CN118158072A - Amhs系统的通讯方法、系统、设备及介质 - Google Patents
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- 230000006854 communication Effects 0.000 title claims abstract description 336
- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims abstract description 314
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 19
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 17
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 101000771022 Trichoderma longibrachiatum Chlorophenol O-methyltransferase Proteins 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000013473 artificial intelligence Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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Abstract
本公开公开了一种AMHS系统的通讯方法、系统、设备及介质，通讯方法包括：获取原始通讯信号；原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；将原始通讯信号转换为目标通讯信号；目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个原始通讯信号一一对应；将目标通讯信号进行存储。本公开实现了通讯的回溯功能，使得当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。同时，在没有增加额外的硬件条件下，就能实现AMHS系统的通讯，有效地减少了通讯成本。
Description
技术领域
本公开涉及人工智能技术领域，尤其涉及一种AMHS(自动物料搬送系统)系统的通讯方法、系统、设备及介质。
背景技术
在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式。在AMHS系统当中，设备与设备之间通信通常采用无线的方式来传输信息，目前主要采用E84这种方式来通信。E84通信分主动端和被动端，主动端跟被动端通信是由主动端发起的，被动端收到主动端发起的请求之后，进行响应。在AMHS系统当中，OHT(空中搬送移动小车)小车充当着主动端的角色，而STK设备(栈式晶圆仓储设备)充当着被动端的角色。OHT小车从上一个工位取到FOUP(晶圆传送盒)晶圆箱子之后，搬运到STK设备，当到达STK设备之后，将FOUP(前开式晶圆传送盒)卸载到STK设备这个交互过程，就是整个E84通信的过程。
目前，AMHS系统的通讯装置包括传感器、控制器，在通讯连接中，采用PCB(一种电路板)板作为传感器和控制器的通讯中介。在通信过程中，只有完成和失败两种结果，如果在通信过程当中发生了错误问题时，只有一个失败的信号，而不能查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误以及通信在了那一步开始停止。
发明内容
本公开要解决的技术问题是为了克服现有技术在通信过程中无法找出是通讯故障发生在哪一个信号点的缺陷，提供一种AMHS系统的通讯方法、系统、设备及介质、系统、设备及介质。
本公开是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
本公开公开了一种AMHS系统的通讯方法，所述通讯方法包括：
获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
将所述目标通讯信号进行存储。
较佳地，所述将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号的步骤包括：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
较佳地，所述将所述目标通讯信号进行存储的步骤包括：
判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若否，则将所述目标通讯信号进行存储，若是，则将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号。
较佳地，在所述将所述目标通讯信号进行存储的步骤之后，所述通讯方法包括：
当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
较佳地，将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号的步骤包括：
若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；
若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
本公开公开了一种AMHS系统的通讯系统，所述通讯系统包括：
获取模块，用于获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
转换模块，用于将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
存储模块，用于将所述目标通讯信号进行存储。
较佳地，所述转换模块具体用于：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
