CN1200268C - 外观检查装置 - Google Patents
外观检查装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1200268C CN1200268C CN 00126000 CN00126000A CN1200268C CN 1200268 C CN1200268 C CN 1200268C CN 00126000 CN00126000 CN 00126000 CN 00126000 A CN00126000 A CN 00126000A CN 1200268 C CN1200268 C CN 1200268C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- microscope
- line sensor
- determinand
- monochromatic
- inspection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 6
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 241001062009 Indigofera Species 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 235000019239 indanthrene blue RS Nutrition 0.000 description 1
- UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N indanthrone blue Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=C4NC5=C6C(=O)C7=CC=CC=C7C(=O)C6=CC=C5NC4=C3C(=O)C2=C1 UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
一种外观检查装置，因为在沿X-Y方向移动自如的显微镜部2上安装一个彩色TDI行传感器的现有的外观检查装置中红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分的受光面积成为单色TDI行传感器的受光面积的1/3，故为了缩短检查所需的节拍时间而不得不增加显微镜部的个数，存在着显微镜部的光轴调整等所需的工作量增加这样的问题。在一个显微镜部(2)上安装二向棱镜(3)，分光成红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分，由各自的单色TDI行传感器(32)来接收所分光的各色成分，借此把显微镜部的个数减少到现有的1/3。
Description
技术领域
本发明涉及检查例如等离子体显示器或液晶板、或者CRT等彩色显示器的图形的外观检查装置。
背景技术
在显示器的制造中有必要在制造工序的中途检查是否未产生图形中欠缺或溢出或者异物的附着这样的缺陷。因此例如用沿X-Y方向移动自如的显微镜部和安装在该显微镜的上部的一个单色TDI行传感器把图形的图像变换成电气信号的外观检查装置来检查。但是例如在等离子体显示器中在由相互平行的凸条隔开的各行中虽然流入发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料，但是即使在这种彩色等离子体显示器中分隔各行的凸条缺损而荧光材料流入相邻的区域产生混色，在仅备有一个单色TDI行传感器的外观检查装置中由于仅能检测辉度之差所以无法充分检查这种缺陷。因此，发表了用彩色TDI行传感器代替单色TDI行传感器的外观检查装置。
彩色TDI行传感器把单色TDI行传感器的受光面与各个三原色相对应地划分成三份，在所划分的部分中针对各三原色变换成电气信号。因此，针对各色的受光面积为单色TDI行传感器的1/3，受光量减少。因此，为了得到与单色TDI行传感器相同的受光量，不得不把显微镜部的移动速度比现有的外观检查装置减慢。可是，如果像这样减慢显微镜部的移动速度则延长一只彩色显示器的外观检查所需的节拍时间。因此提出了并列设置三个显微镜部，每个显微镜部上安装一个彩色TDI行传感器，缩短外观检查所需的节拍时间的外观检查装置。但是在安装多个显微镜部的场合，如果没有正确地设定各显微镜部的间隔，则存在着产生测定面积的一部分重复，反之产生未测定面积的危险。此外不得不针对各显微镜来调整光轴的倾斜或到被测定物的距离，或者受光平衡等，进而产生零件数增加这样的问题。
发明内容
因此，本发明有鉴于上述问题，其课题在于提供一种不增加显微镜部的个数而能缩短彩色显示器的外观检查所需的节拍时间的外观检查装置。
为了解决上述课题，本发明的外观检查装置，其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物保持垂直的状态而相对于该被测定物沿X-Y方向移动自如的显微镜部，设在该显微镜部的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的单色行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；而且，配置把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色的实施有二向膜的棱镜，并针对由该实施有二向膜的棱镜和带通滤光镜所分光的各个三原色配置单色行传感器。
虽然在用彩色TDI行传感器的现有的外观检查装置中针对各三原色仅能使用TDI行传感器的1/3的面积，但是像本发明这样通过用二向棱镜来分光能够在每种颜色中把单色DTI行传感器整个作为受光面来使用。虽然，即使现有的使用彩色DTI行传感器者，如果并列设置三个显微镜部，则也可以确保与本发明几乎相同面积的受光面，但是，不得不对三个显微镜部分别进行光轴调整。与此相反，在本发明中，由于相对于用彩色DTI行传感器的现有的检查装置，其显微镜部的个数为1/3就可以了，所以显微镜部的光轴调整所需的工作量可以削减到1/3。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施例的构成的图。
图2是表示二向棱镜周围的构成的图。
图3是表示本发明的第2实施例的构成的图。
