CN1226719C - 磁盘驱动器用悬挂装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及内置于例如个人用计算机等的信息处理装置的磁盘驱动器用悬挂装置。该装置具有兼作托架臂的支撑板装置(3、7)，具有刚体部(13)及弹簧部(15)并将负荷荷重施加到其前端的触头(49)上的承载板，其特征是，在该装置中，支撑板装置(3、7)至少由两层板(3、7)形成，板(3、7)的至少一方(7)的板厚t2可通过蚀刻处理形成高精度的孔，在具有板厚t2的板(7)上形成枢轴孔(31)，在另一方的板(3)上形成与枢轴孔(31)大致同心而直径比枢轴孔(31)更大的转动配合孔。这样，可提高长底板部分的平面度和枢轴孔的精度。

Description

磁盘驱动器用悬挂装置

技术领域

本发明涉及例如内置于个人计算机等信息处理装置中的磁盘驱动器用悬挂装置。

背景技术

至今，磁盘驱动器用悬挂装置(以下，简称悬挂装置)的底板焊接在承载板的一端，底板用于将悬挂装置安装在托架臂上。这些悬挂装置配置在托架臂和各磁盘的表面之间的垂直方向，使整体高度较高，使其小型化受到限制。

对此，有如日本特许第3089360号所记载的图16、图17的方案。如图16、图17所示，该装置是将承载板105焊接在悬挂装置101的长底板103上。长底板103具有枢轴孔107。该枢轴孔107同未图示的托架轴承高精度地配合并由轴支承。因此，就该图16、图17的例子而言，长底板103兼作上述现有的托架臂，相对于磁盘109，悬挂装置101的整体高度可降低，可实现更加小型化。

发明内容

然而，在上述现有的结构中，由于将枢轴孔107直接设置在长底板103上，存在因长底板103的平面度带来的问题。即，长底板103如上所述，由于兼作托架臂就必须确保其刚性，需要有一定程度的板厚。因此，用蚀刻处理形成枢轴孔107时，由于其精度有限必须在包含枢轴孔的情况下将长底板103正体压制成形。

因此，由于压制成形后的残余变形，存在因长底板103的平面度带来问题的危险。

本发明的目的就在于提供一种磁盘驱动器用悬挂装置，它可以具有高精度的枢轴孔的同时提高长底板本身的平面度。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第一技术方案是，该装置具有将轴支承在托架的支持部并兼作托架臂的支撑板装置和至少具有刚体部并弹性地支承在上述支撑板装置上而将负荷荷重加在其前端的触头上的承载板，其特征是，在该装置中，上述支撑板装置至少由两层板形成，该板的至少一方的厚度可通过蚀刻处理形成高精度的孔；在上述一方的板上，形成同上述支持部配合的枢轴孔；在上述另一方的板上，形成同上述枢轴孔大致同心的比上述枢轴孔更大的转动配合孔或者与上述枢轴孔既同心又同直径的枢轴孔。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第二技术方案是，在上述第一技术方案中，其特征是，上述另一方的板由树脂层和金属层组成，将上述树脂层夹在上述一方的板和上述金属层之间，从而将上述支撑板装置做成三层结构。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第三技术方案是，在上述第一或第二技术方案中，其特征是，上述一方的板同上述另一方的板一起构成上述长底板。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第四技术方案是，在上述第三技术方案中，其特征是，具有将承载板的刚体部支承在上述支撑板装置上的弹簧部件，上述弹簧部件的一端部重叠在上述刚体部的端部并予固定，上述弹簧部件的另一端部重叠在上述长底板的端部并予固定。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第五技术方案是，在上述第三技术方案中，其特征是，上述承载板具有刚体部及将刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部并用一张板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述长底板的端部并予固定。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第六技术方案是，在上述第一或第二技术方案中，其特征是，上述一方的板与上述承载板做成一体，上述另一方的板构成上述长底板。

本发明的磁盘驱动器用悬挂装置的第七技术方案是，在上述第一、第二或第三技术方案中，其特征是，将上述刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部与上述一方的板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述弹簧部的端部并予固定。

