CN117966108A - 一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法 - Google Patents

Abstract

一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，靶材池中加入铟材料进行加热温度为240℃至250℃时，平面靶材排列放入靶材池、靶材校平压板，当控制中心接收到靶材校平压板局部的压力传感器时，控制中心通过振动执行模块自动，一组平面靶材一致进入液体的铟材料中，液体的铟材料流动进入一组平面靶材的间隙进行自动找平；控制中心接收到全部的压力传感器报警后，控制中心自动控制振动装置停止；本发明的平面靶材与背板为自动校平、绑定，控制中心通过接收压力传感器报警的数据控制靶材校平压板的振动，降低平面靶材和背板的脱落现象，不需要手动按压平面靶材，避免了平面靶材与液体铟表面产生间隙，进而提高产品生产的质量。

Description

一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法

技术领域

本发明涉及平面靶材的绑定，尤其是一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法。

背景技术

目前，磁控溅射的靶材为光电功能材料，现有平面靶材绑定是由靶材与背板的绑定，绑定方法为靶材及表面处理后，靶材放到背板槽中，背板与靶材放置在加热台上加热进行焊接铟，一般通过背板加热铟至240℃～250℃后为液体铟，靶材由人工手动置入铟上面、调整间距、靶材通过重力自然下沉，直至完全浸入铟池中，加热靶台停止加热，待铟和靶材冷却为常温后，靶材与背板焊接铟贴合绑定；由于人工手动将靶材置入液体铟中，靶材通过重力自然下沉，下沉的深度较小，平面靶材与液体铟表面容易存在较小的气泡、产生间隙，导致平面靶材与铟的贴合率降低，甚至靶材在生产过程中脱落的现象时有发生，普通绑定平面靶材技术靶材贴合率为90%以下；另外，平面靶材在铟池中贴合靶材未定型期间，靶材上面出现不平整时，通过手动按压调整靶材，使其上面平整，由于手动按压的角度、力度难于控制，导致靶材和铟不能全面贴合，靶材和背板之间产生局部无铟的现象或靶材脱落，靶材与背板绑定的校平是本领域长期以来难以解决的技术问题；鉴于上述的诸多原因，现提出一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有靶材与背板的绑定由于人工手动将靶材置入液体铟中，靶材通过重力自然下沉，下沉的深度较小，平面靶材与液体铟表面容易存在较小的气泡、产生间隙，导致平面靶材与铟的贴合率降低，甚至靶材在生产过程中脱落的现象时有发生，普通绑定平面靶材技术靶材贴合率为90%以下；另外，通过手动按压调整靶材，手动按压的角度、力度难于控制，导致靶材和铟不能全面贴合，靶材和背板之间产生局部无铟的现象或靶材脱落，靶材与背板绑定的校平是本领域长期以来难以解决的技术问题；现通过合理的设计，提供一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法；本发明的平面靶材与背板为自动校平绑定，加热台面加热背板中液体的铟材料上面放置平面靶材、靶材校平压板，压板信号收发装置将接受的监测信号自动上传至控制中心，控制中心通过接收压力传感器报警的数据控制振动，同时，靶材校平压板通过振动向下挤压平面靶材，平面靶材一致进入液体的铟材料中进行自动校平后，确保平面靶材通过铟牢固的绑定背板，避免了平面靶材与液体铟表面产生气泡、间隙，提高了平面靶材在铟、背板的贴合率为95%以上，控制中心通过接收压力传感器报警的数据控制振动停止，降低平面靶材和背板的脱落现象，进而提高产品生产的质量。

本发明为了实现上述目的，采用如下技术方案，一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，所述的平面靶材绑定自动校平装置，是由背板、平面靶材、铟材料、振动加热台、台面支撑框、加热台面、温度传感器、控制台、控制中心、振动执行模块、加热模块、温度传感模块、靶材校平信号模块、振动装置、减振装置、靶材池、靶材校平压板、排气孔、内压板、压力传感器、压力报警灯、压板规矩支块、压板信号收发装置构成；振动加热台上面设置加热台面，加热台面上面设置为水平面，加热台面内设置电热装置，加热台面的两端和两侧中部均设置温度传感器，振动加热台设置为矩形箱体，振动加热台的箱体上部中心设置控制台；振动加热台的矩形箱体中上部设置为台面支撑框，加热台面下面两侧、两端分别与台面支撑框之间设置减振装置，加热台面下面的两侧对称设置两对振动装置，两对振动装置与加热台面设置为振动的加热台面。

