CN1206669C - 静电驱动式微机械可变电感器 - Google Patents
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Abstract
一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感和驱动器组成，平面螺旋电感和驱动器设在衬底上，驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成，悬臂梁在衬底上的投影与平面螺旋电感的电感线相交，在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层，在悬臂梁上至少设有2个触点，该触点位于平面螺旋电感的上方且触点分别位于悬臂梁可与螺旋电感不同处接触的位置处。当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时，悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲，随着驱动电压的逐渐增大，悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触，输出的电感值逐渐变小，实现输出电感可调。
Description
一、技术领域
本发明涉及一种可变电感器的微机械结构，尤其涉及一种静电驱动式微机械可变电感器。
二、背景技术
现有的微机械可变电感器有矩形螺旋电感，矩形螺旋电感的下面是连接导线，这些连接导线把线圈分为数段，每段对应的电感值为L1、L2、…。每段电感线都有一个热驱动继电器。通过控制热驱动继电器的闭/合，来短接或断开电感段，以实现输出电感可调。由于该结构中，采用多个热驱动继电器，所以这种结构复杂，此外，其制作工艺繁琐和响应速度慢等缺点。
三、技术内容
技术问题：本发明提供一种输出电感可调，响应速度快、结构简单、简化制作工艺的静电驱动式微机械可变电感器。
技术方案：本发明是一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感和驱动器组成，平面螺旋电感和驱动器设在衬底上，驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成，悬臂梁在衬底上的投影与平面螺旋电感的电感线相交，在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层，在悬臂梁上至少设有2个触点，该触点位于平面螺旋电感的上方且触点分别位于悬臂梁可与螺旋电感不同处接触的位置处。
技术效果：①当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时，悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲。当直流电压增大到某一值时，悬臂梁自由端最外面的触点首先和平面螺旋电感相接触，此时输出一电感值；随着驱动电压的逐渐增大，悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触，输出的电感值逐渐变小，实现输出电感可调。②本发明与现有技术相比，克服了现有技术必须采用多个热执行器的缺陷，利用带多个触点悬臂梁的静电驱动器即可实现电感输出值的调整，具有结构简单的优点。③本发明采用静电驱动器的技术措施，使其具有响应速度快的优点。④本发明在平面螺旋电感的上方，运用表面微加工技术制作带触点的悬臂梁。悬臂梁触点的正下方是对应的平面螺旋电感线。通过施加不同的直流驱动电压，使得悬臂梁的触点依次和平面螺旋电感线相接触，以得到不同的电感值，因此，本发明具有制作工艺简单的优点。
四、附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的A-A剖视图。
五、具体实施方案
本发明是一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感1和驱动器组成，平面螺旋电感1和驱动器设在衬底5上，驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极2和兼电极的悬臂梁4组成，悬臂梁在衬底上的投影与平面螺旋电感的电感线相交，在控制电极2上且处于控制电极2和悬臂梁4之间的位置设有绝缘介质层3，在悬臂梁4上至少设有2个触点6，该触点6位于平面螺旋电感1的上方，上述平面螺旋电感1即可以采用平面螺旋方电感，也可以采用平面螺旋圆电感且触点分别位于悬臂梁可与螺旋电感不同处接触的位置处。
Claims (3)
1、一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感(1)和驱动器组成，平面螺旋电感(1)和驱动器设在衬底(5)上，其特征在于驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极(2)和兼电极的悬臂梁(4)组成，悬臂梁在衬底上的投影与平面螺旋电感的电感线相交，在控制电极(2)上且处于控制电极(2)和悬臂梁(4)之间的位置设有绝缘介质层(3)，在悬臂梁(4)上至少设有2个触点(6)，该触点(6)位于平面螺旋电感(1)的上方且触点分别位于悬臂梁可与螺旋电感不同处接触的位置处。
2、根据权利要求1所述的静电驱动式微机械可变电感器，其特征在于平面螺旋电感(1)采用平面螺旋方电感。
3、根据权利要求1所述的静电驱动式微机械可变电感器，其特征在于平面螺旋电感(1)采用平面螺旋圆电感。
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