若使用本发明的第一方案，由于支撑板装置至少由两层板形成，该板的至少一方的板厚可通过蚀刻处理形成高精度的孔，因而可通过蚀刻处理在上述一方的板上形成上述枢轴孔。从而，可提高枢轴孔的精度。

而且，即使另一方的板厚较厚，由于将比枢轴孔大的转动配合孔设置得与枢轴孔大致同心，转动配合孔的精度要求不高，因而，另一方的板也可通过蚀刻处理来成形。另外，当另一方的板的板厚也可通过蚀刻处理来成形高精度的孔时，另一方的板也可通过蚀刻处理来成形从而得到高精度的枢轴孔。

这样，高精度的枢轴孔与托架的支持部之间的高精度的配合，可以使轴获得高精度的支承。另外，由于支撑板装置至少两层板中的任何一层可通过蚀刻处理成形，可提高支撑板装置方面的平面度。

若使用本发明的第二方案，除了第一方案的效果之外，由树脂层和金属层组成，将上述树脂层夹在上述一方的板和上述金属层之间，从而将上述支撑板装置做成三层结构，因此相对于一方的板的主振动系统，由另一方的板的树脂层的弹簧常数及衰减和金属层的质量构成付振动系统，可以提高磁盘驱动器用悬挂装置整体的振动特性。

若使用本发明的第三方案，除了第一或第二方案的效果之外，上述一方的板由于可以同上述另一方的板一起构成上述长底板，便可通过蚀刻处理成形构成长底板的板，可提高枢轴孔的精度，可与托架的支持部之间以高精度配合并以轴支承。另外，可提高长底板的平面度。

若使用本发明的第四方案，除了第三方案的效果之外，由于具有将承载板的刚体部支承在上述支撑板装置的弹簧部件，上述弹簧部件的一端部重叠在上述刚体部的端部并予固定，上述弹簧部件的另一端部重叠在上述长底板的端部并予固定，相对于承载板的刚体部，弹簧部可通过另外的部件构成。因此，咳分别选定适合于刚体部及弹簧部的材料和板厚，使同时确保刚体部所要求的性能(例如高刚性)和弹簧部所要求的性能(例如低弹簧常数)变得容易。通过对弹簧部件采用高精度的材料，可得到稳定的低弹簧常数的弹簧部。

再有，刚体部的板厚愈厚，则愈可能使其高刚性化而不必设置突边及加强肋。因此，空气的流动顺畅，即使磁盘高速转动也不受乱风的影响，可抑制悬挂装置震颤(由风引起悬挂装置的颤动)的发生。

若使用本发明的第五方案，除了第三方案的效果之外，上述承载板具有刚体部及将刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部并用一张钢板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述长底板的端部并予固定，因此其结构可做得非常简单。

若使用本发明的第六方案，除了第一或第二方案的效果之外，可以将上述一方的板与上述承载板做成一体，将上述另一方的板构成上述长底板。因此，由于通过蚀刻处理形成板，可提高枢轴孔的精度的同时，可提高与承载板做成一体的一方的板及构成长底板的另一方的板的平面度。另外，由于可将一方的板与承载板做成一体，可使制造更为简单。

若使用本发明的第七方案，除了第一、第二或第三任何一个方案的效果之外，由于将上述刚体部弹性地支承在上述支撑板装置的弹簧部与上述一方的板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述弹簧部的端部并予固定，可以至少选定适合于刚体部的材料及板厚，可确保刚体部所要求的性能(例如高刚性)。另外，与弹簧部做成一体的一方的板，通过调整另一方的板，可选定适合于弹簧部的材料及板厚，可确保弹簧部所要求的性能(例如低弹簧常数)。因此，可分别选定适合于刚体部及弹簧部的材料及板厚，使同时确保刚体部所要求的性能(例如高刚性)及弹簧部所要求的性能(例如低弹簧常数)变得容易。再有，由于弹簧部与支撑板装置的一方的板做成一体，可使结构更为简单。

