CN1431979A - 复合材料及其制造方法和应用 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空密封、承受温度交变的复合材料(1),其制造方法及其应用。经过一种由添加了至少钼、钨、钯和铂这组金属中之一种的锰硅酸盐玻璃构成的第一连接层(3)和一种由锰硅酸盐玻璃构成的第二连接层(4),在氧化铝蓝宝石(2)和氧化铝陶瓷(5)之间实现了一种持久的连接。为此对各材料进行了烧结。该复合材料(1)被应用于将氧化铝蓝宝石(2)窗安装到用于放置光激发闸流晶体管(24)的壳体(16)上。

Description

复合材料及其制造方法和应用
本发明涉及一种由一层氧化铝蓝宝石(Aluminiumoxid-Saphir)和一层氧化铝陶瓷(Aluminiumoxid-Keramik)构成的、真空密封且承受温度交变的复合材料。本发明还涉及一种制造这类复合材料的方法以及这类复合材料的一种应用。
氧化铝蓝宝石在此理解为那些夹杂有二氧化钛的氧化铝结晶刚玉结构(α-Al2O3)。与此相反,氧化铝陶瓷理解为一种基本上通过陶土(硅酸铝)焙烧而制成的陶瓷材料。这种陶瓷材料的主要成份为处于玻璃相的结晶改型氧化铝。此外在这种陶瓷中还存在金属氧化物。
由于氧化铝蓝宝石和氧化铝陶瓷的热膨胀系数彼此不同,两材料之间承受温度交变的固定连接变得极其困难。在上述两种材料之间满意而持久的真空密封连接(例如在将一个光导引到一个真空中所要求的情况),至今还未被现有技术公知。大量研究表明,这种材料的所有公知连接在温度交变负荷条件下不能持久。
本发明要解决的技术问题是,提供一种由氧化铝蓝宝石和氧化铝陶瓷构成的、承受温度交变的真空密封复合材料,其中氧化铝蓝宝石和氧化铝陶瓷以承受温度交变方式固定连接。此外,本发明还要解决的技术问题是,提供一种制造这种复合材料的方法。最后,本发明所要解决的技术问题是,同时提供这种复合材料的一种应用。
按照本发明,所提到的第一个技术问题是这样来解决的:氧化铝蓝宝石和氧化铝陶瓷经一第一连接层和一第二连接层而彼此烧结,其中第一连接层与氧化铝陶瓷相邻,且具有一锰硅酸盐玻璃,该锰硅酸盐玻璃至少包含有钼、钨、钯和铂这组金属中的一种,其中该第二连接层与氧化铝蓝宝石相邻,且具有一锰硅酸盐玻璃。
对此,本发明从这样的考虑出发:通过将金属加入到锰硅酸盐玻璃能使第一连接层的热膨胀系数与氧化铝陶瓷的热膨胀系数相匹配。而锰硅酸盐玻璃本身的热膨胀系数与氧化铝蓝宝石的热膨胀系数相似。就这方面来说,经第一连接层和第二连接层,氧化铝蓝宝石的热膨胀系数逐渐与氧化铝陶瓷热膨胀系数相适配。该材料连接处在温度交变负荷下所出现的应力减小了。
目前,广泛的研究进一步表明:通过在第一连接层的锰硅酸盐玻璃中增添至少一种所述金属,则在氧化铝陶瓷上进行烧结时该第一连接层与氧化铝陶瓷就产生一种牢固的结晶内聚合和玻璃与金属封接(Anglasung)。此外,在第一连接层和第二连接层之间彼此也发生了该两连接层的结晶内聚合和玻璃与金属的封接。由于在第二连接层中高的玻璃组分,在烧结时氧化铝蓝宝石和第二连接层的交界处形成了一表面混合晶体,也就是一种持久的化合物。
正如研究已指出的那样,在去掉第一连接层时,氧化铝蓝宝石在温度交变负荷下会从氧化铝陶瓷上剥落。相反,如果不用第二连接层,则氧化铝蓝宝石就完全不能粘附在该第一连接层添加了金属的锰硅酸盐玻璃上。
如果氧化铝蓝宝石象所描述的那样经第一连接层和第二连接层与氧化铝陶瓷进行烧结,那么这样一种复合材料就能在一个宽范围内经受住温度交变负荷。在-60℃和+200℃之间的温度交变负荷下,完全能断定复合材料不会裂开。
在本发明的一种优选方案中,第一连接层的锰硅酸盐玻璃中金属份额的总和占重量的65%至85%。如果所提到的金属份额位于此范围内,则第一连接层的热膨胀系数能与最通用组分的氧化铝陶瓷的热膨胀系数相匹配,而不会减弱第一连接层与氧化铝陶瓷的连接。
此外,优选第一连接层的锰硅酸盐玻璃附加地包含直到6%重量份额的氧化铝和/或二氧化钛。这样的份额进一步改善了第一连接层与氧化铝陶瓷的连接。
在另一个优选方案中,第二连接层的锰硅酸盐玻璃包含有直到30%重量份额、尤其是15-25%重量份额的氧化铝和/或二氧化钛。通过向第二连接层的锰硅酸盐玻璃中添加这样一个份额,第二连接层的热膨胀系数改变了,就这方面来说,对于氧化铝蓝宝石中的不同掺杂份额和对于氧化铝陶瓷的不同组分,可使该复合材料承受温度交变的能力最佳化。
本发明涉及制造这样一种复合材料的技术问题这样来解决:a)按照下述步骤制造一种第一丝网印油(Siebdruckpaste),a1)将一种锰硅酸盐玻璃的粉末与一种包含至少钼、钨、钯和铂这组金属之一的粉末混合,得到一种混合粉末,a2)在该混合粉末中掺入一种悬浮剂和/或粘结剂;b)按照下述步骤制造一种第二丝网印油,b1)在一种锰硅酸盐玻璃的粉末中掺入一种悬浮剂和/或粘结剂;c)通过将第一丝网印油和第二丝网印油作丝网印刷(Siebdruck)制成一种按氧化铝陶瓷、第一连接层、第二连接层、氧化铝蓝宝石顺序的层状材料;最后,d)在1200℃至1500℃下完成焙烧过程。
锰硅酸盐玻璃粉末或者可以作为现成的产品在市场上买来,或者通过将软锰矿MnO3与硅酸或二氧化硅SiO2混合、将混合粉末熔化、使熔液凝固、接着将凝固的熔液研磨而制成。混合粉末中MnO3的重量份额为55-63%,SiO2为45-37%。
在制造第一丝网印油的混合粉末时,该锰硅酸盐玻璃的粉末和至少一种已提到的金属混合,得到紧密的混合粉末。
为了能由粉末制成能作丝网印刷的丝网印油,将悬浮剂和/或粘结剂添加到混合粉末或粉末中是必要的。通过丝网印刷有可能简单地均匀涂敷具有所需强度的层厚的的中间层。为制得该复合材料,首先可以通过丝网印刷在氧化铝陶瓷上涂敷上第一丝网印油,然后涂敷第二丝网印油,接着再将氧化铝蓝宝石置于其上,且将以这种方式形成的层状产品在1200℃至1500℃下焙烧,即烧结。显然,该方法的过程也可以采用相反的顺序进行,即首先在氧化铝蓝宝石上涂敷第二丝网印油,接着涂敷第一丝网印油,然后将氧化铝陶瓷置于其上。但由于通常在这样一种复合材料中氧化铝陶瓷相对于氧化铝蓝宝石体积更大,所以前一种操作方式通常可以更简单地实现。
除了已阐明的、权利要求6至8中所指明的金属的特定重量份额或者氧化铝和二氧化钛(对此还可以采用氢化钛作为原材料)的特定重量份额所带来的优点外,在第一丝网印油作丝网印刷后和/或在将第二丝网印油作丝网印刷后,各自在1200℃至1500℃条件完成一个独立的焙烧过程,则本发明的方法更为有利。这样可以避免两层涂敷的丝网印油之间产生溶剂效应。
就加工来说,如果锰硅酸盐玻璃粉末为一种平均粒径小于10微米、尤其是小于2微米的粉末,则是十分有利的。
此外,由于同样的原因,如果一种或多种所提到的金属粉末为平均粒径小于1 5微米、尤其是小于5微米的粉末,也是十分有利的。
关于丝网印油,如果采用植物油或萜品油(Terpineoloel)作为悬浮剂是有优点的。已证实将乙基纤维素(Ethylzellulose)作为粘结剂是有利的。所提到的添加剂是可以在市场上买到的,且在焙烧过程中不会产生污染环境的分解物。
关于复合材料的耐久性和承受温度交变能力,已证实当第一丝网印油涂敷厚度为2至20微米、而第二丝网印油涂敷厚度为2至200微米时是十分有利的。
本发明所述最后一个技术问题是这样解决的,将该复合材料用于将一块氧化铝蓝宝石窗安装在光激发闸流晶体管(lichtzuendbar Thyristop)的壳体上。光激发闸流晶体管(如同其名称所表达的)不是由电压信号而是由光来接通或激发的。闸流晶体管通常用来接通大电流。对此,一个闸流晶体管作为一种所谓的大功率半导体通常置放于一个带有一个氧化铝陶瓷绝缘环形壁的壳体中的两金属触头之间。其中,氧化铝陶瓷用来作为施加在闸流晶体管两极(即两金属触头)之间高电压的电绝缘。该壳体内部通常被抽真空。
对于一种安装在这样一种壳体中的光激发闸流晶体管,目前在将光穿过壳体耦合到闸流晶体管光敏感部位方面存在问题。为将光耦合到晶体管上,这里提供了一种设置在壳体上的氧化铝蓝宝石窗,一根光导从外部导向到该氧化铝蓝宝石窗。由于该壳体内部抽真空,而且在将闸流晶体管安装后必须将一个或两个所提到的触头与氧化铝陶瓷壁焊接,则位于该氧化铝蓝宝石窗和壳体之间的复合材料必须是耐久的、牢固的、真空密封和能承受温度交变的。出于此原因,上述复合材料正好适合用来作为这样一种应用。
对于这种应用的优选方式是将该氧化铝蓝宝石窗安装在壳体上由氧化铝构成的局部区域。对此,该窗在其周边区经第一连接层和第二连接层以所述方式与氧化铝陶瓷烧结在一起。
在另一种应用的优选方式中,该窗设置在由第一金属构成的壳体的局部区域。这一局部区域例如可以是所述金属触头之一。对此,该窗在其周边区经第一连接层和第二连接层与由氧化铝陶瓷制成的第一材料件固定连接,且此第一材料件经金属焊剂与壳体局部区域的第一金属牢固焊接。该复合材料在此用来将氧化铝蓝宝石窗与该壳体局部区域的第一金属连接。其中该第一材料件的氧化铝陶瓷与壳体局部区域的第一金属的连接本身是已知的,且和壳体金属局部区域或壳体金属触头与氧化铝陶瓷环形壁的焊接方法相当。
在另一种优选的应用实施方式中,第一材料件的氧化铝陶瓷经一金属焊剂与一由第二金属形成的第二材料件固定连接,且该第二材料件经一金属焊剂与壳体局部区域的第一金属焊接。这样氧化铝蓝宝石窗和壳体局部区域的第一金属的热膨胀系数经过该第一材料件和第二材料件而趋于接近。经过该第一材料件和第二材料件,该氧化铝蓝宝石的热膨胀系数逐渐过渡成为第一金属的热膨胀系数。
尤其是一种银/铜低共熔质焊剂(L-Ag72,DIN8513)适于作为金属焊剂,就此而言采用另一种焊剂同样是可能的。
用于接纳大功率半导体的壳体的金属触头通常由铜制成。就第二材料件与壳体的金属局部区域的良好焊接而言,优选该第二金属为镍/铁合金。
在又一种优选的应用实施方式中,第一材料件与第二材料件彼此这样成角度相连接,使得在温度变化时所出现的第一金属的局部区域与氧化铝蓝宝石窗的长度差通过该第一材料件和第二材料件的相对运动而得到补偿,而在连接处基本上不产生负荷。
通过“成角度连接”形成一个允许第一材料件和第二材料件相对运动的杠杆结构。由于氧化铝蓝宝石和金属的不同热膨胀系数而在温度交变负荷下形成的长度差经过该第一材料件和第二材料件的相对运动而彼此补偿。这种窗与金属局部区域的金属的连接本身减轻了其所承受的机械负载。以这种方式,氧化铝蓝宝石窗与壳体金属局部区域的金属的连接能经受住那种特别是在将该金属局部区域与氧化铝陶瓷壳体局部区域进行焊接时所出现的增大了的温度交变负荷。
下面结合附图对本发明的实施方式作详细说明:
图1中以断面图方式示出一种由氧化铝蓝宝石和氧化铝陶瓷构成的复合材料;
图2示意示出图1所示复合材料的制造方法;
图3以局部剖示和透视图的方式示出一个放置光激发闸流晶体管的壳体,其带有一块安装在一金属触头处的透光窗口;
图4以图3的一个断面示出该安装的氧化铝蓝宝石窗口与金属触头的连接;
图5以断面图方式示出一块氧化铝蓝宝石窗,该窗口安装在一光激发闸流晶体管壳体的环行绝缘壁的氧化铝陶瓷上。
图1以断面图方式示出一种带有一层氧化铝蓝宝石2的复合材料1,该氧化铝蓝宝石经一第一连接导层3和一第二连接层4与一层氧化铝陶瓷5相连接。该第一连接层3包含有锰硅酸盐玻璃,其填充有占其重量70%的钼。第二连接层4同样包含有锰硅酸盐玻璃,但其填充有占其重量20%的氧化铝。所示复合材料1通过将各种材料彼此烧结而制成。其中在氧化铝陶瓷5和第二连接层4之间以及在第一连接层3和第二连接层4之间不仅产生了材料的结晶内聚合,而且产生了金属与玻璃封接。该氧化铝蓝宝石2在烧结后通过一形成的表面混合晶体与第一连接层牢固地连接。
图2示意地描述了图1的复合材料的制造方法。首先准备好一种锰硅酸盐玻璃的粉末G和一种或多种耐火金属钼、钨、钯或铂的粉末M。通过将粉末G和M混合和筛选,制成混合粉末P。由于锰硅酸盐玻璃粉末可以购买到,对其的制备不作详细描述。然而这样一种粉末能象上面已提到过的那样由软锰矿MnO3和结晶二氧化硅SiO2制成。
通过将悬浮剂和粘结剂S和K掺入到混合粉末P中的掺入步骤9,制得第一丝网印油SP1。通过将悬浮剂和粘结剂S和K掺入到锰硅酸盐玻璃粉末G中,再制得第二丝网印油SP2。
借助丝网印刷10将第一丝网印油SP1涂敷在氧化铝陶瓷上。接着将带有涂敷的第一丝网印油SP1的氧化铝陶瓷在温度1300℃下进行焙烧11。紧接此焙绕步骤11,借助丝网印刷将第二丝网印油SP2通过涂敷步骤12涂敷在经焙烧步骤11由第一丝网印油得到的第一连接层上。接着通过步骤13再将氧化铝蓝宝石置于其上。
最后,将形成的层状材料(Materialabfolg)经过一个随后的焙烧步骤14再在1300℃下彼此进行烧结。
图3以局部剖开的透视图方式描述了一个用于大功率半导体的壳体16。该壳体16有一个金属壳盖17,其通过一绝缘壁18与一个金属壳底19电绝缘。该壳盖17和壳底19由表面镀镍的铜制成。该壳盖17和该壳底19都各自成为一金属触头,且对此各具有一个伸入壳体内部的加厚部分20和22以安放该大功率半导体。经加厚部分20和22将一个作为大功率半导体的光激发闸流晶体管夹紧在壳盖17和壳底19之间。为使壳盖17与壳底19电压绝缘,该绝缘壁18由氧化铝陶瓷制成。
为激发该光激发闸流晶体管24,该壳盖17有一个孔27,其中安放了一块由氧化铝蓝宝石制成的窗(图3中不能见到)。在一条位于该壳盖17上的沟槽26中有一根光导管28通过,其出口终止在置于该孔27中的氧化铝蓝宝石窗之前。由该光导管28出来的光经氧化铝蓝宝石窗到达壳体16内部并触及到该光激发闸流晶体管24的光敏感位置。以这样的方式,经该光导管28发送一光脉冲而接通该光激发闸流晶体管24。
图4描述了图3中沿IV-IV线剖切的局部放大图。可以看到开有孔27的壳盖17。同样,可以看到终止在直接紧邻氧化铝蓝宝石窗的光导管28的出口。
该孔27在朝向壳体内部的一侧有一个直径更大一些的凹口30以接纳该窗29的固定材料。该氧化铝蓝宝石窗29设计成一个在其周边区与一空心圆柱形的、由氧化铝陶瓷制成的第一材料件31相连接的圆盘。该氧化铝陶瓷第一材料件再经一盘形的、由镍/铁合金制成的第二材料件32与壳盖17焊接。
该氧化铝蓝宝石窗29如图1所示复合材料那样经一第一连接层和一第二连接层35与该第一材料件固定连接(图4中未作进一步描述)。该氧化铝陶瓷第一材料件再经一金属焊剂(Metalllot)36与镍/铁合金材料件32焊接。最后该第二材料件32经一金属焊剂37与壳盖17焊接。各采用一种银/铜焊剂作为金属焊剂。
该氧化铝蓝宝石窗29的厚度为0.55毫米。该空心圆柱形第一材料件的壁厚为1.33毫米。该盘形第二材料件约0.25毫米厚。采用市场上可买到的商业名称为Vacodil的真空熔炼镍/铁合金作为第二材料件的镍铁合金。
通过将第一材料件31与第二材料件32成角度相连接,则在壳盖17受到温度交变应力而造成孔的直径减小或变大时,有可能使该两材料件31、32作相对运动。这样补偿了该窗29相对于该壳盖17金属的不同热膨胀系数。该氧化铝蓝宝石窗29与该壳盖17的连接保持真空密封,就是当壳盖以约600℃的焊接温度焊接在该绝缘壁18上时也是如此。
将图1的复合材料用于将氧化铝蓝宝石窗29安装在放置一光激发闸流晶体管的壳体的壳盖17上,首先可以使该窗29与该壳盖17形成一种持久的、真空密封的、能承受温度交变的连接,从而可使光经过窗耦合到壳体内部。这样就可以不必再费时地将该光导管引入到该壳体抽空的内部。
最后图5示出,图1所示的复合材料被用于直接将该氧化铝蓝宝石窗29置于氧化铝陶瓷绝缘壁18上。为此该绝缘壁1 8在合适的位置处切平,将该窗29安装在那里。
图5清楚地示出图3所示壳体16的绝缘壁18的氧化铝陶瓷40。该氧化铝蓝宝石窗29经一第一连接层3和一第二连接层4(如对图1所作说明那样)与氧化铝陶瓷40进行烧结。图1所示复合材料还可以在这样一种应用中将该氧化铝蓝宝石窗29与该壳体16绝缘壁18的氧化铝陶瓷形成一种可靠的、真空密封的、能承受温度交变的连接。这种相当简单的方式能再次不必将光导管引入到该光激发闸流晶体管的光敏感区的内部。

Claims (21)

1.一种真空密封的、承受温度交变的复合材料(1),其中一层氧化铝蓝宝石(2)和一层氧化铝陶瓷(5)经一第一连接层(3)和一第二连接层(4)而彼此烧结,其中该第一连接层(3)与该氧化铝陶瓷(5)相邻,且具有一第一锰硅酸盐玻璃,该第一锰硅酸盐玻璃至少包含有下述这组金属中的一种:钼、钨、钯和铂,其中该第二连接层(4)与氧化铝蓝宝石(2)相邻,且具有一第二锰硅酸盐玻璃。
2.按照权利要求1所述的复合材料(1),其中所述金属部分的总和在第一锰硅酸盐玻璃中占65%至85%的重量份额。
3.按照权利要求1或2所述的复合材料(1),其中所述第一锰硅酸盐玻璃包含一个直到6%重量份额的氧化铝和/或二氧化钛。
4.按照权利要求1至3中任一项所述的复合材料(1),其中所述第二锰硅酸盐玻璃包含有一个直到30%重量份额、尤其是从15%至25%重量份额的氧化铝和/或二氧化钛。
5.一种制造由一层氧化铝蓝宝石(2)和一层氧化铝陶瓷(5)构成的、真空密封的、承受温度交变的复合材料(1)的方法,其中
a)按照下述步骤制造一种第一丝网印油(SP1),
a1)通过将一种第一锰硅酸盐玻璃的粉末(G)与一种包含至少钼、钨、钯和铂这组金属中一种的粉末(M)进行混合的步骤(7),得到一种混合粉末(P),
a2)通过掺入步骤(9)在该混合粉末(P)中掺入一种悬浮剂(S)和/或粘结剂(K),
b)按照下述步骤制造一种第二丝网印油(SP2),
b1)通过掺入步骤(9)在一种第二锰硅酸盐玻璃的粉末(G)中掺入一种悬浮剂(S)和/或粘结剂(K),
c)通过将第一丝网印油(SP1)和第二丝网印油(SP2)作丝网印刷(10)制成一种按氧化铝陶瓷(5)、第一连接层(3)、第二连接层(4)、氧化铝蓝宝石(2)顺序的层状材料,
最后
d)在1200℃至1500℃下完成焙烧步骤(14)。
6.按照权利要求5所述的方法,其中所述至少一种金属的粉末(M)以所述混合粉末(P)的65%至85%重量份额掺入。
7.按照权利要求5或6所述的方法,其中向所述用于制造第一丝网印油(SP1)的锰硅酸盐玻璃粉末(G)中附加掺入一种可占到6%重量份额的氧化铝、二氧化钛和/或氢化钛。
8.按照权利要求5至7中任一项所述的方法,其中向所述用于制造第二丝网印油(SP2)的第一锰硅酸盐玻璃粉末(G)中掺入一种可占到30%重量份额、尤其是从15%至25%重量份额的氧化铝、二氧化钛和/或氢化钛。
9.按照权利要求5至8中任一项所述的方法,其中在将第一丝网印油(SP1)作丝网印刷(10)后,在1200℃至1500℃下完成一次单独的焙烧过程(11),并在将第二丝网印油(SP2)作丝网印刷(12)后,在1200℃至1500℃下完成一次单独的焙烧过程(11),或者其中在将第一丝网印油(SP1)作丝网印刷(10)后,在1200℃至1500℃下完成一次单独的焙烧过程(11),或者其中在将第二丝网印油(SP2)作丝网印刷(12)后,在1200℃至1500℃下完成一次单独的焙烧过程(11)。
10.按照权利要求5至9中任一项所述的方法,其中对所述第一锰硅酸盐玻璃或第二锰硅酸盐玻璃的粉末(G)采用平均粒度小于10微米、尤其小于2微米的粉末。
11.按照权利要求5至10中任一项所述的方法,其中所述粉末(M)采用平均粒度小于15微米、尤其小于5微米的粉末。
12.按照权利要求5至11中任一项所述的方法,其中采用植物油、尤其是萜品油作为悬浮剂(S)。
13.按照权利要求5至12中任一项所述的方法,其中采用乙基纤维素作为粘结剂(K)。
14.按照权利要求5至13中任一项所述的方法,其中所述第一丝网印油(SP1)的涂敷厚度为2至20微米。
15.按照权利要求5至14中任一项所述的方法,其中所述第二丝网印油(SP2)的涂敷厚度为2至200微米。
16.将权利要求1至5中任一项所述的复合材料(1)应用于将一块由氧化铝蓝宝石(2)制成的窗(29)安装在一放置光激发闸流晶体管(24)的壳体(16)上。
17.按照权利要求16所述的应用,其中所述壳体(16)具有一个在其上安装所述窗(29)的、由氧化铝陶瓷(5)制成的局部区域,其中所述窗(29)在其周边区经第一连接层(3)和第二连接层(4)与该氧化铝陶瓷(5)固定连接。
18.按照权利要求16所述的应用,其中所述壳体(16)具有一个在其上安装所述窗(29)的第一金属局部区域(17,19),其中所述窗(29)在其周边区经第一连接层(3)和第二连接层(4)与一个由氧化铝陶瓷(5)制成的第一材料件(31)固定连接,其中该第一材料件(31)经一金属焊剂(36)与该壳体局部区域(17)的第一金属固定连接。
19.按照权利要求16所述的应用,其中所述壳体(16)具有一个在其上安装所述窗(29)的第一金属局部区域(17,19),其中所述窗(29)在其周边区经第一连接层(3)和第二连接层(4)与一个由氧化铝陶瓷(5)制成的第一材料件(31)固定连接,其中该第一材料件(31)经一金属焊剂(36)与一个由第二金属构成的第二材料件(32)固定连接,且其中该第二材料件(32)经一金属焊剂(37)与该壳体局部区域(17)的第一金属焊接。
20.按照权利要求19所述的应用,其中采用铜作为第一金属,采用一种镍/铁合金作为第二金属。
21.按照权利要求19或20所述的应用,其中所述第一材料件(31)和第二材料件(32)彼此成角度连接形成一杠杆结构,使得在温度改变时所出现的第一金属局部区域(17)和所述氧化铝蓝宝石窗(29)的长度差通过第一材料件(31)和第二材料件(32)的相对运动而得到补偿,且在连接处不产生负荷。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100376038C (zh) * 2003-11-11 2008-03-19 优沛欧洲半导体产业有限两合公司 电子组件及其制造方法
CN101834220A (zh) * 2009-03-13 2010-09-15 因菲内奥双极技术有限责任两合公司 光电半导体部件
CN103864452A (zh) * 2012-12-10 2014-06-18 富泰华精密电子(郑州)有限公司 面板及其制造方法
CN111468713A (zh) * 2020-04-14 2020-07-31 湖南省国银新材料有限公司 一种电子烟雾化芯用镍浆及其制备方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3969987B2 (ja) * 2001-10-01 2007-09-05 Dowaホールディングス株式会社 セラミックスと合金の接合体
CN110972418B (zh) * 2018-09-30 2022-01-07 比亚迪股份有限公司 电子设备壳体、电子设备和复合体
CN113955942B (zh) * 2021-12-22 2022-03-15 广东简一(集团)陶瓷有限公司 一种高硬度釉料及其制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3590468A (en) * 1969-02-19 1971-07-06 Sperry Rand Corp Glassy phase method for making pure alumina-to-metal hermetic seals
DE1963286C3 (de) * 1969-12-17 1974-03-14 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Paste zur Herstellung von Dickfilmverdrahtungen
BE795682A (fr) * 1972-02-21 1973-08-20 Philips Nv Lampe a decharge dans le gaz a haute pression
DE3739628A1 (de) 1987-11-23 1989-06-01 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von mangansilikatpulver
DE3803227A1 (de) * 1988-02-04 1989-08-17 Hoechst Ceram Tec Ag Verfahren zum vakuumdichten verschliessen eines keramikrohres
DE4444681C2 (de) * 1994-11-26 1998-08-27 Schulz Harder Juergen Keramik-Substrat sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE19502006A1 (de) * 1995-01-24 1996-08-01 Heraeus Noblelight Gmbh Optisches Bauteil, insbesondere für einen Infrarotstrahler

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100376038C (zh) * 2003-11-11 2008-03-19 优沛欧洲半导体产业有限两合公司 电子组件及其制造方法
CN101834220A (zh) * 2009-03-13 2010-09-15 因菲内奥双极技术有限责任两合公司 光电半导体部件
CN101834220B (zh) * 2009-03-13 2014-07-09 因菲内奥双极技术有限责任两合公司 光电半导体部件
CN103864452A (zh) * 2012-12-10 2014-06-18 富泰华精密电子(郑州)有限公司 面板及其制造方法
CN103864452B (zh) * 2012-12-10 2015-10-21 富泰华精密电子(郑州)有限公司 面板及其制造方法
US9521790B2 (en) 2012-12-10 2016-12-13 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. Panel and method for manufacturing the same
CN111468713A (zh) * 2020-04-14 2020-07-31 湖南省国银新材料有限公司 一种电子烟雾化芯用镍浆及其制备方法
CN111468713B (zh) * 2020-04-14 2022-06-10 湖南省国银新材料有限公司 一种电子烟雾化芯用镍浆及其制备方法

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US7294408B2 (en) 2007-11-13
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US20040043225A1 (en) 2004-03-04

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