CN1308491C - 溶融盐电解装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种小型化，电绝缘性、气体密封性、相对热及气体的安全性优异的溶融盐电解装置。在设置电解由混合溶融盐构成的电解浴用的电解槽的溶融盐电解装置中，包括：加热及/或冷却前述电解槽主体用的第一热交换机构，相对于前述第一热交换机构、在进一步隔开一定的空间的外周上配置的将前述第一热交换机构密闭的外框，形成在前述外框内的减压乃至真空隔热层。进而，在要求电绝缘性和气体密封性的部位，配备电绝缘材料和气体密封件。

Description

溶融盐电解装置
【技术领域】
本发明涉及溶融盐电解装置，更详细地说，涉及能够小型化而且密封性能优异的溶融盐电解装置。
【背景技术】
例如，氟气在半导体制造领域是不可缺少的基础气体。同时，也有采用其本身时的情况，特别是，以氟气为基础合成的三氟化氮气体(下面称之为NF3)，作为半导体的清洗气体及干法蚀刻气体，其需求急剧增长。此外，氟化氖气体(下面称之为NeF气体)，氟化氪气体(下面称之为KrF气体)等，是在形成半导体集成电路的图形时使用的准分子激光器振荡用的气体，对于其原料，大多采用稀有气体和氟气的混合气体。
在半导体的制造中使用的氟气和NF3气体，要求杂质少的高纯度的气体。此外，在半导体等的制造现场，从填充氟气的气体瓶中取出所需量的气体使用。因此，气体瓶的保管场所，确保气体的安全性及保持纯度等的管理是极其重要的。进而，NF3气体，由于最近其需要急剧增加，所以，其供应能力十分紧迫，此外，作为地球变暖的对策及臭氧空洞的对策的一环，和其它大多数氟化物一样，存在着不能使用的问题。作为这些氟化物的替代品，正在形成利用多用途氟的环境。考虑到这些因素，与使用高压瓶装的氟气相比，在现场使用氟气发生装置，从安全的角度和提高气体供应的自由度的角度出发，是优选的。
通常，利用图6所示的电解槽发生氟气。电解槽主体201的材质，通常使用镍(下面称之为Ni)，蒙涅耳(モネル)，碳钢等。在电解槽主体201的外周上，配置将电解浴202的温度保持在能够进行电解的恒定的温度用的加热及/或冷却装置214。在电解槽主体201中，作为电解浴202装满氟化钾-氟化氢(下面称之为KF-HF系)的混合溶融盐。同时，利用由蒙涅耳等形成的间隔壁209，将电解槽主体201分隔成阳极室210和阴极室211。在容纳在该阳极室210的碳或Ni阳极203与容纳在阴极室211的Ni或铁构成的阴极204之间施加电压，将电解浴电解，使之发生氟气(例如，参照专利文献1：特表平9-505853号公报)。
【发明内容】
然而，在前述半导体制造工场等现场设置氟气发生装置的情况下，设置条件的制约很多，装置本身的小型化是非常重要的。为了将电解装置小型化，有必要重新审视对于电解装置的运转所必需的保持温度的热交换构件等的配置部位的情况。
通常，电解装置，为了保持电解条件恒定，对设置在电解装置的周围的加热器等加热装置进行温度控制将电解槽内的电解浴的温度保持恒定，同时，有必要利用设置在包含加热器在内的电解槽周围的隔热材料，以使电解槽的温度不发生急剧的变化的方式进行隔热，提高能量效率，并且通过不使外周的温度上升，防止操作人员的烫伤。一般地，作为隔热材料，使用石棉，氨基甲酸乙酯等，但它们不仅隔热性能不足，而且当隔热材料本身露出时，构成隔热材料的纤维和粉尘等颗粒会飞散到周围，造成工作循环方面的问题。
此外，在现有技术的工业用的电解槽中，作为电解槽内的气体发生部分的密封件，使用板状的密封件，防止电解槽外部的空气等周围气体向电解槽内的侵入以及电解槽内发生的氟气及氢等气体泄漏到电解槽的外部。但是，即使使用这样的板状密封件，也不能说能够充分保证气密性。此外，在电解用电极与端子的连接部分的电绝缘性方面，也不能说是足够的。
因此，本发明的目的是提供一种能够小型化的溶融盐电解装置。此外，本发明的目的是提供一种电解装置的电绝缘性、气密性、相对热及发生的气体安全性优异的溶融盐电解装置。
本发明者等人对电解槽自身的小型化、隔热部分即热交换部分的隔热构造、电绝缘性的提高、漏气性、操作安全方面进行反复深入的研究，完成了本发明。
即，本发明的溶融盐电解装置设有用于电解由混合溶融盐构成的电解浴的电解槽，包括：加热及/或冷却前述电解槽主体用的第一热交换机构，相对于前述第一热交换机构、在进一步隔开一定的空间的外周上配置的将前述第一热交换机构密闭的外框，形成在前述外框内的减压乃至真空的隔热层。
在本发明中，由于具有减压乃至真空隔热结构，所以，与石棉、氨基甲酸乙酯等隔热材料相比，大幅度降低热传导系数，能够将隔热层的厚度本身减薄。因此，可以将电解装置小型化，并且提高安全性，进而可以降低加热所需的热能的损失。此外，也不会产生颗粒。
在本发明中所说的热交换，指的是通过将电解槽主体进行加热、冷却或者两者交换热量。借此，通过将被加热或冷却的电解槽与第一热交换机构进行热结合，可以提高热交换效率。此外，作为减压乃至真空的大致标准，优选地，大约减压到10kPa～100Pa。当不低于10kPa时，不能充分防止由气体进行的热传导，隔热效率降低。此外，为了低于100Pa，需要另外设置庞大的设备，增加成本，因此，是不理想的。从而，更优选地，减压到10kPa～1kPa的范围内。
在本发明中，优选地，前述电解槽进一步配备将前述电解槽加热的第二热交换机构。
本发明中所说的第二热交换机构是指附加到只用第一热交换机构难以加热的部分上、或者附加到需要进一步进行精密的温度控制的部分上的加热、冷却或者能够进行它们的切换的热交换机构，例如，可以列举出设于电解槽底部上的加热构件，设置在HF供应配管等上的加热器等。
本发明设有用于电解由混合溶融盐构成的电解浴的电解槽，包括：加热及/或冷却前述电解槽主体用的第一热交换机构，在同时需要电绝缘性和气体密封性的前述电解槽的部位的电绝缘材料和气体密封件。
电绝缘材料可以列举出具有根据JIS K 6911的体积固有电阻(值)约106Ω·m以上的固有电阻的材料。此外，作为电绝缘材料，优选地，用对发生的氟气等发生气体具有耐腐蚀性的材料，可以列举出氟橡胶，聚四氟乙烯(PTFE)，PFA等氟树脂。通过将电绝缘材料夹持在电解槽与上盖之间，可以提高绝缘性。此外，作为气体密封件，与电绝缘材料一样，优选地，由对所发生的氟气以及HF气体等发生气体具有耐腐蚀性的材料构成，并且更优选地，用具有气密性和弹性的材料构成，可以列举出氟橡胶等。优选地，气体密封件设置在难以暴露在氟气、HF气体等的部位。此外，所谓具有气密性，是指在电解装置的使用压力1.1倍以上的气压下，将N2(氮)密封，保持24小时、在进行温度校正之后，压力变化满足±1％以下的条件。通过采用这种结构，由于可以抑制外部气体侵入电解槽，所以，能够提高发生气体的纯度。此外，由于通过电解电解浴发生的气体难以泄漏到电解槽的外部，所以，可以改进工作环境，提高安全性。
本发明设有用于电解由混合溶融盐构成的电解浴的电解槽，优选地，在同时需要电绝缘性和气体密封性的前述电解槽的部位，配备电绝缘材料和气体密封件。
通过采用这种结构，可以进一步提高电绝缘效果、气密性、发生气体的纯度、安全性。
在本发明中，优选地，在前述第一热交换机构上，在前述电解槽上形成热交换媒体流过的流路。
借此，由于热交换媒体循环，所以，能够高效率地加热或冷却前述电解槽，例如，可以更有效地除去为电解浴的原料的盐的熔融以及电解时产生的热量。
在本发明中，优选地，前述热交换媒体是电绝缘性高的流体。
通过采用这种结构，在电解槽主体构成阴极的情况下，可以防止从热媒体漏电。所谓电绝缘性高的流体，例如，可以列举出水(纯水及蒸馏水)，氟化油，硅油等液体，Ar气，He气等气体，但并不局限于此。此外，从容易获得的角度考虑，优选地使用水，更优选地使用纯水。
在本发明中，优选地，前述电解槽被容纳在上部敞开的箱体中。