加热台面上面设置背板，背板上面中部预留靶材池，靶材池中设置为铟材料，铟材料上面设置一组平面靶材，平面靶材均设置为矩形块，一组平面靶材设置为矩形块的组合体，一组平面靶材横向设置为六排平面靶材，一组平面靶材纵向设置为六列平面靶材；一组平面靶材的长度、宽度小于靶材池的长度、宽度设置，一组平面靶材的矩形块之间预留间隙，一组平面靶材的高度设置为同一的高度；靶材池口部上方设置靶材校平压板，靶材池口部的边沿的四角和中部均布设置压板规矩支块，靶材池口部的边沿的压板规矩支块上面设置为同一水平面；靶材校平压板下部设置为内压板，靶材校平压板的边沿下面对应压板规矩支块的位置分别设置压力传感器，压力传感器上方设置压力报警灯；内压板下面对应一组平面靶材的上面设置，靶材校平压板的边沿与压板规矩支块之间预留1mm间隙；靶材校平压板上分别对应一组平面靶材矩形块的缝隙分别预留排气孔；靶材校平压板一侧中部设置压板信号收发装置，压板信号收发装置中设置信号收发单元，压板信号收发装置分别与压力传感器之间设置压力传感信号线。

背板与平面靶材进行铟焊绑定之前，振动加热台一侧放置背板、一组平面靶材、铟材料备用；背板与平面靶材进行绑定加工时，人工将背板放置于加热台面上的中心位置，人工将铟材料加入背板的靶材池中，靶材池中加入的铟材料深度为1mm至3mm。

所述的控制台中设置控制中心，控制中心下方一侧分别设置振动执行模块、加热模块、温度传感模块，控制中心分别与振动执行模块、加热模块、温度传感模块之间设置控制线路；振动执行模块与振动装置之间设置控制线路，加热模块与电热装置之间设置控制电热线路，温度传感模块与温度传感器之间设置传感数据线路；控制中心一侧设置靶材校平信号模块，控制中心与靶材校平信号模块之间设置数据线路，靶材校平信号模块与压板信号收发装置之间设置为无线信号。

靶材池中加入铟材料后，人工启动控制台，通过控制台分别设置加热温度、振动、靶材校平的数据，控制台将设置的数据输入控制中心中；通过控制台设置加热台面的加热温度为240℃至250℃，振动装置、温度传感器、靶材校平设置为自动，控制台完成加热台面的加热、振动的设置。

人工启动靶材校平压板的压板信号收发装置后，控制中心的靶材校平信号模块的无线信号与压板信号收发装置的无线信号为自动配对，压板信号收发装置自启动压力传感器、压力报警灯，压板信号收发装置与靶材校平信号模块的无线信号配对完成；通过控制中心设置局部的压力传感器报警为振动，控制中心设置全部的压力传感器报警为停止振动、靶材校平压板校平完成后，完成靶材校平压板校平、报警的设置。

控制台完成设置、压板信号收发装置与靶材校平信号模块的无线信号配对完成后，控制中心通过加热模块控制加热台面进行加热，加热台面加热背板、铟材料；同时，温度传感器实时将接收到发送至控制中心，当控制中心接收到温度传感器的温度为240℃至250℃时，控制中心通过加热模块控制加热台面停止加热。

当背板的靶材池中铟材料加热至240℃至250℃为液体时，通过人工将一组平面靶材排列放入靶材池中，靶材池中布满一组平面靶材后，通过人工将靶材校平压板放置于一组平面靶材上面，靶材校平压板的中心与背板的中心对应放置后，一组平面靶材受到浮力与靶材校平压板下面结合为一体，靶材校平压板与平面靶材为承载体，通过承载体的重力大于液体的铟材料的浮力，平面靶材重力挤压进入液体的铟材料中；当控制中心接收到靶材校平压板局部的压力传感器时，控制中心通过振动执行模块自动控制振动装置进行振动，振动装置通过振动依次带动加热台面、背板、液体的铟材料、平面靶材、靶材校平压板进行同步振动，液体的铟材料振动的过程中，液体的铟材料的分子活跃、增加了流动性，靶材校平压板与一组平面靶材的重力持续向下挤压，一组平面靶材一致进入液体的铟材料中；排除了平面靶材与液体铟表面产生的气泡、间隙，液体的铟材料自然流动进入一组平面靶材的间隙进行自动找平。