较佳地，所述存储模块包括：
判断单元，用于判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若是，则调用第一存储单元，若否，则调用第二存储单元；
所述第一存储单元，用于将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号；
所述第二存储单元，用于将所述目标通讯信号进行存储。
较佳地，所述通讯系统还包括：
清除模块，用于当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
所述第一存储单元包括：
第一存储子单元，用于若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；
第二存储子单元，用于若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
本公开公开了一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并用于在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如前述的AMHS系统的通讯方法。
本公开公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如前述的AMHS系统的通讯方法的步骤。
本公开的积极进步效果在于：
本方案，通过利用主动端和被动端的PLC进行信号的通讯和记录，从而实现了通讯的回溯功能，进而使得当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。同时，在没有增加额外的硬件条件下，就能实现AMHS系统的通讯，有效地减少了通讯成本。
附图说明
图1为本公开实施例1的AMHS系统的通讯方法的流程图；
图2为本公开实施例1的步骤S103的流程图；
图3为本公开实施例1的AMHS系统的装载时通讯信号响应示意图；
图4为本公开实施例1的AMHS系统的卸载时通讯信号响应示意图；
图5为本公开实施例2的AMHS系统的通讯系统的模块示意图；
图6为本公开实施例2的存储模块的模块示意图；
图7为本公开实施例2的第一存储单元的模块示意图；
图8为本公开实施例3的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例的方式进一步说明本公开，但并不因此将本公开限制在所述的实施例范围之中。
实施例1
如图1所示，本实施例公开了一种AMHS系统的通讯方法，所述通讯方法包括：
步骤S101、获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC(可编程逻辑控制器)发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
AMHS应用范围最广的还是在半导体晶圆厂。晶圆厂大规模的采用AMHS，基于它可以快速准确的将载体搬送到目的地。AMHS主要负责半导体制造相关物料在生产线的自动搬运，是直接影响半导体晶圆厂物料运转效率的核心系统，具有极高的技术壁垒和进入门槛。AMHS系统是由软件和硬件组成的复杂系统，具有大规模、实时性和可靠性等特点。软件主要包括MCS(模拟量控制系统)物料控制系统和各物料搬运设备的子控制系统，硬件由OHT天车、Conveyor(传送设备)等设备组成，其中MCS软件和OHT天车分别是AMHS系统的软、硬件核心。
在本方案中，Semi标准E84是一种通信协议，它是为了解决半导体设备之间的通信问题而设计的。它是由半导体(半导体设备与材料国际)组织开发的，是全球半导体行业的标准之一。该标准使用简单，轻量级通讯协议，适用于各种设备之间的通信如制造设备，测试设备，仪器设备等。
该标准的设计宗旨是高效、稳定、可扩展及可靠。同时，它还考虑到了应用在不同平台上的要求，支持不同的传输速度及不同的传输扫描间隔。它支持同步和异步模式，并且支持多种通讯协议，如RS232、RS422、RS485等，还支持USB(通用串行总线)及以太网等各种标准通信接口。它不仅支持点对点通讯，还支持多设备的通讯。
半导体标准e84的通讯信息格式是采用二进制方式，使用标准码，采用48位标准数据帧格式来传输各种信息。数据帧中包括了数据长度，步骤码、框架码、设备识别码、功能码和数据域等内容。数据域则包含了具体的通讯信息。该标准的设计还考虑到了电磁干扰等外部环境因素，具有良好的抗干扰能力。
Semi(国际半导体产业协会)标准e84的通讯过程是由主机和从机之间进行的。主机是指通讯发出端也即主动端，可以是任何设备，例如PC(个人计算机)机、工控机、PLC等。从机则是指通讯接收端也即被动端，它可以是各种各样的设备。通讯过程中，主机发送通讯请求，从机接收到请求，执行相应的通讯操作，并回复通讯结果给主机。这个过程是具有很高的速度和稳定性的，可以十分快速地完成各种命令操作。
本方案中，主动端可以是AMHS系统中的OHT小车，也可以是STK设备；被动端可以是AMHS系统中的OHT小车，也可以是STK设备；当主动端为OHT小车时，被动端为STK设备，当主动端为STK设备，被动端为OHT小车。
步骤S102、将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
如图3或图4所示，在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号可以有10种类型，分别为CS_0、VSLID、TR_REQ、BUSY、COMPT、READY、L_REQ、U_REQ、HQ_AVBL、ES。CS_0、VSLID、TR_REQ、BUSY、COMPT的信号方向是主动端到被动端，READY、L_REQ、U_REQ、HQ_AVBL、ES的信号方向是被动端到主动端。
其中，CS_0指定使用于装载Handoff之Loadport；
CS_1指定使用于装载Handoff之Loadport；