附图说明

图1是有关本发明的第一实施例的悬挂装置的立体图。

图2(a)是有关本发明的第一实施例的长底板的俯视图。

图2(b)是有关本发明的第一实施例的与板做成一体的承载板的俯视图。

图2(c)是以上两者结合状态的仰视图。

图3是有关本发明的第二实施例的悬挂装置的立体图。

图4是有关第二实施例的悬挂装置的半成品和弹簧部件的立体图。

图5是有关第二实施例的变型例的悬挂装置的立体图。

图6是有关第二实施例的另一变型例的悬挂装置的立体图。

图7是有关本发明的第三实施例的悬挂装置的俯视图。

图8是有关第三实施例的悬挂装置的放大側视图。

图9是有关第三实施例的、在图7的SA-SA处的剖面图。

图10是有关第三实施例的、在图7的SB-SB处的剖面图。

图11是有关第三实施例的、在图7的SC-SC处放大的剖面图。

图12是说明有关第三实施例的悬挂装置的加工工序的一部分的图，图中，(a)为基材的热压接的工序图，(b)为加工枢轴孔的工序图，(c)为枢轴孔的形成状态的剖面图，(d)为在金属层加工转动配合孔的工序图，(e)为在金属层转动配合孔形成状态的剖面图，(f)为在树脂层加工转动配合孔的工序图，(g)为在金属层转动配合孔形成状态的剖面图。

图13是有关本发明的第四实施例的悬挂装置的立体图。

图14是有关本发明的第五实施例的悬挂装置的立体图。

图15是有关本发明的第五实施例的变型例的悬挂装置的立体图。

图16是有关现有技术的磁头磁盘驱动器组件例子的立体图。

图17是有关现有技术的例子的剖面图。

图中，1、1A、1B、1C、1D、1E、1F 盘式驱动用悬挂装置；

3、3A、7B、7D                   另一方的板(支撑板装置)

3Aa、7Da                        树脂层

3Ab、7Db                        金属层

5、5A、5B、5C                   承载板

5C                              承载板端部

7、7A、7C、7E                   另一方的板(支撑板装置)

9                               转动配合孔

13                              刚体部

15、15A                         弹簧部

15                              弹簧部的一側(承载板的端部)

15Aa                            弹簧部的端部

30、30A                         长底板(支撑板装置)

30a                   端部

31                    枢轴孔

43                    触头

47                    弹簧部件

47a                   一端部

47b                   另一端部

具体实施方式

第一实施例

图1是表示有关本发明的第一实施例的悬挂装置整体的立体图。如该图1，悬挂装置具有长底板3、承载板5以及同该承载板5做成一体的板7。使用这种结构，在本实施例中，至少以两层板3、7形成支撑板装置；该支撑板装置以轴支承在托架的支承部并兼作托架臂。即，由于长底板3与板7一起兼作托架臂，故由托架的支承部向上述承载板5做得较长。

上述板3用例如不锈钢做成，其板厚在本实施例中选定为t1＝0.15mm。在板3中，请参照图2(a)的俯视图，在与托架的支承部相对应之处形成转动配合孔9。该转动配合孔9的直径在本实施例中选定为φ1＝9.1mm。在板3中，还在与板7相吻合的位置开孔11。

上述的承载板5及板7用例如不锈钢做成，其板厚在本实施例中选定为t2＝0.051mm。因此，板7的结构做成其板厚可通过蚀刻处理形成精度极高的孔。该承载板5及板7和上述板3以组件形式做成其总厚度为t＝0.201mm。在本实施例中，承载板5及板7的板厚的最大值为t2＝0.064mm。即使在这种情况下，板3的厚度的决定也得使其总厚度为t＝0.201mm。

上述的承载板5如图1具有以L1表示长度的刚体部13和以L2表示长度的弹簧部15。该弹簧部15的结构是将上述刚体部13弹性地支持在上述支撑板装置(板3、板7)。上述的承载板5及与其做成一体的板7，请参照图2(b)的俯视图，首先，突边17、19通过弯曲加工形成在承载板5的刚体部13。通过该突边17、19的作用，既可保持刚体部13的刚性又可减轻其重量，还可提高频率特性及振动特性。另外，在刚体部13中设置了为同柔性件21的位置进行对位的孔23、25和与柔性件21的舌片连接的定位窝27。在上述承载板5的弹簧部15设置了开口部29以便于设定弹簧常数。

