CN117984663A - 液体喷出头、以及液体喷出装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置。该液体喷出头具有：喷嘴；压电体，其通过被施加有电压从而被驱动；上部电极，其位于压电体的上部，并与压电体电连接；下部电极，其位于压电体的下部，并与压电体电连接；上部电极配线，其位于上部电极的上部，并用于对上部电极和外部电源进行电连接；下部电极配线，其用于对下部电极和外部电源进行电连接；振动板，其位于下部电极的下部，并通过压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其被设置有压力室以及第一吸收室，所述压力室通过振动板的振动而向液体施加有用于从喷嘴中喷出液体的压力，所述第一吸收室吸收从压力室传播的液体的振动，在第一吸收室的上部上，设置有上部电极和上部电极配线。

Description

液体喷出头、以及液体喷出装置
技术领域
本发明涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置。
背景技术
以往，已知有一种通过压电元件从而从喷嘴喷出压力室内的液体的液体喷出头。例如，在专利文献1所记载的液体喷出头中，压电元件具备压电体、被设置在压电体之上的上部电极、和被设置在压电体之下的下部电极。
在各电极上，分别经由配线而被施加有电压。在专利文献1所记载的液体喷出头中，对于用于向上部电极供给电压的配线而言，出于作为上部电极的锤的目的、和尽量低电阻化这样的目的，从而被设置为覆盖压力室的两边缘端的上部。
但是，由于压力室原本为通过进行振动从而使液体从喷嘴中喷出的功能部，因此在压力室的上部设置配线等从而使振动特性降低的情况并不优选。因此，在液体喷出头中，期望有一种不会降低喷出特性的配线设计结构的技术。
专利文献1：日本特开2021-024151号公报
发明内容
本公开能够作为以下的方式而实现。
根据本公开的第一方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头具有：喷嘴；压电体，其通过被施加有电压从而被驱动；上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接；下部电极配线，其用于对所述下部电极和所述外部电源进行电连接；振动板，其位于所述下部电极的下部，并通过所述压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其设置有压力室以及第一吸收室，其中，所述压力室通过所述振动板的振动从而向液体施加有用于从所述喷嘴中喷出液体的压力，所述第一吸收室吸收从所述压力室传播的液体的振动，在所述第一吸收室的上部上，被设置有所述上部电极和所述上部电极配线。
根据本公开的第二方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置具有：上述第一方式中的液体喷出头；控制部，其对使液体从所述液体喷出头中喷出的喷出动作进行控制。
附图说明
图1为表示本公开的第一实施方式中的液体喷出装置的概要结构的说明图。
图2为表示液体喷出装置的框图。
图3为液体喷出头的局部剖视图。
图4为液体喷出头的剖视图，且为图3中的IV-IV线剖视图。
图5为液体喷出头的剖视图，且为图3中的V-V线剖视图。
图6为液体喷出头的剖视图，且为图3中的VI-VI线剖视图。
图7为放大了振动板和压电元件及其附近的一部分的剖视图。
图8为表示上部电极配线及其周边部件的俯视图。
图9为放大了振动板和压电元件及其附近的一部分的剖视图。
具体实施方式
A.第一实施方式：
A1.液体喷出装置1的结构：
图1为，表示作为本公开的第一实施方式的液体喷出装置1的概要结构的说明图。在本实施方式中，液体喷出装置1为，向作为印刷介质的印刷纸张PA(以下，仅称为“纸张PA”)喷出作为液体的一个示例的油墨从而形成图像的喷墨式打印机。在液体喷出装置1中，也可以代替纸张PA而将树脂薄膜、布帛等任意种类的介质作为油墨的喷出对象。
液体喷出装置1具备喷出油墨的液体喷出头10、对油墨进行贮留的液体容器2、搭载了液体喷出头10的滑架3、对滑架3进行输送的滑架输送机构4、对纸张PA进行输送的介质输送机构5、以及控制部30。控制部30为，对液体的喷出进行控制的控制部。
作为液体容器2的具体的方式，例如可列举出能够在液体喷出装置1上进行拆装的盒、由可挠性的薄膜所形成的袋状的油墨包、以及能够补充油墨的油墨罐。另外，被贮留于液体容器2中的油墨的种类是任意的。液体喷出装置1例如以与四种颜色的油墨相对应的方式而具备多个液体容器2。作为四种颜色的油墨，例如存在有蓝绿色、品红色、黄色以及黑色。液体容器2也可以为被搭载于滑架3上的部件。
液体喷出装置1具备使油墨循环的循环机构8。循环机构8包括向液体喷出头10供给油墨的供给流道81、对从液体喷出头10被排出的油墨进行回收的回收流道82、和传送油墨的泵83。
滑架输送机构4具有用于对滑架3进行输送的输送带4a以及电机。介质输送机构5具有用于对纸张PA进行输送的输送辊5a以及电机。滑架输送机构4以及介质输送机构5通过控制部30而被控制。在液体喷出装置1中，在通过介质输送机构5来输送纸张PA的同时，通过滑架输送机构4来输送滑架3，从而向纸张PA喷出油墨滴而进行印刷。
图2为，表示液体喷出装置1的框图。如图2所示那样，液体喷出装置1具备线性编码器6。线性编码器6被设置在能够对滑架3的位置进行检测的位置上。线性编码器6取得与滑架3的位置相关的信息。线性编码器6伴随着滑架3的移动而向控制部30输出编码器信号。
控制部30包括一个或多个CPU31。控制部30也可以代替CPU31、或者除了CPU31以外还具备FPGA。控制部30包括存储部35。存储部35例如具备ROM36以及RAM37。存储部35也可以具备EEPROM或者PROM。存储部35能够对从主计算机被供给的印刷数据Img进行存储。存储部35对液体喷出装置1的控制程序进行存储。
CPU为，Central Processing Unit(中央处理器)的简称。FPGA为，field-programmable gate array(现场可编程逻辑门阵列)的简称。RAM为，Random AccessMemory(随机存取存储器)的简称。ROM为，Read Only Memory(只读存储器)的简称。EEPROM为，Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory(电可擦可编程只读存储器)的简称。PROM为，Programmable ROM(可编程只读存储器)的简称。
