CN118043678A - 扫描探针显微镜、信息处理方法以及程序 - Google Patents

Abstract

一种扫描探针显微镜，具备：观察装置(80)，其输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号；以及信息处理装置(20)，信息处理装置获取观察信号，每当获取到与观察装置(80)的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像，每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数，在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取，对观察图像执行颗粒分析。

Description

扫描探针显微镜、信息处理方法以及程序

技术领域

本发明涉及一种扫描探针显微镜、信息处理方法以及程序。

背景技术

在日本特开2000-275159号公报(专利文献1)中公开了一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具备、信息处理装置以及显示装置，所述观察装置在悬臂的前端设置有探针。观察装置通过使探针接近试样并且使探针在X轴方向和Y轴方向上扫描来生成试样表面的信息，并向信息处理装置发送该信息。信息处理装置基于该信息生成图像数据，并将与该图像数据对应的观察图像(试样表面的观察图像)显示于显示装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-275159号公报

发明内容

发明要解决的问题

有时上述的观察装置通过观察包含颗粒的试样来生成图像数据，基于该图像数据来显示包含颗粒图像的观察图像，并且对该图像数据进行颗粒分析。探针的扫描范围被试样的移动装置(扫描器)的可动作范围限制，因此在试样的观察范围超过该扫描范围的情况下，将该观察范围分为N(N为2以上的整数)个区域来进行试样S的观察。在该结构中，每当观察装置结束对一个区域的观察时，观察装置向信息处理装置输出与该区域对应的观察信号。而且，信息处理装置每当获取到该观察信号时生成与该观察信号对应的图像数据，由此生成与分割所得的区域对应的N个图像数据，并对该N个图像数据执行颗粒分析。在该情况下，信息处理装置有可能获取进行颗粒分析所需的数据数量以上的图像数据，会产生直到颗粒分析完成为止的时间变得很多的问题。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够维持分析精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间的技术。

用于解决问题的方案

按照本公开的某个方面的扫描探针显微镜具备：观察装置，其输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号；以及信息处理装置。信息处理装置获取观察信号，每当获取到与观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像，每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数，在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取。而且，信息处理装置对所生成的观察图像执行颗粒分析。

发明的效果

根据本公开的技术，在针对分割所得的每个观察区域进行计数所得到的颗粒的图像的合计数比设定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取，对基于该观察信号生成的观察图像执行颗粒分析。因而，根据本公开的技术，能够维持颗粒分析的精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间。

附图说明

图1是概要性地示出实施方式所涉及的扫描探针显微镜的结构的图。

图2是示出信息处理装置的硬件结构的一例的图。

图3是信息处理装置的功能框图的一例。

图4是颗粒图像的上限值的设定画面的一例。

图5是由信息处理装置执行的流程图的一例。

图6是观察图像的一览画面的一例。

具体实施方式

下面，参照附图来详细说明本发明的实施方式。此外，下面对图中的相同或相当的部分标注相同的附图标记，原则上不重复其说明。

[扫描探针显微镜的结构]

图1是概要性地示出实施方式所涉及的扫描探针显微镜的结构的图。实施方式所涉及的扫描探针显微镜100是利用作用在探针(probe)与试样S的表面之间的原子力(引力或斥力)来观察试样S的原子力显微镜(AFM：Atomic Force Microscope)。

参照图1，实施方式所涉及的扫描探针显微镜100具备观察装置80、信息处理装置20、显示装置26以及输入装置28来作为主要的构成要素。观察装置80具备光学系统1、悬臂2、扫描器10、试样保持部12以及驱动部16来作为主要的构成要素。

扫描器10具有圆筒形状，是用于改变试样S与探针3的相对的位置关系的移动装置。试样S被保持在载置于扫描器10上的试样保持部12上。扫描器10具有在相互正交的X、Y这两个轴向上扫描试样S的XY扫描器、以及使试样S在与X轴及Y轴正交的Z轴方向上微动的Z扫描器。XY扫描器和Z扫描器由通过从驱动部16施加的电压而变形的压电元件构成，扫描器10按照施加于该压电元件的电压，在三维方向(X轴方向、Y轴方向、Z轴方向)上进行扫描。由此，能够改变载置于扫描器10的试样S与探针3之间的相对的位置关系。