在上述板7中，设置了同托架的支承部高精度配合的枢轴孔31。该枢轴孔31的直径比上述动配合孔9的直径Φ1＝9.1mm还小，在本实施例中，选定Φ2＝9mm。另外，在板7上，设置了同上述板3的位置进行定位的孔33。

如图1，上述的柔性件21是在具有弹性的薄的不锈钢压延板等金属基板35的表面用一层电气绝缘层绝缘而形成导电电路37。该导电电路37的一端同磁头部39的端子接通，而另一端同上述板7的端子41接通。上述磁头部39具有触头43，该触头43支持在柔性件21的舌片部45。该舌片部45连接在如图2(b)所示的刚体部13的上述定位窝27上。

这样的悬挂装置1的制造方法如下。首先，对板3、与板7做成一体的承载板5分别进行蚀刻处理。通过该处理则在板3上形成了转动配合孔9及定位用的孔11。另外，对与板7做成一体的，则形成枢轴孔31、定位用的孔23、25、33以及开口部29。其次，对承载板5通过压制形成突边17、19及定位窝27。

这样形成的板3和与板7做成一体的承载板5如图2(c)的俯视图那样叠合。在叠合时将销钉插入孔11、33中以便决定两者的位置。在这种状态下对板3以激光焊等将板7的部分固定在其上。另外，将板7的部分固定在板3上也可以用粘结等进行。

随后，使用定位用的孔23、25将柔性件21与承载板5的刚体部13定位，以激光焊等将柔性件21固定在刚体部13上。这时，如上所述，柔性件21的舌片部45则对准连接在定位窝27上。

而且，就板7对板3固定的状态而言，枢轴孔31及转动配合孔9大体上为同心配置，且为转动配合孔9将枢轴孔31包围在内的形态，可使枢轴孔31有效的发挥作用。但是，转动配合孔9将枢轴孔31包围在内，只要枢轴孔31能有效的发挥作用，转动配合孔9和枢轴孔31的中心也可以有少许偏离。因此，通过将枢轴孔31同托架的支承部高精度配合并以轴支承，板3与板7一起可兼作托架臂。

另外，在本实施例中，板7的部分用板3予以增强可以更可靠地发挥作为托架臂的功能，同时，也可使板3的板厚变薄，可使板3通过蚀刻处理成形变得更容易。

而且，在本实施例中，由于可通过蚀刻处理成形枢轴孔31，可大幅度地提高枢轴孔31的精度。另外，由于对转动配合孔9的精度没有要求，板3与同板7做成一体的承载板5的板厚t2相比较，即使采用厚的板厚t1，板3可通过蚀刻成形，同板7做成一体的承载板5也通过蚀刻同时成形，可大幅度地提高板3的整体平面度。

再有，在本实施例中，由于板7同承载板5做成一体，零件数少，制造、操作也都容易。

第二实施例

图3、图4表示本发明的第二实施例。图3是表示整体的立体图，图4是表示悬挂装置的半成品及弹簧部件的立体图。另外，相对于图1实施例的悬挂装置1，结构相同的部分使用相同的标号予以说明。

在本实施例中，具有通过上述的蚀刻处理可成形高精度孔的板厚一方的板7A与另一方的板7B一起构成长底板30。该长底板30，在本实施例中，构成支撑板装置。即，在本实施例中，其结构是至少由两层板7A、7B形成支撑板装置。

而且，上述另一方的板7B用不锈钢等制成，在本实施例中，其板厚选定为例如t1＝0.101mm。上述一方的板7A同承载板5一起用不锈钢等制成，其板厚选定为＝0.100mm。因此，长底板30的总板厚为t＝0.201mm。上述一方的板7A上形成枢轴孔31，而在上述另一方的板7B上形成转动配合孔9。

