性。
四、附图说明
图1是本发明结构示意图。
图2是本发明实施例的结构俯视图。
图3是本发明实施例的结构剖视图。
五、实施方案
实施例1本发明是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板1和下电极板2组成，下电极板2设在绝缘层3上，在上电极板1上连接有微执行器4，上、下电极板1和2为条形电极板，在上电极板1的两端对称连接有微执行器。
实施例2本发明是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板1和下电极板2组成，下电极板2设在绝缘层3上，在上电极板1上连接有微执行器4，上电极板1由多条条形电极板平行排列并相互连接，上电极板1由两端顶角对称连接有微执行器，上述微执行器可采用热执行器，热执行器由热臂41和冷臂42组成，热臂41和冷臂42的一端固定在衬底上，另一端与输出臂43相连，该输出臂43与上电极板1相连，当向热执行器施加驱动电压，通过热臂41和冷臂42的电流产生焦耳热导致热臂41和冷臂42的温度都发生变化，从而使热臂41和冷臂42的长度发生变化，由于两者的长度改变量不相同，最终使输出臂43带动上电极板做横向移动。
本发明的工作原理如下：当平行板电容器的交叠面积改变时，电容的大小也随之改变。本发明中的微机械可变电容器的结构由上、下电极板和微执行器或微执行器阵列组成。在衬底的表面的绝缘层上是固定不动的下电极板，在上、下电极板之间是牺牲层腐蚀后的空隙。与上点极板连接的是微执行器或微执行器阵列，用来推动上电极板横向运动，从而改变上下极板的交叠面积。一般微执行器阵列只能提供10微米左右的横向位移，为了利用10微米以内的位移获得尽可能大的横向位移，本发明利用条形的电极板组成电极板阵列。
Claims (3)
1、一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板(1)和下电极板(2)组成，下电极板(2)设在绝缘层(3)上，其特征在于在上电极板(1)上连接有微执行器(4)。
2、根据权利要求1所述的横向驱动微机械式可变电容器，其特征在于上、下电极板(1和2)为条形电极板，在上电极板(1)的两端对称连接有微执行器。
3、根据权利要求1所述的横向驱动微机械式可变电容器，其特征在于上电极板(1)由多条条形电极板平行排列并相互连接，上电极板(1)由两端顶角对称连接有微执行器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03131538 CN1453804A (zh) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 横向驱动微机械式可变电容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03131538 CN1453804A (zh) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 横向驱动微机械式可变电容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1453804A true CN1453804A (zh) | 2003-11-05 |
Family
ID=29260444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 03131538 Pending CN1453804A (zh) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 横向驱动微机械式可变电容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1453804A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100464383C (zh) * | 2004-09-10 | 2009-02-25 | 东南大学 | T形梁平行板微机械可变电容及其制造工艺 |
| CN104601158A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-05-06 | 科世达（上海）管理有限公司 | 一种组合开关 |
-
2003
- 2003-05-23 CN CN 03131538 patent/CN1453804A/zh active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100464383C (zh) * | 2004-09-10 | 2009-02-25 | 东南大学 | T形梁平行板微机械可变电容及其制造工艺 |
| CN104601158A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-05-06 | 科世达（上海）管理有限公司 | 一种组合开关 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100286486B1 (ko) | 엘라스토머성 마이크로 전기기계 시스템 | |
| US7705514B2 (en) | Bi-directional actuator utilizing both attractive and repulsive electrostatic forces | |
| JP5951640B2 (ja) | マイクロメカニカルデバイス | |
| CN101093966B (zh) | 压电驱动mems装置 | |
| US9676607B2 (en) | Micromechanical device with an actively deflectable element | |
| US6367252B1 (en) | Microelectromechanical actuators including sinuous beam structures | |
| CN101621261A (zh) | 基于u+v型的柔性复合梁电热微驱动器 | |
| CN103257445A (zh) | 一种柔性电润湿显示装置 | |
| CN103198922B (zh) | 一种基于双稳态柔顺机构的梳齿电容精密装配方法 | |
| US20020135850A1 (en) | Multistage rotatable actuator | |
| CN102951593B (zh) | 一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构 | |
| CN1453804A (zh) | 横向驱动微机械式可变电容器 | |
| CN101834097A (zh) | 一种基于双稳态柔性机构的静电微继电器 | |
| CN102543591B (zh) | Mems开关及其制作方法 | |
| CN102359828A (zh) | 一种微电子温度传感器及其制备工艺 | |
| US10324488B2 (en) | Device to convert out-of-plane motion to in-plane motion and/or conversely | |
| CN209731108U (zh) | 纳米位移直线步进电机 | |
| CN1972102B (zh) | 静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器 | |
| Palit et al. | High Energy Density Cellular Electrostatic In-Plane 2-Axis Actuators | |
| CN101659388B (zh) | 双向面外运动电热微驱动器 | |
| CN102522916A (zh) | 基于摩擦力变化的纳米马达 | |
| CN1206669C (zh) | 静电驱动式微机械可变电感器 | |
| US8810881B2 (en) | Micro structure, micro actuators, method of fabricating micro structure and micro actuators | |
| CN114866056B (zh) | 一种压电驱动的氧化锌纳米线谐振器 | |
| Abbasalipour et al. | High-Output Micro-Machined Electrostatic Actuators |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |