CN118514431A - 液体喷出头以及液体喷出装置 - Google Patents

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Abstract

本公开提供在液体喷出头中抑制裂纹的发生的同时不会降低振动吸收特性的液体喷出头以及液体喷出装置。液体喷出头具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，第一压力室通过振动板而对液体施加用于从第一喷嘴喷出液体的压力，第一吸收室通过振动板而对从第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将第一压力室和第一吸收室的排列方向设为第一方向时，第一吸收室侧凹部的第一方向上的宽度短于第一吸收室的第一方向上的宽度。

Description

液体喷出头以及液体喷出装置
技术领域
本公开涉及一种液体喷出头以及液体喷出装置。
背景技术
在专利文献1所记载的液体喷出头中，由于压力室和对压力室内的液体的振动进行吸收的吸收室设置在互不相同的基板的分离的位置上，因此，压力室中的液体振动的吸收效率较低。对此，研究了在相同基板的接近的位置上设置压力室和吸收室的技术。此时，在吸收室内至少设置振动板，通过该振动板根据压力变动而振动，从而使该压力变动衰减，能够抑制在相邻的压力室等中传递压力变动的情况，从而能够防止喷出特性的降低。
但是，在上述吸收室中，使形成在密封基板中的吸收室侧凹部的端部与形成在压力室基板中的吸收室对齐而形成，产生了在该端部的振动板中发生裂纹的问题。因此，期望一种在液体喷出头中抑制裂纹的发生的同时不会降低振动吸收特性的技术。
专利文献1：日本特开2018-153926号公报
发明内容
本公开能够作为以下的方式来实现。
根据本公开的第一方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头的特征在于，具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向时，所述第一吸收室侧凹部的所述第一方向上的宽度短于所述第一吸收室的所述第一方向上的宽度。
根据本公开的第二方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置具有：上述第一方式中的液体喷出头；控制部，其对从所述液体喷出头喷出液体的喷出动作进行控制。
附图说明
图1为表示本公开的第一实施方式中的液体喷出装置的概要结构的说明图。
图2为表示液体喷出装置的框图。
图3为液体喷出头的局部剖视图。
图4为液体喷出头的剖视图，且为图3中的IV-IV线剖视图。
图5为液体喷出头的剖视图，且为图3中的V-V线剖视图。
图6为液体喷出头的剖视图，且为图3中的VI-VI线剖视图。
图7为使振动板和压电元件以及其附近的一部分放大的剖视图。
图8为使振动板和压电元件以及其附近的一部分放大的剖视图。
图9为表示第二实施方式中的第一可塑性部周边的剖视图。
图10为表示第三实施方式中的第一可塑性部周边的剖视图。
具体实施方式
A.第一实施方式：
A1.液体喷出装置1的结构：
图1为表示本公开的作为第一实施方式的液体喷出装置1的概要结构的说明图。在本实施方式中，液体喷出装置1为向作为印刷介质的印刷纸张PA(以下，简称为“纸张PA”)喷出作为液体的一个示例的油墨从而形成图像的喷墨式打印机。液体喷出装置1也可以将树脂薄膜、布帛等任意种类的介质设为油墨的喷出对象，以代替纸张PA。
液体喷出装置1具备喷出油墨的液体喷出头10、对油墨进行贮留的液体容器2、搭载液体喷出头10的滑架3、对滑架3进行输送的滑架输送机构4、对纸张PA进行输送的介质输送机构5、以及控制部30。控制部30为对液体的喷出进行控制的控制部。
作为液体容器2的具体方式，例如，可以列举可相对于液体喷出装置1进行拆装的盒、由挠性的薄膜形成的袋状的油墨袋、以及可补充油墨的油墨罐。另外，贮留于液体容器2内的油墨的种类是任意的。液体喷出装置1例如与四种颜色的油墨相对应，而具备多个液体容器2。作为四种颜色的油墨，例如，有蓝绿色、品红色、黄色以及黑色。液体容器2也可以为被搭载在滑架3上的装置。
液体喷出装置1具备使油墨循环的循环机构8。循环机构8包括向液体喷出头10供给油墨的供给流道81、回收从液体喷出头10排出的油墨的回收流道82、移送油墨的泵83。
滑架输送机构4具有用于对滑架3进行输送的输送带4a以及电机。介质输送机构5具有用于对纸张PA进行输送的输送辊5a以及电机。滑架输送机构4以及介质输送机构5被控制部30控制。液体喷出装置1在通过介质输送机构5来对纸张PA进行输送的同时通过滑架输送机构4来对滑架3进行输送，并向纸张PA喷出油墨滴，从而进行印刷。
图2为表示液体喷出装置1的框图。如图2所示，液体喷出装置1具备直线编码器6。直线编码器6被设置在能够对滑架3的位置进行检测的位置上。直线编码器6取得与滑架3的位置相关的信息。伴随着滑架3的移动，直线编码器6向控制部30输出编码器信号。
控制部30包括一个或多个CPU31。控制部30也可以代替CPU31，或者在CPU31的基础上，具备FPGA。控制部30包括存储部35。存储部35例如具备ROM36以及RAM37。存储部35也可以具备EEPROM或PROM。存储部35能够存储从主计算机供给的印刷数据Img。存储部35对液体喷出装置1的控制程序进行存储。
CPU为Central Processing Unit(中央处理器)的简称。FPGA为field-programmable gate array(现场可编程门阵列)的简称。RAM为Random Access Memory(随机存取存储器)的简称。ROM为Read Only Memory(只读存储器)的简称。EEPROM为Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory(电可擦可编程只读存储器)的简称。PROM为Programmable ROM(可编程只读存储器)的简称。
控制部30生成用于对液体喷出装置1的各部的动作进行控制的信号。控制部30能够生成印刷信号SI以及波形指定信号dCom。印刷信号SI为用于对液体喷出头10的动作的种类进行指定的数字信号。印刷信号SI能够对是否向压电元件20供给驱动信号Com进行指定。波形指定信号dCom为对驱动信号Com的波形进行规定的数字信号。驱动信号Com为用于对压电元件20进行驱动的模拟信号。
液体喷出装置1具备驱动信号生成电路32。驱动信号生成电路32与控制部30电连接。驱动信号生成电路32包括DA转换电路。驱动信号生成电路32生成具有由波形指定信号dCom规定的波形的驱动信号Com。控制部30在从直线编码器6接收到编码器信号时，向驱动信号生成电路32输出定时信号PTS。定时信号PTS对驱动信号Com的生成定时进行规定。驱动信号生成电路32在每次接收到定时信号PTS时输出驱动信号Com。
驱动电路7与控制部30以及驱动信号生成电路32电连接。驱动电路7基于印刷信号SI而对是否向压电元件20供给驱动信号Com进行切换。驱动电路7能够基于从控制部30供给的印刷信号SI、锁存信号LAT以及转换信号CH而对供给驱动信号Com的压电元件20进行选择。锁存信号LAT对印刷数据Img的锁存定时进行规定。转换信号CH对驱动信号Com所包含的驱动脉冲的选择定时进行规定。
控制部30对由液体喷出头10实施的油墨的喷出动作进行控制。控制部30通过对压电元件20进行驱动而使压力室C内的油墨的压力发生变动，从而从喷嘴N喷出油墨。关于压电元件20、压力室C、喷嘴N等的详细结构，将在后文叙述。控制部30在实施印刷动作时对喷出动作进行控制。
A2.液体喷出头10的结构：
接下来，对液体喷出头10的结构进行说明。图3为液体喷出头10的局部剖视图。在以下的说明中，将相互交叉的三个方向设为X轴方向、Y轴方向、Z轴方向来进行说明。液体喷出头10采用使液体向后文所述的供给侧共同流道41、独立流道42、排出侧共同流道43循环的循环方式。
X轴方向为图3中的左右方向，并包含作为彼此相反的方向的X1方向(在图3中为右方)以及X2方向(在图3中为左方)。Y轴方向包含作为彼此相反的方向的Y1方向以及Y2方向。Y1方向为图3中的纸面进深方向。Y2方向为图3中的纸面近前方向。Z轴方向为图3中的上下方向，包含作为彼此相反的方向的Z1方向(在图3中为下方)以及Z2方向(在图3中为上方)。另外，以下也有时将Z1方向设为“下”并将Z2方向设为“上”来进行说明。
X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向相互正交。虽然Z轴方向通常为沿着上下方向的方向，但Z轴方向也可以不是沿着上下方向的方向。另外，在以下的说明中，也有时将Z1方向设为“上”并将Z2方向设为“下”来进行说明。
在本说明书中，有时使用“供给侧”以及“排出侧”这样的用语。“供给侧”表示关于液体的流道而与喷嘴N相比靠上游侧。此外，有时将与喷嘴N相比靠上游侧所关联的一侧称为“供给侧”。此外，有时将与喷嘴N相比靠下游侧所关联的一侧称为“排出侧”。
液体喷出头10具备喷嘴基板21、连通板22、压力室基板23、振动板24、密封基板25以及压电元件20。此外，液体喷出头10具备COF60。COF为Chip on Film(覆晶薄膜)的简称。COF60为形成有用于对控制部30和液体喷出头10进行电连接的多个配线的安装零件。COF60相当于“配线基板”。
而且，液体喷出头10具有供给侧共同流道41、多个独立流道42、排出侧共同流道43、多个压力室C、第一吸收室44、第二吸收室45、第一可塑性部51、第二可塑性部52、第三可塑性部53以及第四可塑性部54。另外，由于多个独立流道42以及多个压力室C沿着Y轴方向排列，因此，在图3中，分别仅各示出一个。在本实施方式中，对喷出作为液体的一个示例的油墨的液体喷出头10进行说明。液体未被限定于油墨，液体喷出头10能够喷出其他的液体。
喷嘴基板21、连通板22、压力室基板23、振动板24、以及密封基板25的各厚度方向沿着Z轴方向。“Z轴方向”相当于层叠各个基板23、24、25的“层叠方向”。喷嘴基板21被配置在液体喷出头10的底部。在喷嘴基板21的Z2方向上配置连通板22。在连通板22的Z2方向上配置压力室基板23。换言之，连通板22被设置在压力室基板23与喷嘴基板21之间。在压力室基板23的Z2方向上设置振动板24。振动板24例如由SiO2形成。关于振动板24的详细情况将在后文叙述。振动板24为与压力室基板23不同的部件，既可以通过粘合在压力室基板23上来配置，也可以通过对压力室基板23的Z2方向的表面实施热氧化等处理而形成。
在振动板24的Z2方向上配置密封基板25。密封基板25对振动板24、第一可塑性部51以及第三可塑性部53、压电元件15、16、20以及压力室基板23进行覆盖。密封基板25被配置在振动板24上。压电元件20与压力室C对应设置。
流道的说明
首先，对形成在液体喷出头10内的液体流道进行说明。液体流道包括未图示的供给口以及排出口、供给侧共同流道41、多个独立流道42、以及排出侧共同流道43。另外，在供给侧共同流道41与各个独立流道42的边界处设置有未图示的众所周知的流道缩窄部。
供给侧共同流道41相对于多个压力室C共同地设置。“X轴方向”为“压力室C和第一吸收室44的排列方向”，相当于“第一方向”。“Y轴方向”相当于“第二方向”。此外，“X2侧”为“第一侧”的一个示例，“X1侧”相当于“第二侧”的一个示例。因此，以下，将“X2侧”也称为“第一侧”，将“X1侧”也称为“第二侧”。供给侧共同流道41跨及多个压力室C而在Y轴方向上连续。供给侧共同流道41包括设置在密封基板25中的液室部61、设置在压力室基板23中的液室部62、以及设置在连通板22中的液室部63。这些液室部61、62、63在Z轴方向上连续。
第一吸收室44为供给侧的吸收室，并位于压力室C的X1方向。第一吸收室44与压力室C的上游连通。第一吸收室44构成供给侧共同流道41的一部分。在图3中，图示的一个压力室C相当于“第一压力室”，与“第一压力室”不同的压力室C相当于“第二压力室”。此外，在图3中，图示的一个喷嘴N相当于“第一喷嘴”，与“第一喷嘴”不同的喷嘴N相当于“第二喷嘴”。
多个独立流道42相对于多个压力室C而分别设置，并在Y轴方向上排列。独立流道42配置在供给侧共同流道41的下游。独立流道42与设置在压力室基板23中的液室部62的下游连通。独立流道42从上游起依次具有压力室C、第一连通流道65、第二连通流道66、第三连通流道67。
多个喷嘴N经由第一连通流道65以及第二连通流道66而分别与多个压力室C连通。各喷嘴N相对于各个压力室C而位于Z1方向上。多个第一连通流道65在Z轴方向上延伸。多个第二连通流道66与第一连通流道65的Z1方向的端部连接，并向X2方向延伸。喷嘴N位于第二连通流道66中的X轴方向上的大致中央。多个第三连通流道67与第二连通流道66的X2方向的端部连接，并向Z2方向延伸。
排出侧共同流道43相对于多个压力室C而共同地设置。排出侧共同流道43相对于多个独立流道42而共同地连通。排出侧共同流道43经由独立流道42而与各个压力室C连通。排出侧共同流道43配置在各个独立流道42的下游。
排出侧共同流道43在Y轴方向上连续。排出侧共同流道43包括设置在密封基板25中的液室部71、设置在压力室基板23中的液室部72、以及设置在连通板22中的液室部73。这些液室部71、72、73在Z轴方向上连续。另外，液室部61、71通过设置在密封基板25中的贯穿孔而形成。
各个基板的说明
图4～图6为液体喷出头10的剖视图，图4为图3中的IV-IV线剖视图，图5为图3中的V-V线剖视图，图6为图3中的VI-VI线剖视图。以下，适当地参照图3至图6，对构成液体喷出头10的各个基板的结构进行说明。如图3所示，在喷嘴基板21中，形成有在Z方向上贯穿喷嘴基板21的喷嘴N。如上文所述，液体喷出头10经由该喷嘴N而喷出液体。在喷嘴基板21中，通过沿着Y轴方向排列多个喷嘴N，从而形成有喷嘴列。喷嘴基板21例如由不锈钢等金属、如聚酰亚胺树脂那样的有机物、或单晶硅基板等形成。
如图3、图5所示，在压力室基板23中，形成有供给侧液室部62、第一吸收室44、多个压力室C、第二吸收室45、排出侧液室部72。压力室C、各个吸收室44、45、以及各个液室部62、72均构成液体的流道的一部分。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72在X轴方向上延伸。压力室C、各个吸收室44、45以及各个液室部62、72在Z轴方向上贯穿压力室基板23。压力室C、各个吸收室44、45、以及各个液室部62、72具有预定的容积。
在X轴方向上的压力室C与第一吸收室44之间，设置有作为压力室基板23的一部分而形成的对压力室C和第一吸收室44进行划分的划分部28。另外，压力室C和第一吸收室44经由未设置划分部28的部分中的连通通道而在X轴方向上连通。
多个压力室C在Y轴方向上以预定的间隔配置。多个压力室C在Y轴方向上配置在与第一吸收室44以及第二吸收室45相同的位置上。在Y轴方向上对应的压力室C和第一吸收室44相邻，并在X轴方向上连通。供给侧液室部62与设置在密封基板25中的液室部61和设置在连通板22中的液室部63一起形成供给侧共同流道41。
本实施方式的压力室基板23由单晶硅基板形成。在其他的实施方式中，压力室基板23例如也可以由不锈钢(SUS)或镍(Ni)等金属、以氧化锆(ZrO2)或者氧化铝(Al2O3)为代表的陶瓷材料、玻璃陶瓷材料、如氧化镁(MgO)、铝酸镧(LaAlO3)那样的氧化物等形成。在本实施方式中，压力室C以及吸收室44、45例如通过利用各向异性蚀刻来对压力室基板23进行加工从而形成。另外，关于压力室C以及吸收室44、45的功能的详细情况，将在后文叙述。
连通板22配置在喷嘴基板21与压力室基板23之间，并通过粘合剂等而固定在喷嘴基板21上。连通板22例如由单晶硅基板形成。如图3、图6所示，在连通板22中，形成有供给侧液室部63、排出侧液室部73、第一连通流道65、第二连通流道66、第三连通流道67。各个液室部63、73、第一连通流道65以及第三连通流道67以在Z方向上贯穿连通板22的方式形成。此外，第二连通流道66在Z方向上未贯穿连通板22，而作为连通板22的下表面凹陷的部分形成。液室部73与形成在密封基板25中的液室部71、形成在压力室基板23中的液室部72一起形成排出侧共同流道43。
如图3所示，密封基板25为在Z1方向的下表面上设置有凹部的部件。凹部在压力室C以及各个吸收室44、45的Z2侧在与压力室C以及各个吸收室44、45对置的位置处开口。具体而言，在本实施方式的密封基板25上，作为凹部，设置有第一凹部75、第二凹部76、第三凹部77。
第一凹部75在与压力室C对置的位置上开口。第二凹部76在与第一吸收室44对置的位置上开口。第三凹部77在与第二吸收室45对置的位置上开口。各个凹部75、76、77之间由作为密封基板25的一部分形成的壁部分隔开。另外，在本实施方式中，各个凹部75、76、77的开口的深度相等。即，各个凹部75、76、77的Z方向上的尺寸相等。