VALID表示间之通信为有效。ON：通信为有效。OFF：通信为无效。Active装置在使本信号ON之前、需以CS_0信号或CS_1信号(或两者)来指定移载对象之Loadport；
L_REQ(＝Load Request)要求装载表示Loadport被指定为载体之装载(Active装置之卸载)。ON：Loadport被指定为载体之装载OFF：Loadport未被指定为载体之装载。由Active装置以CS_0信号指定Loadport。当VALID＝ON时，Passive装置使本信号ON。当Passive装置确认到载体被放置到正确位置之后，即将本信号OFF；
U_REQ(＝Unload Request)要求卸载表示Loadport被指定为载体之卸载(Active装置之装载)。ON：Loadport被指定为载体之卸载OFF：Loadport未被指定为载体之卸载。
由Active装置以CS_0信号指定Loadport。当VALID＝ON时，Passive装置即将本信号ON。Passive装置在载体被完全取走后，即将本信号OFF；
TR_REQ(＝Transfer Request)要求Handoff对Passive装置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。OFF：未已提出Handoff要求。当BUSY信号OFF时、本信号亦OFF；
READY(＝Ready for Transfer)装备Handoff表示Passive装置，已从Active装置收到TR_REQ信号。ON：Passive装置已做好Handoff之准备。OFF：Passive装置尚未做好Handoff之准备。当确认到Active装置之TR_REQ＝ON后，Passive装置即将本信号ON。当确认到Handoff结束且Active装置之COMPT＝ON后，Passive装置即将本信号OFF。
BUSY(＝Busy for Transfer)Handoff进行中表示Active装置，正进行Handoff中。ON：正进行Handoff中。OFF：非进行Handoff中。Passive装置在READY＝ON状态，可开始进行Handoff时，Active装置将使本信号ON。Handoff中Passive装置不可进行任何物理性动作。当Passive装置将L_REQ(或U_REQ)信号OFF，结束Handoff时，Active装置即将本信号OFF。此时，把持装置需退出至干涉区域之外。
COMPT(＝Complete Transfer)Handoff结束表示Active装置已结束Handoff操作。ON：已结束Handoff。OFF：尚未结束Handoff。当结束Handoff操作时(Active装置将BUSY信号OFF)，Active装置即将本信号ON。Passive装置在确认到READY＝OFF后，Active装置即将本信号OFF。
CONT(＝Continuous Handoff)连续Handoff表示有连续Handoff。ON：表示连续Handoff持续中。OFF：无连续Handoff。当有连续Handoff时，根据最初移载Passive装置之BUSY＝ON Active装置，即将本信号ON，根据最后移载时Passive装置之BUSY＝ON，Active装置即将本信号OFF。
HO_AVBL(＝Handoff Available)可Handoff表示Passive装置可进行Handoff。又亦有表示Passive装置存在某种异常之情形。ON：可配合Handoff。OFF：存在某种异常无法配合Handoff。本信号系在开始进行Handoff操作前，向Active装置表示Passive装置之状态。当Passive装置正常时，本信号为ON。当Passive装置检测到CS_0信号所指定之Loadport存在某种异常时，由Active装置将VALID信号ON或TR_REQ信号ON，Passive装置即将本信号OFF。又当检测到该Passive装置之其他Loadport有异常时，本信号亦可能OFF。所谓异常系指无正确地进行载体检测。Passive装置一直停留于Manual Mode。Passive装置无法配合Handoff之状态。
ES(＝Emergency Stop)紧急停止系要求紧急停止Active装置之动作。ON：正常操作OFF：要求紧急停止。当Passive装置判断为危险状况时，为立即停止Handoff而将本信号OFF。所谓危险状况系指恐伤及资源或制造物时。对作业工程会造成伤害之情形。发生Handoff Interlock异常之情形。当按下Passive装置侧之ES(或EMO)按钮时。通常Active装置在VALIDON～OFF之间监测本信号。
如图3所示，在装载安装时，14种原始通讯信号响应的顺序依次为：CS_0→VALID→U_REQ→TR_REQ→READY→BUSY→U_REQ→BUSYT→R_REQ→COMPT→READY→COMPT→TR_REQ→VALID；如图4所示，在卸载移载时，14种原始通讯信号响应的顺序依次为：CS_0→VALID→L_REQ→TR_REQ→READY→BUSY→L_REQ→BUSY→TR_REQ→COMPT→READY→COMPT→TR_REQ→VALID。步骤S103、将所述目标通讯信号进行存储。
本方案，将所有E84信号都转换到一个字里面，将这个字传给另外一个寄存器，这个可以先叫这个寄存器为“暂存寄存器”。之后将“vw_E84Record”与“暂存寄存器”进行比较，如果E84在通信，那个“vw_E84Record”就会一直再变化，即E84信号变化之前和变化之后的“vw_E84Record”里面的值是不一样的，这样我们就可以将“vw_E84Record”与“暂存寄存器”进行比较，如果“vw_E84Record”与“暂存寄存器”数据不同，则代表E84有信号变化，输出一个信号变化的标志，我们就可以通过这个标志来将“vw_E84Record”传入一个数组里面，并且每一个传入都记一次数据。这样就可以把E84通讯的每一个信号变化通过转换为字存储起来，这也可以叫做“E84的记录”
