CN1293365A

CN1293365A - 外观检查装置

Info

Publication number: CN1293365A
Application number: CN 00126000
Authority: CN
Inventors: 上口博司
Original assignee: Sokkia Co Ltd
Current assignee: Sokkia Co Ltd
Priority date: 1999-10-15
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2001-05-02
Anticipated expiration: 2020-10-12
Also published as: CN1200268C; JP2001116523A

Abstract

一种外观检查装置,因为在沿X－Y方向移动自如的显微镜部2上安装一个彩色TDI行传感器的现有的外观检查装置中红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分的受光面积成为单色TDI行传感器的受光面积的1/3,故为了缩短检查所需的节拍时间而不得不增加显微镜部的个数,存在着显微镜部的光轴调整等所需的工作量增加这样的问题。在一个显微镜部(2)上安装二向棱镜(3),分光成红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分,由各自的单色TDI行传感器(32)来接收所分光的各色成分,借此把显微镜部的个数减少到现有的1/3。

Description

外观检查装置

本发明涉及检查例如等离子体显示器或液晶板、或者CRT等彩色显示器的图形的外观检查装置。

在显示器的制造中有必要在制造工序的中途检查是否未产生图形中欠缺或溢出或者异物的附着这样的缺陷。因此例如用沿X-Y方向移动自如的显微镜部和安装在该显微镜的上部的一个单色TDI行传感器把图形的图像变换成电气信号的外观检查装置来检查。但是例如在等离子体显示器中在由相互平行的凸条隔开的各行中虽然流入发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料，但是即使在这种彩色等离子体显示器中分隔各行的凸条缺损而荧光材料流入相邻的区域产生混色，在仅备有一个单色TDI行传感器的外观检查装置中由于仅能检测辉度之差所以无法充分检查这种缺陷。因此，发表了用彩色TDI行传感器代替单色TDI行传感器的外观检查装置。

彩色TDI行传感器把单色TDI行传感器的受光面与各个三原色相对应地划分成三份，在所划分的部分中针对各三原色变换成电气信号。因此，针对各色的受光面积为单色TDI行传感器的1／3，受光量减少。因此，为了得到与单色TDI行传感器相同的受光量，不得不把显微镜部的移动速度比现有的外观检查装置减慢。可是，如果像这样减慢显微镜部的移动速度则延长一只彩色显示器的外观检查所需的节拍时间。因此提出了并列设置三个显微镜部，每个显微镜部上安装一个彩色TDI行传感器，缩短外观检查所需的节拍时间的外观检查装置。但是在安装多个显微镜部的场合，如果没有正确地设定各显微镜部的间隔，则存在着产生测定面积的一部分重复，反之产生未测定面积的危险。此外不得不针对各显微镜来调整光轴的倾斜或到被测定物的距离，或者受光平衡等，进而产生零件数增加这样的问题。

因此，本发明有鉴于上述问题，其课题在于提供一种不增加显微镜部的个数而能缩短彩色显示器的外观检查所需的节拍时间的外观检查装置。

为了解决上述课题，本发明的外观检查装置，其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物保持垂直的状态而相对于该被测定物沿X-Y方向移动自如的显微镜部，设在该显微镜部的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；而且，配置把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色的二向棱镜，并针对由该二向棱镜和带通滤光镜所分光的各个三原色配置单色行传感器。

虽然在用彩色TDI行传感器的现有的外观检查装置中针对各三原色仅能使用TDI行传感器的1／3的面积，但是像本发明这样通过用二向棱镜来分光能够在每种颜色中把单色DTI行传感器整个作为受光面来使用。虽然，即使现有的使用彩色DTI行传感器者，如果并列设置三个显微镜部，则也可以确保与本发明几乎相同面积的受光面，但是，不得不对三个显微镜部分别进行光轴调整。与此相反，在本发明中，由于相对于用彩色DTI行传感器的现有的检查装置，其显微镜部的个数为1／3就可以了，所以显微镜部的光轴调整所需的工作量可以削减到1／3。