图4是表示本发明的第3实施例的构成的图。
具体实施方式
参照图1，1是本发明的外观检查装置。在外观检查装置1上设有水平工作台11，被测定物T放置在该工作台11上。被测定物T在本实施例中是用于等离子体显示器的背面板，在玻璃板上按100～300μm的间隔由凸条所分隔的各行内，依次流入一受到紫外线照射就发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料并固化之。在工作台11的上方设有沿Y方向往复自如的门型的滑块12。而且，在该滑块12上安装着沿X方向移动自如的显微镜2。该显微镜2竖直地安装，从上方照准被测定物T。在该显微镜2的目镜的上部安装着备有三个受光部31的二向部3。此外在显微镜2的背部安装着发出紫外线的光源4，来自该光源4的紫外线靠由光纤组成的导光部41照射于显微镜2的照准部分。由于在被测定物T上如上所述覆盖着发出红(R)、绿(G)、蓝(B)各色光的荧光材料，所以靠来自光源4的紫外线而发出各色光，由显微镜2接收。
如图2中所示，在二向部3内内装着由三个棱镜34、35、36构成的二向棱镜。在棱镜34上覆盖着仅反射蓝(B)成分光的二向膜34a，在棱镜35上覆盖着仅反射红(R)成分光的二向膜35a。此外在三个受光部31B、31R、31G上分别安装着单色TDI(延时积分)行传感器32和带通滤光镜33B、33R、33G。因而显微镜2中所接收的光当中蓝(B)成分由二向膜34a所反射并从棱镜34穿过带通滤光镜33B，仅蓝(B)成分被TDI行传感器32所接收。接着红(R)成分被二向膜35a所反射并从棱镜35穿过带通滤光镜33R，仅红(R)成分被TDI行传感器32所接收。然后剩下的绿(G)成分穿过棱镜36并穿过带通滤光镜33G，仅绿(G)成分被配置在中央的TDI行传感器32所接收。因为各TDI行传感器32都是单色TDI行传感器，故可以使用TDI行传感器的受光面的整个范围把各成分的图像变换成电气信号。从各TDI行传感器输出的电气信号，可以原封不动地使用现有的备有一个单色TDI行传感器的外观检查装置中用的邻接比较法(例如参照特愿平10-219164号)等图像处理算法。但是在此一阶段作为即使仅是单色图像也能检测的误差的，欠缺或溢出、异物的附着等被检测。进而通过比较红(R)、绿(G)、蓝(B)的各单色图像数据，或者组合起来就可以检测起因于混色的误差。也就是说例如比较关于红(R)的单色图像数据与关于绿(G)的单色图像数据，在相同坐标位置处检测到误差的场合可以判断成红(R)的荧光材料与绿(G)的荧光材料混色了。
再者，虽然在上述实施例中水平地支承被测定物，但是也可以如图3中所示，把被测定物保持成大体上竖直的竖立状态，设置上下跨越被测定物T并沿水平方向往复移动自如的架台5，把显微镜部2保持成对被测定物T垂直的姿势而上下移动自如地安装于架台5上。此外，虽然在上述实施例中把被测定物T固定而使显微镜部2沿X-Y方向移动，但是也可以如图4中所示，设置固定架台6而使显微镜部2沿着该固定架台6沿X方向移动，并且把被测定物T放置在沿Y方向沿着纵长的导轨71往复移动自如的工作台7上。
可是，虽然因为上述被测定物是等离子体显示器用的背面板，故从光源4用紫外线来照射被测定物，使荧光材料发光，但是对于用于液晶板的板也可以从光源来照射白光，或者用玻璃板来构成工作台11或留下能够支承被测定物的周围的面积而把中心部挖通地构成工作台11，取为从工作台11的下方投射白光。此外，虽然在本实施例中用一个沿X-Y方向移动自如的显微镜，但是也可以为了进一步缩短节拍时间而用两个以上的显微镜。再者，即使是使用多个显微镜的场合也可以在各显微镜上安装三个单色TDI行传感器。此外，如果变更图像处理的算法则不限于TDI行传感器，也可以使用面积传感器或行传感器。
根据以上的说明可以明白，本发明由于针对红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分使用专用的单色TDI行传感器，所以与使用彩色TDI行传感器的现有者相比在确保相同的受光面积的场合显微镜部的个数可以是1/3，因此可以削减显微镜的光轴调整等所需的工作量。
Claims (1)
1.一种外观检查装置(1)，其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物(T)保持垂直的状态而相对于该被测定物(T)沿X-Y方向移动自如的显微镜部(2)，设在该显微镜部(2)的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的单色行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；针对由包含棱镜(34、35)的二向部(3)、棱镜(36)和带通滤光镜(33)所分光的各个三原色配置单色行传感器(32)，该棱镜(34、35)实施有二向膜，把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29382999A JP2001116523A (ja) | 1999-10-15 | 1999-10-15 | 外観検査装置 |
| JP293829/1999 | 1999-10-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1293365A CN1293365A (zh) | 2001-05-02 |
| CN1200268C true CN1200268C (zh) | 2005-05-04 |
Family
ID=17799708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 00126000 Expired - Fee Related CN1200268C (zh) | 1999-10-15 | 2000-10-12 | 外观检查装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001116523A (zh) |
| CN (1) | CN1200268C (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI238922B (en) * | 2002-09-19 | 2005-09-01 | Toshiba Matsushita Display Tec | Manufacturing method of optical device and the defect detection tool used by the same |
