CN118073479B - 用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备 - Google Patents

Abstract

一种用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，涉及微电子器件封装的技术领域，解决静电键合设备结构复杂、制造成本、使用成本较高以及键合质量不稳定的技术问题，解决方案为：本设备包括键合组件、电源组件、加热装置和绝缘罩体，键合组件包括键合室、加热部、支撑部、供气部和施压部；支撑部包括在键合室内可移动的支撑台；供气部用于向键合室内冲入惰性气体，施压部包括与支撑部配合以压紧材料试样的施压丝杠；电源组件与电源相连，电源组件与施压丝杠和支撑台相连；加热装置上设有开关键、温度显示器和温度控制板，加热装置分别与加热件和温度检测件相连；绝缘罩体罩设在键合室外。本发明不仅能够提升键合质量，而且结构简单，制造成本低。

Description

用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备

技术领域

本发明涉及微电子器件封装的技术领域，尤其是涉及一种用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备。

背景技术

静电键合是一种利用电场作用来实现固体材料连接的焊接技术，与其他方法相比，静电键合工艺的焊接温度较低，避免了被焊材料在高温下产生变形，且无需在材料中间添加粘结剂或其他焊料就可实现固体间的稳固连接，所以静电键合封装技术通常被用于柔性电子器件封装，但是相关的静电键合设备为了保证键合质量，均设置了抽真空的装置，结构复杂，制造成本和使用成本较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，键合质量好，结构简单、操作方便，使用灵活，同时工作安全可靠，可在一定程度上降低静电键合设备的制造成本和使用成本。

本发明通过以下技术方案予以实现：用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，包括：键合组件，所述键合组件包括键合室、加热部、支撑部、供气部和施压部，所述加热部、支撑部和施压部均为导电导热材料；

所述键合室上设有开关门以打开或关闭所述键合室；

所述加热部包括加热件和温度检测件，加热件位于所述键合室的内底壁上以对所述键合室进行加热，温度检测件的下部位于所述键合室内以检测所述键合室内的温度；

所述支撑部包括支撑台，支撑台活动设置于所述键合室内，支撑台上放置材料试样（即待静电键合的试样），支撑台内设有气体通道，支撑台上设有与所述气体通道连通的进气孔和若干出气孔，所述进气孔位于支撑台的侧壁上，若干所述出气孔分布于支撑台的顶壁和侧壁上；

所述供气部包括供气罐、供气管道和供气开关，所述供气罐内装有惰性气体，所述供气管道的一端与所述供气罐的出气端相连，所述键合室的侧壁上设有进气通道，所述供气管道的另一端穿过所述进气通道伸入所述进气孔内以使惰性气体通过气体通道和若干出气孔排出并吹向材料试样，所述供气管道为柔性可伸缩件，所述供气开关用于控制惰性气体的输出与否以及调节惰性气体的输出流量；

所述施压部包括施压丝杠，施压丝杠位于所述支撑部的上方，施压丝杠沿竖直方向上、下移动以调整所述施压丝杠与所述支撑台之间的距离，施压丝杠与所述支撑部配合以压紧材料试样；

电源组件，所述电源组件与电源相连，所述电源组件的阳极端与所述施压丝杠或支撑台中的任一个相连，所述电源组件的阴极端与所述施压丝杠或支撑台中的另一个相连；

加热装置，所述加热装置上设有开关键以开启或关闭所述加热装置，加热装置上设有温度显示器和温度控制板，加热装置的一端与所述加热件相连，通过温度控制板设置所述加热件的加热温度，加热装置的另一端与所述温度检测件相连，通过所述温度显示器显示所述键合室的实时温度；

绝缘罩体，所述绝缘罩体罩设在所述键合室的外部，绝缘罩体侧壁的下缘位置处设有至少两个用于卡装连接线或者管道的U型槽。

本发明通过设置键合组件、电源组件和加热装置，由此使得材料试样的键合质量好，使得静电键合设备的结构简单、操作方便，使用灵活，同时工作安全可靠，可在一定程度上降低静电键合设备的制造成本和使用成本。

