JP4521870B2 - 封止用機能性傾斜材料および管球 - Google Patents
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Description
層構成:絶縁層(SiO2100%)+緩衝層(SiO285%、Mo15%)+導電層(SiO270%、Mo30%) の3層構造円柱体
製造法:放電プラズマ焼結法(圧力40MPa、焼成温度1400℃、10分間)による。
[比較例1]
封止用機能性傾斜材料は、直径10mm、厚み45mmの円柱状をなしている(厚みは絶縁層および導電層が層10mm、緩衝層が5mm)。なお、%は、いずれも質量%を意味する。
層構成:絶縁層(SiO2100%)+緩衝層1(SiO295%、Mo5%)+緩衝層2(SiO290%、Mo1 0%)+緩衝層3(SiO285%、Mo15%)+緩衝層4(SiO280%、Mo20%)+緩衝層 5(SiO275%、Mo25%)+導電層(SiO270%、Mo30%)の7層構造円柱体
製造法:常圧焼結法(焼成温度1750℃、10分間)による。
[比較例2]
製造法:HIP焼結法(圧力14MPa、焼成温度1200℃、12時間)による。
その他は、比較例1と同じ。
次に、実施例1、比較例1および比較例2のクラック発生状況を図7に基づいて説明する。すなわち、各例ともサンプルを20個製作してクラックの有無を調査した。その結果、実施例1は、全数良品であったが、比較例1および比較例2はいずれも良品を得ることができなかった。なお、表中、常圧焼成法は比較例1、HIP法は比較例2、SPS法は実施例1を意味している。
層構成:絶縁層(SiO2100%)+導電層(SiO270%、Mo30%)の2層構造円柱体
製造法:放電プラズマ焼結法(圧力40MPa、焼成温度1400℃、10分間、冷却制御50℃/分)による。
Claims (3)
- 絶縁性の物質で封着機能を有する第1の層と、
絶縁性の物質および導電性の物質を有する第2の層とを具備し、
前記第1および第2の層内の絶縁物質を溶融させ、前記第1および第2の層を繋いでなることを特徴とする封止用機能性傾斜材料。 - 絶縁性の物質で封着機能を有する第1の層と、
絶縁性の物質および導電性の物質を有する第2の層と、
前記第1および第2の層の中間に配置し、絶縁性の物質および前記第2の層より混合比率の少ない導電性物質を有する中間層とを具備し、
前記第1および第2の層、前記中間層内の前記絶縁性物質をそれぞれ溶融させ、前記中間層を介して前記第1および第2の層を繋いでなることを特徴とする封止用機能性傾斜材料。 - 開口部を備えた気密容器と;
気密容器と同種の材料を主体とする第1の層を備え、当該第1の層の部位で気密容器の開口部を封止している請求項1または2記載の封止用機能性傾斜材料と;
気密容器の内部に封装され、かつ、前記封止用機能性傾斜材料の第2の層を経由して気密容器の外部から給電される管球作動部材と;
を具備していることを特徴とする管球。
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