| TWI467139B (zh) * | 2011-01-21 | 2015-01-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 輝度測試裝置 |
| CN103471507B (zh) * | 2013-09-29 | 2016-10-26 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种双光学系统闪测影像设备 |
| CN104977306A (zh) * | 2014-04-08 | 2015-10-14 | 上海微电子装备有限公司 | 一种表面缺陷检测系统及方法 |
| KR101802843B1 (ko) * | 2016-04-27 | 2017-11-29 | 주식회사 아신기술 | 자동 비전 검사 시스템 |
| KR102018896B1 (ko) * | 2017-11-20 | 2019-09-06 | 인곡산업 주식회사 | 엔드밀 치핑을 검사하는 비전검사장치 플랫폼 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08223408A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サンプリング周波数変換回路 |
| JP3384713B2 (ja) * | 1997-06-25 | 2003-03-10 | 株式会社日立製作所 | プラズマディスプレイパネル検査方法 |
| JPH11132720A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 点欠陥検出装置及び方法 |
| JPH11237210A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Komatsu Ltd | 半導体パッケージの検査装置 |
-
1999
- 1999-10-15 JP JP29382999A patent/JP2001116523A/ja active Pending
-
2000
- 2000-10-12 CN CN 00126000 patent/CN1200268C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001116523A (ja) | 2001-04-27 |
| CN1293365A (zh) | 2001-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1114100C (zh) | 采用红外和极化可见光对透明容器进行光学检查的方法和装置 | |
| US6633375B1 (en) | Method and device for optically examining structured surfaces of objects | |
| EP0619484B1 (en) | Optical illumination and inspection system for wafer and solar cell defects | |
| US6346966B1 (en) | Image acquisition system for machine vision applications | |
| KR101401146B1 (ko) | 미세 전도체를 가지는 패터닝된 장치를 검사하는 시스템 및방법 | |
| US20010030744A1 (en) | Method of simultaneously applying multiple illumination schemes for simultaneous image acquisition in an imaging system | |
| KR100495608B1 (ko) | 큰 표면의 페인에서 광학 오차의 검출방법 | |
| CN207992080U (zh) | 液晶模组外观检测装置 | |
| JP3762952B2 (ja) | 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 | |
| US6509967B1 (en) | Method for detecting optical errors in large surface panels | |
| US5400135A (en) | Automatic defect inspection apparatus for color filter | |
| CN103069436A (zh) | 照明系统 | |
| CN105486690A (zh) | 光学检测装置 | |
| CN1200268C (zh) | 外观检查装置 | |
| WO2020232618A1 (zh) | 一种基于密集独立光源的表面瑕疵检测设备 | |
| CN100464210C (zh) | 反射率测定装置、反射率测定方法及显示面板的制造方法 | |
| CN205103181U (zh) | 一种透明片状产品外观缺陷成像系统 | |
| CN208984513U (zh) | 用于检测透明基板缺陷的图像采集系统 | |
| CN210323556U (zh) | 一种基于光谱共焦的成像检测装置 | |
| CN1038960C (zh) | 分色棱镜的透射率测量装置 | |
| US6433873B1 (en) | Image-splitting color meter | |
| JPH08166514A (ja) | 斜光照明装置 | |
| WO2011152605A1 (ko) | 평판패널 검사장치 | |
| CN110146512A (zh) | 一种基于密集独立光源的表面瑕疵检测设备 | |
| CN1715887A (zh) | 彩色滤光片的检测方法和设备以及液晶显示面板的检测设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |