CN1319181A - 压力检测器的安装结构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供提供一种压力检测器的安装结构,把隔膜型压力检测器组装到管路或机器等上设置的安装用具本体上时,可防止压力检测器的应力引起隔膜变形,避免组装后输出特性或温度特性较组装前的特性发生大的变动。为此,本发明为一种将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内,通过从上方向插装孔插入的推压部件,以气密状推压并固定该压力检测器,其中,推压部件与上述隔膜基座的本体部上面接触,密封片与隔膜基座的本体部下面接触,同时在上述本体部下面的与密封片接触的部位的内侧位置形成环状浅槽,推压部件推压所产生的变形由该浅槽吸收。

Description

压力检测器的安装结构
技术领域
本发明主要涉及利用传感器触头(感压元件)的压力检测器的安装结构的改进，特别是关于主要用于半导体制造设备的强腐蚀性气体供给系统等的压力检测器的安装结构。
背景技术
为了检测管路内的流体压力，长期以来，利用传感器触头(感压元件)或应变仪的隔膜型压力检测器已得到广泛使用。
图10及图11示出了以往隔膜型压力检测器结构的一个例子，是本申请人公开的特开平10-82707号和特愿平10-008841号公报。即是说，在图10及图11中，1是传感器基座，2是传感器触头(感压元件)，3是隔膜，4是隔膜基座，5是压力传递用媒体(硅油)，6是密封用球，7是导线销，8是焊接部，10是流体压力，流体压力10通过隔膜3及压力传递用媒体5施加给传感器触头2时，与来自形成传感器触头2的半导体压力应变仪的压力成比例的电压信号，通过导线销7向外部输出。
图12及图13示出了上述图10及图11所示的隔膜型压力检测器向管路上的安装结构的一个例子，另外，图14是图13的A部放大断面图。
在图12～图14中，11是安装用具本体，12、13是推压部件，14是轴承，15、16是夹具，17是金属密封片，借助于施加在推压部件12、13上的推压力，通过金属密封片17保持隔膜基座4和安装用具本体11之间的气密性。。另外，金属密封片17使用耐腐蚀性高、产生粉尘少的材料。
图10及图11所示结构的隔膜型压力检测器向管路等安装状态下的所谓死空间非常小，不仅具有气体置换性高的优点，而且，在隔膜3的接触气体的面上能够比较容易且无斑点地形成厚度均匀的所希望的钝态膜，因此，具有非常实用的效果。
另外，由于使用耐腐蚀性高、产生粉尘少的金属密封片17，所以，与从前使用O形圈把隔膜型压力检测器向管路等安装的情况相比较，可将O形圈腐蚀引起的故障消除到近乎为零。
现有技术的问题
但是，该隔膜型压力检测器要解决的问题也很多，其中最大的问题是向管路等安装时隔膜3的应力应变等引起的测定值的变动。
即是说，为了提高压力检测灵敏度，隔膜3的厚度应选定为0.05～0.06mm极薄的程度。结果，即使是如图12所示的形式，在隔膜基座4的本体部下面4f与金属密封片17的接触面接触的情况下，在拧入螺栓15时，在隔膜3上不可避免地要产生应力应变，由此，通过硅油5作用到传感器元件2上的应力发生大的变化。
例如，用隔膜3的厚度为0.05～0.06mm、内径约为10mmφ、检测压力为数Torr～7kgf/cm2abs的压力检测器进行试验，在施加到隔膜3上的压力P为Ps=7kgf/cm2abs程度的高压的场合，即使是把压力检测器向压力检测器安装用具本体11上组装时，与压力检测器处于自由状态下的情况相比较，在输出Vs(mv)及温度特性ZTC(％FS/℃)上差异很大。
然而，在降低施加到隔膜3上的压力P、例如Po=0kgf/cm2abs时，由于压力检测器的组装，输出Vo表现为5.2mv(组装前的输出16.66mv-组装后的输出21.86mv)以上的大的变动，同时，温度特性ZTC(％FS/℃)的值也有0.162～0.719的大的变动。即是说，从输出点出发，测定值的离散性过大，在温度特性上也有可补偿范围以外的大的变动，压力检测器出现了实用化的问题。
与此相对，在隔膜基座4的外周缘部的形式为图11所示的形式，如图14所示，隔膜基座4的本体部外周面4d与金属密封片17的周面17d以非接触状态紧固时，压力Po=0kgf/cm2abs时组装前、后的输出变动量ΔVo下降到约为±3.5mv以下的程度，同样地，温度特性ZTC(％FS/℃)的一方也变为0.052～0.259范围内的值，即使向实际管路等安装该检测器，通过给定的校正操作，也能满足充分实用化的要求。
在图13及图14的压力检测器的安装结构中，组装前后的输出变动量ΔVo比较小，在设置于隔膜基座4的边缘部4a的下面4c和隔膜基座4厚壁(约2mm)的本体部4b的外周面4d之间配设有密封片17，且密封片17的内周面17d和本体部4b的外周面4d处于非接触的状态，因而，即使传感器推压部件13通过传感器基座1及隔膜基座4把朝向下方的推压力作用在密封片17上，密封片17的上、下方向的反作用力也全部由隔膜基座4的边缘部4a承受。即是说，在与隔膜基座4的本体部4b一体形成的隔膜3上几乎没有作用连接时的变形应力。
发明要解决的问题
但是，上述压力检测器组装前后的输出变动量ΔVo或温度特性ZTC(％FS/℃)等越小越好，而在上述图14所示的以往结构的组装中，也存在着输出变动量ΔVo过大的诸多难点。
本发明的主要目的是，解决把上述特开平10-82707号和特愿平10-8841号公报所揭示的图10～图14所示构成的隔膜型压力检测器安装到实际管路等上的适当场合时出现的上述问题，即是说，解决把压力检测器组装到压力检测器安装用具本体上时产生隔膜应力应变的离散性所引发的输出或温度特性的大的变动、进一步使压力检测器的测量精度降低的问题，通过对安装压力检测器的压力检测器安装用具本体的安置结构进行改进，达到即使是在把压力检测器固定到安装用具本体上的场合、输出或温度特性处于自由状态下的输出或温度特性几乎不会产生差异的程度，而且，不会导致流体通路的死空间，使压力检测器适用于配管管路等。
发明的公开
为了解决上述发明的问题，权利要求1的发明为一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件12与上述隔膜基座4的本体部上面4e接触，密封片17与隔膜基座4的本体部下面4f接触，同时在上述本体部下面4f的与密封片17接触的部位的内侧位置形成环状浅槽18b，推压部件12推压所产生的变形由该浅槽18b吸收。
权利要求2的发明为一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，推压部件12与上述隔膜基座4的本体部上面4e接触，密封片17与隔膜基座4的本体部下面4f接触，同时在上述本体部上面4e的与推压部件12接触的部位的内侧位置形成环状浅槽18a，在上述本体部下面4f的与密封片¨接触的部位的内侧位置形成环状浅槽18b，推压部件12推压所产生的变形由该两个浅槽18a、18b吸收。
权利要求3的发明为一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，在上述安装用具本体11的插装孔11a的下方设置有第一台阶部19和第二台阶部20，该第二台阶部20的水平面20b与密封片17的下部接触面17b之间为密封部，另外，在上述压力检测器的传感器基座1与隔膜基座4的上方设置有边缘部1a及边缘部4a，两边缘部1a、4a对峙地组合并固定着，上述隔膜基座4的边缘部4a的下面4c与密封片17的上部接触面17a之间为密封部，再者，在上述传感器基座1的边缘部上面1b的内侧位置形成环状浅槽18c，在上述隔膜基座4的边缘部下面4c的内侧位置形成环状浅槽18d，同时上述密封片17是具有断面形状基本为矩形的上部接触面17a和下部接触面17b的金属制成的密封片17，推压部件13推压传感器基座1的边缘部上面1b所产生的变形由该两个浅槽18c、18b吸收。
除此之外，权利要求4的发明为一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其中，在上述安装用具本体11的插装孔11a的下方设置有第一台阶部19和第二台阶部20，该第二台阶部20的水平面20b与密封片17的下部接触面17b之间为密封部，另外，在上述压力检测器的传感器基座1上设置有边缘部1a，该边缘部1a与隔膜基座4的本体部上面4e对峙地组合并固定着，同时，从隔膜基座4的本体部下面4f向下方突出地形成密封面4g，该密封面4g与密封片17的上部接触面17a之间为密封部，再者，在上述传感器基座1的边缘部1a的上面1b的内侧位置形成环状浅槽18e，在上述隔膜基座4的本体部下面4f的内侧位置形成环状浅槽18f，在向下方突出的密封面4g的上方位置分别形成对峙状的环状浅槽18g、18h，同时，上述密封片17是具有断面形状基本为矩形的上部接触面17a和下部接触面17b的金属制成的密封片17，推压部件13推压传感器基座1的边缘部上面1b所产生的变形由该浅槽18e、18f、18g、18h吸收。
权利要求5的发明为在权利要求3或4的发明中，传感器基座1的边缘部1a的外周部分24及隔膜基座4的本体部4b的外周部分25为有高硬度的材料。
发明效果
在权利要求1及权利要求2的发明中，在隔膜基座4的本体部下面的内侧部分形成浅槽18b(或者在隔膜基座4的本体部上面及下面的内侧部分形成对峙状的浅槽18a、18b)，推压部件12在压力检测器安装固定时所产生的变形力由上述浅槽18b(或者浅槽18a、18b)吸收，因此，能更进一步减少发生在隔膜3上的应力应变，大幅度减少了安装固定前后的测定值的变动量。
在权利要求3的发明中，压力检测器安装用具本体的插装孔11a的下方形成有数个台阶部，同时，压力检测器的隔膜基座由边缘部和厚壁本体部形成，断面形状基本为矩形的密封片17配置在上述第二台阶部的周壁面和水平面及隔膜基座的边缘部下面形成的嵌合部内。结果，即使把传感器推压部件插入检测器插装孔内，朝下方推压传感器基座的边缘部上方，通过密封片17作用在隔膜基座4上的反作用力也会由隔膜基座4的边缘部4a与厚壁本体部4b全部承受，作用在与本体部4b为一体的隔膜3上的上述反作用力所引起的变形几乎不会产生。
因此，与权利要求2的情况同样地，与浅槽18c、18d的变形应力的吸收效果相结合，即使在流体低压区域也能尽力缩小向压力检测器安装用具本体安装前与安装后的输出或温度特性的变动，消除了实用上的障碍，使这种隔膜型压力检测器适用于配管管路等。
在权利要求4的发明中，由于在隔膜基座4的密封面4g的上方形成浅漕18g、18h，所以除了具有权利要求2的发明的作用与效果之外，还能获得由上述浅漕18g、18h吸收变形应力的效果，能更进一步减少安装前后的输出变动。
在权利要求5记载的发明中，由于推压部件13拧入力的作用部分的部件是高硬度部件，因而，能进一步减少拧入时应力引起的采料变形。结果，大幅度地减少了隔膜上产生的变形量，进一步减少了输出变动量。
本发明能得到上述优良的使用效果。
附图的简要说明