本方案，通过利用主动端和被动端的PLC进行信号的通讯和记录，从而实现了通讯的回溯功能，进而使得当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。同时，在没有增加额外的硬件条件下，就能实现AMHS系统的通讯，有效地减少了通讯成本。
在一可实施的方式中，所述将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号的步骤具体包括：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
本方案中，将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号，具体地，可以将E84主动端的信号由bit位转变成字其中对应的一个位，也即原始通讯信号bit位转换到一个数据字里面的位。例如，将E84的L_REQ转换为标签“vw_E84Record.0”，这个就代表将L_REQ这个位变成了字，如果L_REQ导通，则“vw_E84Record.0”的第1位会从0变为1。在PLC当中，位可以有两种形式，一种是0，一种是1。0和1正好可以对应信号的有与无状态。0则代表无信号，1则代表有信号。字是可以存储数据的，其范围是0～65535。例如，当在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号发出CS_0，则二进制的字可以表示为0100 0000 0000 0000；当在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号发出VSLID，则二进制的字可以表示为0110 0000 0000 0000，以此类推，每发出一个原始通讯信号，则会有一个字与其对应。
本方案，将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号，使得从而实现了当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，每个字和每个所述原始通讯信号一一对应，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。
如图2所示，在一可实施的方式中，步骤S103包括：
步骤S1031、判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若否，则执行步骤S1032，若是，则执行步骤S1033。
步骤S1032、将所述目标通讯信号进行存储；
步骤S1033、将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号。
具体地，例如在1分钟内，若目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号一致，也即两次字相同，则将目标通讯信号进行存储且生成报警信号。其中，报警信号表征该目标通讯信号对应的原始通讯信号传输时发生故障，也即该目标通讯信号对应的原始通讯信号为故障信号点。报警信号可以有多种表现形式，例如以信号灯的形式表现，当信号灯亮则表征该目标通讯信号对应的原始通讯信号传输时发生故障。
本方案，通过目标通讯信号进行存储，可以使得在AMHS系统的通讯过程中，若原始通讯信号传输时发生故障，则可根据记录的目标通讯信号找到对应的原始通讯信号，从而能查看到是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信在了那一步开始停止，进而实现主动端通信的回溯功能，同理也可以利用被动端的硬件来实现被动端通信过程的信号的回溯。
在一可实施的方式中，将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号的步骤包括：
若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；
若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
本方案中，采用第一报警信号和第二报警信号来分别表征目标通讯信号由主动端发出的信号和目标通讯信号由被动端发出的信号，从而使得用户能够根据发出的报警信号的不同快速地判断发生故障的通讯信号是由由主动端发出还是由被动端发出。
在一可实施的方式中，在所述将所述目标通讯信号进行存储的步骤之后，所述通讯方法包括：
当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
在一具体的实施例中，例如，在AMHS系统的通讯过程中，当存储的目标信号个数大于42个时，也即AMHS系统中的OHT小车与STK设备之间已进行了3个周期的通讯信号交互，则将存储的目标通讯信号进行清除。AMHS系统中的OHT小车与STK设备之间3个周期的通讯信号交互需记录目标信号个数14个。
本方案，通过将存储的目标通讯信号进行清除，从而使得数据所占用的内存小，保证了数据处理响应快，从而提高了在AMHS系统中，通讯信号的传输速度。
实施例2
如图5所示，本实施例公开了一种AMHS系统的通讯系统，所述AMHS系统的通讯系统用于对应实现实施例1的AMHS系统的通讯方法，所述通讯系统包括：
获取模块1，用于获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
AMHS应用范围最广的还是在半导体晶圆厂。晶圆厂大规模的采用AMHS，基于它可以快速准确的将载体搬送到目的地。AMHS主要负责半导体制造相关物料在生产线的自动搬运，是直接影响半导体晶圆厂物料运转效率的核心系统，具有极高的技术壁垒和进入门槛。AMHS系统是由软件和硬件组成的复杂系统，具有大规模、实时性和可靠性等特点。软件主要包括MCS(模拟量控制系统)物料控制系统和各物料搬运设备的子控制系统，硬件由OHT天车、Conveyor(传送设备)等设备组成，其中MCS软件和OHT天车分别是AMHS系统的软、硬件核心。
在本方案中，Semi标准E84是一种通信协议，它是为了解决半导体设备之间的通信问题而设计的。它是由半导体(半导体设备与材料国际)组织开发的，是全球半导体行业的标准之一。该标准使用简单，轻量级通讯协议，适用于各种设备之间的通信如制造设备，测试设备，仪器设备等。