进一步地，所述支撑台的上表面设有限位凹槽，所述材料试样放置在所述限位凹槽内。

进一步地，所述支撑部包括限位块，限位块填充于所述材料试样与所述限位凹槽之间的间隙中。

进一步地，所述施压部包括施压块，施压块放置在所述材料试样和所述施压丝杠之间，所述施压丝杠通过施压块压紧材料试样。

进一步地，所述支撑部包括第一螺旋调节杆，第一螺旋调节杆的外端部位于所述键合室的外侧，键合室的后侧壁上设有第一腰型孔，第一螺旋调节杆贯穿第一腰型孔并伸入键合室内与所述支撑台的后侧壁连接，通过手动操作第一螺旋调节杆驱动支撑台在键合室内沿水平方向前后运动。

进一步地，所述支撑部包括第二螺旋调节杆，第二螺旋调节杆的外端部位于所述键合室外侧，键合室的左侧壁或者右侧壁上设有第二腰型孔，第二螺旋调节杆贯穿第二腰型孔并伸入所述键合室内与所述支撑台对应的左侧壁或者右侧壁连接，通过手动操作第二螺旋调节杆驱动支撑台在键合室内沿水平方向左右运动。

进一步地，所述支撑部包括用于夹紧所述材料试样的支撑夹，支撑夹可拆卸地设在所述支撑板上。

进一步地，所述支撑板上设有定位凸起或者定位凹槽，所述支撑夹上设有与定位凸起相配合的定位凹槽，或者支撑夹上设有与定位凹槽相配合的定位凸起，支撑夹通过定位凸起与定位凹槽的配合实现与支撑板可拆卸式连接。

进一步地，所述支撑夹上设有安装凹槽，所述安装凹槽的内壁上相对设置限位弹簧，每个所述限位弹簧的自由端设有限位板，两个所述限位板相对所述安装凹槽的中心轴线对称设置，所述材料试样夹持在两个所述限位板之间。

进一步地，所述温度检测件为热电偶，所述键合室的内壁上设有保温层。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明整体结构示意图；

图2是键合组件的主视结构示意图；

图3是静电键合设备的俯视局部结构剖视图；

图4是支撑台的俯视结构示意图。

附图标记：

100、静电键合设备；

1、键合组件；

11、键合室；111、开关门；1111、定位扣；112、第一腰型孔；113、第二腰型孔；114、保温层；115、进气通道；

12、加热部；121、加热件；122、温度检测件；

13、支撑部；131、支撑台；1311、进气孔；1312、出气孔；1313、限位凹槽；132、限位块；133、第一螺旋调节杆；134、第二螺旋调节杆；135、支撑夹；1351、安装凹槽；1352、限位弹簧；1353、限位板；

14、供气部；141供气罐；142、供气管道；143、供气开关；

15、施压部；151、施压丝杠；152、施压块；

2、电源组件；

3、加热装置；31、开关键；32、温度显示器；33、温度控制板；

4、绝缘罩体；41、U型槽；42、绝缘把手。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图4描述根据本发明实施例的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备100。其中柔性太阳能电池，可以为钙钛矿太阳能电池，当然也可以为其他柔性太阳能电池。

具体而言，如图1-图4所示，静电键合设备100包括：键合组件1、电源组件2、加热装置3和绝缘罩体4。

键合组件1包括键合室11、加热部12、支撑部13、供气部14和施压部15，加热部12、支撑部13和施压部15均为导电导热材料件，键合室11上设有开关门111以打开或关闭键合室11。

加热部12包括加热件121和温度检测件122，加热件121位于键合室11的内底壁上以对键合室11进行加热，温度检测件122的下部位于键合室11内以检测键合室11内的温度。由此可知，键合室11的加热是通过加热件121来实现的，加热件121位于键合室11内底壁的设置方式简单，同时可以理解的是，键合室11经加热后，热的空气会逐渐上升，进而可以继续加热键合室11内位于低处较冷的空气，进而可以提高键合室11的加热效率，减少升温时间，降低静电键合的成本。

支撑部13包括支撑台131，支撑台131活动设置于所述键合室11内，支撑台131上放置材料试样。从而可知，在进行静电键合之前，可以使支撑台131在键合室11内移动至便于放置材料试样的位置，当材料试样放置完成后，可使支撑台131带着材料试样移动至合适的位置。由此便于材料试样的安放和取出。需要说明的是，在本发明具体实施例中，材料试样可以为氧化铝或者金属铝。