箱体是为了从电解槽的外部将电解槽遮蔽起来设置的。箱体的材质，只要是对于由电解发生的气体、电解浴的成分具有耐腐蚀性及耐热性，没有特别的限制，例如，可以列举出不锈钢等金属，氟树脂(聚四氟乙烯)等。此外，作为设置箱体的场所，优选地，设置在能够防止电解浴泄漏的部位，例如，设置在电解槽的底部。
在本发明中，优选地，前述混合溶融盐包括氟化氢。
本发明由于形成减压乃至真空隔热层，效率提高，所以，与现有技术的使用一般的隔热材料的电解装置相比，可以小型化。从而，可以减少向外部散热，高效率地将电解槽加热，防止热交换机构产生的能量的浪费。此外，由于隔热层是减压乃至真空的，所以，在半导体制造工艺中，可以防止成为不良的主要原因之一的颗粒从隔热层中的飞散。此外，由于对气体密封件，电绝缘材料采取措施，所以，通过电绝缘性和气体密封性，可以获得纯度高的气体，并且能够降低所发生的气体的泄漏，能够在半导体制造工艺中，现场使用。
【附图说明】
图1是本实施形式的氟气发生装置的主要部分的简略说明图。
图2是表示外框的内部结构的电解槽的外观图。
图3是电解槽的剖面图。
图4是图3中A部分的放大剖面图。
图5是图3中B部分的放大剖面图。
图6是现有技术中使用的氟气发生装置的示意图。
【符号说明】
1   电解槽
1a  主体
2   电解浴
3   阳极室
4   阴极室
5   阳极
6   阴极
9   电绝缘材料
10  气体密封件
13  热交换机构
17  上盖
52  加热根据(第二热交换机构)
53  热水管(第一热交换机构)
53a 通路
54  外框
55  真隔热儿层(减压乃至真空隔热层)
56  热水
60  箱体
【具体实施方式】
下面，根据图1至图5说明根据本发明的氟气发生装置的实施形式的一个例子。图1是本实施形式的氟气发生装置的主要部分的简略说明图。图2是表示外框的内部结构的电解槽的外观图。图3是电解槽的剖面图。图4是图3中A部分的放大剖面图。图5是图3中B部分的放大剖面图。
图1表示氟气发生装置(溶融盐电解装置)的结构，1是电解槽主体1a和上盖17构成的电解槽，2是KF-HF系混合溶融盐构成的电解浴，3是阳极室，4是阴极室，5是阳极，6是阴极。22是从阳极室3发生的氟气的发生口。11是测量电解浴2中的温度的温度计，13是电解槽1的热交换机构，12是向热交换机构13供应热水的热水加热装置。51是构成热交换机构13的、设置在电解槽1的侧面上的热水套管，52是构成热交换机构13的、设于电解槽1的底面上的加热构件(第二热交换机构)。
电解槽1由Ni，蒙涅耳，不锈钢等金属形成。电解槽1的内部，被Ni或蒙涅耳构成的间隔壁16分割成位于电解槽1的中心部的阳极室3及阴极室4。在阳极室3内，配置阳极5，在阴极室4内设置阴极6。对于阳极，优选地使用低极化性碳电极。此外，作为阴极6，优选地使用将Ni成形体加工成规定形状的电极。
此外，在构成电解槽1的电解槽主体1a的上部的外周部上，形成与上盖17的周缘部连接的凸缘部1b。在该凸缘部1b与上盖17连接的凸缘部1b的侧面上，如图2及图3所示，周围设置凹形槽1c。
如图3及图4所示，上盖17用螺栓30安装固定到形成在凸缘部1b上的螺纹部31上，在螺栓30与上盖17之间，加装电绝缘性绝缘套管32。通过这样加装电绝缘性绝缘套管32，以5～30N·m的紧固转矩用螺栓30将上盖17和电解槽主体1a紧固，上盖17不会(从电学的角度)伤及绝缘树脂地被绝缘。此外，在凸缘部1b与上盖17之间，加装电绝缘材料9和气体密封件10。对于该气体密封件10，使用对氟气具有耐腐蚀性的氟橡胶制成的O环，配置在凸缘部1b的槽1c内。此外，在凸缘部1b的上盖17侧的表面上，以规定的间隔形成多个螺纹部31，用与其数目相同的螺栓30将上盖固定到凸缘部1b上。