另外，在本实施例中，具有将承载板5的刚体部13弹性地支持在上述支撑板装置(长底板30)上的另外的弹簧部件47。上述刚体部13的厚度比上述弹簧部件47的板厚还厚，在本实施例中，与上述的板7A的板厚相同。在该刚体部13上，形成在其厚度方向上贯通的开口部。

上述弹簧部件47由例如，具有弹性的薄不锈钢压延板构成，其一端47a以同上述刚体部13的端部13a相重叠的状态通过激光焊等固定。该弹簧部件47的另一端47b重叠在作为上述一方的板7A的端部的长底板30的端部30a上，并通过激光焊等固定。另外，在弹簧部件47的中部设置开口部47c，在该开口部47c的两側则作为具有低弹簧常数的弹簧部15发挥作用。再有，通过将弹簧部件47的一部分折弯而形成折弯部47d。

图4是表示形成上述承载板5A及一方的板7A的悬挂装置半成品51。该悬挂装置半成品51具有构成长底板30一方的板7A，承载板5A的刚体部13以及将板7A和刚体部13这两者连接起来的左右一对连接部53。上述连接部53，如图3所示，当将弹簧部件47与长底板30和刚体部13重叠时，使弹簧部件47的两側伸出。

而且，将弹簧部件47跨于悬挂装置半成品51的两者之间并与其重叠，通过例如激光焊等将弹簧部件47固定在板7A和刚体部13上。其后，再用压机等将连接部53由刚体部13和板7A切离。

随后，将板7B与板7A定位，用激光焊等固定，再经安装柔性件21而完成悬挂装置1A。

这样，在本实施例中，通过蚀刻处理可形成具有板厚为t2的悬挂装置半成品51，该板厚可通过蚀刻处理成形高精度孔，即可成形枢轴孔31，可将枢轴孔31的精度显著提高。

在构成上述长底板30的另一方的板7B上形成转动配合孔9，该转动配合孔9，如上所述，由于不要求精度，即使其板厚t1厚许多也可通过蚀刻处理来成形。

因此，板7A、7B两者都可通过蚀刻处理来成形，可大幅度地提高长底板30的平面度。而且，在本实施例中，对于承载板5A的刚体部13，弹簧部15以另外的零件来构成，由于可分别选定适宜的材料和板厚，使刚体部13所要求的性能(例如高刚性)和弹簧部15所要求的性能(例如低弹簧常数)两者都容易达到。在弹性部件47中，通过使用高精度的压延材料，可得到稳定的低弹簧常数的弹簧部15。

再有，在本实施例中，由于将刚体部13和板7A的板厚取作t2＝0.1mm，可使刚体部13具有足够的刚性。另外，由于没有必要在刚体部13上设置突边及加强肋，使空气的流动顺畅，即使磁盘高速旋转也不受乱风的影响，可抑制悬挂装置抖动(因风使悬挂装置产生振动)的发生。

另外，上述一方的板7A和另一方的板7B如图5所示可以做成上下颠倒的配置。

图6表示的是有关上述第二实施例的另一变型例的实施例。图6是悬挂装置1B的整体立体图。在本实施例中，长底板30的结构同上述图3的第二实施例的悬挂装置1A的结构大体上是相同的，承载板5B的结构同上述第一实施例的悬挂装置1的结构大体上是相同的。因此，与图1、图3相对应的构成部分使用相同的标号予以说明。

在图6的实施例中，承载板5B具有刚体部13和将该刚体部13弹性地支承在上述支撑板装置(长底板30)上的弹簧部15，其结构是将该刚体部13和弹簧部15用一张钢板做成一体。作为上述承载板5B端部的弹簧部15的一側15a，重叠在上述长底板30的端部30a上，并通过激光焊等固定。

在本实施例中，一方的板7A用可通过蚀刻处理成形高精度孔的板厚t2形成。通过以蚀刻处理来加工该板7A，可形成枢轴孔31，可显著提高枢轴孔31的精度。

在构成上述长底板30的另一方的板7B上形成转动配合孔9，由于该转动配合孔9如前述一样不要求精度，即使板厚t1要厚许多也可通过蚀刻处理形成。

因此，板7A、板7B两者都可通过蚀刻处理形成，可大幅度地提高长底板30的平面度。而且，在本实施例中，承载板5的刚体部13和弹簧部15，由于用一张钢板做成一体，可使结构简单。