图1是本发明第一实施形式的压力检测器的断面概要图。
图2是本发明第二实施形式的压力检测器的断面概要图。
图3是本发明第二实施形式的压力检测器安装结构的局部放大断面图。
图4是本发明第三实施形式的压力检测器的断面概要图。
图5是本发明第三实施形式的压力检测器安装结构的局部放大断面图。
图6是本发明第四实施形式的压力检测器的断面概要图。
图7是本发明第四实施形式的压力检测器安装结构的局部放大断面图。
图8是本发明第五实施形式的压力检测器的断面概要图。
图9是本发明第五实施形式的压力检测器安装结构的局部放大断面图。
图10是表示以往压力检测器结构的一例的纵断面图。
图11是表示以往压力检测器结构的另一例的纵断面图。
图12是以往的图10所示压力检测器安装结构的纵断面图。
图13是以往的图11所示压力检测器安装结构的纵断面图。
图14是图13A部放大断面图。
符号的说明
1是传感器基座，1a是边缘部，1b是边缘部上面，1c是触头容纳部，1d是油注入孔，2是传感器触头，3是隔膜，4是隔膜基座，4a是边缘部，4b是本体部，4c是边缘部下面，4d是本体部外周面，4e是本体部上面，4f是本体部下面，4g是密封面，5是压力传递用媒体，6是密封用球，7是导线销，8是焊接部，10是流体压力，11是安装用具本体，11a是插装孔，12、13是推压元件，14是轴承，15、16是夹具，17是金属密封片，17a是上部接触面，17b是下部接触面，17c是密封片外周面，17d是密封片内周面，18a、18b是浅槽，18c、18d是浅槽，18e、18f是浅槽，18g、18h是浅槽，19是第一台阶部，20是第二台阶部，21是锥部，22是流体通路，23是焊接部，24是硬化部分(传感器基座)，25是硬化部分(隔膜基座)。
实施发明的形式
以下，参照附图说明本发明的实施形式。
第一实施形式
图1是本发明第一实施形式的压力检测器的断面概要图。
另外，在以下的说明中，与上述图10至图14中使用的部件相同的部件，采用了与之相同的参考符号。
图1中，1是传感器基座，2是传感器触头，3是隔膜，4是隔膜基座，5是压力传递用媒体，7是导线销，8是焊接部。
上述传感器基座1由不锈钢作成厚圆盘状，在其下面中央形成触头容纳部1c，另外，还设置有油注入孔1d和导线销贯装孔(图中未示)。
上述传感器触头(感压元件)使用公知的扩散形半导体压力转换器。即是说，传感器触头2具有受压力作用时产生变形的隔膜结构，用与IC相同的制造方法形成4个电阻件，通过加压使连接成桥状的4个电阻的电阻值产生变化，由此将与压力成比例的电压信号从桥的输出端输出。
上述隔膜3与隔膜基座4一体形成，用不锈钢作成厚度约为50μm、内径约为10mmφ的结构。该隔膜3的厚度可根据检测器的检测压力范围适当地变更，如果用以从数toor～7kgf/cm2的绝对压力值的测定为目的的本实施形式的压力检测器，则希望φ=10mm的隔膜3的厚度为50μm左右。
另外，隔膜3也可以与隔膜基座4单独形成，然后将两者焊接成一体化。
在隔膜3的接触气体的面上，采用公知的方法，进行所谓的钝态膜形成处理，在接触气体的面的外表层上形成厚度约200的大致100％的氧化铬组成的钝态膜、或厚度约1000～3000的氟化钝态膜、或者是以厚度约200为主的铝氧化物与铬氧化物的混合氧化钝态膜。
作为上述压力传递用媒体的硅油5把施加在隔膜3上的压力10传递给传感器触头2。另外，在这里，使用的是温度膨胀系数或压缩系数小且化学稳定的硅油。
上述密封用球6是用于密封油注入孔1d内的硅油5的，在这种结构中使用轴承钢球6。
上述压力检测器的结构是公知的，因此其详细的说明省略。
第一实施形式的隔膜型压力检测器如图1所示，在隔膜基座4的本体部4b的下面4f上形成所谓的变形释放用环状浅槽18b。
即是说，该浅槽18b在推压部件12及金属密封片17的接触部分的更内侧位置形成，其断面形状作成V形(倒U字形)或U形(倒V字形)，另外，其深度在隔膜基座4的厚度为1.5～2.5mm的情况下选定约0.3～0.5mm。
该浅槽18b的形状或其作用与下述第二实施形式的情况相同，因而，其说明省略。
第二实施形式
图2是本发明第二实施形式的压力检测器的断面概要图，另外，图3是本发明第二实施形式的压力检测器安装结构的局部放大断面图。
该第二实施形式的压力检测器除了设置浅槽18a这一点之外，基本上与第一实施形式的压力检测器相同。即是说，第二实施形式的压力检测器如图2所示，在隔膜基座4的本体部4b的上面4e与下面4f上形成所谓的变形释放用环状浅槽18a、18b，只有设置浅槽18a这一点与第一实施形式的压力检测器不同。
在图3中，11是安装用具本体，12是推压元件，14是轴承，15是夹具，17是金属密封片。参照图3，拧入夹具15时，通过推压部件12及金属密封片17把上、下方向的压缩力(上下方向的反作用力)施加到隔膜基座4的本体部4b的外侧部分。拧入夹具15时，由于施加到隔膜基座4的本体部4b上的上、下方向的压缩力的原因，如果隔膜3上作用有变形力时(例如产生上下方向的压缩力的分力，该分力作用在隔膜3上时)，即使是这样，由于通过以对峙状分别设置在上述隔膜基座4的本体部上面4e及本体部下面4f的浅槽18a、18b(或浅槽18b)使得该部分P的壁厚比较薄，因此，变形力所产生的变位在上述薄壁部P的附近被吸收。因此，变形力不会直接传递给隔膜3，结果，避免了隔膜3上所发生的变形。
第三实施形式
图4及图5是本发明第三实施形式的压力检测器的断面概要图及其安装结构的局部放大断面图。
在该第三实施形式中，在传感器基座1与隔膜基座4的上方分别形成边缘部1a和边缘部4a，在两边缘部1a、4a对峙的状态下，其外周为焊接部8。
上述隔膜基座4由环状本体部4b和边缘部4a形成，边缘部4a的下面4c如图4所示，是与密封片17的上部接触面17a接触的密封面。因此，边缘部4a的下面4c经加工成高精度的平滑面。
此外，在该第三实施形式中，分别选定隔膜基座4的直径为13mmφ，隔膜受压面的直径为11mmφ，隔膜3的厚度为0.06mm，钝态膜是厚度约为200的氧化铬皮膜，整体厚度为4mm，导线销为7根(里面1根是接地极)。向输入电路(图中省略)施加DC1.5mA的电流，通过施加在传感器元件(传感器触头)上的压力的变化，使传感器触头形成的4K(步)电阻值发生变化，输出端子间的输出电压V发生变化。
第三实施形式的压力检测器如图4所示，在传感器基座1的边缘部上面1b的靠近内侧的位置和隔膜基座4的边缘部下面4c的靠近内侧的位置分别形成浅槽18c、18d，前者的浅槽18c的断面形状为蝶形，后者的浅槽18d作成倒U字形(或倒V字形)。
该第三实施形式如图5所示，密封片17及压力检测器插入到不锈钢制成的安装用具本体11的插装孔11a内，用夹具(图中省略)通过推压部件13推压传感器基座1的边缘部上面1b，通过金属密封片17把压力检测器安装成气密状。
在安装用具本体11的上部中央形成圆筒形检测器插装孔11a，另外，该插装孔11a的底部沿第一台阶部19与第二台阶部20缩径，第一台阶部19的周壁面19a为推压部件13的导向面。另外，第二台阶部20的周壁面20a与密封片17的外周面17c接触，水平面20b与密封片17的下部接触面17b接触，由周壁面20a与水平面20b形成密封片17的嵌合部。
另外，第二台阶部20的水平面20b的内侧部分作成锥部21，插装孔11a的底面中央穿设有流体通路22。
上述密封片17为环状，其密封部的断面形状作成四角倒角的横长四边形。
密封片17的内周面17d处于与上述隔膜基座4的本体部4b的外周面4d非接触的状态。另外，密封片17的上部接触面17a与隔膜基座4的边缘部4a的下面4c相接触。另外，密封片17的外周面17c处于与第二台阶部20的周壁面20a相接触的状态。即是说，由隔膜基座4的边缘部下面4c及第二台阶部20的周壁面20a与水平面20b形成密封片17的嵌合部，检测器插装孔11a的第二台阶部20的周壁面20a与边缘部本体的外周面4d的间隔长度设定成和密封片17的横向宽度基本相同或稍大一些的长度。
在图5中，密封片17的外径为14.7mmφ，内径为13.0m，密封部的横幅为1.5mm，密封部的厚度(高度)为0.9mm，密封部的接触面17a、17b的横宽为0.8mm，另外，密封片17的材料使用SUS316L-P(w熔融)。
上述浅槽18c、18d的作用与图3所示的第二实施形式的情况相同，通过推压部件13施加的上下方向的压缩力(反作用力)所产生的变形由两个浅槽18c、18d及两者之间的薄壁部P吸收，由此，可避免把变形力直接施加到隔膜3上。
第四实施形式
图6及图7是本发明第四实施形式的压力检测器的断面概要图及其安装结构的局部放大断面图。
在该第四实施形式中，隔膜3与隔膜基座4单独形成，通过焊接部23使两者一体化。
另外，该第四实施形式，在隔膜基座4下面一侧形成密封面4g，该密封面4g处于从隔膜3朝下方位置突出的状态(即从隔膜基座4的本体部下面4f朝下方位置突出的状态)。在该突出的密封面4g上方的与隔膜安装水平基本相同的水平高度位置上对峙状形成断面为U字形(或V字形)的浅槽18g、18h。
另外，在传感器基座1的边缘部上面1b靠内侧的位置及隔膜基座4的本体部下面4f的中间位置分别形成断面为U字形(或V字形)的浅槽18e、18f。
该第四实施形式通过上述浅槽18e、18f也能吸收推压部件13作用在隔膜基座4上的上下方向的推压力所产生的变形力，更进一步减少夹具16拧入时直接作用在隔膜3上的变形力的影响。
第五实施形式
图8及图9是本发明第五实施形式的压力检测器的断面概要图及其主要部分的局部放大断面图。
第五实施形式的压力检测器的结构及其安装结构与上述图5及图6所示的第三实施形式的情况基本相同，但是，圆盘状的传感器基座1的边缘部1a的外周部分24及隔膜基座4的外周部分25(图8及图9虚线的外侧部分)作成经过硬化处理的高硬度部分。
由于传感器基座1及隔膜基座4的外侧部分为高硬度材料，因而，更进一步减少了推压部件13拧入时施加的上下方向的压缩力所产生的半径方向的变形力，同时，由浅槽18e～18f吸收该变形力，因而可进一步抑制隔膜3的变形。
另外，形成硬化部分24、25的结构也适用于上述图4及图5所示的压力检测器。
试验结果
根据采用上述第一及第二实施形式的压力检测器及其安装结构的试验，压力Po=0kgf/cm2·abs的组装前后的输出变动量ΔVo约为±2.0mv以下，与以往情况相比较，可将输出变动量ΔVo减少约30～35％左右。
另外，在第三实施形式的场合，上述输出变动量ΔVo约为±1.0mv以下，与以往情况相比较，可将输出变动量ΔVo减少约60～70％左右。
同样，在第四实施形式的情况下，上述输出变动量ΔVo可减少到约为±1.0mv以下。
另外，在第五实施形式的情况下，与第四实施形式的情况相比，很明显，能更进一步减少输出变动量ΔVo。

Claims (5)

1．一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其特征是，推压部件(12)与上述隔膜基座(4)的本体部上面(4e)接触，密封片(17)与隔膜基座(4)的本体部下面(4f)接触，同时在上述本体部下面(4f)的与密封片(17)接触的部位的内侧位置形成环状浅槽(18b)，推压部件(12)推压所产生的变形由该浅槽(18b)吸收。