控制部30生成用于对液体喷出装置1的各个部分的动作进行控制的信号。控制部30能够生成印刷信号SI以及波形指定信号dCom。印刷信号SI为，用于对液体喷出头10的动作的种类进行指定的数字信号。印刷信号SI能够对是否向压电元件20供给驱动信号Com进行指定。波形指定信号dCom为，对驱动信号Com的波形进行规定的数字信号。驱动信号Com为，用于对压电元件20进行驱动的模拟信号。
液体喷出装置1具备驱动信号生成电路32。驱动信号生成电路32与控制部30电连接。驱动信号生成电路32包括DA转换电路。驱动信号生成电路32生成具有被波形指定信号dCom所规定的波形的驱动信号Com。控制部30在从线性编码器6接收到编码器信号时，向驱动信号生成电路32输出定时信号PTS。定时信号PTS对驱动信号Com的生成定时进行规定。驱动信号生成电路32在每次接收到定时信号PTS时，输出驱动信号Com。
驱动电路7与控制部30以及驱动信号生成电路32电连接。驱动电路7基于印刷信号SI，从而对是否向压电元件20供给驱动信号Com进行切换。驱动电路7能够基于从控制部30被供给的印刷信号SI、锁存信号LAT以及转换信号CH，从而对被供给驱动信号Com的压电元件20进行选择。锁存信号LAT对印刷数据Img的锁存定时进行规定。转换信号CH对驱动信号Com中所包含的驱动脉冲的选择定时进行规定。
控制部30对由液体喷出头10实施的油墨的喷出动作进行控制。控制部30通过对压电元件20进行驱动，从而使压力室C内的油墨的压力发生变动，进而从喷嘴N中喷出油墨。关于压电元件20、压力室C、喷嘴N等的详细结构将在后文中进行叙述。控制部30在实施印刷动作时，对喷出动作进行控制。
A2.液体喷出头10的结构：
接下来，对液体喷出头10的结构进行说明。图3为，液体喷出头10的局部剖视图。在以下的说明中，将相互交叉的三个方向设为X轴方向、Y轴方向、Z轴方向来进行说明。液体喷出头10采用使液体向后文叙述的供给侧共同流道41、独立流道42、排出侧共同流道43循环的循环方式。
X轴方向为，图3中的左右方向，并且包括作为互相相反的方向的X1方向(在图3中为右方向)以及X2方向(在图3中为左方向)。Y轴方向包括作为互相相反的方向的Y1方向以及Y2方向。Y1方向在图3中为纸面纵深方向。Y2方向在图3中为纸面近前方向。Z轴方向为，图3中的上下方向，并且包括作为互相相反的方向的Z1方向(在图3中为下方向)以及Z2方向(在图3中为上方向)。另外，在下文中，有时也将Z1方向设为“下”、将Z2方向设为“上”来进行说明。
此外，“X2侧”为“第一侧”的一个示例，“X1侧”相当于“第二侧”的一个示例。因此，在下文中，将“X2侧”又称为“第一侧”，将“X1侧”又称为“第二侧”。X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向相互正交。虽然Z轴方向通常为沿着上下方向的方向，但是Z轴方向也可以不是沿着上下方向的方向。另外，在以下的说明中，也有时会将Z1方向作为“上”、将Z2方向作为“下”来进行说明。
在本说明书中，有时会使用“供给侧”以及“排出侧”这样的术语。“供给侧”表示在液体的流道上与喷嘴N相比靠上游侧。此外，有时会将关联到与喷嘴N相比靠上游侧的部分称为“供给侧”。此外，有时会将关联到与喷嘴N相比靠下游侧的部分称为“排出侧”。
液体喷出头10具备喷嘴基板21、连通板22、压力室基板23、振动板24、密封板25以及压电元件20。此外，液体喷出头10具备壳体26以及COF60。COF为，Chip on Film(覆晶薄膜)的简称。COF60为，被形成有用于对控制部30和液体喷出头10进行电连接的多个配线的安装部件。COF60相当于“配线基板”。
进一步地，液体喷出头10具有供给侧共同流道41、多个独立流道42、排出侧共同流道43、多个压力室C、第一吸收室44、第二吸收室45、第一可塑性部51、第二可塑性部52、第三可塑性部53以及第四可塑性部54。另外，由于多个独立流道42以及多个压力室C沿着Y轴方向而排列，因此在图3中分别仅示出了各一个。在本实施方式中，对喷出作为液体的一个示例的油墨的液体喷出头10进行说明。液体并未被限定于油墨，液体喷出头10也能够喷出其他液体。
喷嘴基板21、连通板22、压力室基板23、振动板24、密封板25以及壳体26的各个厚度方向是沿着Z轴方向的。喷嘴基板21被配置在液体喷出头10的底部。在喷嘴基板21的Z2方向上，被配置有连通板22。在连通板22的Z2方向上，被配置有压力室基板23。换而言之，连通板22被设置于压力室基板23与喷嘴基板21之间。在压力室基板23的Z2方向上，被设置有振动板24。振动板24例如由SiO2形成。关于振动板24的详细内容将在后文中进行叙述。振动板24为与压力室基板23不同的部件，其既可以通过被粘合在压力室基板23上而被配置，也可以通过对压力室基板23的Z2方向的表面实施热氧化等处理而被形成。
在振动板24的Z2方向上，被配置有密封板25。密封板25对振动板24、第一可塑性部51以及第三可塑性部53、压电元件20以及压力室基板23进行覆盖。壳体26被配置在密封板25上。压电元件20以与压力室C相对应的方式被设置。
流道的说明
首先，对被形成在液体喷出头10内的液体流道进行说明。液体流道包括未图示的供给口以及排出口、供给侧共同流道41、多个独立流道42、以及排出侧共同流道43。图3中以虚线来对供给侧共同流道41与各个独立流道42的边界La进行图示。另外，在供给侧共同流道41与各个独立流道42的边界处，设置有未图示的众所周知的流道节流器。
供给侧共同流道41相对于多个压力室C而被共同设置。供给侧共同流道41以跨及多个压力室C的方式在Y轴方向上连续。供给侧共同流道41包括被设置在壳体26中的液室部61、被设置在压力室基板23中的液室部62、以及被设置在连通板22中的液室部63。这些液室部61、62、63在Z轴方向上连续。
第一吸收室44为供给侧的吸收室，并且位于压力室C的X1方向上。第一吸收室44与压力室C的上游连通。第一吸收室44构成供给侧共同流道41的一部分。
多个独立流道42相对于多个压力室C而被分别设置，并且被排列在Y轴方向上。独立流道42被配置在供给侧共同流道41的下游处。独立流道42与被设置在压力室基板23中的液室部62的下游连通。独立流道42从上游起依次具有压力室C、第一连通流道65、第二连通流道66和第三连通流道67。
多个喷嘴N经由第一连通流道65以及第二连通流道66而分别与多个压力室C连通。各个喷嘴N相对于各个压力室C而位于Z1方向上。多个第一连通流道65在Z轴方向上延伸。多个第二连通流道66与第一连通流道65的Z1方向的端部相连接，并且在X2方向上延伸。喷嘴N位于第二连通流道66中的X轴方向上的大致中央处。多个第三连通流道67与第二连通流道66的X2方向的端部相连接，并且在Z2方向上延伸。