此外，各个凹部75、76、77未与液体的流道连通，液体在凹部75、76、77中不流通。各个凹部75、76、77的X轴方向的宽度按照从大到小的顺序成为第一凹部75、第二凹部76、第三凹部77。如图3、图4所示，第一凹部75、第二凹部76以及第三凹部77跨及液体喷出头10的Y轴方向上的宽度而延伸。第二凹部76以及第三凹部77的Y轴方向上的宽度相同。另外，第一凹部75相当于“第一压力室侧凹部”，第二凹部76相当于“第一吸收室侧凹部”，第三凹部77相当于“第二吸收室侧凹部”。
在密封基板25的X轴方向上的与中央部相比靠X2方向的位置上，设置有在Z轴方向上贯穿密封基板25的贯穿孔78。在贯穿孔78中插入有上述COF60。在沿上下方向(Z方向)进行观察时，COF60、压力室C、第一吸收室44从第一侧朝向第二侧依次排列配置。在X轴方向上，从压力室C到第一吸收室44为止的分离距离(流道长度)短于从压力室C到第二吸收室45为止的分离距离(流道长度)。
振动板24层叠在压力室基板23上。压电元件15、16、20层叠在振动板24上。多个压电元件20位于第一凹部75内。压电元件15位于第二凹部76内。压电元件16位于第三凹部77内。压电元件20为液体喷出用的压电元件。
各个压电元件15、16、20的详细情况将在后文叙述，压电元件20为通过经由上下的电极施加电压从而进行驱动的致动器。另一方面，压电元件15、16在具有两个或一个电极和压电体这一点上为与压电元件20大致相同的结构，但由于不是向流道内的液体施加压力的元件，而是用于进行振动吸收的元件，因此，不与控制部30电连接，而未被驱动。另外，关于各个压电元件15、16、20的具体结构以及其周边的结构的详细情况将使用图7、图8在后文叙述。
可塑性部的说明
接下来，对第一可塑性部51至第四可塑性部54的结构进行说明。第一可塑性部51为用于对供给侧的液体的振动进行吸收的吸收部。第一可塑性部51具备振动板24和压电元件15。如图4所示，第一可塑性部51跨及第一吸收室44的Y轴方向的宽度而在Y轴方向上连续。在振动板24上，形成有跨及Y轴方向的宽度在Y轴方向上连续的压电元件15。第一可塑性部51的X轴方向的宽度W1相当于压电元件15的X轴方向上的宽度。振动板24受到液体的压力能够变形。振动板24通过液体的压力而变形，能够吸收第一吸收室44内的液体的压力变动。压电元件15配置于在沿Z轴方向观察时与第一吸收室44重叠的位置上。
第二可塑性部52为用于对供给侧的液体的振动进行吸收的吸收部。第二可塑性部52设置在连通板22的Z1方向上。第二可塑性部52为对供给侧共同流道41内的液体的压力变动进行吸收的挠性薄膜。如图3所示，第二可塑性部52以对连通板22的液室部63的Z1方向侧的开口部进行封闭的方式设置在连通板22的下表面，并构成供给侧共同流道41的壁面(具体为底面)。
在此，将穿过压力室C的Z方向上的中心位置并位于包含X轴和Y轴的XY平面上的线L1设为压力室C的基准位置。压力室C与第一可塑性部51的Z轴方向上的距离D1短于压力室C与第二可塑性部52的Z轴方向上的距离D2。距离D1为从压力室C的基准位置到振动板24的底面为止的距离。距离D2为从压力室C的基准位置到第二可塑性部52的上表面为止的距离。另外，从压力室C到第一可塑性部51为止的流道长度短于从压力室C到第二可塑性部52为止的流道长度。
第二可塑性部52的Z轴方向上的厚度薄于第一可塑性部51的Z轴方向上的厚度。第二可塑性部52的X轴方向上的宽度W2(参照图6)大于第一可塑性部51的X轴方向上的宽度W1(参照图4)。第一可塑性部51的Y轴方向上的宽度与第二可塑性部52的Y轴方向上的宽度大致相同。
根据如上文所述的第一可塑性部51以及第二可塑性部52的物性、尺寸等，第二可塑性部52的可塑性能力大于第一可塑性部51的可塑性能力。可塑性能力为与柔量相同的意思，能够使用以下的式(1)来体现。
数学式1
[Math.1
式(1)中，“ν”为振动板24的泊松比。“ν”为构成可塑性部的材料的物性值。“E”为杨氏模量。“E”为构成可塑性部的材料的物性值。
“w”为可塑性部所覆盖的沿着X轴的开口的长度。“l”为可塑性部所覆盖的沿着Y轴的开口的长度。“t”为可塑性部的厚度。另外，由于此处w<l，因此，成为上述的条件，而在w>l的情况下，“w”成为沿着Y轴的长度，“l”成为沿着X轴的长度。
第三可塑性部53为用于对排出侧的液体的振动进行吸收的吸收部。第三可塑性部53的结构与第一可塑性部51大致相同，具备振动板24和压电元件16。构成第三可塑性部53的振动板24在Y轴方向上连续。第三可塑性部53的X轴方向上的宽度相当于多个压电元件16的X轴方向上的宽度。振动板24受到液体的压力能够变形。振动板24通过液体的压力而变形，能够对第二吸收室45内的液体的压力变动进行吸收。
在振动板24上，形成有跨及Y轴方向上的宽度而在Y轴方向上连续的压电元件16。压电元件16对应于在沿Z轴方向观察时与第二吸收室45重叠的位置进行配置。
第四可塑性部54为用于对排出侧的液体的振动进行吸收的吸收部。第四可塑性部54设置在连通板22的Z1方向上。第四可塑性部54为对排出侧共同流道43内的液体的压力变动进行吸收的挠性薄膜。第四可塑性部54以对连通板22的液室部73的Z1方向侧的开口部进行封闭的方式设置在连通板22的下表面上，并构成排出侧共同流道43的壁面(具体为底面)。
在此，压力室C与第三可塑性部53的Z轴方向上的距离和压力室C与第一可塑性部51的Z轴方向上的距离D1相同。此外，压力室C与第四可塑性部54的Z轴方向上的距离和压力室C与第二可塑性部52的Z轴方向上的距离D2相同。即，压力室C与第三可塑性部53的Z轴方向上的距离D1短于压力室C与第四可塑性部54的Z轴方向上的距离D2。
另外，优选为，通过对形成上述各个可塑性部51～54的材料、可塑性部51～54的厚度等进行调整，而以具有适于对从压力室C传递的液体的振动进行吸收的挠性的方式形成可塑性部51～54。另外，由于位于第二凹部76以及第三凹部77内的压电元件15、16与第一凹部75内的压电元件20不同，并不是向压力室内的液体施加压力的元件，因此，未与控制部30电连接。
压电元件15、16、20以及配线的结构
图7为将振动板24和压电元件20、15以及其附近的一部分放大的剖视图。振动板24通过压电元件20的驱动而进行振动。如图7所示，振动板24由第一绝缘层241和第二绝缘层242的层叠体构成。第一绝缘层241与压力室基板23接触。第二绝缘层242相对于第一绝缘层241而位于与压力室基板23相反的位置。
第一绝缘层241为由二氧化硅(SiO2)等弹性材料形成的弹性膜。第二绝缘层242由二氧化锆(ZrO2)等绝缘材料形成。第一绝缘层241以及第二绝缘层242各自通过热氧化或溅射等公知的成膜技术来形成。另外，通过针对预定板厚的板状部件中的与压力室C对应的区域来选择性地去除板厚方向上的一部分，能够一体地形成压力室基板23和振动板24的一部分或全部。
密封基板25通过例如粘合剂13而固定在振动板24的上表面上。压电元件20大致上为将下部电极153、压电体152和上部电极151依次层叠在振动板24上的结构体。上部电极151位于压电体152的上部。下部电极153位于压电体152的下部。
下部电极153形成在振动板24的上表面上。下部电极153为针对每个压电元件20而相互分离地形成的独立电极。在下部电极153上施加电压变动的驱动信号。下部电极153相互隔开间隔而沿着Y轴排列。下部电极153例如由铂(Pt)或铱(Ir)等导电材料形成。
压电体152形成在下部电极153的上部，位于压力室C以及第一吸收室44的上部，并与下部电极153接触。压电体152为跨及多个压电元件20而沿着Y轴连续的带状的介电膜。压电体152由例如锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3)等公知的压电材料形成。
上部电极151与压电体152接触。上部电极151为以跨及多个压电元件20而连续的方式沿着Y轴延伸的共同电极。上部电极151由从压力室C的上部到第一吸收室44的上部为止连续的部件形成。在上部电极151上施加预定的基准电压。基准电压为固定的电压，例如被设定为高于接地电压的电压。即，在上部电极151上，例如施加电压固定的保持信号。相当于施加在上部电极151上的基准电压与供给至下部电极153的驱动信号之差值的电压被施加在压电体152上。驱动信号根据喷出量而不同。无论喷出量如何，保持信号都固定，不变动。另外，在上部电极151上，也可以施加接地电压。此外，上部电极151由例如铂(Pt)或铱(Ir)等低电阻的导电材料形成。