该标准的设计宗旨是高效、稳定、可扩展及可靠。同时，它还考虑到了应用在不同平台上的要求，支持不同的传输速度及不同的传输扫描间隔。它支持同步和异步模式，并且支持多种通讯协议，如RS232、RS422、RS485等，还支持USB(通用串行总线)及以太网等各种标准通信接口。它不仅支持点对点通讯，还支持多设备的通讯。
半导体标准e84的通讯信息格式是采用二进制方式，使用标准码，采用48位标准数据帧格式来传输各种信息。数据帧中包括了数据长度，步骤码、框架码、设备识别码、功能码和数据域等内容。数据域则包含了具体的通讯信息。该标准的设计还考虑到了电磁干扰等外部环境因素，具有良好的抗干扰能力。
Semi(国际半导体产业协会)标准e84的通讯过程是由主机和从机之间进行的。主机是指通讯发出端也即主动端，可以是任何设备，例如PC(个人计算机)机、工控机、PLC等。从机则是指通讯接收端也即被动端，它可以是各种各样的设备。通讯过程中，主机发送通讯请求，从机接收到请求，执行相应的通讯操作，并回复通讯结果给主机。这个过程是具有很高的速度和稳定性的，可以十分快速地完成各种命令操作。
本方案中，主动端可以是AMHS系统中的OHT小车，也可以是STK设备；被动端可以是AMHS系统中的OHT小车，也可以是STK设备；当主动端为OHT小车时，被动端为STK设备，当主动端为STK设备，被动端为OHT小车。
转换模块2，用于将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
如图3或图4所示，在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号可以有10种类型，分别为CS_0、VSLID、TR_REQ、BUSY、COMPT、READY、L_REQ、U_REQ、HQ_AVBL、ES。CS_0、VSLID、TR_REQ、BUSY、COMPT的信号方向是主动端到被动端，READY、L_REQ、U_REQ、HQ_AVBL、ES的信号方向是被动端到主动端。
其中，CS_0指定使用于装载Handoff(传送)之Loadport(装载系统)；
CS_1指定使用于装载Handoff之Loadport；
VALID表示装置间之通信为有效。ON：通信为有效。OFF：通信为无效。Active装置在使本信号ON之前、需以CS_0信号或CS_1信号(或两者)来指定移载对象之Loadport；
L_REQ(＝Load Request)要求装载表示Loadport被指定为载体之装载(Active装置之卸载)。ON：Loadport被指定为载体之装载OFF：Loadport未被指定为载体之装载。由Active装置以CS_0信号指定Loadport、当VALID＝ON时、Passive(被动)装置使本信号ON。当Passive装置确认到载体被放置到正确位置之后、即将本信号OFF；
U_REQ(＝Unload Request)要求卸载表示Loadport被指定为载体之卸载(Active装置之装载)。ON：Loadport被指定为载体之卸载OFF：Loadport未被指定为载体之卸载。
由Active装置以CS_0信号指定Loadport、当VALID＝ON时、Passive装置即将本信号ON。Passive装置在载体被完全取走后，即将本信号OFF；
TR_REQ(＝Transfer Request)要求Handoff对Passive装置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。OFF：未已提出Handoff要求。当BUSY信号OFF时，本信号亦OFF；
READY(＝Ready for Transfer)装备Handoff表示Passive装置已从Active装置收到TR_REQ信号。ON：Passive装置已做好Handoff之准备。OFF：Passive装置尚未做好Handoff之准备。当确认到Active装置之TR_REQ＝ON后，Passive装置即将本信号ON。当确认到Handoff结束且Active装置之COMPT＝ON后，Passive装置即将本信号OFF。
BUSY(＝Busy for Transfer)Handoff进行中表示Active装置正进行Handoff中。ON：正进行Handoff中。OFF：非进行Handoff中。Passive
存储模块3，用于将所述目标通讯信号进行存储。
本方案，将所有E84信号都转换到一个字里面，将这个字传给另外一个寄存器，这个可以先叫这个寄存器为“暂存寄存器”。之后将“vw_E84Record”与“暂存寄存器”进行比较，如果E84在通信，那个“vw_E84Record”就会一直再变化，即E84信号变化之前和变化之后的“vw_E84Record”里面的值是不一样的，这样我们就可以将“vw_E84Record”与“暂存寄存器”进行比较，如果“vw_E84Record”与“暂存寄存器”数据不同，则代表E84有信号变化，输出一个信号变化的标志，我们就可以通过这个标志来将“vw_E84Record”传入一个数组里面，并且每一个传入都记一次数据。这样就可以把E84通讯的每一个信号变化通过转换为字存储起来，这也可以叫做“E84的记录”
本方案，通过利用主动端和被动端的PLC进行信号的通讯和记录，从而实现了通讯的回溯功能，进而使得当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。
在一具体的实施方式中，所述转换模块2具体用于：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