排出侧共同流道43相对于多个压力室C而被共同设置。排出侧共同流道43与多个独立流道42共同连通。排出侧共同流道43经由独立流道42从而与各个压力室C连通。排出侧共同流道43被配置在各个独立流道42的下游处。
排出侧共同流道43在Y轴方向上连续。排出侧共同流道43包括被设置在壳体26中的液室部71、被设置在压力室基板23中的液室部72、以及被设置在连通板22中的液室部73。这些液室部71、72、73在Z轴方向上连续。另外，液室部61、71由设置在壳体26上的贯穿孔形成。
各个基板的说明
图4至图6为，液体喷出头10的剖视图，并且图4为图3中的IV-IV线剖视图，图5为图3中的V-V线剖视图，图6为图3中的VI-VI线剖视图。在下文中，适当参照图3至图6来对构成液体喷出头10的各个基板的结构进行说明。如图3所示那样，在喷嘴基板21上，形成有在Z方向上贯穿喷嘴基板21的喷嘴N。如上文所述那样，液体喷出头10经由该喷嘴N而喷出液体。在喷嘴基板21上，通过多个喷嘴N沿着Y轴方向而排列多个，从而形成喷嘴列。喷嘴基板21例如由不锈钢等金属、聚酰亚胺树脂这样的有机物、或者单晶硅基板等形成。
如图3、图5所示那样，在压力室基板23中，被形成有供给侧液室部62、第一吸收室44、压力室C、第二吸收室45和排出侧液室部72。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72一起构成了液体的流道的一部分。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72在X轴方向上延伸。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72在Z轴方向上贯穿压力室基板23。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72具有预定的容积。
多个压力室C在Y轴方向上以预定的间隔而被配置。多个压力室C在Y轴方向上，被配置在与第一吸收室44以及第二吸收室45相同的位置上。在Y轴方向上对应的压力室C和第一吸收室44邻接，并在X轴方向上连通。供给侧液室部62与被设置在壳体26中的液室部61、被设置在连通板22中的液室部63一起形成了供给侧共同流道41。
本实施方式的压力室基板23由单晶硅基板形成。在其他实施方式中，压力室基板23例如也可以由不锈钢(SUS)或镍(Ni)等金属、以氧化锆(ZrO2)或者氧化铝(Al2O3)为代表的陶瓷材料、玻璃陶瓷材料、氧化镁(MgO)、铝酸镧(LaAlO3)这样的氧化物等形成。在本实施方式中，压力室C以及吸收室44、45例如通过利用各向异性蚀刻来对压力室基板23进行加工，从而被形成。另外，关于压力室C以及吸收室44、45的功能的详细内容，将在后文叙述。
连通板22被配置在喷嘴基板21与压力室基板23之间，并且通过粘合剂等而被固定在喷嘴基板21上。连通板22例如由单晶硅基板形成。如图3、图6所示那样，在连通板22中，被形成有供给侧液室部63、排出侧液室部73、第一连通流道65、第二连通流道66和第三连通流道67。各个液室部63、73、第一连通流道65以及第三连通流道67以在Z方向上贯穿连通板22的方式而被形成。此外，第二连通流道66并未在Z方向上贯穿连通板22，而是作为连通板22的下表面凹陷的部分而被形成。液室部73与被形成在壳体26中的液室部71、被形成在压力室基板23中的液室部72一起形成了排出侧共同流道43。
如图3所示那样，密封板25为，在Z1方向的下表面上被设置有凹部的部件。凹部在压力室C以及各个吸收室44、45的Z2侧处，在与压力室C以及各个吸收室44、45相对置的位置上开口。具体而言，在本实施方式的密封板25上，作为凹部而被设置有第一凹部75、第二凹部76和第三凹部77。
第一凹部75在与压力室C相对置的位置上开口。第二凹部76在与第一吸收室44相对置的位置上开口。第三凹部77在与第二吸收室45相对置的位置上开口。各个凹部75、76、77之间通过作为密封板25的一部分而被形成的壁部从而被隔离开来。另外，在本实施方式中，各个凹部75、76、77的开口的深度相等。即，各个凹部75、76、77的Z方向上的尺寸相等。
此外，各个凹部75、76、77与液体的流道不连通，且在凹部75、76、77中没有液体流通。各个凹部75、76、77的X轴方向上的宽度按照从大到小的顺序为第一凹部75、第二凹部76、第三凹部77。如图3、图4所示那样，第一凹部75、第二凹部76以及第三凹部77以跨及液体喷出头10的Y轴方向上的宽度的方式而延伸。第二凹部76以及第三凹部77的Y轴方向上的宽度相同。在密封板25的与X轴方向的中央部相比靠X2方向的位置上，被设置有在Z轴方向上贯穿密封板25的贯穿孔78。在贯穿孔78中，被插入有上述COF60。在向上下方向(Z方向)观察时，COF60、压力室C、第一吸收室44从第一侧朝向第二侧而按照该顺序排列配置。在X轴方向上，从压力室C起至第一吸收室44为止的距离(流道长度)与从压力室C起至第二吸收室45为止的距离(流道长度)相比而较近(较短)。
振动板24被层叠在压力室基板23上。压电元件15、16、20被层叠在振动板24上。多个压电元件20位于第一凹部75内。压电元件15位于第二凹部76内。压电元件16位于第三凹部77内。压电元件20为液体喷出用的压电元件。
虽然各个压电元件15、16、20的详细内容将在后文叙述，但压电元件20为，通过经由上下电极被施加电压从而进行驱动的致动器。另一方面，虽然压电元件15、16在具有两个或者一个电极和压电体这一点上是与压电元件20大致相同的结构，但是由于是不向流道内的液体施加压力，而是用于进行振动吸收的部件，因此并不与控制部30电连接，且不被驱动。另外，关于各个压电元件15、16、20的具体结构及其周边的结构的详细内容，将使用图7至图9而在后文叙述。
可塑性部的说明
接下来，对第一可塑性部51～第四可塑性部54的结构进行说明。第一可塑性部51为，用于吸收供给侧的液体的振动的吸收部。第一可塑性部51具备振动板24和压电元件15。如图4所示那样，第一可塑性部51以跨及排出侧共同流道43的Y轴方向的宽度的方式而在Y轴方向上连续。在振动板24上，被形成有以跨及Y轴方向上的宽度方式而在Y轴方向上连续的压电元件15。第一可塑性部51的X轴方向的宽度W1相当于压电元件15的X轴方向上的宽度。振动板24能够承受液体的压力而发生变形。振动板24因液体的压力而发生变形，从而能够吸收第一吸收室44内的液体的压力变动。压电元件15被配置于在向Z轴方向进行观察时与第一吸收室44重叠的位置上。