在上述各实施例中，都是将一方做出枢轴孔31，而将另一方做出转动配合孔9，至少对两层板的双方都用可通过蚀刻处理成形高精度孔的板厚来形成，其结构使双方都能通过蚀刻处理来成形高精度枢轴孔。

第三实施例

图7～图12表示本发明的第三实施例。图7是悬挂装置1C的整体俯视图，图8是其放大側视图，图9是在图7的SA-SA处的剖面图，图10是在图7的SB-SB处的剖面图，图11是在图7的SC-SC处放大的剖面图，图12是说明加工工序的一部分的工序图。另外，相对于图1的第一实施例的悬挂装置1，对相应的构成部分使用相同的标号予以说明。

如图7、图8所示，本实施例的悬挂装置1C具有承载板5、在该承载板5上做成一体的板7C以及重叠设置在该一方的板7C上另一方的板3A。上述另一方的板3A构成为长底板，由于其同板7C一起兼作托架臂，由托架的支持部向上述承载板5设置得更长。

上述承载板5及板7C用例如不锈钢制作，其板厚t3在本实施例中选定为t3＝0.040～0.200mm中的任何一个。因此，其结构使板7C能以通过蚀刻处理成形高精度孔的板厚来形成。

上述板3A如图7、图8、图9所示，由树脂层3Aa和金属层3Ab组成。树脂层3Aa用聚酰亚胺、环氧树脂等树脂形成，具有一定的弹簧常数和衰减。树脂层3Aa的板厚t4在本实施例中选定为t4＝0.50～0.100mm中的任何一个。上述金属层3Ab用例如不锈钢制成，其板厚t5在本实施例中选定为t5＝0.100mm，作为振动系统的质量发挥作用。采用这些结构，在本实施例中，以轴支承在托架的支持部兼作托架臂的支撑板装置由板3A、7C组成而将该支撑板装置做成三层结构。另外，另一方的板3A构成以上述承载板5及板7C一側为主振动系统的付振动系统。

在上述板7C上，如图7、图10所示，设置了与托架的支持部高精度配合的枢轴孔31。该枢轴孔31的直径Φ3在本实施例中选定为Φ3＝9.0mm。在上述板3A的树脂层3Aa和金属层3Ab上，开有与上述枢轴孔31大致同心的转动配合孔9A、9B。该转动配合孔9A、9B的直径Φ4在本实施例中分别选定为Φ4＝9.1mm。

上述承载板5与图1的实施例相同，如图7、图8、图11所示，具有以L1表示长度的刚体部13和以L2表示长度的弹簧部15。在该承载板5的刚体部13上，通过与前述相同的弯曲加工设置了突边17、19等，其结构大致与图1的实施例相同。上述弹簧部15其结构是将上述刚体部13弹性地支撑在上述支撑板装置(板3A、板7C)。

如图7所示，柔性件21也与图1同样地设置。导电电路37的一端与磁头部39的端子连通，而其另一端与端子41连通。该端子41配置在由上述板7C向側面突出但为一体设置的支持部42上。

这样的悬挂装置1C以如下方法制造。首先，如图12(a)所示，形成同上述板7C、树脂层3Aa、金属层3Ab的厚度相对应的基材55、57、59。在与树脂层3Aa相对应的基材57上，在其两面形成粘结层57a、57b。将与板7C相对应的基材55重叠在基材57的粘结层57a上，将与金属层3Ab相对应的基材59重叠在基材57的粘结层57b上。通过热压接将重叠的基材55、57、59结合，形成三层结构。其次，对上述三层结构的基材55、57、59进行蚀刻处理，以形成与图7、图8相对应的承载板5、板3A、7C的部分基本形状的半成品。

随后，如图12(b)～图12(g)所示，形成上述的枢轴孔31、转动配合孔9A、9B。开始，如图12(b)所示，将保护层61以基本形状覆在板7C上，将保护层63以基本形状覆在板3A的金属层3Ab上。在上述保护层61上具有孔65。以此状态进行蚀刻处理，如图12(c)所示，形成板7C的枢轴孔31。

其次，如图12(d)所示，将保护层67覆在板7C上，将保护层69以基本形状覆在板3A的金属层3Ab上。在上述保护层67上具有突部71。该突部71同已经形成的板7C的枢轴孔31密切配合。在上述保护层69上具有孔73。以此状态进行蚀刻处理，如图12(e)所示，在板3A的金属层3Ab上形成转动配合孔9B。

其它，开口部29等也可同第一实施例一样通过蚀刻处理来形成。其后，就承载板5而言，用压制方法形成突边17、19及定位窝等。另外，柔性件21也同第一实施例一样地安装。

而且，在本实施例中，枢轴孔31和转动配合孔9A、9B大致同心地配置，成为枢轴孔31被转动配合孔9A、9B包在其中的状态，可使枢轴孔31有效地发挥其作用。但是，由于枢轴孔31被转动配合孔9A、9B包在其中，除了可使枢轴孔31有效地发挥其作用外，还可允许枢轴孔31和转动配合孔9A、9B的中心有少许偏心。这样，可使枢轴孔31能与托架的支持部高精度地配合并作为轴的支承，从而板3A、7C可兼作托架臂。

另一方面，在本实施例中，如上所述，另一方的板3A构成将上述承载板5和板7C一方作为主振动系统的付振动系统，可提高悬挂装置1B的整体的振动特性。即，由于三层结构的阻尼效果，即使有由于风的影响及高速驱动引起的起振输入，也可抑制承载板5和板7C一方的上下或左右方向等的振动，可以可靠地提高上述振动特性。

第四实施例

图13表示的是本发明的第四实施例，它是图3的第二实施例的变型例。图13是悬挂装置1D的整体立体图。另外，与图3的第二实施例的悬挂装置1A相对应的构成部分使用相同的标号予以说明。

在本实施例中，具有可通过上述蚀刻处理来形成高精度孔的板厚的一方板7A，同另一方的板7D一起构成长底板30。该长底板30构成本实施例中的支撑板装置。板7D由树脂层7Da和金属层7Db组成。该树脂层7Da和金属层7Db，其结构是同上述第三实施例的树脂层3Aa和金属层3Ab相同的。即，在本实施例中，将悬挂装置1D的支撑板装置做成三层结构。

因此，在本实施例中，可以发挥与上述第二实施例大致相同的作用效果，同时，由于具有同上述第三实施例相同的三层结构的阻尼效果，可以提高悬挂装置1D整体的振动特性。

另外，在本实施例中，与上述第二实施例相同，可以用于将图5的板7B以上述的板7D代替。

第五实施例

图14表示的是本发明的第五实施例。图14是悬挂装置1E的整体立体图。在本实施例中，长底板30A的结构同上述图6的第二实施例的悬挂装置1B的长底板30的结构大致是相同的，而承载板5C的结构同上述图1的第一实施例的悬挂装置1的承载板5的结构大致是相同的。因此，与图1、图6相对应的构成部分使用相同的标号予以说明。

在图14的实施例中，承载板5C具有刚体部13。就本实施例而言，将上述刚体部13弹性地支承在上述支撑板装置(长底板30A)上的弹簧部15A不是承载板5C而是做在长底板30A上。该弹簧部15A与长底板30A的一方的板7E用一张钢板做成一体。上述承载板5C的端部5Ca，重叠在作为上述长底板30A的一方的板7E的端部的弹簧部15A的端部15Aa上，并通过激光焊等固定。

在本实施例中，一方的板7E的板厚为t2，它可通过蚀刻处理来形成高精度的孔。由于通过蚀刻处理来形成该板7E，可形成枢轴孔31，可显著提高枢轴孔31的精度。

在构成上述长底板30A的另一方的板7B上，形成转动配合孔9。由于该转动配合孔9如前所述，不要求精度，即使板7B的板厚t1稍厚也可通过蚀刻处理来形成。上述板7E、7B两者都可通过蚀刻处理来形成，便可大幅度地提高长底板30A的平面度。