支撑台131内设有气体通道，支撑台131上设有与气体通道连通的进气孔1311和若干出气孔1312，进气孔1311位于支撑台131的侧壁上，若干出气孔1312分布于支撑台131的顶壁和侧壁上。

所述供气部14包括供气罐141、供气管道142和供气开关143，供气罐141内装有惰性气体，供气管道142的一端与供气罐141的出气端相连，键合室11的侧壁上设有进气通道115，供气管道142的另一端穿过进气通道115伸入进气孔1311内以使惰性气体通过气体通道和若干出气孔1312排出并吹向材料试样，供气管道142为柔性可伸缩件，供气开关143用于控制惰性气体的输出与否以及调节惰性气体的输出流量。

由此可知，当对材料试样进行静电键合时，可以通过供气开关143控制惰性气体输出，进而惰性气体可以通过供气管道142和进气孔1311流入气体通道内，然后通过若干出气孔1312流出。由于材料试样放置在支撑台131上，从而在静电键合过程中，可以通过惰性气体氛围对材料试样进行有效的保护，由此可以保证材料试样的键合质量，使得利用本发明实施例的静电键合设备100进行静电键合的材料试样的键合质量与现有技术中的静电键合设备抽真空后的键合质量相比无明显差别。

同时可知，供气管道142为柔性可伸缩件，从而当支撑台131在键合室11内移动时，供气管道142可以随之发生一定的变形，同时可以保证供气管道142的通气效果。提高了静电键合设备100的可靠性。供气开关143的设置，不但可以控制惰性气体的输出与否，还可以控制惰性气体的输出流量，由此使得供气部14的使用灵活，操作人员可以根据材料试样的具体情况来控制惰性气体的是否输出以及惰性气体的输出流量，进而在保证材料试样键合质量的前提下，还可以在一定程度上避免惰性气体的浪费，降低静电键合设备100的使用成本。

所述施压部15包括施压丝杠151，施压丝杠151位于所述支撑部13的上方，施压丝杠151沿竖直方向上、下移动以调整所述施压丝杠151与所述支撑台131之间的距离，施压丝杠151与所述支撑部13配合以压紧材料试样。从而可以理解的是，在安放和取出材料试样时，可以先旋转施压丝杠151以使施压丝杠151向上移动，进而增大施压丝杠151与支撑台131之间的距离，从而便于支撑台131移动，同时可以避免支撑台131移动时，施压丝杠151与材料试样接触而阻碍材料试样随着支撑台131移动。在静电键合之前，当载有材料试样的支撑台131移动至键合室11内的合适位置时，可以旋转施压丝杠151以使施压丝杠151向下运动，直至施压丝杠151的下端止抵在材料试样上，此时可以根据材料试样的具体情况继续旋转施压丝杠151以对材料试样提供一定的压力，进而增强材料试样静电键合后的结合效果。同时可知，施压丝杠151的结构简单、操作方式简单、易操作、易掌控。已知，现有技术中的静电键合设备在对材料试样进行施压时，如果材料试样较脆较薄，即使采用系统中设置的最小施加压力，也常常会将材料试样压碎，进而使得材料的耗损率高，由此也增大了静电键合设备的使用成本。而本发明实施例的静电键合设备100可以采用手动操作施压丝杠151，由此可以有效地控制对材料试样施加的压力，有效避免材料试样出现压坏压碎的问题，从而也有利于降低材料的损耗，降低静电键合设备100的使用成本。

电源组件2，所述电源组件2与电源相连，所述电源组件2的阳极端与所述施压丝杠151或支撑台131中的任一个相连，所述电源组件2的阴极端与所述施压丝杠151或支撑台131中的另一个相连。可以理解的是，在本发明的具体实施例中可以为，电源组件2的阳极端与施压丝杠151相连，电源组件2的阴极端与支撑台131相连。也可以为，电源组件2的阳极端与支撑台131相连，电源组件2的阴极端与施压丝杠151相连。具体地，电源组件2通过连接线分别与施压丝杠151和支撑台131相连。