本方案中，将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号，具体地，可以将E84主动端的信号由bit位转变成字其中对应的一个位，也即原始通讯信号bit位转换到一个数据字里面的位。例如，将E84的L_REQ转换为标签“vw_E84Record.0”，这个就代表将L_REQ这个位变成了字，如果L_REQ导通，则“vw_E84Record.0”的第1位会从0变为1。在PLC当中，位可以有两种形式，一种是0，一种是1。0和1正好可以对应信号的有与无状态。0则代表无信号，1则代表有信号。字是可以存储数据的，其范围是0～65535例如，当在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号发出CS_0，则二进制的字可以表示为0100 0000 0000 0000；当在AMHS系统的通讯过程中，原始通讯信号发出VSLID，则二进制的字可以表示为0110 0000 0000 0000，以此类推，每发出一个原始通讯信号，则会有一个字与其对应。
本方案，将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号，使得从而实现了当在AMHS系统通讯过程中发生通讯故障时，每个字和每个所述原始通讯信号一一对应，可以查看出是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信故障发生在哪一个信号点。
如图6所示，在一具体的实施方式中，所述存储模块3包括：
判断单元31，用于判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若是，则调用第一存储单元，若否，则调用第二存储单元；
所述第一存储单元32，用于将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号；
所述第二存储单元33，用于将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号。
具体地，例如在1分钟内，若目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号一致，也即两次字相同，则将目标通讯信号进行存储且生成报警信号。其中，报警信号表征该目标通讯信号对应的原始通讯信号传输时发生故障，也即该目标通讯信号对应的原始通讯信号为故障信号点。报警信号可以有多种表现形式，例如以信号灯的形式表现，当信号灯亮则表征该目标通讯信号对应的原始通讯信号传输时发生故障。
本方案，通过目标通讯信号进行存储，可以使得在AMHS系统的通讯过程中，若原始通讯信号传输时发生故障，则可根据记录的目标通讯信号找到对应的原始通讯信号，从而能查看到是主动端发生了错误还是被动端发生了错误和通信在了那一步开始停止，进而实现主动端通信的回溯功能，同理也可以利用被动端的硬件来实现被动端通信过程的信号的回溯。
如图7所示，在一可实施的方式中，所述第一存储单元32包括：
第一存储子单元321，用于若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；
第二存储子单元322，用于若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
本方案中，采用第一报警信号和第二报警信号来分别表征目标通讯信号由主动端发出的信号和目标通讯信号由被动端发出的信号，从而使得用户能够根据发出的报警信号的不同快速地判断发生故障的通讯信号是由由主动端发出还是由被动端发出。
在一具体的实施方式中，所述通讯系统还包括：
清除模块4，用于当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
在一具体的实施例中，例如，在AMHS系统的通讯过程中，当存储的目标信号个数大于42时，也即AMHS系统中的OHT小车与STK设备之间已进行了3个周期的通讯信号交互，则将存储的目标通讯信号进行清除。AMHS系统中的OHT小车与STK设备之间3个周期的通讯信号交互需记录目标信号个数14。
本方案，通过将存储的目标通讯信号进行清除，从而使得数据所占用的内存小，保证了数据处理响应快，从而提高了在AMHS系统中，通讯信号的传输速度。
实施例3
图8为本公开实施例3提供的一种电子设备的结构示意图。所述电子设备包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现实施例1所提供的AMHS系统的通讯方法。图7显示的电子设备40仅仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。
如图7所示，电子设备40可以以通用计算设备的形式表现，例如其可以为服务器设备。电子设备40的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理器41、上述至少一个存储器42、连接不同系统组件(包括存储器42和处理器31)的总线43。
总线43包括数据总线、地址总线和控制总线。
存储器42可以包括易失性存储器，例如随机存取存储器(RAM)421和/或高速缓存存储器422，还可以进一步包括只读存储器(ROM)423。
存储器42还可以包括具有一组(至少一个)程序模块424的程序/实用工具425，这样的程序模块424包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。
处理器41通过运行存储在存储器42中的计算机程序，从而执行各种功能应用以及数据处理，例如本公开实施例1所提供的AMHS系统的通讯方法。
电子设备40也可以与一个或多个外部设备44(例如键盘、指向设备等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口45进行。并且，模型生成的设备40还可以通过网络适配器46与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器46通过总线43与模型生成的设备40的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合模型生成的设备40使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理器、外部磁盘驱动阵列、RAID(磁盘阵列)系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。