2．一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其特征是，推压部件(12)与上述隔膜基座(4)的本体部上面(4e)接触，密封片(17)与隔膜基座(4)的本体部下面(4f)接触，同时在上述本体部上面(4e)的与推压部件(12)接触的部位的内侧位置形成环状浅槽(18a)，在上述本体部下面(4f)的与密封片(17)接触的部位的内侧位置形成环状浅槽(18b)，推压部件(12)推压所产生的变形由该两个浅槽(18a、18b)吸收。
3．一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其特征是，在上述安装用具本体(11)的插装孔(11a)的下方设置有第一台阶部(19)和第二台阶部(20)，该第二台阶部(20)的水平面(20b)与密封片(17)的下部接触面(17b)之间为密封部，另外，在上述压力检测器的传感器基座(1)与隔膜基座(4)的上方设置有凸缘部(1a)及凸缘部(4a)，两边缘部(1a、4a)对峙地组合并固定着，上述隔膜基座(4)的边缘部(4a)的下面(4c)与密封片(17)的上部接触面(17a)之间为密封部，再者，在上述传感器基座(1)的边缘部上面(1b)的内侧位置形成环状浅槽(18c)，在上述隔膜基座(4)的边缘部下面(4c)的内侧位置形成环状浅槽(18d)，同时上述密封片(17)是具有断面形状基本为矩形的上部接触面(17a)和下部接触面(17b)的金属制成的密封片(17)，推压部件(13)推压传感器基座(1)的边缘部上面(1b)所产生的变形由该两个浅槽(18c)、(18b)吸收。
4．一种压力检测器的安装结构，将具有隔膜的隔膜基座和内置有通过上述隔膜基座的变位驱动的传感器元件的传感器基座组合并固定在一起构成的压力检测器隔以密封片地插装在安装于配管管路或机械装置上的安装用具本体的插装孔内，通过从上方向插装孔插入的推压部件，以气密状推压并固定该压力检测器，其特征是，在上述安装用具本体(11)的插装孔(11a)的下方设置有第一台阶部(19)和第二台阶部(20)，该第二台阶部(20)的水平面(20b)与密封片(17)的下部接触面(17b)之间为密封部，另外，在上述压力检测器的传感器基座(1)上设置有边缘部(1a)，该边缘部(1a)与隔膜基座(4)的本体部上面(4e)对峙地组合并固定着，同时，从隔膜基座(4)的本体部下面(4f)向下方突出地形成密封面(4g)，该密封面(4g)与密封片(17)的上部接触面(17a)之间为密封部，再者，在上述传感器基座(1)的边缘部(1a)的上面(1b)的内侧位置形成环状浅槽(18e)，在上述隔膜基座(4)的本体部下面(4f)的内侧位置形成环状浅槽(18f)，在向下方突出的密封面(4g)的上方位置分别形成对峙状的环状浅槽(18g、18h)，同时，上述密封片(17)是具有断面形状基本为矩形的上部接触面(17a)和下部接触面(17b)的金属制成的密封片(17)，推压部件(13)推压传感器基座(1)的边缘部上面(1b)所产生的变形由该浅槽(18e)、(18f)、(18g)、(18h)吸收。
5．根据权利要求4所记载的压力检测器的安装结构，传感器基座(1)的边缘部(1a)的外周部分(24)及隔膜基座(4)的本体部(4b)的外周部分(25)为有高硬度的材料。
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