由于键合室11内的加热部12、支撑部13和施压丝杠151均为导电导热材料件，从而可知，当施压丝杠151与支撑台131夹紧材料试样、电源组件2接通电源之后，可以通过电源组件2为材料试样提供一定的电压，又由于施压丝杠151和支撑台131分别与电源组件2的阳极端和阴极端相连，进而可以进行静电键合，完成材料试样的有效键合连接。例如，支撑台131上放置的材料试样为叠放在一起的氧化铝片和金属铝片，其中金属铝位于氧化铝的上方，即金属铝直接与施压丝杠151接触，氧化铝直接与支撑台131接触，此时使电源组件2的阳极端与施压丝杠151相连，电源组件2的阴极端与支撑台131相连，当电源组件2有效输出设定电压时，氧化铝接阴极，金属铝接阳极，即可进行静电键合实验，经过几分钟的静电键合过程后，即可实现氧化铝和金属铝的有效键合连接。

加热装置3，所述加热装置3上设有开关键31以开启或关闭所述加热装置3，加热装置3上设有温度显示器32和温度控制板33，加热装置3的一端与所述加热件121相连，通过温度控制板33设置所述加热件121的加热温度，加热装置3的另一端与所述温度检测件122相连，通过所述温度显示器32显示所述键合室11的实时温度。从而可知，操作人员可以通过加热装置3的温度控制板33来设置键合室11需要达到的温度，通过温度显示器32来监测键合室11内的实时温度。当键合室11无需加热或保温时，可以直接通过开关键31关闭加热装置3。由此使得本发明实施例的静电键合设备100的使用更加方便，直观，方便观察记录。

绝缘罩体4罩设在键合室11的外部，绝缘罩体4的下端设有多个开口朝下的U型槽41。由此可知，当材料试样安装完成，在进行静电键合之前，将绝缘罩体4罩设在键合室11外，此时，伸入键合室11内的各连接线和管道的一部分可以卡设在U型槽41内，从而不但可以保证绝缘罩体4可以稳定地罩设在键合室11的外部，而且可以保证伸入键合室11内的连接线和管道不被挤压，进而可以有效地避免操作人员出现触电的危险，同时提高静电键合设备100工作的安全可靠性。当静电键合完成后，关闭电源，可以将绝缘罩体4移开，便可以方便材料试样的取出。

综上可知，本发明实施例的静电键合设备100，键合质量好、结构简单、操作方便，同时工作安全可靠，可在一定程度上降低静电键合设备100的制造成本和使用成本。

可以理解的是，本发明实施例的静电键合设备100，电源组件2和加热装置3是可以独立工作的，从而在进行静电键合时，可以根据材料试样的性质来选择是否需要开启加热装置3。由此使得静电键合设备100的使用更加灵活、节能，有利于降低静电键合设备100的使用成本。

根据本发明实施例的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备100，通过设置键合组件1、电源组件2、加热装置3和绝缘罩体4，由此使得材料试样的键合质量好，使得静电键合设备100的结构简单、操作方便，使用灵活，同时工作安全可靠，可在一定程度上降低静电键合设备100的制造成本和使用成本。

进一步地，如图1所示，绝缘罩体4上设有绝缘把手42，从而便于操作人员将绝缘罩体4罩设在键合室11外，同时也便于操作人员将绝缘罩体4从键合室11上移开。绝缘把手42的设置，使得绝缘罩体4的使用更加简单、安全、可靠。

进一步地，如图1-图3所示，开关门111上设有定位扣1111，定位扣1111适于在开关门111关闭键合室11后，定位开关门111的位置。由此可以提高静电键合设备100工作的安全可靠性。

进一步地，如图2和图3所示，支撑台131的上表面设有限位凹槽1313，材料试样放置在限位凹槽1313内。由此可知，限位凹槽1313的设置可以对材料试样进行一定的保护和限位，还可以在一定程度上避免材料试样随支撑台131移动时而从支撑台131上脱落，或者改变在支撑台131上的位置。进而有利于提高静电键合设备100的结构可靠性，避免不必要重复的材料试样取放操作。

