KR101145804B1 - 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템 - Google Patents

반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 반도체 설비에서 올라오는 이벤트에 대한 이벤트 오류를 자동으로 검출하여 반도체 설비의 이상 징후를 자동으로 실시간 파악하고 그에 대응되는 조치를 신속하게 취하여 반도체 공정에서 발생할 수 있는 대량 사고를 사전에 감시하고 제어할 수 있도록 해주는 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템에 관한 것이다.

Description

반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템{METHOD FOR DETECTING EVENT ERROR OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND SYSTEM FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT USING THE SAME METHOD}
본 발명은 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 반도체 설비의 이상 징후를 자동으로 실시간 검출하여 그에 대응되는 조치를 신속하게 취함으로써 반도체 공정에서 발생할 수 있는 대량 사고를 사전에 감시하고 제어할 수 있도록 해주는 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법 및 이를 이용한 반도체 설비 제어 시스템에 관한 것이다.
200mm 반도체 이후에 등장한 300mm 반도체는 웨이퍼(Wafer)의 사이즈도 커져서, 오퍼레이터(Operator)가 수작업으로 들고다니기도 어려워 자동화의 요구가 증대되고 있고, 또한 웨이퍼의 단가 자체도 200mm 반도체에서보다 고가이기 때문에 장비의 문제로 인해 웨이퍼(Wafer)에 문제가 발생할 경우 칩 메이커(Chip Maker) 측에서는 막대한 손실이 발생하는 게 현실이다.
따라서, 반도체 설비가 정상적으로 동작하고 있는지 반도체 설비에 문제가 발생했는지를 감지하는 부분이 반도체 공장에서의 생산성과도 직접적으로 연관이 되기 때문에, 어떠한 반도체 설비에서 어떠한 문제가 발생했는지를 신속하게 검출하는 것이 반드시 필요할 것이다.
하지만, 반도체 공장의 경우에는 매우 많은 반도체 설비가 가동을 하고 있고, 수많은 반도체 설비들은 원인 모를 다양한 이상 현상을 발생시킬 수 있으며, 또한 반도체 설비를 관리하는 인원의 제한 등으로 인해, 수백 대에 이를 수 있는 수많은 반도체 설비에 문제가 있는지를 검사한다는 것은 현실적으로 불가능한 게 현실이다. 설사 반도체 설비에 대한 검사를 하더라도 너무 많은 시간이 걸리게 때문에 문제가 있는 반도체 설비에 대하여 적기에 신속한 대응을 해주지 못하게 되어 반도체 생산에서의 대량 사고를 발생시킬 수도 있다.
이러한 배경에서, 본 발명의 목적은, 반도체 설비의 이상 징후를 자동으로 실시간 검출하여 그에 대응되는 조치를 신속하게 취함으로써 반도체 공정에서 발생할 수 있는 대량 사고를 사전에 감시하고 제어할 수 있도록 해주는 데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 일 측면에서, 본 발명은, 반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장하고, 상기 정의된 동작시나리오에 근거하여, 상기 반도체 설비에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 상기 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 저장하는 자동화 관리 서버; 및 이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하고, 상기 반도체 설비로부터 이벤트를 수신할 때마다 상기 정의된 동작시나리오, 상기 정의된 이벤트 및 상기 정의된 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 상기 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하고 상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 이벤트 검출 서버를 포함하는 반도체 설비 제어 시스템을 제공한다.
다른 측면에서, 본 발명은, 반도체 설비 제어 시스템이 반도체 설비에 대한 이벤트 오류를 검출하는 방법에 있어서, 반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장하는 단계; 상기 정의한 동작시나리오에 근거하여, 상기 반도체 설비에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 상기 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 저장하는 단계; 이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하는 단계; 상기 반도체 설비로부터 이벤트를 수신할 때마다 상기 정의한 동작시나리오, 상기 정의한 이벤트 및 상기 정의한 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 상기 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하는 단계; 및 상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법을 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 설비의 이상 징후를 자동으로 실시간 검출하여 그에 대응되는 조치를 신속하게 취함으로써 반도체 공정에서 발생할 수 있는 대량 사고를 사전에 감시하고 제어할 수 있도록 해주는 효과가 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 반도체 설비 제어 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 반도체 설비의 이벤트 오류 검출 방법에 대한 예시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 반도체 설비의 이벤트 오류 검출 절차와 그에 따른 메시지 전달에 대한 예시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 반도체 설비의 이벤트 오류 검출 방법에 대한 흐름도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 반도체 설비 제어 시스템(100)을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 일 실시예에 따른 반도체 설비 제어 시스템(100)은 반도체 생산 과정에서 필요한 반도체 설비(101)의 상태나 동작 등을 관리 및 제어하여 반도체 설비(101)의 문제 발생시 필요한 조치를 취하는 시스템이다. 반도체 설비(101)는 반도체 장비라고도 한다.
이러한 반도체 설비 제어 시스템(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 자동화 관리 서버(110) 및 이벤트 검출 서버(120) 등을 포함한다.
자동화 관리 서버(110)는, 반도체 설비(101)의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 데이터베이스에 저장하고, 동작시나리오 데이터에서 정의하는 동작시나리오에 근거하여, 반도체 설비(101)에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 데이터베이스에 저장하여 관리한다.
이벤트 검출 서버(120)는, 이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하고, 반도체 설비(101)로부터 이벤트를 수신할 때마다 미리 정의된 동작시나리오, 정의된 이벤트 및 정의된 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하고 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 미리 저장하고 있는 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행한다.
위에서 언급한 이벤트는, 반도체 공저에서 반도체 설비(101)가 진행하는 반도체 공정 프로세스나 반도체 설비(101)의 상태 및 동작 등에 관련된 정보를 의미하는 것으로서, 반도체 설비 제어 시스템(100)이 반도체 설비(101) 및 반도체 공정 프로세스를 제어 및 관리하기 위하여, 반도체 설비(101)는 자신의 이러한 이벤트를 주기적 또는 비주기적으로 반도체 설비 제어 시스템(100)으로 알려주어야 한다. 이와 같이 각 반도체 설비(101)가 자신의 이벤트를 반도체 설비 제어 시스템(100)으로 송신하는 과정(올려주는 과정)에서, 반도체 설비(101)로부터 미리 정의된 동작시나리오와 관련된 이벤트가 반도체 설비 제어 시스템(100)으로 올라오지 않거나 다르게 올라오는 경우가 발생할 수 있는데, 이는, 반도체 설비(101)가 내부적으로 장애가 발생했다는 것을 의미하는 것이며, 이로 인해 반도체 공정 프로세스상에 문제가 발생할 수 있다는 내용을 내포하고 있어서 문제가 있는 반도체 설비(101)의 검출(Detection) 및 문제 발생 이후에 어떠한 반도체 설비(101)에서 어떠한 문제가 내포하고 있는 있는지에 대한 검사 및 조치가 반도체 생산 공정에서 아주 중요한 항목이다. 이러한 이유로, 반도체 설비 제어 시스템(100)에서는 각 반도체 설비(101)로부터 올라오는 이벤트와 이벤트 간의 연관관계 등을 미리 정의해두고 각 반도체 설비(101)로부터 올라오는 이벤트를 감지하여 누락된 이벤트는 없는지 잘못 올라온 이벤트는 없는지 등에 대한 이벤트 오류를 검출하는 것이다. 이러한 이벤트에는 어떠한 종류의 이벤트들이 있는지를 이벤트 데이터에 정의해두고, 반도체 설비(101)를 관리하고 제어하며 문제 발생을 검출하기 위하여, 반도체 설비(101) 및 반도체 설비 제어 시스템(100)이 이러한 이벤트 데이터를 공유하여 저장하고 있다.