液体的铟材料自动找平的同时，靶材校平压板向下移动，当靶材校平压板边沿与压板规矩支块全部接触、无间隙时，压力传感器全部进行报警；控制中心接收到全部的压力传感器报警后，控制中心自动控制振动装置停止，靶材校平压板完成一组平面靶材的校平；一组平面靶材的完成校平后，靶材校平压板边沿下面与压板规矩支块上面为同一平面，内压板下面与一组平面靶材上面为同一平面，一组平面靶材下面为液体的铟材料全面接触，一组平面靶材的间隙中为液体的铟材料，一组平面靶材与液体的铟材料、背板的贴合率为95%以上。

一组平面靶材的完成校平后，待液体的铟材料通过自然降温至155℃为固态时，一组平面靶材通过固态的铟与背板绑定完成；背板与平面靶材的绑定完成后，通过人工将靶材校平压板取下，再将绑定平面靶材的背板取下加热台面；绑定平面靶材的背板取下加热台面后，加热台面上放置新的背板，按照以上的操作流程进行新的背板与平面靶材的绑定。

有益效果：本发明的平面靶材与背板为自动校平绑定，加热台面加热背板中液体的铟材料上面放置平面靶材、靶材校平压板，压板信号收发装置将接受的监测信号自动上传至控制中心，控制中心通过接收压力传感器报警的数据控制振动，同时，靶材校平压板通过振动向下挤压平面靶材，平面靶材一致进入液体的铟材料中进行自动校平后，确保平面靶材通过铟牢固的绑定背板，避免了平面靶材与液体铟表面产生气泡、间隙，提高了平面靶材在铟、背板的贴合率为95%以上，控制中心通过接收压力传感器报警的数据控制振动停止，降低平面靶材和背板的脱落现象，进而提高产品生产的质量。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1是总装结构示意图；

图2是图1的靶材校平控制系统结构示意图；

图3是图1的背板与靶材校平压板俯视结构示意图；

图4是图3的侧视结构示意图；

图5是图3的靶材校平压板与背板动态结构示意图；

图6是图3的背板与压板规矩支块局部结构示意图；

图7是图3的靶材校平压板侧视结构示意图；

图8是图7的仰视结构示意图；

图1、2、3、4、5、6、7、8中：背板1、平面靶材2、铟材料3、振动加热台4、台面支撑框4-1、加热台面5、温度传感器5-1、控制台6、控制中心6-1、振动执行模块6-2、加热模块6-3、温度传感模块6-4、靶材校平信号模块6-5、振动装置7、减振装置8、靶材池9、靶材校平压板10、排气孔10-1、内压板11、压力传感器12、压力报警灯13、压板规矩支块14、压板信号收发装置15。

具体实施方式

下面结合实施例与具体实施方式对本发明作进一步详细说明：

实施例1

振动加热台4上面设置加热台面5，加热台面5上面设置为水平面，加热台面5内设置电热装置，加热台面5的两端和两侧中部均设置温度传感器5-1，振动加热台4设置为矩形箱体，振动加热台4的箱体上部中心设置控制台6；振动加热台4的矩形箱体中上部设置为台面支撑框4-1，加热台面5下面两侧、两端分别与台面支撑框4-1之间设置减振装置8，加热台面5下面的两侧对称设置两对振动装置7，两对振动装置7与加热台面5设置为振动的加热台面。