悬臂2具有与试样S相向的表面、以及与表面相反一侧的背面，悬臂2被支承于支架4。悬臂2在作为自由端的前端的表面具有探针3。探针3与试样S相向地配置。悬臂2通过作用在探针3与试样S之间的原子力而在Z轴方向上移位。

在悬臂2的上方设置有用于检测悬臂2的Z轴方向上的位移的光学系统1。光学系统1在观察试样S时，向悬臂2的背面照射激光束，并检测由悬臂2的背面反射的激光束。光学系统1具有激光光源6、分束器5、反射镜7以及光检测器8。

激光光源6具有用于发射激光束的激光振荡器。光检测器8具有用于检测所入射的激光束的光电二极管。从激光光源6发射出的激光束LA被分束器5反射而照射到悬臂2的背面。

悬臂2的背面为镜面，该背面能够反射从光学系统1照射的激光束。由悬臂2的背面反射的激光束进一步被反射镜7反射而入射到光检测器8。通过利用光检测器8检测激光束，能够检测悬臂2的位移。

具体地说，光检测器8在悬臂2的位移方向(Z轴方向)上具有分割所得的多个(通常为两个)受光面。或者，光检测器8在Z轴方向和Y轴方向上具有分割所得的四个受光面。当悬臂2在Z轴方向上移位时，照射到这些多个受光面的光量的比例发生变化。光检测器8向信息处理装置20输出与所述多个受光光量相应的检测信号。检测信号与本公开的“观察信号”对应。

信息处理装置20与光学系统1、驱动部16、显示装置26以及输入装置28以能够通信的方式连接。信息处理装置20针对各个规定的观察区域基于从光检测器8输出的检测信号生成图像数据。在通过扫描探针显微镜100来观察包含颗粒的试样S的情况下，当假定颗粒为球形状时，悬臂2的Z轴方向上的位移量(弯曲量)表示颗粒的直径。

信息处理装置20基于所生成的图像数据在显示装置26中显示观察图像。观察图像是示出试样S的表面的图像。另外，信息处理装置20控制驱动部16在三维方向上驱动扫描器10。

XY扫描器中的X轴方向和Y轴方向上的扫描范围被压电元件的可动作范围限制。因而，在试样S的观察范围超过该扫描范围的情况下，扫描探针显微镜100将该观察范围分为N(N为2以上的整数)个区域来观察试样S。在扫描探针显微镜100分为N个区域来观察试样S的情况下，观察装置80向信息处理装置20输出通过分别对各区域进行观察而获得的与N个区域对应的检测信号。信息处理装置20基于关于N个区域中的各区域的检测信号，来生成N个图像数据。信息处理装置20将与N个图像数据对应的观察图像在由液晶面板构成的显示装置26中进行一览显示。下面，将观察图像中包含的各颗粒的图像称为“颗粒图像(参照后述的图6的颗粒图像271)”。

输入受理部28受理用户的输入操作。输入装置28向信息处理装置20输出与用户的操作内容相应的信号。输入装置28可以是设置于显示装置26上的触摸面板，也可以是专用的操作按钮、鼠标或键盘等的物理操作键。

[信息处理装置的硬件结构]

图2是示出信息处理装置20的硬件结构的一例的图。信息处理装置20具有CPU(Central Processing Unit：中央处理器)160、ROM(Read Only Memory：只读存储器)162、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)164、HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)166、通信I/F(Interface：接口)168、显示I/F 170、以及输入I/F 172来作为主要的构成要素。各构成要素通过数据总线相互连接。此外，信息处理装置20的硬件结构中的至少一部分可以存在于观察装置80的内部。或者，信息处理装置20也可以与扫描探针显微镜100相互独立地构成，且构成为在与扫描探针显微镜100之间双向地进行通信。

通信I/F 168是用于与观察装置80进行通信的接口。显示I/F 170是用于与显示装置26进行通信的接口。输入I/F 170是用于与输入装置28进行通信的接口。

ROM 162保存由CPU 160执行的程序。RAM 164能够暂时保存通过执行CPU 160中的程序而生成的数据、以及经由通信I/F 168输入的数据。RAM 164能够作为被用作作业区域的暂时的数据存储器发挥功能。HDD 166是非易失性存储装置。另外，也可以采用闪速存储器等半导体存储装置，以取代HDD 166。

另外，ROM 162中保存的程序也可以被保存于记录介质并以程序产品的形式流通。或者，程序也可以由信息提供商以所谓的能够通过互联网等下载的程序产品的形式提供。信息处理装置20读取由记录介质或互联网等提供的程序。信息处理装置20将所读取的程序存储于规定的存储区域(例如，ROM 162)。CPU 160通过执行所存储的该程序来执行上述的显示处理。

记录介质不限于DVD-ROM(Digital Versatile Disk-Read Only Memory：数字光驱只读存储器)、CD-ROM(Compact Disc-Read Only Memory：紧凑型光盘只读存储器)、FD(Flexible Disk：软盘)、硬盘，也可以作为磁带、盒式磁带、光盘(MO(Magnetic OpticalDisc：磁光盘)/MD(Mini Disc：迷你磁光盘)/DVD(Digital Versatile Disc：数字多功能光盘))、光学存储卡、掩模型ROM、EPROM(Electronically Programmable Read-Only Memory：电可编程只读存储器)、EEPROM(Electronically Erasable Programmable Read-OnlyMemory：电可擦除可编程只读存储器)、闪速ROM等半导体存储器等固定地承载程序的介质。另外，记录介质是计算机能够读取程序等的非暂态的介质。

[信息处理装置的处理]

图3是信息处理装置20的功能框图的一例。信息处理装置20包括第一输入部302、生成部304、处理部306、第二输入部310以及存储部312。

第一输入部302接收来自光检测器8的检测信号的输入，并向生成部304输出该检测信号。生成部304基于检测信号生成图像数据，并向处理部306输出该图像数据。处理部306基于图像数据在显示装置26中显示观察图像。另外，在扫描探针显微镜100分N次观察试样S的情况下，处理部306将与分割所得的N个观察区域中的各观察区域对应的N个观察图像的一览显示于显示装置26。此外，观察范围的分割数N可以由用户设定，也可以由信息处理装置20自动设定。

处理部306对试样S的图像数据执行规定的分析处理。规定的分析处理包括颗粒分析。颗粒分析例如包括对观察图像中包含的颗粒图像进行计数的处理(下面，也称为“计数处理”)。另外，颗粒分析例如包括生成表示试样S的所有观察图像中包含的颗粒的粒径与具有该粒径的颗粒的颗粒图像的数量之间的关系的直方图的数据的处理。颗粒分析也可以包括除上述处理以外的其它处理。用户能够选择使信息处理装置20执行的颗粒分析。

用户能够从显示于显示装置26的N个观察图像中选择作为分析处理的对象的观察图像。用户一边观看显示于显示装置26的观察图像的一览，一边使用输入装置28选择作为分析处理的对象的观察图像。第二输入部310接收由用户从输入装置28输入的输入信息。该输入信息是表示由用户选择出的观察图像的信息。输入信息被暂时存储于存储部312。处理部306对由输入信息表示的观察图像(也就是由用户选择出的观察图像)的图像数据执行分析处理。通过这样的结构，用户能够使信息处理装置20对用户自身选择出的观察图像执行分析处理。

另外，从试样S的规格等观点出发，该试样S的每单位面积的颗粒数有时在某种程度上是固定的。在该情况下，用户能够估计进行颗粒分析所需的颗粒图像的大致数量(下面，也称为“需要数量”。)。这样的试样S例如是研磨剂。下面，说明扫描探针显微镜100观察了研磨剂的情况。

在以往的扫描探针显微镜中，即使在信息处理装置生成超过该需要数量的图像数据之后，在所生成的图像数据中包含的颗粒图像的数量达到了进行颗粒分析所需的数量之后也仍继续进行观察，直到对预先预定获取的所有观察区域(即，N个观察区域)的观察完成为止。由于在扫描探针显微镜中的所有观察完成之后执行颗粒分析，因此，信息处理装置有可能获取到进行颗粒分析所需的数据数以上的图像数据，作为结果，有时产生直到颗粒分析完成为止的时间变得很多的问题。