또한 위에서 언급한 이벤트 간의 연관관계는, 반도체 설비(101)에서 송신하는 이벤트의 전후 관계, 즉, 특정 이벤트 이전 및 이후에는 어떠한 이벤트가 반도체 설비(101)에서 이벤트 검출 서버(120)로 전달되는지에 대한 정보이고, 이러한 정보를 정의한 데이터가 이벤트 연관관계 데이터이다. 이러한 이벤트 연관관계 데이터도, 이벤트 데이터와 마찬가지로, 반도체 설비(101)를 관리하고 제어하며 문제 발생을 검출하기 위하여, 반도체 설비(101) 및 반도체 설비 제어 시스템(100)이 이러한 이벤트 데이터를 공유하여 저장하고 있다.
또한 위에서 언급한 이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행되는 조치는, 이벤트 오류가 검출된 경우 검출된 이벤트 오류에 대하여 반도체 설비 제어 시스템(100)이 수행해야 하는 액션(Action)을 의미하는 것으로서, 이러한 조치를 정의한 데이터가 위에서 언급한 조치 데이터이다.
이러한 조치 데이터에서 정의한 조치는, 검출된 이벤트 오류의 유형(이벤트 오류 유형)에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 어떠한 이벤트 오류 유형에서는 이벤트 오류에 대한 정보만을 저장해두거나, 어떠한 이벤트 오류 유형에서는 경고음을 발생시키는 조치, 어떠한 이벤트 오류 유형에서는 경고메시지를 송신하는 조치, 어떠한 이벤트 오류 유형에서는 해당 반도체 설비(101)를 정지시키는 조치, 또는 전술한 조치들 중 둘 이상을 조합한 조치를 취할 수도 있다.
전술한 이벤트 검출 서버(120)는, 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면, 이벤트 오류에 대한 내용을 내부 또는 다른 장치 또는 데이터베이스에 저장하거나, 이벤트 오류에 대해 경고(Alarm) 처리(예: 경고음 발생, 경고 메시지를 관리자에게 발송 등)를 수행하거나, 반도체 설비(101)에 대한 인터락(Interlock) 명령 메시지를 반도체 설비(101)로 송신하여 반도체 설비(101)를 정지시키는 조치를 수행할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 설비 제어 시스템(100)은, 이벤트 및 인터락 명령을 이벤트 검출 서버(120) 및 반도체 설비(101) 사이에서 전달해주는 자동화 서버(130)를 더 포함할 수도 있다. 이와 같이, 자동화 서버(130)를 더 포함하는 경우, 이벤트 검출 서버(120)는 이벤트 오류를 검출하고, 자동화 서버(130)가 검출된 이벤트 오류에 따른 조치를 수행할 수도 있다.
전술한 자동화 관리 서버(110)는, 반도체 설비(101)에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 반도체 설비(101)에서 이벤트 검출 서버(120)로 반드시 송신되어야 하는 필수 이벤트와 반도체 설비(101)에서 이벤트 검출 서버(120)로 반드시 송신되지 않아도 되는 일반 이벤트로 구분하여 정의한 이벤트 데이터를 저장할 수도 있다.
이에 따라, 이벤트 검출 서버(120)는, 반도체 설비(101)로부터 이벤트를 수신하면, 수신한 이벤트가 필수 이벤트인지 일반 이벤트인지를 확인하여, 필수 이벤트인 경우, 미리 정의된 동작시나리오, 미리 정의된 이벤트 및 미리 정의된 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출할 수 있다.
또한, 이벤트 검출 서버(120)는, 반도체 설비(101)로부터 이벤트를 수신하면, 수신한 이벤트가 필수 이벤트인지 일반 이벤트인지를 확인하여, 필수 이벤트인 경우, 수신한 이벤트의 이벤트 ID(CEID: Collected ID)를 확인하여, 확인된 이벤트 ID가 이벤트 연관관계 데이터에 정의된 이벤트 연관관계 또는 동작시나리오에 근거하여 적합한지를 판단하여, 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출할 수 있다.
이벤트 검출 서버(120)는, 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하고, 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면, 이벤트 오류의 이벤트 오류 유형을 파악하고, 파악된 이벤트 오류 유형에 따라 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행할 수 있다.
여기서, 이벤트 오류 유형은, 이벤트 검출 서버(120)가 반도체 설비(101)로부터 수신한 이벤트의 내용 또는 이벤트 ID가 수신해야만 하는 이벤트의 내용 또는 이벤트 ID와 다른 경우에 해당하는 제1유형과, 이벤트 검출 서버(120)가 반도체 설비(101)로부터 수신해야만 하는 이벤트가 누락(Loss)된 경우에 해당하는 제2유형과, 이벤트 검출 서버(120)가 반도체 설비(101)로부터 수신되는 이벤트의 순서가 바뀐 경우에 해당하는 제3유형 등 중에서 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한 이벤트 검출 서버(120)는, 반도체 설비(101)의 상태 변경과, 반도체 설비(101)에서의 웨이퍼(Wafer) 이동과, 반도체 설비(101)에서의 경고 발생, 및 반도체 설비(101)의 설비 프로세스에 대한 시작, 진행 및 종료 중 하나 이상에서 이벤트를 반도체 설비(101)로부터 수신할 수 있다.
도 1에 예시된 반도체 설비(101)는 300mm 급 이상의 반도체 설비일 수 있으며, 이에 따라, 자동화 관리 서버(110)는, SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜, GEM(Generic model for communications and control of Manufactuing equipment) 프로토콜, HSMS(High-speed SECS Message Services) 프로토콜 등의 반도체 프로토콜을 이용하여 반도체 표준 협회(예: SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 등)에서 정의하는 300mm 급 이상의 반도체 설비(101)의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장할 수 있다.
한편, 도 1에 예시된 반도체 설비(101)는 고정 버퍼 타입 및 내부 버퍼 타입 중 하나 이상의 타입의 반도체 설비일 수 있다. 이에 따라, 자동화 관리 서버(110)는, 고정 버퍼 타입 및 내부 버퍼 타입 중 하나 이상의 타입의 반도체 설비(101)의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 설비 제어 시스템(100)은, 반도체 설비(101)에서 발생한 이벤트를 조회하는 컴퓨터 또는 단말기 등의 이벤트 조회 클라이언트(140)와, 반도체 생산 공정을 관리하는 생산 관리 시스템(150) 등을 더 포함할 수 있다.
도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이, 각 장치들 간에 메시지, 데이터, 또는 정보 등을 주고 받을 때, HTTP/SOAP(Hypertext Transfer Protocol /(Simple Object Access Protocol) 프로토클, SECS/HSMS(SEMI Equipment Communications Standard/High-speed SECS Message Services) 프로토콜 등을 이용할 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 반도체 설비(101)의 이벤트 오류 검출 방법에 대한 예시도이다.
도 2에서는, 특정 반도체 설비(101)가, 5개의 필수 이벤트(필수 이벤트 1, 필수 이벤트 2, ..., 필수 이벤트 5)와 4개의 일반 이벤트를 포함하는 9개의 이벤트를 발생시키고, 이러한 9개의 이벤트 중 5개의 필수 이벤트를 필수 이벤트 1, 필수 이벤트 2, 필수 이벤트 3, 필수 이벤트 4 및 필수 이벤트 5의 순서로 이벤트 검출 서버(120)로 송신해야하는 경우를 가정한다.
또한, 도 2에서는, 특정 반도체 설비(101)에서 순서대로 발생한 필수 이벤트 1, 필수 이벤트 2, 필수 이벤트 3, 필수 이벤트 4 및 필수 이벤트 5 중에서, 필수 이벤트 2가 특정 반도체 설비(101)에서 송신되지 않았거나 송신 도중 손실(Loss)되어 필수 이벤트 2가 이벤트 검출 서버(120)에 수신되지 않는 경우이다.
이러한 경우에서, 이벤트 검출 서버(120)는, 미리 정의된 이벤트 간의 연관관계에 근거하여, 필수 이벤트 2가 누락되었음을 확인할 수 있고, 이러한 상황을 이벤트 오류로 검출하게 되고, 그에 따른 조치로서, 인터락 명령을 특정 반도체 설비(101)로 송신하고, 이벤트 오류 검출을 경고하기 위한 조치와 관련된 정보(필수 이벤트 2 누락 정보)를 자동화 서버(130)를 통해 특정 반도체 설비(101)로 송신함으로써, 해당 특정 반도체 설비(101)의 동작을 정지시키고 경고음 등을 발생시킨다.