加热台面5上面设置背板1，背板1上面中部预留靶材池9，靶材池9中设置为铟材料3，铟材料3上面设置一组平面靶材2，平面靶材2均设置为矩形块，一组平面靶材2设置为矩形块的组合体，一组平面靶材2横向设置为六排平面靶材2，一组平面靶材2纵向设置为六列平面靶材2；一组平面靶材2的长度、宽度小于靶材池9的长度、宽度设置，一组平面靶材2的矩形块之间预留间隙，一组平面靶材2的高度设置为同一的高度；靶材池9口部上方设置靶材校平压板10，靶材池9口部的边沿的四角和中部均布设置压板规矩支块14，靶材池9口部的边沿的压板规矩支块14上面设置为同一水平面；靶材校平压板10下部设置为内压板11，靶材校平压板10的边沿下面对应压板规矩支块14的位置分别设置压力传感器12，压力传感器12上方设置压力报警灯13；内压板11下面对应一组平面靶材2的上面设置，靶材校平压板10的边沿与压板规矩支块14之间预留1mm间隙；靶材校平压板10上分别对应一组平面靶材2矩形块的缝隙分别预留排气孔10-1；靶材校平压板10一侧中部设置压板信号收发装置15，压板信号收发装置15中设置信号收发单元，压板信号收发装置15分别与压力传感器12之间设置压力传感信号线。

背板1与平面靶材2进行铟焊绑定之前，振动加热台4一侧放置背板1、一组平面靶材2、铟材料3备用；背板1与平面靶材2进行绑定加工时，人工将背板1放置于加热台面5上的中心位置，人工将铟材料3加入背板1的靶材池9中，靶材池9中加入的铟材料3深度为1mm至3mm。

所述的控制台6中设置控制中心6-1，控制中心6-1下方一侧分别设置振动执行模块6-2、加热模块6-3、温度传感模块6-4，控制中心6-1分别与振动执行模块6-2、加热模块6-3、温度传感模块6-4之间设置控制线路；振动执行模块6-2与振动装置7之间设置控制线路，加热模块6-3与电热装置之间设置控制电热线路，温度传感模块6-4与温度传感器5-1之间设置传感数据线路；控制中心6-1一侧设置靶材校平信号模块6-5，控制中心6-1与靶材校平信号模块6-5之间设置数据线路，靶材校平信号模块6-5与压板信号收发装置15之间设置为无线信号。

靶材池9中加入铟材料3后，人工启动控制台6，通过控制台6分别设置加热温度、振动、靶材校平的数据，控制台6将设置的数据输入控制中心6-1中；通过控制台6设置加热台面5的加热温度为240℃至250℃，振动装置7、温度传感器5-1、靶材校平设置为自动，控制台6完成加热台面5的加热、振动的设置。

人工启动靶材校平压板10的压板信号收发装置15后，控制中心6-1的靶材校平信号模块6-5的无线信号与压板信号收发装置15的无线信号为自动配对，压板信号收发装置15自启动压力传感器12、压力报警灯13，压板信号收发装置15与靶材校平信号模块6-5的无线信号配对完成后；通过控制中心6-1设置局部的压力传感器12报警为振动，控制中心6-1设置全部的压力传感器12报警为停止振动、靶材校平压板10校平完成后，完成靶材校平压板10校平、报警的设置。

控制台6完成设置、压板信号收发装置15与靶材校平信号模块6-5的无线信号配对完成后，控制中心6-1通过加热模块6-3控制加热台面5进行加热，加热台面5加热背板1、铟材料3；同时，温度传感器5-1实时将接收到发送至控制中心6-1，当控制中心6-1接收到温度传感器5-1的温度为240℃至250℃时，控制中心6-1通过加热模块6-3控制加热台面5停止加热。

当背板1的靶材池9中铟材料3加热至240℃至250℃为液体时，通过人工将一组平面靶材2排列放入靶材池9中，靶材池9中布满一组平面靶材2后，通过人工将靶材校平压板10放置于一组平面靶材2上面，靶材校平压板10的中心与背板1的中心对应放置后，一组平面靶材2受到浮力与靶材校平压板10下面结合为一体，靶材校平压板10与平面靶材2为承载体，通过承载体的重力大于液体的铟材料3的浮力，平面靶材2重力挤压进入液体的铟材料3中；当控制中心6-1接收到靶材校平压板10局部的压力传感器12时，控制中心6-1通过振动执行模块6-2自动控制振动装置7进行振动，振动装置7通过振动依次带动加热台面5、背板1、液体的铟材料3、平面靶材2、靶材校平压板10进行同步振动，液体的铟材料3振动的过程中，液体的铟材料3的分子活跃、增加了流动性，靶材校平压板10与一组平面靶材2的重力持续向下挤压，一组平面靶材2一致进入液体的铟材料3中；排除了平面靶材与液体铟表面产生的气泡、间隙，液体的铟材料3自然流动进入一组平面靶材2的间隙进行自动找平。