进一步地，如图2所示，支撑部13包括限位块132，限位块132填充于材料试样与限位凹槽1313之间的间隙中。由此可知，限位块132的设置，可以进一步地对材料试样进行限位，通过限位块132、限位凹槽1313的配合，能够有效地对材料试样在支撑台131上的位置进行限制，提高材料试样设在支撑台131上的稳定性，进而提高静电键合设备100的可靠性。

可选地，限位块132为多个，多个限位块132的形状不同。可以理解的是，当材料试样的形状不同时，需要用相对匹配的限位块132来填充材料试样与限位凹槽1313之间的间隙，由此来增强对材料试样的限位效果。需要说明的事，限位块132可以是环形、三角形、正方形、长方形、多边形等。当然需要说明的是，限位块132也可以为多个，且多个限位块132形状相同，或者部分限位块132的形状相同。只要保证对材料试样的限位效果即可。

进一步地，如图2所示，施压部15包括施压块152，施压块152放置在材料试样和施压丝杠151之间，施压丝杠151通过施压块152压紧材料试样。从而可以理解的是，在材料试样随着支撑台131移动至键合室11内的合适位置时，可以先将施压块152有效压在材料试样上，进而可以有效地定位材料试样在支撑台131上的位置，然后再旋转施压丝杠151，使施压丝杠151向下移动至与施压块152接触且有效压紧施压块152即可。从而可以提高施压部15对材料试样的施压效果。

进一步地，施压丝杠151的头部位于键合室11的顶壁的外侧，施压丝杠151的自由端伸入键合室11内以与支撑台配合以压紧材料试样。从而便于操作人员调节施压丝杠151在上下方向上的移动，使静电键合设备100的使用更加简单、方便。

可选地，施压丝杠151的头部上设有旋转手柄。从而在操作人员旋转施压丝杠151时，只需手握旋转手柄旋转即可，由此可以降低操作人员的劳动力，操作简单。

进一步地，如图2和图3所示，支撑部13包括第一螺旋调节杆133，第一螺旋调节杆133的外端部位于所述键合室11的外侧，键合室11的后侧壁上设有第一腰型孔112，第一螺旋调节杆133贯穿第一腰型孔112并伸入键合室11内与所述支撑台131的后侧壁连接，通过手动操作第一螺旋调节杆133驱动支撑台131在键合室11内沿水平方向前后运动。从而可知，当需要使支撑台131移动以调整支撑台131在键合室11内的位置时，可以通过旋转第一螺旋调节杆133的头部来使第一螺旋调节杆133的自由端来带动支撑台131移动，由此可知，移动支撑台131的方式简单、便于操作。

进一步地，如图2和图3所示，支撑部13包括第二螺旋调节杆134，第二螺旋调节杆134的外端部位于所述键合室11外侧，键合室11的左侧壁或者右侧壁上设有第二腰型孔113，第二螺旋调节杆134贯穿第二腰型孔113并伸入所述键合室11内与所述支撑台131对应的左侧壁或者右侧壁连接，通过手动操作第二螺旋调节杆134驱动支撑台131在键合室11内沿水平方向左右运动。由此可知，第二螺旋调节杆134和第一螺旋调节杆133的调节方式相同，第一螺旋调节杆133和第二螺旋调节杆134可分别在相互垂直的方向上调节支撑台131在键合室11内的移动，进而扩大了支撑台131在键合室11内的移动范围，使得材料试样的安放和取出更加方便，静电键合设备100的使用更加灵活。同时可知，第一腰型孔112和第二腰型孔113的设置，使得键合室11的结构合理，能够保证第一螺旋调节杆133和第二螺旋调节杆134随着支撑台131移动的可靠性。即，当第一螺旋调节杆133驱动支撑台131前后运动时，此时第二螺旋调节杆134也可以随着支撑台131前后运动，第二腰型孔113的设置，给了第二螺旋调节杆134前后运动的空间。同理，当第二螺旋调节杆134驱动支撑台131左右运动时，此时第一螺旋调节杆133也可以随着支撑台131左右运动，第一腰型孔112的设置，给了第一螺旋调节杆133左右运动的空间。

进一步地，如图4所示，支撑部13包括用于夹紧材料试样的支撑夹135，支撑夹135可拆卸地设在支撑台131上。由此可知，支撑部13可以通过支撑夹135有效夹紧材料试样，进而可以通过支撑夹135对材料试样进行一定的保护和限位，在一定程度上避免材料试样随支撑台131和支撑夹135移动时脱落。进而有利于提高静电键合设备100的结构可靠性，避免不必要重复的材料试样取放操作。