도 3은, 이상에서 전술한 바와 같이, 자동화 관리 서버(110), 이벤트 검출 서버(120) 및 자동화 서버(130)를 포함하는 반도체 설비 제어 시스템(100)이 반도체 설비(101)의 이벤트 오류를 검출하는 절차(①→②→③→④→⑤→⑥→⑦→⑧→⑨→⑩→⑪→⑫→⑬→⑭→⑮)와, 이러한 절차에 따라 장치(110, 120, 130, 101) 간의 메시지 전달을 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따른 반도체 설비(101)의 이벤트 오류 검출 방법에 대한 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 반도체 설비 제어 시스템(100)이 반도체 설비(101)에 대한 이벤트 오류를 검출하는 방법은, 반도체 설비(101)의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장하는 단계(S400)와, 정의한 동작시나리오에 근거하여, 반도체 설비(101)에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 저장하는 단계(S402)와, 이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하는 단계(S404)와, 반도체 설비(101)로부터 이벤트를 수신할 때마다 미리 정의한 동작시나리오, 미리 정의한 이벤트 및 미리 정의한 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하는 단계(S406)와, S406 단계에서 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 미리 저장해 둔 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 단계(S408) 등을 포함한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 설비(101)에서 올라오는 이벤트와 관련된 이벤트 오류를 자동으로 검출함으로써, 반도체 설비(101)의 이상 징후를 자동으로 실시간 검출하고, 그에 대응되는 조치를 신속하게 취하여, 반도체 공정에서 발생할 수 있는 대량 사고를 사전에 감시하고 제어할 수 있다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. 또한, 그 모든 구성 요소들이 각각 하나의 독립적인 하드웨어로 구현될 수 있지만, 각 구성 요소들의 그 일부 또는 전부가 선택적으로 조합되어 하나 또는 복수 개의 하드웨어에서 조합된 일부 또는 전부의 기능을 수행하는 프로그램 모듈을 갖는 컴퓨터 프로그램으로서 구현될 수도 있다. 그 컴퓨터 프로그램을 구성하는 코드들 및 코드 세그먼트들은 본 발명의 기술 분야의 당업자에 의해 용이하게 추론될 수 있을 것이다. 이러한 컴퓨터 프로그램은 컴퓨터가 읽을 수 있는 저장매체(Computer Readable Media)에 저장되어 컴퓨터에 의하여 읽혀지고 실행됨으로써, 본 발명의 실시예를 구현할 수 있다. 컴퓨터 프로그램의 저장매체로서는 자기 기록매체, 광 기록매체, 캐리어 웨이브 매체 등이 포함될 수 있다.