液体的铟材料3自动找平的同时，靶材校平压板10向下移动，当靶材校平压板10边沿与压板规矩支块14全部接触、无间隙时，压力传感器12全部进行报警；控制中心6-1接收到全部的压力传感器12报警后，控制中心6-1自动控制振动装置7停止，靶材校平压板10完成一组平面靶材2的校平；一组平面靶材2的完成校平后，靶材校平压板10边沿下面与压板规矩支块14上面为同一平面，内压板11下面与一组平面靶材2上面为同一平面，一组平面靶材2下面为液体的铟材料3全面接触，一组平面靶材2的间隙中为液体的铟材料3，一组平面靶材2与液体的铟材料3、背板1的贴合率为95%以上。

一组平面靶材2的完成校平后，待液体的铟材料3通过自然降温至155℃为固态时，一组平面靶材2通过固态的铟与背板1绑定完成；背板1与平面靶材2的绑定完成后，通过人工将靶材校平压板10取下，再将绑定平面靶材2的背板1取下加热台面5；绑定平面靶材2的背板1取下加热台面5后，加热台面5上放置新的背板1，按照以上的操作流程进行新的背板1与平面靶材2的绑定。

Claims (4)

1.一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，所述的平面靶材绑定自动校平装置，是由背板（1）、平面靶材（2）、铟材料（3）、振动加热台（4）、台面支撑框（4-1）、加热台面（5）、温度传感器（5-1）、控制台（6）、控制中心（6-1）、振动执行模块（6-2）、加热模块（6-3）、温度传感模块（6-4）、靶材校平信号模块（6-5）、振动装置（7）、减振装置（8）、靶材池（9）、靶材校平压板（10）、排气孔（10-1）、内压板（11）、压力传感器（12）、压力报警灯（13）、压板规矩支块（14）、压板信号收发装置（15）构成；其特征在于：振动加热台（4）上面设置加热台面（5），加热台面（5）上面设置为水平面，加热台面（5）内设置电热装置，加热台面（5）的两端和两侧中部均设置温度传感器（5-1），振动加热台（4）设置为矩形箱体，振动加热台（4）的箱体上部中心设置控制台（6）；振动加热台（4）的矩形箱体中上部设置为台面支撑框（4-1），加热台面（5）下面两侧、两端分别与台面支撑框（4-1）之间设置减振装置（8），加热台面（5）下面的两侧对称设置两对振动装置（7），两对振动装置（7）与加热台面（5）设置为振动的加热台面；

加热台面（5）上面设置背板（1），背板（1）上面中部预留靶材池（9），靶材池（9）中设置为铟材料（3），铟材料（3）上面设置一组平面靶材（2），平面靶材（2）均设置为矩形块，一组平面靶材（2）设置为矩形块的组合体，一组平面靶材（2）横向设置为六排平面靶材（2），一组平面靶材（2）纵向设置为六列平面靶材（2）；一组平面靶材（2）的长度、宽度小于靶材池（9）的长度、宽度设置，一组平面靶材（2）的矩形块之间预留间隙，一组平面靶材（2）的高度设置为同一的高度；靶材池（9）口部上方设置靶材校平压板（10），靶材池（9）口部的边沿的四角和中部均布设置压板规矩支块（14），靶材池（9）口部的边沿的压板规矩支块（14）上面设置为同一水平面；靶材校平压板（10）下部设置为内压板（11），靶材校平压板（10）的边沿下面对应压板规矩支块（14）的位置分别设置压力传感器（12），压力传感器（12）上方设置压力报警灯（13）；内压板（11）下面对应一组平面靶材（2）的上面设置，靶材校平压板（10）的边沿与压板规矩支块（14）之间预留1mm间隙；靶材校平压板（10）上分别对应一组平面靶材（2）矩形块的缝隙分别预留排气孔（10-1）；靶材校平压板（10）一侧中部设置压板信号收发装置（15），压板信号收发装置（15）中设置信号收发单元，压板信号收发装置（15）分别与压力传感器（12）之间设置压力传感信号线；