图1是表示本发明的一个实施例的构成的图。

图2是表示二向棱镜周围的构成的图。

图3是表示本发明的第2实施例的构成的图。

图4是表示本发明的第3实施例的构成的图。

参照图1，1是本发明的外观检查装置。在外观检查装置1上设有水平工作台11，被测定物T放置在该工作台11上。被测定物T在本实施例中是用于等离子体显示器的背面板，在玻璃板上按100～300μm的间隔由凸条所分隔的各行内，依次流入一受到紫外线照射就发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料并固化之。在工作台11的上方设有沿Y方向往复自如的门型的滑块12。而且，在该滑块12上安装着沿X方向移动自如的显微镜2。该显微镜2竖直地安装，从上方照准被测定物T。在该显微镜2的目镜的上部安装着备有三个受光部31的二向部3。此外在显微镜2的背部安装着发出紫外线的光源4，来自该光源4的紫外线靠由光纤组成的导光部41照射于显微镜2的照准部分。由于在被测定物T上如上所述覆盖着发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料，所以靠来自光源4的紫外线而发出各色光，由显微镜2接收。

如图2中所示，在二向部3内内装着由三个棱镜34、35、36构成的二向棱镜。在棱镜34上覆盖着仅反射蓝(B)成分光的二向膜34a，在棱镜35上覆盖着仅反射红(R)成分光的二向膜35a。此外在三个受光部31B、31R、31G上分别安装着单色TDI(延时积分)行传感器32和带通滤光镜33B、33R、33G。因而显微镜2中所接收的光当中蓝(B)成分由二向膜34a所反射并从棱镜34穿过带通滤光镜33B，仅蓝(B)成分被TDI行传感器32所接收。接着红(R)成分被二向膜35a所反射并从棱镜35穿过带通滤光镜33R，仅红(R)成分被TDI行传感器32所接收。然后剩下的绿(G)成分穿过棱镜36并穿过带通滤光镜33G，仅绿(G)成分被配置在中央的TDI行传感器32所接收。因为各TDI行传感器32都是单色TDI行传感器，故可以使用TDI行传感器的受光面的整个范围把各成分的图像变换成电气信号。从各TDI行传感器输出的电气信号，可以原封不动地使用现有的备有一个单色TDI行传感器的外观检查装置中用的邻接比较法(例如参照特愿平10-219164号)等图像处理算法。但是在此一阶段作为即使仅是单色图像也能检测的误差的，欠缺或溢出、异物的附着等被检测。进而通过比较红(R)、绿(G)、蓝(B)的各单色图像数据，或者组合起来就可以检测起因于混色的误差。也就是说例如比较关于红(R)的单色图像数据与关于绿(G)的单色图像数据，在相同坐标位置处检测到误差的场合可以判断成红(R)的荧光材料与绿(G)的荧光材料混色了。

再者，虽然在上述实施例中水平地支承被测定物，但是也可以如图3中所示，把被测定物保持成大体上竖直的竖立状态，设置上下跨越被测定物T并沿水平方向往复移动自如的架台5，把显微镜部2保持成对被测定物T垂直的姿势而上下移动自如地安装于架台5上。此外，虽然在上述实施例中把被测定物T固定而使显微镜部2沿X-Y方向移动，但是也可以如图4中所示，设置固定架台6而使显微镜部2沿着该固定架台6沿X方向移动，并且把被测定物T放置在沿Y方向沿着纵长的导轨71往复移动自如的工作台7上。

可是，虽然因为上述被测定物是等离子体显示器用的背面板，故从光源4用紫外线来照射被测定物，使荧光材料发光，但是对于用于液晶板的板也可以从光源来照射白光，或者用玻璃板来构成工作台11或留下能够支承被测定物的周围的面积而把中心部挖通地构成工作台11，取为从工作台11的下方投射白光。此外，虽然在本实施例中用一个沿X-Y方向移动自如的显微镜，但是也可以为了进一步缩短节拍时间而用两个以上的显微镜。再者，即使是使用多个显微镜的场合也可以在各显微镜上安装三个单色TDI行传感器。此外，如果变更图像处理的算法则不限于TDI行传感器，也可以使用面积传感器或行传感器。

根据以上的说明可以明白，本发明由于针对红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分使用专用的单色TDI行传感器，所以与使用彩色TDI行传感器的现有者相比在确保相同的受光面积的场合显微镜部的个数可以是1／3，因此可以削减显微镜的光轴调整等所需的工作量。

Claims

1．一种外观检查装置(1)，其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物(T)保持垂直的状态而相对于该被测定物(T)沿X-Y方向移动自如的显微镜部(2)，设在该显微镜部(2)的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；而且，配置把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色的二向棱镜(3)，并针对由该二向棱镜(3)和带通滤光镜(33)所分光的各个三原色配置单色行传感器(32)。