또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장하고, 상기 동작시나리오 데이터에 근거하여, 상기 반도체 설비에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 상기 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 저장하는 자동화 관리 서버; 및
    이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하고, 상기 동작시나리오 데이터, 상기 이벤트 데이터 및 상기 이벤트 연관관계 데이터 중 하나 이상에 근거하여, 상기 반도체 설비로부터 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하고 상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 이벤트 검출 서버를 포함하되,
    상기 이벤트 검출 서버는,
    상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면, 상기 이벤트 오류의 이벤트 오류 유형을 파악하고, 상기 이벤트 오류 유형에 따라 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이벤트 검출 서버는,
    상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면, 상기 이벤트 오류에 대한 내용을 저장하거나, 상기 이벤트 오류에 대해 경고(Alarm) 처리를 수행하거나, 상기 반도체 설비에 대한 인터락 명령 메시지를 상기 반도체 설비로 송신하여 상기 반도체 설비를 정지시키는 조치를 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 인터락 명령 메시지를 상기 이벤트 검출 서버 및 상기 반도체 설비 사이에서 전달해주는 자동화 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 자동화 관리 서버는,
    상기 반도체 설비에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 상기 반도체 설비에서 상기 이벤트 검출 서버로 반드시 송신되어야 하는 필수 이벤트와 상기 반도체 설비에서 상기 이벤트 검출 서버로 반드시 송신되지 않아도 되는 일반 이벤트로 구분하여 정의한 상기 이벤트 데이터를 저장하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이벤트 검출 서버는,
    상기 반도체 설비로부터 이벤트를 수신하면, 상기 수신한 이벤트가 상기 필수 이벤트인 경우, 상기 정의된 동작시나리오, 상기 정의된 이벤트 및 상기 정의된 이벤트 연관관계 중 하나 이상에 근거하여 상기 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 이벤트 검출 서버는,
    상기 반도체 설비로부터 이벤트를 수신하면, 상기 수신한 이벤트가 상기 필수 이벤트인 경우, 상기 수신한 이벤트의 이벤트 ID(CEID: Collected ID)를 확인하여, 상기 확인된 이벤트 ID가 상기 이벤트 연관관계 데이터에 정의된 상기 이벤트 연관관계 또는 상기 동작시나리오에 근거하여 적합한지를 판단하여, 상기 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 이벤트 오류 유형은,
    상기 이벤트 검출 서버가 상기 반도체 설비로부터 수신한 이벤트의 내용 또는 이벤트 ID가 수신해야만 하는 이벤트의 내용 또는 이벤트 ID와 다른 경우에 해당하는 제1유형과, 상기 이벤트 검출 서버가 상기 반도체 설비로부터 수신해야만 하는 이벤트가 누락(Loss)된 경우에 해당하는 제2유형과, 상기 이벤트 검출 서버가 상기 반도체 설비로부터 수신되는 이벤트의 순서가 바뀐 경우에 해당하는 제3유형 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이벤트 검출 서버는,
    상기 반도체 설비의 상태 변경과, 상기 반도체 설비에서의 웨이퍼(Wafer) 이동과, 상기 반도체 설비에서의 경고 발생, 및 상기 반도체 설비의 설비 프로세스에 대한 시작, 진행 및 종료 중 하나 이상에서 상기 이벤트를 상기 반도체 설비로부터 수신하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 자동화 관리 서버는,
    반도체 표준 프로토콜을 이용하여 반도체 표준 협회에서 정의하는 300mm 급 이상의 상기 반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 상기 동작시나리오 데이터를 저장하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 자동화 관리 서버는,
    고정 버퍼 타입 및 내부 버퍼 타입 중 하나 이상의 타입의 상기 반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 상기 동작시나리오 데이터를 저장하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 제어 시스템.
  12. 반도체 설비 제어 시스템이 반도체 설비에 대한 이벤트 오류를 검출하는 방법에 있어서,
    반도체 설비의 동작시나리오를 정의한 동작시나리오 데이터를 저장하는 단계;
    상기 동작시나리오 데이터에 근거하여, 상기 반도체 설비에서 발생하는 하나 이상의 이벤트를 정의한 이벤트 데이터와 상기 하나 이상의 이벤트 간의 연관관계를 정의한 이벤트 연관관계 데이터를 저장하는 단계;
    이벤트 오류 유형별로 이벤트 오류 검출시 수행해야 하는 조치(Action)를 정의한 조치 데이터를 저장하는 단계;
    상기 동작시나리오 데이터, 상기 이벤트 데이터 및 상기 이벤트 연관관계 데이터 중 하나 이상에 근거하여, 상기 반도체 설비로부터 수신한 이벤트와 관련된 이벤트 오류의 발생 여부를 검출하는 단계; 및
    상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 단계를 포함하되,
    상기 해당 조치를 수행하는 단계는,
    상기 이벤트 오류가 발생한 것으로 검출되면 상기 이벤트 오류의 이벤트 오류 유형을 파악하고, 상기 이벤트 오류 유형에 따라 상기 조치 데이터에서 정의하는 해당 조치를 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 이벤트 오류 검출 방법.
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