可以理解的是，当需要安放材料试样时，可以先使支撑夹135设在支撑台131上，然后支撑夹135随着支撑台131移动至开关门111附近，进而便于操作人员将支撑夹135从支撑台131上拆卸下来，然后将材料试样准确地安装到支撑夹135上，随后将支撑夹135可靠地安装到支撑台131上，然后可调节支撑台131在键合室11内移动，直至支撑台131移动至与施压丝杠151配合的位置，进而便于施压丝杠151对材料试样进行有效施压，从而保证静电键合的效果。当需要取出材料试样时，同样当控制支撑台131移动至开关门111附近时，操作人员可将支撑夹135从支撑台131上拆卸下来，然后取出材料试样，再将支撑夹135重新安装到支撑台131上即可。操作灵活，方便，材料试样的安装和取放更加可靠。

进一步地，支撑台131上设有定位凸起或者定位凹槽，所述支撑夹135上设有与定位凸起相配合的定位凹槽，或者支撑夹135上设有与定位凹槽相配合的定位凸起，支撑夹135通过定位凸起与定位凹槽的配合实现与支撑台131可拆卸式连接。从而可知，支撑台131与支撑夹135的连接方式简单、可靠，支撑夹135的安装和拆卸方便。可以理解的是，在本发明的具体实施例中，可以为支撑台131上设有定位凸起，支撑夹135上设有定位凹槽；还可以为支撑台131上设有定位凹槽，支撑夹135上设有定位凸起。

可选地，定位凸起和定位凹槽的形状一致。从而有利于提高支撑夹135安装在支撑台131上的可靠性。当然在本发明的其他实施例中，定位凸起和定位凹槽的形状也可以不同，只要保证定位凸起与定位凹槽配合的可靠性，保证静电键合设备的可靠性即可。

进一步地，如图4所示，支撑夹135上设有安装凹槽1351，安装凹槽1351的内壁上相对设置限位弹簧1352，每个限位弹簧1352的自由端设有限位板1353，两个限位板1353相对安装凹槽1351的中心轴线对称设置，材料试样夹持在两个限位板1353之间。由此可知，支撑夹135的结构简单、可靠，能够有效地夹紧材料试样，材料试样的安装和取放方便。

进一步地，如图3所示，温度检测件122为热电偶，键合室11的内壁上设有保温层114。从而可以保证温度检测件122的检测效果，降低温度检测件122的成本。保温层114的设置，可以提高键合室11的加热和保温效果，提高静电键合设备100的工作效率，降低工作能耗。

可选地，如图3所示，开关门111上设有保温层114。由此可以进一步提高键合室11的加热和保温效果，提高静电键合设备100的工作效率，降低工作能耗。

根据本发明实施例的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，包括：

键合组件(1)，所述键合组件(1)包括键合室(11)、加热部(12)、支撑部(13)、供气部(14)和施压部(15)，所述加热部(12)、支撑部(13)和施压部(15)均为导电导热材料；

所述键合室(11)上设有开关门(111)以打开或关闭所述键合室(11)；

所述加热部(12)包括加热件(121)和温度检测件(122)，加热件(121)位于所述键合室(11)的内底壁上以对所述键合室(11)进行加热，温度检测件(122)的下部位于所述键合室(11)内以检测所述键合室(11)内的温度；

所述支撑部(13)包括支撑台(131)，支撑台(131)活动设置于所述键合室(11)内，支撑台(131)上放置材料试样，支撑台(131)内设有气体通道，支撑台(131)上设有与所述气体通道连通的进气孔(1311)和若干出气孔(1312)，所述进气孔(1311)位于支撑台(131)的侧壁上，多个所述出气孔(1312)分布于支撑台(131)的顶壁和侧壁上；

所述支撑部(13)包括第一螺旋调节杆(133)，第一螺旋调节杆(133)的外端部位于所述键合室(11)的外侧，键合室(11)的后侧壁上设有第一腰型孔(112)，第一螺旋调节杆(133)贯穿第一腰型孔(112)并伸入键合室(11)内与所述支撑台(131)的后侧壁连接，通过手动操作第一螺旋调节杆(133)驱动支撑台(131)在键合室(11)内沿水平方向前后运动；