通过向下部电极153与上部电极151之间施加电压而使压电体152变形，从而压电元件20生成使振动板24挠曲变形的能量。通过振动板24由于压电元件20所生成的能量而进行振动，从而压力室C的压力发生变化，而从图3所示的喷嘴N喷出压力室C内的油墨。
压电元件15大致上为将中间部件154、压电体152和上部电极151依次层叠在振动板24上的结构体。中间部件154位于压电体152的下部。中间部件154相互隔开间隔而沿着Y轴排列。中间部件154由与下部电极153相同的材料形成，未与下部电极153电连接。中间部件154位于第一吸收室44的上部。在第一吸收室44的上部，未设置下部电极153。另外，在制造工序中，下部电极153与中间部件154由相同的材料连续形成，然后，在压电体152等成膜前通过蚀刻而被电断开从而构成。
接下来，对使各个电极151、153和COF60电连接的配线的结构进行说明。如图7所示，配线包括上部电极配线11和下部电极配线12。上部电极配线11位于上部电极151的上部，并对上部电极151和未图示的外部电源进行电连接。下部电极配线12对下部电极153和未图示的外部电源进行电连接。
另外，在上述图3中，省略了构成各个压电元件20、15的电极151、153、压电体152以及对各个电极151、153和COF60进行电连接的配线的图示。此外，图3、图4为用于对液体喷出头10的整体概要进行说明的图，关于压电元件20、15、16的结构、包含后述的配线的部分的详细情况，则是图7以及后述的图8更加适当。
下部电极配线12的俯视观察形状为沿着X轴延伸的长条形状。如图7所例示的那样，下部电极配线12具有与下部电极153的上表面接触的部分和与压电体152的上表面接触的部分。此外，下部电极配线12与压电体152的X2侧的端部接触。另外，在图7中，省略了与下部电极配线12的X2侧的端部相关的图示，但下部电极配线12向X2方向延伸至COF60进行连接。下部电极配线12向下部电极153施加驱动信号。下部电极配线12为从搭载在图3所示的COF60上的驱动电路供给驱动信号的引线配线。
上部电极配线11位于上部电极151的上部，并与上部电极151接触。上部电极配线11向上部电极151施加基准电压。在上部电极配线11上经由COF60供给未图示的基准电压。此外，通过设置上部电极配线11而抑制了上部电极151中的基准电压的电压下降。此外，上部电极配线11也可以作为用于对振动板24的振动进行抑制的荷重而发挥功能。
各个凹部75、76、77的详细情况
接下来，对形成在密封基板25上的第二凹部76、第三凹部77以及其周边结构的详细情况进行说明。如图7所示，第二凹部76的X轴方向上的宽度W5短于第一吸收室44的X轴方向上的宽度W6。另外，在本实施方式中，宽度W5、W6在Z轴方向上为固定宽度，但在Z轴方向上宽度不固定而不同的情况下，“第二凹部76的X轴方向上的宽度”是指，第二凹部76的下端且与第一可塑性部51(在本实施方式中为上部电极配线11)相接的部分的“宽度”。此外，“第一吸收室44的X轴方向上的宽度”是指，第一吸收室44的上端且与第一可塑性部51(在本实施方式中为振动板24)相接的部分的“宽度”。
此外，第二凹部76的第一侧端部91(在图7中为左侧的端部)与第一吸收室44的第一侧端部92相比向第二侧(图7中的右侧)偏离。第二凹部76的第二侧端部93(在图7中为右侧的端部)与第一吸收室44的第二侧端部94相比向第一侧(图7中的左侧)。在密封基板25中形成第二凹部76周围的部位上，设置有第一按压部26和第二按压部27。
第一按压部26位于第二凹部76的第一侧(X2方向)，第二按压部27位于第二凹部76的第二侧(X1方向)。第一按压部26设置在与第二凹部76的第一侧端部91和使第一吸收室44的第一侧端部92在Z轴方向上延长的线之间对应的部位上。换言之，在密封基板25中形成第二凹部76周围的部位且与沿着第一方向的第二凹部76的第一侧的端部91和第一吸收室44的第一侧的端部92之间对应的部位上，设置有第一按压部26。
第二按压部27设置在与第二凹部76的第二侧端部93和使第一吸收室44的第二侧端部94在Z轴方向上延长的线之间对应的部位上。换言之，在密封基板25中形成第二凹部76周围的部位且与沿着第一方向的第二凹部76的第二侧的端部93和第一吸收室44的第二侧的端部94之间对应的部位上，设置有第二按压部27。第一按压部26以及第二按压部27在Z轴方向上不与压力室基板23重叠而与振动板24重叠。在此，“不与压力室基板23重叠”是指，处于与作为形成在压力室基板23上的孔的第一吸收室44对应的状态且与形成压力室基板23的壁部的部分不重叠的状态。第一按压部26的X轴方向上的宽度W7与第二按压部27的X轴方向上的宽度W8相同。
包括振动板24的第一可塑性部51在液体喷出头10的动作中为了吸收振动而进行上下挠曲的动作。此时，第一可塑性部51向上侧挠曲时的弯曲的起点P1为第二凹部76的端部91、93与上部电极配线11相接的部位，第一可塑性部51向下侧挠曲时的弯曲的起点P2为第一吸收室44的端部92、94与振动板24相接的部位。也就是说，各个起点P1、P2在上下方向上未对齐，相互左右偏离。
在第一吸收室44的上部，振动板24、中间部件154、压电体152、上部电极151、以及上部电极配线11向Z2方向按照以上的顺序层叠。另外，在第一实施方式中，第一凹部75的宽度W9小于压力室C的宽度W10。
图8为将振动板24和压电元件16以及其附近的一部分放大的剖视图，且为表示设置在排出侧的第三可塑性部53周边的图。如图8所示，在第二吸收室45的上部，振动板24、下部电极153、压电体152、上部电极151、以及上部电极配线11向Z2方向按照以上的顺序层叠。另外，上部电极151、下部电极153以及上部电极配线11均未电连接在任何地方。但是，如果压电元件16未被驱动，则这些部件的一部分也可以被电连接。
如图8所示，第三凹部77的X轴方向上的宽度W11短于第二吸收室45的X轴方向上的宽度W12。在此，“第三凹部77的X轴方向上的宽度”是指，第三凹部77的下端且与第三可塑性部53(在本实施方式中为上部电极配线11)相接的部分的“宽度”。此外，“第二吸收室45的X轴方向上的宽度”是指，第二吸收室45的上端且与第三可塑性部53(在本实施方式中为振动板24)相接的部分的“宽度”。第三凹部77的X轴方向上的宽度W11短于第二凹部76的X轴方向上的宽度W5。此外，第三凹部77与第二吸收室45的X轴方向上的宽度的差值(W12-W11)小于第二凹部76与第一吸收室44的X轴方向上的宽度的差值(W6-W5)。
此外，第三凹部77的第一侧端部95(在图8中为左侧的端部)与第二吸收室45的第一侧端部96相比向第二侧(图8中的右侧)偏离。第三凹部77的第二侧端部97(在图8中为右侧的端部)与第二吸收室45的第二侧端部98相比向第一侧(图8中的左侧)偏离。在密封基板25中形成第三凹部77周围的部位上，设置有第三按压部46和第四按压部47。
第三按压部46位于第三凹部77的第一侧(X2方向)，第四按压部47位于第三凹部77的第二侧(X1方向)。第三按压部46设置在与第三凹部77的第一侧端部95和使第二吸收室45的第一侧端部96在Z轴方向上延长的线之间对应的部位上。
第四按压部47设置在与第三凹部77的第二侧端部97和使第二吸收室45的第二侧端部98在Z轴方向上延长的线之间对应的部位上。第三按压部46以及第四按压部47在Z轴方向上与压力室基板23不重叠，而与振动板24重叠。第三按压部46的X轴方向上的宽度与第四按压部47的X轴方向上的宽度相同。
动作说明和液体的流动
液体容器2内的液体通过泵83进行移送，在供给流道81内流动，穿过未图示的供给口，流入供给侧共同流道41。供给侧共同流道41内的液体穿过第一吸收室44，供给至构成独立流道42的一部分的压力室C。压力室C内的液体的一部分从喷嘴N喷出。
未从喷嘴N喷出的液体穿过第二连通流道66以及第三连通流道67、构成独立流道42的一部分的第二吸收室45，流入排出侧共同流道43。排出侧共同流道43内的液体穿过未图示的排出口，流入回收流道82内，被液体容器2回收。在液体喷出头10中，液体以这样的方式循环。
上述的压力室C通过振动板24的振动而将压力施加到压力室C内的液体上。振动板24通过压电元件20的驱动而振动。具体而言，通过向压电体施加电压，从而在压电体中的被第一电极和第二电极在Z方向上夹持的部分即能动部中产生压电变形。压电元件20通过该压电变形而使振动板24以挠曲的方式振动，进而使压力室的容积发生变化，从而将压力施加到压力室C内的液体上。另外，在压电体中的未被上部电极151和下部电极153在Z方向上夹持的部分即非能动部中，即使在将电压施加在压电体上的情况下，也不会产生上述的压电变形。也就是说，由于在第一吸收室44的上部，代替下部电极153，仅设置了与下部电极153物理且电分离的中间部件154，因此，在第一吸收室44的上部不产生压电变形。