应当注意，尽管在上文详细描述中提及了电子设备的若干单元/模块或子单元/模块，但是这种划分仅仅是示例性的并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多单元/模块的特征和功能可以在一个单元/模块中具体化。反之，上文描述的一个单元/模块的特征和功能可以进一步划分为由多个单元/模块来具体化。
实施例4
本实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实施例1所提供的AMHS系统的通讯方法。
其中，可读存储介质可以采用的更具体可以包括但不限于：便携式盘、硬盘、随机存取存储器、只读存储器、可擦拭可编程只读存储器、光存储器件、磁存储器件或上述的任意合适的组合。
在可能的实施方式中，本公开还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当所述程序产品在终端设备上运行时，所述程序代码用于使所述终端设备执行实现实施例1所提供的AMHS系统的通讯方法。
其中，可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开的程序代码，所述程序代码可以完全地在用户设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户设备上部分在远程设备上执行或完全在远程设备上执行。
虽然以上描述了本公开的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本公开的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本公开的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本公开的保护范围。
Claims (10)
1.一种AMHS系统的通讯方法，其特征在于，所述通讯方法包括：
获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
将所述目标通讯信号进行存储；
所述将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号的步骤包括：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
2.如权利要求1所述的AMHS系统的通讯方法，其特征在于，所述将所述目标通讯信号进行存储的步骤包括：
判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若否，则将所述目标通讯信号进行存储，若是，则将所述目标通讯信号进行存储且生成目标报警信号。
3.如权利要求1或2中任意一项所述的AMHS系统的通讯方法，其特征在于，在所述将所述目标通讯信号进行存储的步骤之后，所述通讯方法包括：
当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
4.如权利要求2所述的AMHS系统的通讯方法，其特征在于，将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号的步骤包括：
若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
5.一种AMHS系统的通讯系统，其特征在于，所述通讯系统包括：
获取模块，用于获取原始通讯信号；所述原始通讯信号由主动端的PLC发出，并通过主动端的E84设备传输至被动端的E84设备，再经被动端的E84设备传输至被动端的PLC；
转换模块，用于将所述原始通讯信号转换为目标通讯信号；所述目标通讯信号为二进制的字；每个字和每个所述原始通讯信号一一对应；
存储模块，用于将所述目标通讯信号进行存储。
所述转换模块具体用于：
将每个原始通讯信号bit位转换到每个字对应的位，以生成所述目标通讯信号。
6.如权利要求5所述的AMHS系统的通讯系统，其特征在于，所述存储模块包括：
判断单元，用于判断在预设时间段内所述目标通讯信号与上一次存储的目标通讯信号是否一致，若是，则调用第一存储单元，若否，则调用第二存储单元；
所述第一存储单元，用于将所述目标通讯信号进行存储且生成报警信号；
所述第二存储单元，用于将所述目标通讯信号进行存储。
7.如权利要求5或6中任意一项所述的AMHS系统的通讯系统，其特征在于，所述通讯系统还包括：
清除模块，用于当存储的目标信号个数大于预设的目标个数，则将存储的目标通讯信号进行清除。
8.如权利要求6所述的AMHS系统的通讯系统，其特征在于，所述第一存储单元包括：
第一存储子单元，用于若所述目标通讯信号由主动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第一报警信号；
第二存储子单元，用于若所述目标通讯信号由被动端发出，则将所述目标通讯信号进行存储且生成第二报警信号。
9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并用于在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至4任一项所述的AMHS系统的通讯方法。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至4任一项所述的AMHS系统的通讯方法的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202410265300.6A CN118158072A (zh) | 2024-03-08 | 2024-03-08 | Amhs系统的通讯方法、系统、设备及介质 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2024
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