所述支撑部(13)包括第二螺旋调节杆(134)，第二螺旋调节杆(134)的外端部位于所述键合室(11)外侧，键合室(11)的左侧壁或者右侧壁上设有第二腰型孔(113)，第二螺旋调节杆(134)贯穿第二腰型孔(113)并伸入所述键合室(11)内与支撑台(131)对应的左侧壁或者右侧壁连接，通过手动操作第二螺旋调节杆(134)驱动支撑台(131)在键合室(11)内沿水平方向左右运动；

所述供气部(14)包括供气罐(141)、供气管道(142)和供气开关(143)，所述供气罐(141)内装有惰性气体，供气管道(142)的一端与供气罐(141)的出气端相连，所述键合室(11)的侧壁上设有进气通道(115)，所述供气管道(142)的另一端穿过所述进气通道(115)伸入所述进气孔(1311)内以使惰性气体通过气体通道和若干出气孔(1312)排出并吹向材料试样，所述供气管道(142)为柔性可伸缩件，所述供气开关(143)用于控制惰性气体的输出与否以及调节惰性气体的输出流量；

所述施压部(15)包括施压丝杠(151)，施压丝杠(151)位于所述支撑部(13)的上方，施压丝杠(151)沿竖直方向上、下移动以调整所述施压丝杠(151)与所述支撑台(131)之间的距离，施压丝杠(151)与所述支撑部(13)配合以压紧材料试样；

电源组件(2)，所述电源组件(2)与电源相连，所述电源组件(2)的阳极端与所述施压丝杠(151)或支撑台(131)中的任一个相连，所述电源组件(2)的阴极端与所述施压丝杠(151)或支撑台(131)中的另一个相连；

加热装置(3)，所述加热装置(3)上设有开关键(31)以开启或关闭所述加热装置(3)，加热装置(3)上设有温度显示器(32)和温度控制板(33)，加热装置(3)的一端与所述加热件(121)相连，通过温度控制板(33)设置所述加热件(121)的加热温度，加热装置(3)的另一端与所述温度检测件(122)相连，通过所述温度显示器(32)显示所述键合室(11)的实时温度；

绝缘罩体(4)，所述绝缘罩体(4)罩设在所述键合室(11)的外部，绝缘罩体(4)侧壁的下缘位置处设有至少两个用于卡装连接线或者管道的U型槽(41)。

2.根据权利要求1所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述支撑台(131)的上表面设有限位凹槽(1313)，所述材料试样放置在所述限位凹槽(1313)内。

3.根据权利要求2所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述支撑部(13)包括限位块(132)，限位块(132)填充于所述材料试样与所述限位凹槽(1313)之间的间隙中。

4.根据权利要求1所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述施压部(15)包括施压块(152)，施压块(152)放置在所述材料试样和所述施压丝杠(151)之间，所述施压丝杠(151)通过施压块(152)压紧材料试样。

5.根据权利要求1所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述支撑部(13)包括用于夹紧所述材料试样的支撑夹(135)，支撑夹(135)可拆卸地设在所述支撑台(131)上。

6.根据权利要求5所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述支撑台(131)上设有定位凸起或者定位凹槽，所述支撑夹(135)上设有与定位凸起相配合的定位凹槽，或者支撑夹(135)上设有与定位凹槽相配合的定位凸起，支撑夹(135)通过定位凸起与定位凹槽的配合实现与支撑台(131)可拆卸式连接。

7.根据权利要求5所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述支撑夹(135)上设有安装凹槽(1351)，所述安装凹槽(1351)的内壁上相对设置限位弹簧(1352)，每个所述限位弹簧(1352)的自由端设有限位板(1353)，两个所述限位板(1353)相对所述安装凹槽(1351)的中心轴线对称设置，所述材料试样夹持在两个所述限位板(1353)之间。

8.根据权利要求1所述的用于柔性太阳能电池封装的静电键合设备，其特征在于，所述温度检测件(122)为热电偶，所述键合室(11)的内壁上设有保温层(114)。