要应对这样的问题，考虑由用户设定利用信息处理装置生成的图像数据的上限值的结构。然而，在该结构中，即使在信息处理装置生成了超过该需要数量的颗粒图像之后，信息处理装置也持续获取检测信号直到达到由用户设定的图像数据的上限值为止。另外，在与所生成的图像数据对应的观察图像中包含极少的颗粒图像等的情况下，在由信息处理装置生成的图像数据的数量达到上限值时，就算未收集到进行颗粒分析所需的颗粒图像的数量，信息处理装置也会结束检测信号的获取处理。其结果，信息处理装置会产生无法高精度地进行颗粒分析的问题。

因此，在本实施方式的扫描探针显微镜100中构成为用户能够设定进行颗粒分析所需的颗粒图像的数量的上限值。而且，在与所生成的各图像数据对应的观察图像中包含的颗粒图像的数量的合计值比上限值大的情况下，信息处理装置20结束检测信号的获取。由此，能够获取能够保证分析精度的颗粒图像数，并且抑制获取需要以上的数量的颗粒图像，以使颗粒分析快速开始，因此，能够维持分析精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间。

图4是用于用户设定颗粒图像的合计数的上限值的设定画面的一例。在用户对输入装置28执行了用于显示设定画面的规定操作时，图4的设定画面显示于显示装置26的显示区域26A。

参照图4，设定画面包含输入区域234和确定按钮236。另外，用户使用输入装置28在输入区域234输入颗粒图像的合计数的上限值。当用户在输入上限值之后操作确定按钮236时，第二输入部310受理该上限值的输入，并且使所受理的上限值存储于存储部312。这样，能够由用户设定所期望的上限值。在图4的例子中示出了设定7000来作为上限值的例子。

[信息处理装置的流程图]

图5是信息处理装置20的流程图的一例。例如在由用户对扫描探针显微镜100执行了规定的开始操作时开始进行图5的处理。参照图5，在步骤S2中，信息处理装置20判断是否从观察装置80的光检测器8获取到与一个观察区域对应的检测信号。信息处理装置20重复步骤S2的处理，直到获取到检测信号为止。在步骤S4中，信息处理装置20的生成部304基于所获取到的检测信号来生成图像数据。

接着，在步骤S6中，处理部306对与所生成的图像数据对应的观察图像中包含的颗粒图像进行计数。然后，处理部306通过将计数所得的颗粒图像数量ΔM与颗粒图像数量的合计值M相加来更新合计值M(M＝M+ΔM)。更新后的合计值M被存储于存储部312。

接着，在步骤S8中，信息处理装置20的处理部306判定颗粒图像的合计数M是否比由用户设定的上限值大。在颗粒图像的合计数M为上限值以下的情况下(步骤S8：“否”)，处理部306使处理返回步骤S2。之后，通过重复执行步骤S2～步骤S6的处理，合计值M增加并被更新。

在步骤S8中，在颗粒图像的合计数M高于上限值的情况下(步骤S8：“是”)，处理进入步骤S10。在步骤S10中，信息处理装置20结束对从观察装置80输出的检测信号的获取。另外，在步骤S10中，信息处理装置20向观察装置80发送用于使观察装置80的观察处理结束的结束信号。当接收到结束信号时，观察装置80结束观察处理。

接着，在步骤S12中，处理部306将所生成的观察图像显示于显示装置26。图6是通过图5的步骤S12而显示的一览画面的一例。在图6的例子的一览画面中显示出八个观察图像270。观察图像270各自包含一个以上的颗粒图像271。与八个观察图像270中的各观察图像相对应地显示复选框272以及颗粒图像数量的显示区域274。除此以外，还显示选择按钮262、解除按钮264、粒径计算按钮266以及结束按钮276。

在显示区域274显示与该显示区域274对应的该观察图像中包含的颗粒图像的数量。在图6的例子中，显示出颗粒图像的数量为2000的一个观察图像、以及颗粒图像的数量为800的七个观察图像。

用户能够通过点击复选框272来使该复选框272内的选中标记280在显示与非显示之间切换。

当粒径计算按钮266被操作时，在图5的步骤S14中，处理部306对与显示有选中标记280的观察图像对应的图像数据执行分析处理(在图6的例子中为粒径的计算)。另一方面，处理部306不对与未显示选中标记280的观察图像对应的图像数据执行分析处理。

