CN1300860C - 氮化镓基发光二极管n型层欧姆接触电极的制作方法 - Google Patents
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Abstract
一种氮化镓基发光二极管N型层欧姆接触电极的制作方法,包括如下步骤:1)在蓝宝石衬底上的氮化镓基发光二极管的外延结构上用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法在设计的管芯的N电极区域刻蚀出直径或边长小于50μm的圆型或方形或任意形状的刻蚀孔,直到N型接触层;2)在P型氮化镓层上制备一层P型透明电极;3)在样品上蒸镀二氧化硅或氮化硅等绝缘膜;4)用光刻和腐蚀的方法将刻蚀或腐蚀出的N型层上的绝缘膜腐蚀掉,露出N型层,保留刻蚀孔侧墙面及台面上直径或边长约为100μm大小的绝缘膜;5)最后用光刻和蒸发或溅射的方法制备N电极,形成氮化镓基发光二极管的N型层欧姆接触接触电极。
Description
技术领域
本发明属于半导体技术领域,特别是指一种蓝宝石衬底上的氮化镓基发光二极管的N型层欧姆接触电极的制作方法。
背景技术
III-V族氮化镓(GaN)基化合物半导体及其量子阱结构发光二极管(LED)具有高可靠性、高效率、快速响应、长寿命、全固体化、体积小等优点,在大屏幕显示、交通灯信息指示,特别是用于白光照明领域具有巨大的应用市场。但是,由于蓝宝石衬底是绝缘的,在制做发光二极管时一般要采用刻蚀或腐蚀的方法将部分P型层和发光有源区刻蚀掉,露出N型接触层,然后制备N型电极,这种制做方法减小了有效的发光面积,同时会造成P型电极和N型电极不在同一平面,给压焊和倒装技术带来了难度,影响了封装的成品率。
发明内容
本发明的目的是在于,提供一种蓝宝石衬底上的氮化镓基发光二极管N型层欧姆接触电极的制作方法,这种方法可以增加发光二极管的发光面积,提高发光二极管的发光功率,使发光二极管的P型电极和N型电极在同一平面,为压焊封装和倒转焊技术提供方便。
本发明一种氮化镓基发光二极管N型层欧姆接触电极的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)在蓝宝石衬底上的氮化镓基发光二极管的外延结构上用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法在设计的管芯的N电极区域刻蚀出直径或边长小于50μm的圆型或方形或任意形状的刻蚀孔,直到N型接触层,该刻蚀或腐蚀出的刻蚀孔的侧墙面要求为正台面,该刻蚀孔的形状为圆形、方形或其他任意形状,圆形的直径或方形的边长应小于50μm,该刻蚀孔的位置只要位于N型电极的面积内即可,最佳位置位于N型电极的中心;
2)在P型氮化镓层上制备一层P型透明电极;
3)在样品上蒸镀二氧化硅或氮化硅绝缘膜,该薄膜的厚度为0.01-0.3μm,并有良好的绝缘性能;
4)用光刻和腐蚀的方法将刻蚀或腐蚀出的N型层上的绝缘膜腐蚀掉,露出N型层,保留刻蚀孔侧墙面及台面上直径或边长为100μm大小的绝缘膜;
5)最后用光刻和蒸发或溅射的方法制备N电极,形成氮化镓基发光二极管的N型层欧姆接触接触电极。
附图说明
为了进一步说明本发明的内容,以下结合实施的实例对本发明作一详细的描述,其中:
图1是蓝宝石衬底上氮化镓基发光二极管外延结构剖面示意图;
图2是显示在图1中刻蚀出一刻蚀孔的示意图;
图3是显示在图2中蒸镀二氧化硅或氮化硅薄膜的示意图;
图4是显示在图3中腐蚀后留下的绝缘薄膜示意图;
图5是显示在图4中蒸镀形成N电极后的示意图;
图6是显示在图5中制作P电极后的示意图;
图7是显示本发明的俯视图。
具体实施方式
请参阅图1所示,本发明氮化镓基发光二极管N型层欧姆接触电极的制作方法,其制作过程一般为在蓝宝石衬底10上用外延的方法形成N型GaN层11,有源层12和P型GaN层13。
首先在管芯设计的N电极位置刻蚀或腐蚀出直径30微米的刻蚀孔20,直到露出N型层11,并用光刻和蒸发或溅射的方法制备完成P型层透明电极21,如图2所示;
然后用CVD方法在氮化镓表面蒸镀0.10微米的二氧化硅薄膜30,如图3所示;
接着利用光刻和化学腐蚀的方法,刻蚀掉N型层11表面和N电极以外区域的绝缘膜30,保留的绝缘膜30的直径约100微米,稍大于N型层欧姆接触电极的直径。如图4所示。图中显示出了常规工艺中需要刻蚀掉的部分40。
再利用光刻的方法形成N型层欧姆接触电极的图形,用溅射或蒸发的方法蒸镀N型层欧姆接触电极的金属层50,最后利用退火方法形成良好的N型层欧姆接触电极。如图5所示。
最后用光刻的方法形成P型层压焊电极的图形,用溅射或蒸发的方法蒸镀并形成P型层压焊电极的金属层60,如图6所示。
图7是本发明的一个氮化镓基发光二极管管芯的俯视示意图,其P电极和N电极在同一个平面,而且增加了发光面积70,提高了二极管的发光功率。
本发明利用绝缘层来隔断N型层和P型层的导通,制作的氮化镓基发光二极管由于增加了发光面积,可以提高二极管的发光功率,其N型电极和P型电极在同一平面,为压焊封装和倒装焊封装提供了方便,可以提高管芯封装的成品率。
Claims (1)
1、一种氮化镓基发光二极管N型层欧姆接触电极的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)在蓝宝石衬底上的氮化镓基发光二极管的外延结构上用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法在设计的管芯的N电极区域刻蚀出直径或边长小于50μm的圆型或方形或任意形状的刻蚀孔,直到N型接触层,该刻蚀或腐蚀出的刻蚀孔的侧墙面要求为正台面,该刻蚀孔的形状为圆形、方形或其他任意形状,圆形的直径或方形的边长应小于50μm,该刻蚀孔的位置只要位于N型电极的面积内即可,最佳位置位于N型电极的中心;
2)在P型氮化镓层上制备一层P型透明电极;
3)在样品上蒸镀二氧化硅或氮化硅绝缘膜,该薄膜的厚度为0.01-0.3μm,并有良好的绝缘性能;
4)用光刻和腐蚀的方法将刻蚀或腐蚀出的N型层上的绝缘膜腐蚀掉,露出N型层,保留刻蚀孔侧墙面及台面上直径或边长为100μm大小的绝缘膜;
5)最后用光刻和蒸发或溅射的方法制备N电极,形成氮化镓基发光二极管的N型层欧姆接触接触电极。
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