如上文所述，液体喷出头10通过在压力室C中向液体施加压力，而从喷嘴N喷出液体。在此，在压力室C中对液体施加了压力的情况下，压力室C内的液体的一部分向位于与压力室C相比靠上游的多个压力室C共同的液室等流动，液体的振动从压力室C向液室等传递。在此，在多个压力室C中对液体施加了压力的情况下，从某个压力室C向液室等流动的液体会受到例如由于从其他的压力室C向液室等流动的液体而妨碍了流通等的影响。因此，来自某个压力室C的液体的振动的传递方式由于来自其他的压力室C的液体的振动的传递的影响而发生变化，有时经由某个压力室C而从喷嘴N喷出的液体的质量的稳定性会降低。这样的液体的振动会被各个可塑性部51～54适当地吸收。
根据上述第一实施方式的液体喷出头10以及液体喷出装置1，能够实现以下的效果。
根据上述第一实施方式，第一吸收室44中第一可塑性部51进行挠曲的动作时的弯曲的各个起点P1、P2在上下方向上未对齐而偏离。这样，由于振动板24上下挠曲时的弯曲的起点偏离，因此，与未偏离的结构相比，因振动造成的损坏难以在一个部位积累，能够抑制裂纹的发生。
而且，根据上述第一实施方式，上侧的起点P1相对于下侧的起点P2而位于第二凹部76的内侧，密封基板25的各个按压部26、27作为向下方向按压第一可塑性部51的部位而发挥功能。因此，在第一可塑性部51向上方进行动作时，在下侧的起点P2处难以产生压力室基板23和振动板24的剥离。
假设，在下侧的起点P2处产生剥离的情况下，有时会在其间隙中进入油墨或从喷嘴N等混入的微小的气泡，产生由于因这些混入物妨碍振动板24的振动而难以振动从而引起的喷出特性的降低、发生裂纹这样的问题。但是，由于即使在上侧的起点P1处产生剥离，第二凹部76中的密封空间本来也就只不过为空间，不是油墨或局部的气泡进入的部位，因此，在剥离的部位处不可能残存异物。
如以上的内容那样，在上述第一实施方式中，能够成为整体上难以产生裂纹的结构。而且，即使假设在上侧的起点P1处产生剥离，给第一吸收室44带来的影响也较少，能够抑制喷出特性的降低。
另外，有时，在形成第一可塑性部51的制造过程中使用通过水流而从压力室基板23侧冲去污垢的工序。在该工序中，高于油墨喷出时的压力施加在顶向第二凹部76侧的方向(Z2方向)上。即使对于这样的压力，也能够通过设置有各个按压部26、27而抑制在压力室基板23侧发生裂纹的情况。此外，根据喷出头10的种类而存在形成压力室C的X轴方向的端部变尖的形状的情况，在该情况下，由于应力集中在变尖的顶端，因此，裂纹的发生成为更加明显的问题，但通过在密封基板25上设置各个按压部26、27，能够适当地抑制裂纹的发生。
在上述的内容中，以供给侧的第一按压部26以及第二按压部27为例，对裂纹的抑制进行了说明，而关于与排出侧的第三可塑性部53对应的第三按压部46以及第四按压部47，也能够在排出侧实现相同的作用效果。
根据上述第一实施方式，在第一吸收室44的上部，未设置下部电极153，而设置了未与下部电极153电连接但以与下部电极153相同的材料形成的中间部件154。因此，能够尽可能地使压力室C与第一吸收室44的材料一致，从而使弹性率、振动率接近，能够提高第一吸收室44中的吸收效率。此外，在制造时，与对第一吸收室44的上部全部进行蚀刻的情况相比，无需不必要的蚀刻，能够容易地进行液体喷出头10的制造。
根据上述第一实施方式，由于下部电极153在X方向上未延伸至第一吸收室44而被隔断，因此，即使上部电极151连续至第一吸收室44的上部为止，在第一吸收室44中压电元件15也不会振动。因此，在制造时无需对上部电极151进行不必要的蚀刻，能够容易地实施液体喷出头10的制造。
根据上述第一实施方式，由于压电元件20、15、16的层叠结构以及振动板24的结构相同，因此，能够使第二吸收室45、压力室C以及第一吸收室44的材料尽可能一致而使弹性率接近，能够使振动特性均匀。
而且，能够使用利用了基于光刻胶的掩蔽的蚀刻等已知的方法来制作第一可塑性部51以及第三可塑性部53。例如，在形成构成包含第一凹部75内的压电元件20的致动器的各个部件时，能够使用与形成构成致动器的各个部件的方法相同的方法，来形成构成第一可塑性部51以及第三可塑性部53的各个部件。能够使用构成致动器的部件来简易地制造第一可塑性部51以及第三可塑性部53。此外，通过利用相同的制造方法来制造构成第一可塑性部51以及第三可塑性部53的部件和构成致动器的部件，能够更加简化液体喷出头10的制造工序。
B.第二实施方式：
接下来，参照图9，对本公开的第二实施方式进行说明。另外，在以下多个实施方式中，对与上述第一实施方式实质相同的结构标记相同的符号，并省略说明。第二实施方式的液体喷出头10相对于上述第一实施方式的液体喷出头10，第一可塑性部51的结构不同。
图9为表示第二实施方式中的第一可塑性部51周边的剖视图。如图9所示，在第一吸收室44的上部，依次设置有振动板24和上部电极配线11，未设置下部电极153、压电体152以及中间部件154。而且，第一按压部26的宽度W7大于第二按压部27的宽度W8。
根据上述第二实施方式，能够实现与上述第一实施方式相同的效果。而且，由于第一按压部26的宽度W7大于第二按压部27的宽度W8，因此，能够有效地抑制第一吸收室44的X2侧的端部处的裂纹的发生。由于X2侧靠近压力室C，因此，振动影响较大，由可塑性部导致的发生裂纹的风险较大。因此，能够通过增大X2侧的第一按压部26的宽度W7而使从上方按压的量尽可能增大。
另一方面，X1侧与X2侧相比振动影响较小，发生裂纹的风险相对较小。因此，通过使X1侧的第二按压部27的宽度W8相对减小，能够使从上方按压的量尽可能减小，从而扩大振动区域，增大可塑性能力。另外，在排出侧的第三可塑性部53中，也可以采用与第二实施方式相同的结构。
C.第三实施方式：
接下来，参照图10，对本公开的第三实施方式进行说明。第三实施方式的液体喷出头10相对于上述第一实施方式的液体喷出头10，第一吸收室44的上部的结构不同。图10为表示第三实施方式中的第一可塑性部51周边的剖视图。如图10所示，在第一吸收室44的X轴方向的两端部的上部，设置有振动板24、中间部件154、压电体152、上部电极151以及上部电极配线11。在此，第一吸收室44的X轴方向的两端部为在Z轴方向上与设置在密封基板25上的各个按压部26、27大致重叠的部位。在第一吸收室44的两端部以外的内侧中央部分的上部，仅设置有振动板24和上部电极配线11。
根据上述第三实施方式，能够实现与上述第一实施方式相同的效果。而且，仅与第二凹部76的X轴方向上的两端部对应的部位变厚，构成第一可塑性部51的大部分的厚度变薄。因此，在更大地确保可塑性能力的同时，保持了端部的强度，因此能够抑制端部附近的裂纹的发生。另外，在排出侧的第三可塑性部53中，也可以采用与第三实施方式相同的结构。
D.其他的方式：
(D1)在上述各个实施方式的液体喷出装置1中，设为了流入液体喷出头10的液体进行循环的循环头，但是也可以为液体不循环的非循环头。在非循环头的情况下，由于不具备排出侧共同流道43，因此，能够作为不具备第二吸收室45和压电元件16而具备压电元件20、15的结构来实施。
(D2)在上述各个实施方式的液体喷出装置1中，设为了设置第一可塑性部51至第四可塑性部54的结构，但也可以设为仅具备第一可塑性部51的结构。在未设置第二可塑性部52以及第四可塑性部54的情况下，该可塑性部52、54的部分也可以由喷嘴基板21形成。
(D3)在上述第一实施方式的液体喷出装置1中，也可以未设置中间部件154。
(D4)在上述各个实施方式的液体喷出装置1中，设为了第一凹部75的宽度W9小于压力室C的宽度W10，但也可以相同，第一凹部75的宽度W9也可以大于压力室C的宽度W10。
压力室C独立地设置了多个，与此相对，吸收室44、45是共同的，吸收室44、45与油墨相接的面积较大，相应地可塑性部的弯曲程度较大，但压力室C与吸收室44、45相比没怎么产生弯曲。为了在多个压力室C之间减少相互的振动影响的干涉，可以在将第一凹部75设为共同的同时使容积尽可能增大。另一方面，由于越增大压力室C的容积则喷出量越多，因此，为了获得所期望的喷出量，无法使X轴方向的宽度W10增那么大。根据以上内容，通过使第一凹部75的宽度W9大于压力室C的宽度W10，能够适当地减少振动影响的干涉。