此外，电绝缘材料9，在设于凸缘部1b的气体密封件10的内外周侧(图3中的左右两侧)，沿着凸缘部1b与上盖17的周缘部的面配置。作为构成该电绝缘材料9的材质，可以使用聚四氟乙烯(PTFE)等。
通过夹持电绝缘材料9和气体密封件10的方式将它们加装在上盖17和电解槽主体1a之间，可以很容易将上盖17从电解槽主体1a上卸下。此外，由于将气体密封件10夹入电解槽主体1a与上盖17之间，所以，电解槽1内的氟气及氢气、氟化氢等气体不会泄漏出去，并且可以防止外部气体侵入电解槽1。此外，利用电绝缘材料9将上盖17和电解槽主体1a电绝缘，不通电。
如图1所示，在电解槽1的上盖17上，设置从阳极室3发生的氟气的发生口22，从阴极室4发生的氢气的发生口23，供应HF的HF供应管线24的HF导入口25，分别检测阳极室3及阴极室4的内部压力的压力计7、8。
此外，如图5所示，在上盖17的大致中央部，形成将阳极5插入电解槽主体1a内的开口部35，设置覆盖该开口部35的盖体36。在该盖体36上，垂直地设置安装阳极5的连接棒37。在连接棒37的下端部上，形成截面为L形的安装部38，用穿过形成于阳极5的上端部上的通孔(图中未示出)的连接螺栓39固定到安装部38上。
在该盖体36与上盖17之间，配置与前述电绝缘材料9和气体密封件19相同材质的电绝缘材料9a和O环10a。这样，以夹持电绝缘材料9a和O环10a的方式将它们加装在盖体36和上盖17之间，电解槽1内的氟气及氢气、氟化氢等气体不会泄漏出来，可以防止外部气体侵入电解槽1内。此外，在盖体36的外表面上，进行绝缘喷涂，进一步在电连接部分(端子台)上被覆作为电绝缘的树脂制的被覆层，防止与外部短路。
设于上盖17上的气体发生口22、23，备有用不锈钢等对氟气具有耐腐蚀性的材料形成的管。此外，HF供应管线24由防止HF液化用的温度调整用加热器(第二热交换机构)24a覆盖。
图2所示的热交换机构13，由以卷绕到电解槽1的侧面外周的方式配置的热水套管51，及配置在电解槽1的底面上的加热构件(第二热交换机构)52构成。该热水套管51配备有：配置在电解槽1的侧面外周上、内部具有热媒体通过的通路53a(参照图3)的热水管(第一热交换机构)53，在相对于热水管53进一步隔开一定的空间的外周上，在密闭热水管53配置的外框54内形成的真空隔热层55。
热水管53，以沿水平方向围绕电解槽1的侧面外周的方式隔开一定的间隔配置，热水管53彼此之间用图中未示出的连接部连接，相互连通。此外，热水管53的材质，优选地为由热传导性良好的铜构成的金属管，但并没有特定的限制，例如，也可以采用铁，不锈钢，铝等金属制的管。
该热水管53的形状，如图2所示，如果是方管的话，由于能够获得与电解槽1的侧面的大的接触面积，所以，能够将热媒体所具有的热能高效率地传递给电解槽1，是优选地，但并没有特定的限制。例如，也可以采用圆管，三角形管，通过圆管的中心轴切成两半的半月形的管等。即，如果是半月形的管的话，当把半月形的管配置在电解槽1的侧面上时，获得在半月形管和电解槽1的外周的侧面之间形成的包含电解槽1的外周阻尼的通路。使后面描述的热媒体在该通路内流动，可以形成和热水管53相同的管路。
此外，热水管53，设置沿热水管53的长度方向以规定的间隔焊接到电解槽1的侧面上的焊接部，在沿热水管53的长度方向的焊接部彼此之间，附着具有高热传导率的密封件。这样，通过防止密封件，增大热水管53与电解槽1的侧面的接触面积，可以提高从热水管的热传导效率。
此外，前述半月形管也可以以规定的间隔在半月形管的长度方向设置焊接到电解槽1的侧面上的焊接部。同时，通过将前述密封件埋入焊接部彼此之间，在防止从前述通路泄漏热媒体的同时，可以将传递给半月形管的热媒体的热能像前述热水管53那样经由密封件传递给电解槽1。
此外，用图1所示的热水加热装置12加热的热媒体在热水管53的通路53a内循环。该热媒体由纯水构成，用热水加热装置12加热的热水56沿图2的箭头方向循环。
由于使热媒体在作为这种第一热交换机构的热水管53的通路53a内循环，所以，能够将第一热交换机构清洁地密闭。
此外，由于将纯水作为热媒体，所以，后面所述的阴极化的电解槽主体1a与热媒体处于(电)绝缘状态，可以防止该电解槽主体1a与热媒体之间发生电短路。即，如果是不含杂质的纯水的话，由于难以通电，所以，很难经由纯水从热水加热装置12导电，在电解槽主体1a和作为热媒体的纯水之间很难发生漏电。
此外，从与热水管53连接的热水加热装置12来的配管，通过配管本身是绝缘体或者经由绝缘体将连接配管彼此之间的连接部连接起来，可以将从热水加热装置来的配管进行电绝缘。此外，在本实施形式中，采用聚四氟乙烯(PTFE)制的软管作为配管。此外，由于配管的长度越大配管的电绝缘电阻越大，所以，可以使之具有10cm以上、优选地30cm以上的长度，将热水加热装置12与电解槽1连接起来。
此外，在外框54上设置图中未示出的单向阀，通过利用图1所示的减压机，从该单向阀由形成于外框54与热水管53之间的真空隔热层55中，将空气抽出，将真空隔热层55制成减压乃至真空的隔热层。从而，通过热媒体在热水管53的通路53a中的流动产生的热难以向外部散发，而且，可以利用与电解槽1连接的热水管53高效率地将电解槽1加热。此外，由于真空隔热层55是减压的乃至真空的，所以，在半导体制造工艺中，不会发生成为不良的原因之一的从隔热层产生的颗粒。因此，在半导体制造工艺中，能够在现场使用。此外，由于处于由外框54将热水管53包围的状态，所以，电解槽1的周围的气氛的温度不会上升，并保持清洁，可以防止操作者的烫伤等，提高安全性。
加热构件52，通过将配置在电解槽1的底面侧的橡胶制的绝缘层52a，以及在内部全面配置镍铬丝的加热层52b叠层制成板状。该加热构件52，从图中未示出的电源向镍铬丝通电，使该镍铬丝加热，利用该热量加热电解槽1的底面。从而，由加热构件52阻止从电解槽1的底面的散热。此外，由于加热构件52被制成板状，所以，可以稳定地设置在电解槽1的底面上。
此外，将纯水加热的热水供应给前述热水套管51的热水加热装置12，包括：将热水套管51内的热水加热的图中未示出的热媒体加热机构，以及，控制热媒体加热机构的图中未示出的温度控制装置。此外，热水加热装置12，连接到测量电解槽1内的电解浴2的温度的温度计11以及加热电解槽1内的电解浴2的热水套管51上，根据从温度计11来的温度信息将电解槽1的温度保持恒定，将热水56供应给热水套管51。
进而，当热水加热装置12具有压力调整功能时，可以在密闭的状态下，将热水加热装置12、热水管53及连接它们的配管连接起来。通过加热热水，从密闭连接的热水管53一直到热水加热装置12，在配管(热水管)内部的压力上升时，在热水加热装置12中该压力缓和。
此外，在冷却热水的情况下，内部的压力降低，但在这种情况下，热水加热装置12补充压力。通过具有这种功能，加热时热水不会蒸发减少，并且在冷却时配管内成为减压状态，空气等气体也不会侵入。
利用这种结构，由于无需补充热水等，所以，可以防止异物混入到热水中。其结果是，可以防止热水管53等的腐蚀。
这样，由于热水套管51具有减压乃至真空隔热结构，与石棉、氨基甲酸乙酯等隔热材料形成的隔热层相比，大幅度缩小热传导系数，可以将隔热层的厚度本身减薄。因此，可以将电解装置小型化，并且提高安全性，进而，可以减少加热所需的加热能量的损失。此外，也不会由隔热材料产生颗粒。
如上所述的电解槽1，如图1所示，被容纳在上部敞开的箱体60内。该箱体60具有比电解槽1的底面稍大的长方形形状的底面板61，比电解槽1的侧面稍大达到长方形形状的4个侧壁板62，在连接底面板61和4个侧壁板62的连接部上，从内侧加装密封件。由于在该连接部上加装密封件，所以，能够防止水等从箱体60中漏出。
箱体60的材质和形状没有特定的限制，只要能够容纳电解槽1a，当从热水套管51及热水加热装置12起的配管与热水套管51的连接部等处泄漏热水56时，热水不会扩散到配置电解槽1的部位即可。借此，可以防止从热水管53等来的作为热媒体的被加热的纯水(热水56)漏出到外部。
接着，对作为本实施形式的一个例子的氟气发生装置的动作进行说明。向电解槽1内的阳极5和阴极6上施加电压，在电解浴2被正常电解的状态，从阳极5发生氟气，从阴极6发生氢气。同时，从阳极5发生的氟气从阳极室3上部的氟气发生口22供应给管路。此外，从阴极6发生的氢气由阴极室4上部的氢气发生口23供应给管路。
而且，由于连续的电解，电解浴2减少时，图中未示出的液面检测机构动作，与之连动，从HF供应管路24通过HF供应口25向电解浴2供应HF。这样，用阳极5、阴极6电解电解浴2，当作为电解原料的HF减少时，相对于电解浴2供应HF地总是将电解浴中HF的浓度保持在最佳状态，总是获得相同的电解状态。
此外，为了高效率地用电解浴2进行电解，用热交换机构13经由电解槽1将电解浴2加热到最佳温度。利用监视该电解浴2中的温度的温度计11，加热供应给热水套管51的纯水的热水加热装置12，板状加热构件52将电解浴2保持在最佳温度。
此外，热水套管51由于由外框54形成减压乃至真空隔热层55，所以，能够将所发生的热能经由电解槽1的外周的侧面高效率地传递给(加热)电解浴2，并且可以防止热水套管51外周的温度上升。从而，在防止热交换机构13的外周气氛恶化的同时，防止由热交换13产生的能量的浪费，将电解浴2保持在恰当的温度，高效率地用阳极5和阴极6进行电解，总是能够制造氟气。
此外，以根据本发明的熔融盐电解装置利用电解发生氟气的氟气发生装置为中心进行说明，但根据本发明的熔融盐电解装置并不局限于前述氟气发生装置，在其它电解装置中使用本发明的技术思想时，也属于本发明的技术范畴。此外，将热水56供应给热水套管51的热水加热装置12，不仅加热热交换媒体(纯水)，也可以应用于加热及冷却热交换媒体。通过应用这种热水加热装置，可以很早进行电解槽1内的电解浴2的温度调整。

Claims (14)

1、一种溶融盐电解装置，设有用于电解由混合溶融盐构成的电解浴的电解槽，包括：
用于加热和/或冷却前述电解槽的主体的第一热交换机构，
相对于前述第一热交换机构在进一步隔开一定空间的外周上将前述第一热交换机构密闭地配置的外框，
形成在前述外框内的减压乃至真空的隔热层。
2、如权利要求1所述的溶融盐电解装置，其中，前述电解槽进一步包括加热前述电解槽主体的第二热交换机构。
3、如权利要求1所述的溶融盐电解装置，其中，所述溶融盐电解装置还包括在前述电解槽的同时需要电绝缘性和气体密封性的部位上的电绝缘材料和气体密封件。
4、如权利要求2所述的溶融盐电解装置，其中，所述溶融盐电解装置还包括在前述电解槽的同时需要电绝缘性和气体密封性的部位上的电绝缘材料和气体密封件。
5、如权利要求1至4中任一项所述的溶融盐电解装置，其中，前述第一热交换机构构成为在前述电解槽形成热交换媒体流动的流路。
6、如权利要求5所述的溶融盐电解装置，其中，前述热交换媒体是电绝缘性高的流体。
7、如权利要求1至4中任一项所述的溶融盐电解装置，其中，前述电解槽被容纳在上部敞开的箱体内。
8、如权利要求5所述的溶融盐电解装置，其中，前述电解槽被容纳在上部敞开的箱体内。
9、如权利要求6所述的溶融盐电解装置，其中，前述电解槽被容纳在上部敞开的箱体内。
10、如权利要求1至4中任一项所述的溶融盐电解装置，其中，前述混合溶融盐包含氟化氢。
11、如权利要求5所述的溶融盐电解装置，其中，前述混合溶融盐包含氟化氢。
12、如权利要求6所述的溶融盐电解装置，其中，前述混合溶融盐包含氟化氢。
13、如权利要求7所述的溶融盐电解装置，其中，前述混合溶融盐包含氟化氢。
14、如权利要求8所述的溶融盐电解装置，其中，前述混合溶融盐包含氟化氢。
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