第二可塑性部52为，用于吸收供给侧的液体的振动的吸收部。第二可塑性部52被设置在连通板22的Z1方向上。第二可塑性部52为，吸收供给侧共同流道41内的液体的压力变动的可挠性薄膜。如图3所示那样，第二可塑性部52以对连通板22的液室部63的Z1方向侧的开口部进行封堵的方式而被设置在连通板22的下表面上，并且构成了供给侧共同流道41的壁面(具体而言为底面)。
在此，将穿过压力室C的Z方向上的中心位置、且处于包括X轴和Y轴的XY平面上的线L1，设为压力室C的基准位置。压力室C与第一可塑性部51的Z轴方向的距离D1短于压力室C与第二可塑性部52的Z轴方向的距离D2。距离D1为，从压力室C的基准位置起至振动板24的底面为止的距离。距离D2为，从压力室C的基准位置起至第二可塑性部52的上表面为止的距离。另外，从压力室C起至第一可塑性部51为止的流道长度短于从压力室C起至第二可塑性部52为止的流道长度。
第二可塑性部52的Z轴方向的厚度薄于第一可塑性部51的Z轴方向的厚度。第二可塑性部52的X轴方向上的宽度W2(参照图6)大于第一可塑性部51的X轴方向的宽度W1(参照图4)。第一可塑性部51的Y轴方向的宽度与第二可塑性部52的Y轴方向的宽度大致相同。
根据上述那样的第一可塑性部51以及第二可塑性部52的物性、尺寸等，第二可塑性部52的可塑性能力大于第一可塑性部51的可塑性能力。可塑性能力是与柔量相同的意思，能够使用以下的式(1)来表达。
数学式1
[Math.1]
在式(1)中，“ν”为振动板24的泊松比。“ν”为构成可塑性部的材料的物性值。“E”为杨氏模量。“E”为构成可塑性部的材料的物性值。
“w”为可塑性部所覆盖的沿着X轴的开口的长度。“l”为可塑性部所覆盖的沿着Y轴的开口的长度。“t”为可塑性部的厚度。另外，虽然在此由于w＜l，因此成为上述的条件，但是在w＞l的情况下，“w”成为沿着Y轴的长度，“l”成为沿着X轴的长度。
第三可塑性部53为，用于吸收排出侧的液体的振动的吸收部。第三可塑性部53的结构与第一可塑性部51大致相同，并且具备振动板24和压电元件16。构成第三可塑性部53的振动板24在Y轴方向上连续。第三可塑性部53的X轴方向的宽度相当于多个压电元件16的X轴方向上的宽度。振动板24能够承受液体的压力而发生变形。振动板24因液体的压力而发生变形，从而能够吸收第二吸收室45内的液体的压力变动。
在振动板24上，被形成有以跨及Y轴方向的宽度方式而在Y轴方向上连续的压电元件16。压电元件16被对应设置于在向Z轴方向进行观察时与第二吸收室45重叠的位置处。
第四可塑性部54为，用于吸收排出侧的液体的振动的吸收部。第四可塑性部54被设置在连通板22的Z1方向上。第四可塑性部54为，吸收排出侧共同流道43内的液体的压力变动的可挠性薄膜。第四可塑性部54以对连通板22的液室部73的Z1方向侧的开口部进行封堵的方式而被设置在连通板22的下表面上，并且构成了排出侧共同流道43的壁面(具体而言为底面)。
在此，压力室C与第三可塑性部53的Z轴方向的距离、和压力室C与第一可塑性部51的Z轴方向上的距离D1相同。此外，压力室C与第四可塑性部54的Z轴方向的距离、和压力室C与第二可塑性部52的Z轴方向的距离D2相同。即，压力室C与第三可塑性部53的Z轴方向的距离D1短于压力室C与第四可塑性部54的Z轴方向的距离D2。
另外，优选为，通过对形成上述各个可塑性部51～54的材料、或可塑性部51～54的厚度等进行调节，从而形成可塑性部51～54，以便具有适于吸收从压力室C传播来的液体的振动的可挠性。另外，由于位于第二凹部76以及第三凹部77内的压电元件15、16与第一凹部75内的压电元件20不同且不会向压力室内的液体施加压力，因此不与控制部30电连接。
压电元件15、16、20以及配线的结构
图7为，放大了振动板24和压电元件20、15及其附近的一部分的剖视图。振动板24通过压电元件20的驱动而进行振动。如图7所示那样，振动板24由第一绝缘层241和第二绝缘层242的层叠体构成。第一绝缘层241与压力室基板23接触。第二绝缘层242相对于第一绝缘层241而位于与压力室基板23相反的位置处。
第一绝缘层241为，由二氧化硅(SiO2)等弹性材料形成的弹性膜。第二绝缘层242由二氧化锆(ZrO2)等绝缘材料形成。第一绝缘层241以及第二绝缘层242分别通过热氧化或者溅射等公知的成膜技术而被形成。另外，也能够通过针对预定的板厚的板状部件中的与压力室C相对应的区域而选择性地将板厚方向上的一部分去除，从而一体地形成压力室基板23和振动板24的一部分或者全部。
密封板25例如利用粘合剂而被固定在振动板24的上表面上。压电元件20大致而言是将下部电极153、压电体152和上部电极151按照该顺序层叠在振动板24上而形成的结构体。上部电极151位于压电体152的上部。下部电极153位于压电体152的下部。
下部电极153被形成在振动板24的上表面上。下部电极153为，针对每个压电元件20以相互分离的方式而被形成的独立电极。在下部电极153上，被施加有电压变动的驱动信号。下部电极153以相互隔开间隔的方式沿着Y轴排列。下部电极153例如利用铂(Pt)或者铱(Ir)等导电材料来形成。
压电体152被形成在下部电极153的上部，并且位于压力室C以及第一吸收室44的上部上，且与下部电极153接触。压电体152为，跨及多个压电元件20沿着Y轴而连续的带状的介电膜。压电体152例如由锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3)等公知的压电材料形成。
上部电极151与压电体152接触。上部电极151为，以跨及多个压电元件20而连续的方式沿着Y轴而延伸的共同电极。上部电极151由从压力室C的上部起至第一吸收室44的上部为止一段连续的部件形成。在上部电极151上，被施加有预定的基准电压。基准电压为恒定的电压，例如被设定为与接地电压相比而较高的电压。即，在上部电极151上，例如被施加有电压为恒定的保持信号。相当于被施加在上部电极151上的基准电压与被供给至下部电极153上的驱动信号的差值的电压被施加在压电体152上。驱动信号根据喷出量不同而不同。保持信号与喷出量无关，是恒定的，不发生变动。另外，在上部电极151上，也可以被施加有接地电压。此外，上部电极151例如由铂(Pt)或者铱(Ir)等低电阻的导电材料形成。