(D5)在上述各个实施方式的液体喷出装置1中，设为了上部电极151由从压力室C的上部至第一吸收室44的上部为止连续的部件形成，但也可以分离。此外，在上述第一实施方式中，如图7所示，将上部电极151以及中间部件154以与第二凹部76的X轴方向上的宽度的一部分重叠的方式进行了设置，但也可以设置为跨及第二凹部76的X轴方向上的整个宽度而存在。
(D6)在上述各个实施方式的液体喷出装置1中，设为了第一可塑性部51跨及排出侧共同流道43的Y轴方向上的宽度而在Y轴方向上连续，但也可以在Y轴方向上分割为多个。
(D7)在上述各个实施方式中，第一按压部26的X轴方向上的宽度W7和第二按压部27的X轴方向上的宽度W8也可以不同，第一按压部26的宽度W7也可以小于第二按压部27的宽度W8。
(D8)在上述各个实施方式的液体喷出头10中，设为了第二凹部76的X轴方向上的宽度W5短于第一吸收室44的X轴方向上的宽度W6。也可以代之，通过第一吸收室44的宽度W6与第二凹部76的宽度W5相同并且第一吸收室44向例如X2侧偏离，而使压力室C侧的端部(第一侧端部92)被密封基板25按压。也就是说，也可以为仅具有第一按压部26的结构。此外，反之，也可以为仅具有第二按压部27的结构。
本公开并未被限定于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够通过各种结构来实现。例如，为了解决上述课题的一部分或全部，或者，为了实现上述效果的一部分或全部，与记载于发明内容部分的各方式中的技术特征相对应的实施方式中的技术特征能够适当地进行替换或组合。此外，只要该技术特征在本说明书中并未作为必要特征来说明，则可以适当地删除。
(1)根据本公开的一个方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头的特征在于，具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向时，所述第一吸收室侧凹部的所述第一方向上的宽度短于所述第一吸收室的所述第一方向上的宽度。
根据该方式，第一吸收室侧凹部的第一方向上的宽度短于第一吸收室的第一方向上的宽度，第一吸收室侧凹部的端部和第一吸收室的端部未对齐而偏离，因此，由振动导致的损坏难以积累在一个部位，能够抑制裂纹的发生。
(2)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置第一按压部，从而在第一吸收室侧凹部的第一侧，第一按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第一吸收室侧的第一侧的裂纹的发生。
(3)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置有第二按压部，从而在第一吸收室侧凹部的第二侧，第二按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第一吸收室侧的第二侧的裂纹的发生。
(4)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将所述第一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠，所述第一按压部的所述第一方向上的宽度大于所述第二按压部的所述第一方向上的宽度。
根据该方式，在密封基板上设置有第一按压部以及第二按压部，因此，能够适当地抑制第一吸收室侧的第一侧以及第二侧这两方的裂纹的发生。而且，第一按压部的第一方向上的宽度大于第二按压部的第一方向上的宽度，因此，在接近压力室且裂纹的发生风险相对较大的第一侧，能够有效地抑制裂纹的发生。此外，在裂纹的发生风险相对较小的第二侧，通过减小第二按压部的宽度来扩大振动区域，能够确保可塑性能力。
(5)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将与所述第一方向交叉的方向设为第二方向时，在所述喷嘴基板中，在所述第二方向上与所述第一喷嘴不同的位置上，还设置有第二喷嘴，在所述压力室基板中，还设置有第二压力室，所述第二压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第二喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室与所述第一压力室和所述第二压力室共同地连通。根据该方式，在第一吸收室与第一压力室以及第二压力室共同地连通的方式中，能够抑制裂纹的发生。
(6)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，所述第一压力室侧凹部的所述第一方向上的宽度长于所述第一压力室的所述第一方向上的宽度。根据该方式，能够通过使第一压力室侧凹部的宽度大于第一压力室的宽度而适当地减少振动影响的干涉。
(7)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，所述第一压力室与所述第一吸收室在所述第一方向上相邻。
(8)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在所述压力室基板中，还设置有第二吸收室，所述第二吸收室通过所述振动板来对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收，在所述密封基板上，还设置有与所述第二吸收室相对应的第二吸收室侧凹部，所述第一压力室位于所述第一方向上的所述第一吸收室与所述第二吸收室之间，所述第一压力室与所述第一吸收室的所述第一方向上的分离距离短于所述第一压力室与所述第二吸收室的所述第一方向上的分离距离，液体依次在所述第一吸收室、所述第一压力室、所述第二吸收室中流动。
根据该方式，液体依次在第一吸收室、第一压力室、第二吸收室中流动，在第一吸收室与第二吸收室相比更接近第一压力室的方式的喷出头中，能够抑制裂纹的发生。
(9)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，所述第二吸收室侧凹部的所述第一方向上的宽度短于所述第二吸收室的所述第一方向上的宽度。根据该方式，由于第二吸收室侧凹部的第一方向上的宽度短于第二吸收室的第一方向上的宽度，第二吸收室侧凹部的端部和第二吸收室的端部未对齐而偏离，因此，由振动导致的损坏难以积累在一个部位，能够抑制裂纹的发生。
(10)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，在所述密封基板中形成所述第二吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第二吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第二吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第三按压部，所述第三按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置有第三按压部，从而在第二吸收室侧凹部的第一侧，第三按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第二吸收室侧的第一侧的裂纹的发生。
(11)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，在所述密封基板中形成所述第二吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第二吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第二吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第四按压部，所述第四按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置有第四按压部，从而在第二吸收室侧凹部的第二侧，第四按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第二吸收室侧的第二侧的裂纹的发生。
(12)在上述方式的液体喷出头中，也可以采用如下的方式，即，所述第二吸收室侧凹部与所述第二吸收室的所述第一方向上的宽度的差值小于所述第一吸收室侧凹部与所述第一吸收室的所述第一方向上的宽度的差值。根据该方式，在距压力室的距离相对较远且较难产生发生裂纹的问题的第二吸收室侧凹部中，能够增大第一方向上的宽度。因此，能够增大第二吸收室侧凹部的容积，从而振动吸收效率好。
(13)根据本公开的第二方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头的特征在于，具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向，将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧时，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置有第一按压部，从而在第一吸收室侧凹部的第一侧，第一按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第一吸收室侧的第一侧的裂纹的发生。
(14)根据本公开的第三方式，提供一种液体喷出头。该液体喷出头的特征在于，具有：喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；振动板；压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向，将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧时，在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位、且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
根据该方式，通过在密封基板上设置有第二按压部，从而在第一吸收室侧凹部的第二侧，第二按压部以从密封基板侧对振动板进行按压的方式发挥功能。由此，能够适当地抑制第一吸收室侧的第二侧的裂纹的发生。
(15)在上述方式中，也可以采用如下的方式，即，所述液体喷出头还具备：压电体，其通过施加电压而被驱动；上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，在所述第一吸收室的上部，依次设置有所述振动板、中间部件、所述压电体、所述上部电极、所述上部电极配线，所述中间部件由与所述下部电极相同的材料形成并且未与所述下部电极电连接。
根据该方式，由于在第一吸收室的上部设置有未与下部电极电连接但由与下部电极相同的材料形成的中间部件，因此，能够使压力室和第一吸收室的材料尽可能一致并使弹性率接近，能够提高第一吸收室的吸收效率。
(16)在上述方式中，也可以采用如下的方式，即，所述液体喷出头还具备：压电体，其通过施加电压而被驱动；上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，在所述第一吸收室的上部，依次设置有所述振动板和所述上部电极配线，未设置所述压电体、所述下部电极以及所述上部电极。
(17)在上述方式中，也可以采用如下的方式，即，所述液体喷出头还具备：压电体，其通过施加电压而被驱动；上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，在所述第一吸收室的所述第一方向的两端部的上部，依次设置有所述振动板、中间部件、所述压电体、所述上部电极、所述上部电极配线，所述中间部件由与所述下部电极相同的材料形成并且未与所述下部电极电连接。
根据该方式，通过在第一吸收室的第一方向的两端部设置振动板、中间部件、压电体、上部电极、上部电极配线而保持了两端部的强度，因此，能够抑制两端部附近的裂纹的发生。
(18)根据本公开的其他的方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置具有：上述方式的液体喷出头；控制部，其对从所述液体喷出头喷出液体的喷出动作进行控制。根据该方式，在液体喷出装置中，能够抑制液体喷出头的裂纹的发生。
此外，本公开不限于喷墨方式，能够应用于喷出油墨以外的其他液体的任意的液体喷出装置中。例如能够应用于如下的各种液体喷出装置中。
(1)传真装置等图像记录装置。
(2)在液晶显示器等图像显示装置用的滤光器的制造中所使用的颜色材料喷出装置。
(3)在有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器、面发光显示器(FieldEmission Display、FED)等的电极形成中所使用的电极材料喷出装置。
(4)在生物芯片制造中所使用的喷出包含生物体有机物的液体的液体喷出装置。
(5)作为精密移液管的试样喷出装置。
(6)润滑油的喷出装置。
(7)树脂液的喷出装置。
(8)向钟表或照相机等精密设备精确地喷出润滑油的液体喷出装置。
(9)为了形成在光通信元件等中所使用的微小半球透镜(光学透镜)等而将紫外线固化树脂等透明树脂液喷出到基板上的液体喷出装置。
(10)为了对基板等进行蚀刻而喷出酸性或碱性的蚀刻液的液体喷出装置。
(11)具备喷出其他的任意的微小量的液滴的液体消耗头的液体喷出装置。
“液滴”是指，从液体喷射装置喷出的液体的状态，也包括粒状、泪状、丝状后拉出尾状物的液滴的状态。此外，这里所说的“液体”只需为液体喷出装置能够消耗的材料即可。例如，“液体”只要是物质处于液相时的状态的材料即可，粘性较高或较低的液体状态的材料、以及溶胶、凝胶水、其它无机溶剂、有机溶剂、溶液、液状树脂、液状金属(金属融液)这样的液体状态的材料也包含在“液体”中。此外，不仅作为物质的一种状态的液体，就连在溶剂中溶解、分散或混合有由颜料或金属粒子等固体物构成的功能材料的粒子的液体等也包含在“液体”中。此外，作为第一液体和第二液体的组合的代表性的示例，除了如在上述实施方式中说明的那样的油墨和反应液的组合之外，可以列举以下的物质。
(1)粘合剂的主剂以及固化剂。
(2)涂料的底漆以及稀释剂、透明漆以及稀释剂。
(3)含有细胞用油墨的细胞的主溶剂以及稀释溶剂。
(4)呈现金属光泽感的油墨(金属油墨)的金属矿颜料分散液以及稀释溶剂。
(5)车辆用燃料的汽油、轻油以及生物燃料。
(6)药品的药主成分以及保护成分。
(7)发光二极管(LED)的荧光体以及密封材料。
而且，本公开不限于作为上述的液体喷出头、液体喷出装置的方式，能够通过液体喷出系统、具备液体喷出装置的复合机等各种方式来实现。
符号说明
1…液体喷出装置；2…液体容器；3…滑架；4…滑架输送机构；4a…输送带；5…介质输送机构；5a…输送辊；6…直线编码器；7…驱动电路；8…循环机构；10…液体喷出头；11…上部电极配线；12…下部电极配线；13…粘合剂；15；16；20…压电元件；21…喷嘴基板；22…连通板；23…压力室基板；24…振动板；25…密封基板；26…第一按压部；27…第二按压部；28…划分部；30…控制部；31…CPU；32…驱动信号生成电路；35…存储部；36…ROM；37…RAM；41…供给侧共同流道；42…独立流道；43…排出侧共同流道；44…第一吸收室(供给侧吸收室)；45…第二吸收室(排出侧吸收室)；46…第三按压部；47…第四按压部；51…第一可塑性部；52…第二可塑性部；53…第三可塑性部；54…第四可塑性部；60…COF(配线基板)；61、62、63…供给侧液室部；65…第一连通流道；66…第二连通流道；67…第三连通流道；71、72、73…排出侧液室部；75…第一凹部(第一压力室侧凹部)；76…第二凹部(第一吸收室侧凹部)；77…第三凹部(第二吸收室侧凹部)；78…贯穿孔；82…回收流道；83…泵；151…上部电极；152…压电体；153…下部电极；154…中间部件；241…第一绝缘层；242…第二绝缘层；C…压力室；D1…距离；D2…距离；N…喷嘴；PA…印刷纸张。

Claims (18)

1.一种液体喷出头，其特征在于，具有：
喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；
振动板；
压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；
密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，
在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向时，
所述第一吸收室侧凹部的所述第一方向上的宽度短于所述第一吸收室的所述第一方向上的宽度。
2.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
3.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
4.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将所述第一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠，
所述第一按压部的所述第一方向上的宽度大于所述第二按压部的所述第一方向上的宽度。
5.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在将与所述第一方向交叉的方向设为第二方向时，
在所述喷嘴基板中，在所述第二方向上与所述第一喷嘴不同的位置上，还设置有第二喷嘴，
在所述压力室基板中，还设置有第二压力室，所述第二压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第二喷嘴喷出液体的压力，
所述第一吸收室与所述第一压力室和所述第二压力室共同地连通。
6.如权利要求5所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第一压力室侧凹部的所述第一方向上的宽度长于所述第一压力室的所述第一方向上的宽度。
7.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第一压力室与所述第一吸收室在所述第一方向上相邻。
8.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
在所述压力室基板中，还设置有第二吸收室，所述第二吸收室通过所述振动板来对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收，
在所述密封基板上，还设置有与所述第二吸收室相对应的第二吸收室侧凹部，
所述第一压力室位于所述第一方向上的所述第一吸收室与所述第二吸收室之间，
所述第一压力室与所述第一吸收室的所述第一方向上的分离距离短于所述第一压力室与所述第二吸收室的所述第一方向上的分离距离，
液体依次在所述第一吸收室、所述第一压力室、所述第二吸收室中流动。
9.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第二吸收室侧凹部的所述第一方向上的宽度短于所述第二吸收室的所述第一方向上的宽度。
10.如权利要求9所述的液体喷出头，其特征在于，
在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，
在所述密封基板中形成所述第二吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第二吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第二吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第三按压部，所述第三按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
11.如权利要求9所述的液体喷出头，其特征在于，
在将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向时，
在所述密封基板中形成所述第二吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第二吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第二吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第四按压部，所述第四按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
12.如权利要求9所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第二吸收室侧凹部与所述第二吸收室的所述第一方向上的宽度的差值小于所述第一吸收室侧凹部与所述第一吸收室的所述第一方向上的宽度的差值。
13.一种液体喷出头，其特征在于，具有：
喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；
振动板；
压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；
密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，
在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向，将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧设为第一侧时，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第一侧的端部和所述第一吸收室的所述第一侧的端部之间对应的部位上，设置有第一按压部，所述第一按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
14.一种液体喷出头，其特征在于，具有：
喷嘴基板，其设置有第一喷嘴；
振动板；
压力室基板，其设置有第一压力室以及第一吸收室，所述第一压力室通过所述振动板而对液体施加用于从所述第一喷嘴喷出液体的压力，所述第一吸收室通过所述振动板而对从所述第一压力室传递的液体的振动进行吸收；
密封基板，其设置有与所述第一压力室对应的第一压力室侧凹部以及与所述第一吸收室对应的第一吸收室侧凹部，
在将所述第一压力室和所述第一吸收室的排列方向设为第一方向，将层叠所述压力室基板和所述密封基板的方向设为层叠方向，将所述第一方向上的从所述第一吸收室观察时靠所述第一压力室的一侧的相反侧设为第二侧时，
在所述密封基板中形成所述第一吸收室侧凹部的周围的部位且与所述第一吸收室侧凹部的所述第二侧的端部和所述第一吸收室的所述第二侧的端部之间对应的部位上，设置有第二按压部，所述第二按压部在所述层叠方向上与所述压力室基板不重叠而与所述振动板重叠。
15.如权利要求1、13或14所述的液体喷出头，其特征在于，
所述液体喷出头还具备：
压电体，其通过施加电压而被驱动；
上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；
下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；
上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，
在所述第一吸收室的上部，依次设置有所述振动板、中间部件、所述压电体、所述上部电极和所述上部电极配线，所述中间部件由与所述下部电极相同的材料形成并且未与所述下部电极电连接。
16.如权利要求1、13或14所述的液体喷出头，其特征在于，
所述液体喷出头还具备：
压电体，其通过施加电压而被驱动；
上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；
下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；
上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，
在所述第一吸收室的上部，依次设置有所述振动板和所述上部电极配线，未设置所述压电体、所述下部电极以及所述上部电极。
17.如权利要求1、13或14所述的液体喷出头，其特征在于，
所述液体喷出头还具备：
压电体，其通过施加电压而被驱动；
上部电极，其位于所述压电体的上部，并与所述压电体电连接；
下部电极，其位于所述压电体的下部，并与所述压电体电连接；
上部电极配线，其位于所述上部电极的上部，并用于对所述上部电极和外部电源进行电连接，
在所述第一吸收室的所述第一方向的两端部的上部，依次设置有所述振动板、中间部件、所述压电体、所述上部电极和所述上部电极配线，所述中间部件由与所述下部电极相同的材料形成并且未与所述下部电极电连接。
18.一种液体喷出装置，其特征在于，具有：
权利要求1至17中的任意一项所述的液体喷出头；
控制部，其对从所述液体喷出头喷出液体的喷出动作进行控制。
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