而且，在本实施例中，在上述长底板30A的一方的板7E上，上述弹簧部15A与其做成一体，为了将上述承载板5C的端部5Ca重叠在上述弹簧部15A的端部15Aa上并予固定，至少可选定适合于刚体部13的材料和板厚，可以可靠地确保刚体部13所要求的性能(例如高刚性)。

另外，弹簧部15A及与其做成一体的一方的板7E通过与另一方的板7B的调整，可选定适合于弹簧部15A的材料和板厚，可以可靠地确保弹簧部15A所要求的性能(例如低弹簧常数)。因此，可以分别选定适合于刚体部13及弹簧部15A的材料和板厚，使确保刚体部13所要求的性能(例如高刚性)和弹簧部15A所要求的性能(例如低弹簧常数)两者都变得容易。

再有，由于弹簧部15A与长底板30A的一方的板7E用一张钢板做成一体，可使结构简单。

图15是有关图14的第五实施例的变型例的实施例。图15是悬挂装置1F的整体的立体图。另外，与图14的第五实施例的悬挂装置1E相对应的构成部分使用相同的标号予以说明。

在本实施例中，具有通过上述蚀刻处理可形成高精度孔的板厚t2的一方的板7E与另一方的板7D一起构成长底板30B。该长底板30B在本实施例中，构成支撑板装置。板7D由树脂层7Da和金属层7Db组成。该树脂层7Da和金属层7Db的结构与上述第三实施例的树脂层3Aa和金属层3Ab的结构是相同的。即，在本实施例中，悬挂装置1F的支撑板装置做成三层结构。

因此，在本实施例中，可以发挥与上述第五实施例大致相同的作用效果，同时由于与上述第三实施例大致相同的三层结构产生的阻尼作用，可提高悬挂装置1F整体的振动特性。

就上述各实施例而言，将一方做出枢轴孔31，将另一方做出转动配合孔9，通过形成至少两层的板，而其板厚使两者都可通过蚀刻处理而形成高精度孔，其结构可确保两者都通过蚀刻处理而形成高精度的枢轴孔。

Claims (8)

1、一种磁盘驱动器用悬挂装置，该装置具有与托架的支持部配合并以轴支承的、兼作上述托架的托架臂的支撑板装置，至少具有刚体部并弹性地支承在上述支撑板装置上而将负荷荷重加在前端的触头上的承载板，其特征在于：在该悬挂装置中，上述支撑板装置至少由两层板形成，该板的至少一层的板厚可通过蚀刻处理形成高精度的孔；在上述一层的板上，形成同上述支持部配合的枢轴孔；在上述另一层的板上，形成同上述枢轴孔同心的、比上述枢轴孔更大的转动配合孔或者与上述枢轴孔既同心又同直径的枢轴孔。

2、根据权利要求1记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：上述另一方的板由树脂层和金属层组成，将上述树脂层夹在上述一方的板和上述金属层之间，从而将上述支撑板装置做成三层结构。

3、根据权利要求1或2记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：上述一方的板同上述另一方的板一起构成长底板。

4、根据权利要求3记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：具有将上述承载板的刚体部支承在上述支撑板装置上的弹簧部件，上述弹簧部件的一端部重叠在上述刚体部的端部并予固定，上述弹簧部件的另一端部重叠在上述长底板的端部并予固定。

5、根据权利要求3记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：上述承载板用一张板一体制成，并具有刚体部及将刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部，上述弹簧部的另一端部重叠在上述长底板的端部并予固定。

6、根据权利要求1或2记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：上述一方的板与上述承载板做成一体，上述另一方的板构成上述长底板。

7、根据权利要求1或2记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：将上述刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部与上述一层的板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述弹簧部的端部并予固定。

8、根据权利要求3记载的一种磁盘驱动器用悬挂装置，其特征在于：将上述刚体部弹性地支承在上述支撑板装置上的弹簧部与上述一层的板做成一体，上述承载板的端部重叠在上述弹簧部的端部并予固定。

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