通过利用向下部电极153与上部电极151之间施加电压而使压电体152发生变形，从而使压电元件20生成使振动板24挠曲变形的能量。通过利用压电元件20所生成的能量而使振动板24进行振动，从而使压力室C的压力发生变化，进而使压力室C内的油墨从图3所示的喷嘴N中被喷出。
压电元件15大致而言是将夹设部件154、压电体152和上部电极151按照此顺序层叠在振动板24上所形成的结构体。夹设部件154位于压电体152的下部。夹设部件154以相互隔开间隔的方式沿着Y轴而排列。夹设部件154由与下部电极153相同的材料形成，并且不与下部电极153电连接。夹设部件154位于第一吸收室44的上部。在第一吸收室44的上部上，不设置下部电极153。另外，在制造工程中，下部电极153和夹设部件154通过相同的材料而以一段连续的方式被形成，之后，通过在压电体152等的成膜前利用蚀刻而电切断，从而被构成。
接下来，对将各个电极151、153和COF60电连接的配线的结构进行说明。图8为，表示上部电极配线11及其周边部件的俯视图，且为向Z方向观察上部电极配线11的图。如图7、图8所示那样，配线包括上部电极配线11和下部电极配线12。上部电极配线11位于上部电极151的上部，并且对上部电极151和未图示的外部电源进行电连接。下部电极配线12对下部电极153和未图示的外部电源进行电连接。
另外，在上述图3中，省略了构成各个压电元件20、15的电极151、153、压电体152、以及对各个电极151、153和COF60进行电连接的配线的图示。此外，图3、图4为，用于对液体喷出头10的整体的概要进行说明的图，对于压电元件20、15、16的结构与包括后文叙述的配线的部分的详细内容而言，图7～9更加恰当。
下部电极配线12的俯视观察时的形状为，沿着X轴而延伸的长条形状。正如图7所例示的那样，下部电极配线12具有与下部电极153的上表面接触的部分、和与压电体152的上表面接触的部分。此外，下部电极配线12与压电体152的X2侧的端部接触。另外，虽然在图7中省略了关于下部电极配线12的X2侧的端部的图示，但是下部电极配线12向X2方向延伸至COF60为止并与之连接。下部电极配线12向下部电极153施加驱动信号。下部电极配线12为，从被搭载于图3所示的COF60上的驱动电路供给驱动信号的引线配线。
上部电极配线11位于上部电极151的上部，并且与上部电极151接触。上部电极配线11向上部电极151施加基准电压。在上部电极配线11上，经由COF60而被供给有未图示的基准电压。此外，通过设置有上部电极配线11，从而可抑制上部电极151中的基准电压的电压下降。此外，上部电极配线11也作为用于抑制振动板24的振动的锤而发挥功能。
上部电极配线11的形状的详细内容
如图8所示那样，上部电极配线11具有主体配线部111和连接配线部112。在俯视观察时，主体配线部111的整体外形形状呈与上部电极151大致相同的矩形形状。主体配线部111为，与第一凹部75相对应的一个部位，并且呈在主体配线部111中在与X轴方向的宽度的中央相比靠X2的部位处具有开口部113的框状。因此，在Z轴方向上，压力室C与上部电极配线11的大部分不重叠。
如果更详细地进行说明，则在压力室C的X1侧(第二侧)端部的上部上，未设置上部电极配线11。另一方面，在压力室C的X2侧(第一侧)端部的上部上，设置有上部电极配线11。如图7、8所示那样，以一部分与压力室的X2侧(第一侧)端部的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W3短于以一部分与第一吸收室44的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W4。
上述上部电极配线11的宽度W3相当于在主体配线部111中与开口部113相比靠X2侧的部分的宽度。上述上部电极配线11的宽度W4相当于在主体配线部111中与开口部113相比靠X1侧的部分的宽度。另外，上部电极151不具有开口，并且也被设置在与压力室C重叠的位置上。
连接配线部112为，主体配线部111的X2侧的端部，且以从Y轴方向的两端分别向X2侧延伸的方式被设置。各个连接配线部112的Y轴方向的长度与主体配线部111的Y轴方向的长度相比而较短。各个连接配线部112为，沿着X轴而延伸的长条形状。各个连接配线部112的X2侧的端部与COF60相连接。
图9为，放大了振动板24和压电元件16及其附近的一部分的剖视图，且为表示被设置于排出侧的第三可塑性部53周边的图。如图9所示那样，振动板24、下部电极153、压电体152、上部电极151以及上部电极配线11向Z2方向按照以上的顺序而被层叠在第二吸收室45的上部上。另外，上部电极151、下部电极153以及上部电极配线11的任何一个都不与任何地方电连接。但是，如果压电元件16不被驱动，则这些部件的一部分也可以被电连接。
动作说明·液体的流动
液体容器2内的液体通过泵83而被传送，并在供给流道81内流动，穿过未图示的供给口，从而流入到供给侧共同流道41中。供给侧共同流道41内的液体穿过第一吸收室44而被供给至构成了独立流道42的一部分的压力室C中。压力室C内的液体的一部分从喷嘴N中被喷出。
未从喷嘴N中被喷出的液体则穿过第二连通流道66以及第三连通流道67、构成独立流道42的一部分的第二吸收室45，从而流入到排出侧共同流道43中。排出侧共同流道43内的液体穿过未图示的排出口而流入到回收流道82内，并被回收到液体容器2中。在液体喷出头10中，液体以此方式而循环。
上文叙述的压力室C通过振动板24的振动，从而向压力室C内的液体施加压力。振动板24通过压电元件20的驱动而进行振动。具体而言，通过向压电体施加电压，从而使压电体中的在Z方向上被第一电极和第二电极夹持的部分即有源部产生压电应变。压电元件20通过利用该压电应变而使振动板24以挠曲的方式进行振动，从而使压力室的容积发生变化，由此对压力室C内的液体施加压力。另外，在压电体中的在Z方向上未被第一电极和第二电极夹持的部分即非有源部中，即使在向压电体施加了电压的情况下，也不会发生上述的压电应变。也就是说，由于在第一吸收室44的上部上，代替下部电极153而仅设置有与下部电极153物理分离且电分离的夹设部件154，因此在第一吸收室44的上部上不会产生压电应变。
如上文所述那样，液体喷出头10通过在压力室C中向液体施加压力，从而从喷嘴N喷出液体。在此，当在压力室C中向液体施加了压力的情况下，压力室C内的液体的一部分会流向位于与压力室C相比靠上游的、在多个压力室C中共同的液室等中，从而液体的振动会从压力室C向液室等传播。在此，当在多个压力室C中向液体施加了压力的情况下，从某个压力室C向液室等流动的液体会受到例如因从其他压力室C向液室等流动的液体而阻碍了流通等的影响。因此，存在如下情况，即，来自某个压力室C的液体的振动的传播方式因来自其他压力室C的液体的振动的传播的影响而发生变化，从而使经由某个压力室C而从喷嘴N中被喷出的液体的品质的稳定性降低。这样的液体的振动可被各个可塑性部51至54适当吸收。
根据上述第一实施方式的液体喷出头10以及液体喷出装置1，能够起到以下的效果。
根据上述第一实施方式，采用了如下结构，即，将压力室C和第一吸收室44设为邻接位置，并将上部电极配线11主要设置于第一吸收室44的上部，且尽量不设置于压力室C侧的上部。因此，能够设为不会使压力室C的振动特性降低的结构，并且，由于将上部电极配线11设置在第一吸收室44侧，因此能够获得对振动板24的振动进行抑制的锤的效果。虽然第一吸收室44侧因设置了上部电极配线11从而振动特性会降低，但由于不是在喷出时有源地使用的部分，因此不会产生较大的问题，从而能够成为比设置在压力室C侧更适合的方式。
虽然根据上述第一实施方式，在第一吸收室44的上部没有设置有下部电极153，并且不与下部电极153电连接，但是设置有以与下部电极153相同材料形成的夹设部件154。因此，能够使压力室C和第一吸收室44的材料尽量一致从而使弹性模量与振动率接近，从而能提高第一吸收室44中的吸收效率。此外，在制造时，与对第一吸收室44的整个上部进行蚀刻的情况相比较，无需进行不必要的蚀刻，从而能够很容易地制造液体喷出头10。
根据上述第一实施方式，由于下部电极153在X方向上并未延伸到第一吸收室44而是被切断了，因此即使上部电极151是一段连续地直至第一吸收室44的上部为止，在第一吸收室44中压电元件15也不会进行振动。因此，在制造时，无需对上部电极151进行不必要的蚀刻，从而能够很容易地制造液体喷出头10。
根据上述第一实施方式，以一部分与压力室的X2侧(第一侧)端部的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W3短于以一部分与第一吸收室44的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W4。由于即使在第一吸收室44的上部上设置有配线，也不易给喷出特性带来影响，因此能够设为不易给喷出特性带来影响的结构。
根据上述第一实施方式，由于压电元件20、15、16的层叠结构与振动板24的结构是相同的，因此能够使第二吸收室45、压力室C以及第一吸收室44的材料尽量一致，从而使弹性模量接近，进而能够使振动特性均匀。
进一步地，能够使用利用了例如由光刻胶形成的掩模的蚀刻等已知的方法来制作第一可塑性部51以及第三可塑性部53。例如，在形成构成包括第一凹部75内的压电元件20在内的致动器的各个部件时，能够使用与形成构成致动器的各个部件相同的方法来形成构成第一可塑性部51以及第三可塑性部53的各个部件。能够使用构成致动器的部件来简单地制造第一可塑性部51以及第三可塑性部53。此外，能够通过利用相同的制造方法来制造构成第一可塑性部51以及第三可塑性部53的部件和构成致动器的部件，从而使液体喷出头10的制造工序更加简化。
B.其他方式：
(B1)虽然在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，采用了流入到液体喷出头10中的液体进行循环的循环头，但是也可以为液体不循环的非循环头。在为非循环头的情况下，由于不具备排出侧共同流道43，因此不具备第二吸收室45和压电元件16，能够作为具备压电元件20、15的结构来实施。
(B2)虽然在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，采用了设置第一可塑性部51～第四可塑性部54的结构，但是也可以采用仅具备第一可塑性部51的结构。在未设置第二可塑性部52以及第四可塑性部54的情况下，该可塑性部52、54的部分也可以由喷嘴基板21来形成。
(B3)在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，也可以不设置夹设部件154。
(B4)在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，以一部分与压力室的X2侧(第一侧)端部的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W3也可以不短于以一部分与第一吸收室44的上部重叠的方式被设置的上部电极配线11的宽度W4。此外，上部电极配线11也可以不被设置在压力室C的第一侧的端部的上部上。
(B5)虽然在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，设为上部电极151由从压力室C的上部起直至第一吸收室44的上部为止一段连续的部件形成，但是也可以分离。
(B6)虽然在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，设为第一可塑性部51以跨及排出侧共同流道43的Y轴方向的宽度的方式而在Y轴方向上连续，但是也可以在Y轴方向上被分割成多个。
本公开并不限于上述的实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内利用各种各样的结构来实现。例如，为了解决上述的课题的一部分或者全部，或者为了实现上述的效果的一部分或者全部，能够适当地对与发明内容部分所记载的各个方式中的技术特征相对应的实施方式中的技术特征进行替换或组合。此外，只要该技术特征在本说明书中未被作为必要的技术特征进行说明，则能够适当删除。
(1)根据本公开的一个方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头的特征在于，具有：喷嘴；压电体，其通过被施加有电压从而被驱动；上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接；下部电极配线，其用于对所述下部电极和所述外部电源进行电连接；振动板，其位于所述下部电极的下部，并通过所述压电体的驱动而进行振动；压力室基板，其被设置有压力室以及第一吸收室，其中，所述压力室通过所述振动板的振动而向液体施加有用于从所述喷嘴中喷出液体的压力，所述第一吸收室吸收从所述压力室传播的液体的振动，在所述第一吸收室的上部上，设置有所述上部电极和所述上部电极配线。
根据该方式，由于在第一吸收室的上部上被设置有上部电极和上部电极配线，因此与例如在压力室的上部设置必要的整个上部电极配线的方式相比较，能够减少设置在压力室的上部上的上部电极配线，由此能够极力抑制压力室的振动特性的降低。此外，由于在第一吸收室的上部上设置上部电极配线，因此能够获得对振动板的振动进行抑制的锤的效果。由于第一吸收室并非有源地被驱动的部分，因此可以允许略微的振动特性降低。