另外，当选择按钮262被操作时，在所有复选框272中一并显示选中标记280。另外，当解除按钮264被操作时，将在关于适当的观察图像的所有复选框272中显示出的选中标记280一并设为非显示。像这样，能够将选中标记280一并设为显示或非显示，因此，能够提高用户的便利性。另外，当结束按钮276被操作时，使一览画面向其它画面(例如，主画面)迁移。

如图5的步骤S8、步骤S10等所示，在颗粒图像的合计数变得比上限值大的情况下，扫描探针显微镜100结束检测信号的获取。处理部306对基于所获取到的该检测信号而生成的图像数据执行颗粒分析。因而，在本实施方式的扫描探针显微镜100中，例如与执行所有观察区域的观察的情况相比较，能够缩短直到颗粒分析完成为止的时间。另外，在扫描探针显微镜100中，由于颗粒图像的合计数比上限值大，因此收集到进行颗粒分析所需的数量的颗粒图像，因此能够保证颗粒分析的精度。

如图5的步骤S10所示，信息处理装置20在结束了检测信号的获取时，向观察装置80发送结束信号。观察装置80当接收到结束信号时结束观察处理。因而，信息处理装置20能够防止使观察装置80执行不需要的观察处理。

另外，如图6所示，显示装置26以可供用户选择的方式显示观察图像的一览。因而，能够对用户所期望的观察图像的图像数据执行颗粒分析，因此，能够提高用户的便利性。

[其它实施方式]

(1)在上述的实施方式中，说明了设定颗粒图像的数量的上限值的结构。然而，也可以采用设定颗粒图像的数量的下限值的结构。在该结构中，图5的步骤S8的上限值被替代为“下限值”。此外，上述的上限值或下限值与本公开的“阈值”对应。

(2)在上述的实施方式中，说明了用户设定阈值(上限值或下限值)的结构(参照图4等)。然而，信息处理装置20的处理部306也可以自动设定阈值。例如，对多个试样S中的各试样附加试样ID(identification：识别符)，在预先针对每个该试样ID相对应地存储有阈值的情况下，通过用户使用输入装置28输入试样ID，由此信息处理装置20自动设定与所输入的该试样ID对应的阈值。根据这样的结构，能够减轻由用户设定阈值的负担。

(3)在上述的实施方式中，说明了信息处理装置20在显示装置26中显示观察图像的一览并使用户选择作为颗粒分析的对象的观察图像的结构。然而，信息处理装置20也可以不显示观察图像的一览地对所生成的图像数据执行分析处理。

(4)在上述的实施方式中，说明了在扫描探针显微镜中采用本实施方式的构思的结构。然而，也可以在除扫描探针显微镜以外的显微镜(例如，扫描激光共焦显微镜)中采用本实施方式的构思。

[方式]

本领域技术人员应能理解，上述的多个例示性的实施方式是下面的方式的具体例。

(第一项)一个方式所涉及的扫描探针显微镜具备：观察装置，其输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号；以及信息处理装置，所述信息处理装置获取所述观察信号，每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像，每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数，在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束所述观察信号的获取，对生成的观察图像执行颗粒分析。

根据第一项所记载的扫描探针显微镜，在针对分割所得的每个观察区域进行计数所得到的颗粒的图像的合计数变得比设定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取，对基于该观察信号生成的观察图像执行颗粒分析。因而，根据本公开的技术，能够维持颗粒分析的精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间。

(第二项)在第一项所记载的扫描探针显微镜中，所述信息处理装置从用户处受理所述阈值，将从用户处受理的所述阈值设定于存储部。

根据第一项所记载的扫描探针显微镜，用户能够设定阈值。因而，能够使信息处理装置执行反映出用户所期望的阈值的颗粒分析。

(第三项)在第一项或第二项所记载的扫描探针显微镜中，所述信息处理装置响应于结束了所述观察信号的获取这一情况而向所述观察装置发送用于结束观察的结束信号。

根据第三项所记载的扫描探针显微镜，能够防止使观察装置执行不需要的观察处理。

(第四项)还具备显示装置，所述显示装置由所述信息处理装置控制，所述信息处理装置将所生成的观察图像显示于所述显示装置，对所述显示装置所显示的观察图像中的用户所选择的观察图像执行所述颗粒分析。

根据第四项所记载的扫描探针显微镜，能够防止使观察装置执行不需要的观察处理。由于对用户所期望的观察图像执行颗粒分析，因此能够提高用户的便利性。

(第五项)一个方式所涉及的控制方法是用于控制能够与观察装置进行通信的信息处理装置的控制方法，所述观察装置输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号，所述控制方法包括以下步骤：获取所述观察信号；每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像；每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数；在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束所述观察信号的获取；以及对所生成的观察图像执行颗粒分析。

根据第五项所记载的控制方法，在针对分割所得的每个观察区域进行计数所得到的颗粒的图像的合计数变得比设定的阈值大的情况下，结束观察信号的获取，对基于该观察信号生成的观察图像执行颗粒分析。因而，根据本公开的技术，能够维持颗粒分析的精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间。

(第六项)一个方式所涉及的程序使能够与输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号的观察装置进行通信的计算机执行以下步骤：获取所述观察信号；每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像；每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数；在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束所述观察信号的获取；以及对生成的观察图像执行颗粒分析。

根据第六项所记载的程序，在针对分割所得的每个观察区域计数所得的颗粒的图像的合计数比设定的阈值大的情况下结束观察信号的获取，对基于该观察信号生成的观察图像执行颗粒分析。因而，根据本公开的技术，能够维持颗粒分析的精度并且缩短直到颗粒分析完成为止的时间。

本次公开的各实施方式也预定在技术上不矛盾的范围内适当组合来实施。而且，应该认为本次公开的实施方式在全部方面均为例示，而非限制性的。本实施方式的范围由权利要求书示出，而不是由上述的实施方式的说明示出，并且本实施方式的范围意在包含与权利要求书均等的含义及范围内的所有变更。

附图标记说明

1：光学系统：2：悬臂；3：探针；4：支架；5：分束器；6：激光光源；7：反射镜；8：光检测器；10：扫描器；12：试样保持部；16：驱动部；20：信息处理装置；26：显示装置；28：输入装置；80：观察装置；100：扫描探针显微镜；162：ROM；164：RAM；234：输入区域；236：确定按钮；262：选择按钮；264：解除按钮；266：粒径计算按钮；270：观察图像；271：颗粒图像；272：复选框；276：结束按钮；280：复选；302：第一输入部；304：生成部；306：处理部；310：第二输入部；312：存储部。

Claims (6)

1.一种扫描探针显微镜，具备：

观察装置，其输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号；以及

信息处理装置，

其中，所述信息处理装置获取所述观察信号，

所述信息处理装置每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像，

所述信息处理装置每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数，

在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，所述信息处理装置结束所述观察信号的获取，

所述信息处理装置对所生成的观察图像执行颗粒分析。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

所述信息处理装置从用户处受理所述阈值，

所述信息处理装置将从用户处受理的所述阈值设定于存储部。

3.根据权利要求1或2所述的扫描探针显微镜，其中，

所述信息处理装置响应于结束了所述观察信号的获取这一情况而向所述观察装置发送用于结束观察的结束信号。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的扫描探针显微镜，其中，

还具备显示装置，所述显示装置由所述信息处理装置控制，

所述信息处理装置将所生成的观察图像显示于所述显示装置，

所述信息处理装置对所述显示装置所显示的观察图像中的用户所选择的观察图像执行所述颗粒分析。

5.一种信息处理方法，是由能够与观察装置进行通信的信息处理装置进行的信息处理方法，所述观察装置输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号，所述信息处理方法包括以下步骤：

获取所述观察信号；

每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像；

每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数；

在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束所述观察信号的获取；以及

对所生成的观察图像执行颗粒分析。

6.一种程序，使能够与输出通过观察包含颗粒的试样而得到的观察信号的观察装置进行通信的计算机执行以下步骤：

获取所述观察信号；

每当获取到与所述观察装置的一个观察区域对应的观察信号时，基于该观察信号生成观察图像；

每当生成观察图像时，对该观察图像中包含的颗粒的图像的数量进行计数；

在计数所得的颗粒的图像的合计数变得比预先决定的阈值大的情况下，结束所述观察信号的获取；以及

对所生成的观察图像执行颗粒分析。