(2)在上述方式的液体喷出头，也可以采用如下方式，即，在所述第一吸收室的上部上，还被设置有所述压电体和所述振动板。根据该方式，能够使压力室和第一吸收室的材料尽量一致，从而使弹性模量接近，进而能够提高第一吸收室中的吸收效率。
(3)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述第一吸收室的上部上，不设置所述下部电极。根据该方式，能够对第一吸收室的压电元件被驱动从而进行振动的情况进行抑制。
(4)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述第一吸收室的上部上，被设置有由与所述下部电极相同材料形成且不与所述下部电极电连接的夹设部件。根据该方式，虽然第一吸收室的上部不与下部电极电连接，但是由于设置有由与下部电极相同材料形成的夹设部件，因此能够使压力室和第一吸收室的材料尽量一致，从而使弹性模量接近，进而能够提高第一吸收室中的吸收效率。
(5)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，所述上部电极由从所述压力室的上部起直至所述第一吸收室的上部为止一段连续的部件形成。根据该方式，能够在无需对上部电极进行不必要的蚀刻的条件下很容易地进行制造。
(6)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，还具有配线基板，所述配线基板与所述上部电极配线和所述下部电极配线电连接，在从上下方向进行观察时，所述配线基板、所述压力室、所述第一吸收室从第一侧朝向第二侧按照该顺序而被排列配置。
(7)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述压力室的所述第二侧端部的上部上，不设置所述上部电极配线。根据该方式，通过在压力室的上部上尽量不设置多余的部件，从而能够适当地对压力室的振动特性的降低进行抑制。
(8)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述压力室的所述第一侧端部的上部上，设置有所述上部电极配线。
(9)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，被设置于所述压力室的所述第一侧的端部的上部的所述上部电极配线的宽度短于被设置于所述第一吸收室的上部的所述上部电极配线的宽度。根据该方式，能够设为不易给喷出特性带来影响的结构。
(10)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述压力室基板上，还设置有第二吸收室，所述第二吸收室对从所述压力室传播的液体的振动进行吸收，并且所述第二吸收室在从所述上下方向进行观察时，被配置在与所述配线基板相比靠所述第一侧处，所述液体喷出头还具有：多个独立流道，其分别具有所述压力室、所述喷嘴、所述第一吸收室、所述第二吸收室；供给侧共同流道，其与所述多个独立流道共同连通，并向所述第一吸收室或者所述第二吸收室的一方供给液体；排出侧共同流道，其与所述多个独立流道共同连通，并从所述第一吸收室或者所述第二吸收室的另一方排出液体。
(11)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，所述供给侧共同流道向所述第一吸收室供给液体，所述排出侧共同流道从所述第二吸收室排出液体。根据该方式，由于供给液体的第一吸收室的一方与排出液体的第二吸收室相比，距压力室的距离较近，因此能够设为振动的吸收效率更好的结构。此外，如果考虑从喷嘴排出的排出量，则由于第一吸收室的一方与第二吸收室相比流量较多，因此在流量较多且振动影响表现得更显著的吸收室中，能够有效地实施振动吸收。
(12)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，在所述第二吸收室的上部上，设置有所述上部电极和所述上部电极配线。根据该方式，能够使第二吸收室、压力室以及第一吸收室的材料尽量一致，从而使弹性模量接近，进而能够使振动特性均匀。
(13)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下方式，即，具有多个所述压力室，所述上部电极相对于所述多个压力室而被共同设置，所述下部电极相对于所述多个压力室而被单独设置。
(14)根据本公开的其他方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置具有：上述方式的液体喷出头；控制部，其对使液体从所述液体喷出头中喷出的喷出动作进行控制。根据该方式，能够极力抑制压力室的振动特性的降低。
此外，本公开并不限于喷墨方式，也能够应用于喷出油墨以外的其他液体的任意的液体喷出装置中。例如，能够应用于以下这样的各种液体喷出装置中。
(1)传真装置等图像记录装置。
(2)液晶显示器等图像显示装置用的滤色器的制造中所使用的颜色材料喷出装置。
(3)有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器、面发光显示器(FieldEmission Display：场致发射显示器、FED)等的电极形成中所使用的电极材料喷出装置。
(4)喷出包括在生物芯片制造中所使用的生物体有机物在内的液体的液体喷出装置。
(5)作为精密移液器的试样喷出装置。
(6)润滑油的喷出装置。
(7)树脂液的喷出装置。
(8)向钟表或照相机等精密机械极精确地喷出润滑油的液体喷出装置。
(9)为了形成在光通信元件等中使用的微小半球透镜(光学透镜)等而在基板上喷出紫外线硬化树脂液等透明树脂液的液体喷出装置。
(10)为了对基板等进行蚀刻而喷出酸性或者碱性的蚀刻液的液体喷出装置。
(11)具备喷出其他任意微小量的液滴的液体消耗头的液体喷出装置。
所谓“液滴”，是指从液体喷出装置被喷出的液体的状态，且设为也包括粒状、泪状、丝状地拉出尾状物的状态。此外，这里所说的所谓“液体”，只要是能够由液体喷出装置消耗的材料即可。例如，“液体”只要为物质是液相时的状态下的材料即可，粘性较高或者较低的液体状态的材料以及溶胶、凝胶水、其他的无机溶剂、有机溶剂、溶液、液状树脂、液状金属(金属熔体)这样的液体状态的材料也被包含在“液体”中。此外，不仅作为物质的一种状态的液体被包含在“液体”中，由颜料或金属颗粒等固态物构成的功能材料的颗粒被溶解、分散或混合在溶剂中而形成的物质等也被包含在“液体”中。此外，作为第一液体和第二液体的组合的代表性的示例，除了如上述实施方式中所说明的油墨和反应液的组合之外，还可列举出以下的组合。
(1)粘合剂的主剂以及硬化剂；
(2)涂料的基底涂料以及稀释剂、透明涂料以及稀释剂；
(3)含有细胞用油墨的细胞的主溶剂以及稀释溶剂；
(4)呈现金属光泽感的油墨(金属制油墨)的金属箔颜料分散液以及稀释溶剂；
(5)车辆用燃料的汽油、轻油以及生物燃料；
(6)药品的药主成分以及保护成分；
(7)发光二极管(LED)的荧光体以及密封材料。
另外，本公开并不限于上文叙述的作为液体喷出头、液体喷出装置的方式，能够以液体喷出系统、或具备液体喷出装置的复合机等各种各样的方式来实现。
符号说明
1…液体喷出装置；2…液体容器；3…滑架；4…滑架输送机构；4a…输送带；5…介质输送机构；5a…输送辊；6…线性编码器；7…驱动电路；8…循环机构；10…液体喷出头；11…上部电极配线；12…下部电极配线；13…粘合剂；15、16、20…压电元件；21…喷嘴基板；22…连通板；23…压力室基板；24…振动板；25…密封板；26…壳体；30…控制部；31…CPU；32…驱动信号生成电路；35…存储部；36…ROM；37…RAM；41…供给侧共同流道；42…独立流道；43…排出侧共同流道；44…第一吸收室(供给侧吸收室)；45…第二吸收室(排出侧吸收室)；51…第一可塑性部；52…第二可塑性部；53…第三可塑性部；54…第四可塑性部；60…COF(配线基板)；61、62、63…供给侧液室部；65…第一连通流道；66…第二连通流道；67…第三连通流道；71、72、73…排出侧液室部；75…第一凹部；76…第二凹部；77…第三凹部；78…贯穿孔；82…回收流道；83…泵；111…主体配线部；112…连接配线部；113…开口部；151…上部电极；152…压电体；153…下部电极；154…夹设部件；241…第一绝缘层；242…第二绝缘层；C…压力室；D1…距离；D2…距离；N…喷嘴；PA…印刷纸张。

Claims (14)

1.一种液体喷出头，其特征在于，具有：
喷嘴；
压电体，其通过被施加有电压从而被驱动；
上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；
下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；
上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接；
下部电极配线，其用于对所述下部电极和所述外部电源进行电连接；
振动板，其位于所述下部电极的下部，并通过所述压电体的驱动而进行振动；
压力室基板，其被设置有压力室以及第一吸收室，其中，所述压力室通过所述振动板的振动从而向液体施加有用于从所述喷嘴中喷出液体的压力，所述第一吸收室吸收从所述压力室传播的液体的振动，
在所述第一吸收室的上部上，设置有所述上部电极和所述上部电极配线。
2.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述第一吸收室的上部上，还设置有所述压电体和所述振动板。
3.如权利要求2所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述第一吸收室的上部上，不设置所述下部电极。
4.如权利要求2所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述第一吸收室的上部上，设置有由与所述下部电极相同材料形成且不与所述下部电极电连接的夹设部件。
5.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
所述上部电极由从所述压力室的上部起直至所述第一吸收室的上部为止一段连续的部件形成。
6.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
还具有配线基板，所述配线基板与所述上部电极配线和所述下部电极配线电连接，
在从上下方向进行观察时，所述配线基板、所述压力室、所述第一吸收室从第一侧朝向第二侧按照该顺序而被排列配置。
7.如权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述压力室的所述第二侧的端部的上部上，不设置所述上部电极配线。
8.如权利要求7所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述压力室的所述第一侧的端部的上部上，设置有所述上部电极配线。
9.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，
被设置于所述压力室的所述第一侧的端部的上部的所述上部电极配线的宽度短于被设置于所述第一吸收室的上部的所述上部电极配线的宽度。
10.如权利要求6所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述压力室基板中，还设置有第二吸收室，所述第二吸收室吸收从所述压力室传播的液体的振动，并且所述第二吸收室在从所述上下方向进行观察时，被配置在与所述配线基板相比靠所述第一侧处，
所述液体喷出头还具有：
多个独立流道，其分别具有所述压力室、所述喷嘴、所述第一吸收室、所述第二吸收室；
供给侧共同流道，其与所述多个独立流道共同连通，并向所述第一吸收室或者所述第二吸收室的一方供给液体；
排出侧共同流道，其与所述多个独立流道共同连通，并从所述第一吸收室或者所述第二吸收室的另一方排出液体。
11.如权利要求10所述的液体喷出头，其特征在于，
所述供给侧共同流道向所述第一吸收室供给液体，
所述排出侧共同流道从所述第二吸收室排出液体。
12.如权利要求10所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述第二吸收室的上部上，设置有所述上部电极和所述上部电极配线。
13.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
具有多个所述压力室，
所述上部电极相对于所述多个压力室而被共同设置，
所述下部电极相对于所述多个压力室而被单独设置。
14.一种液体喷出装置，其特征在于，具有：
权利要求1～权利要求13中任一项所述的液体喷出头；
控制部，其对使液体从所述液体喷出头中喷出的喷出动作进行控制。
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