背板（1）与平面靶材（2）进行铟焊绑定之前，振动加热台（4）一侧放置背板（1）、一组平面靶材（2）、铟材料（3）备用；背板（1）与平面靶材（2）进行绑定加工时，人工将背板（1）放置于加热台面（5）上的中心位置，人工将铟材料（3）加入背板（1）的靶材池（9）中，靶材池（9）中加入的铟材料（3）深度为1mm至3mm。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，其特征在于：所述的控制台（6）中设置控制中心（6-1），控制中心（6-1）下方一侧分别设置振动执行模块（6-2）、加热模块（6-3）、温度传感模块（6-4），控制中心（6-1）分别与振动执行模块（6-2）、加热模块（6-3）、温度传感模块（6-4）之间设置控制线路；振动执行模块（6-2）与振动装置（7）之间设置控制线路，加热模块（6-3）与电热装置之间设置控制电热线路，温度传感模块（6-4）与温度传感器（5-1）之间设置传感数据线路；控制中心（6-1）一侧设置靶材校平信号模块（6-5），控制中心（6-1）与靶材校平信号模块（6-5）之间设置数据线路，靶材校平信号模块（6-5）与压板信号收发装置（15）之间设置为无线信号；

靶材池（9）中加入铟材料（3）后，人工启动控制台（6），通过控制台（6）分别设置加热温度、振动时间、靶材校平的数据，控制台（6）将设置的数据输入控制中心（6-1）中；通过控制台（6）设置加热台面（5）的加热温度为240℃至250℃，振动装置（7）、温度传感器（5-1）、靶材校平设置为自动，控制台（6）完成加热台面（5）的加热、振动的设置；

人工启动靶材校平压板（10）的压板信号收发装置（15）后，控制中心（6-1）的靶材校平信号模块（6-5）的无线信号与压板信号收发装置（15）的无线信号为自动配对，压板信号收发装置（15）自启动压力传感器（12）、压力报警灯（13），压板信号收发装置（15）与靶材校平信号模块（6-5）的无线信号配对完成后；通过控制中心（6-1）设置局部的压力传感器（12）报警为振动，控制中心（6-1）设置全部的压力传感器（12）报警为停止振动、靶材校平压板（10）校平完成后，完成靶材校平压板（10）校平、报警的设置。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，其特征在于：控制台（6）完成设置、压板信号收发装置（15）与靶材校平信号模块（6-5）的无线信号配对完成后，控制中心（6-1）通过加热模块（6-3）控制加热台面（5）进行加热，加热台面（5）加热背板（1）、铟材料（3）；同时，温度传感器（5-1）实时将接收到发送至控制中心（6-1），当控制中心（6-1）接收到温度传感器（5-1）的温度为240℃至250℃时，控制中心（6-1）通过加热模块（6-3）控制加热台面（5）停止加热；

当背板（1）的靶材池（9）中铟材料（3）加热至240℃至250℃为液体时，通过人工将一组平面靶材（2）排列放入靶材池（9）中，靶材池（9）中布满一组平面靶材（2）后，通过人工将靶材校平压板（10）放置于一组平面靶材（2）上面，靶材校平压板（10）的中心与背板（1）的中心对应放置后，一组平面靶材（2）受到浮力与靶材校平压板（10）下面结合为一体，靶材校平压板（10）与平面靶材（2）为承载体，通过承载体的重力大于液体的铟材料（3）的浮力，平面靶材（2）重力挤压进入液体的铟材料（3）中；当控制中心（6-1）接收到靶材校平压板（10）局部的压力传感器（12）时，控制中心（6-1）通过振动执行模块（6-2）自动控制振动装置（7）进行振动，振动装置（7）通过振动依次带动加热台面（5）、背板（1）、液体的铟材料（3）、平面靶材（2）、靶材校平压板（10）进行同步振动，液体的铟材料（3）振动的过程中，液体的铟材料（3）的分子活跃、增加了流动性，靶材校平压板（10）与一组平面靶材（2）的重力持续向下挤压，一组平面靶材（2）一致进入液体的铟材料（3）中；排除了平面靶材与液体铟表面产生的气泡、间隙，液体的铟材料（3）自然流动进入一组平面靶材（2）的间隙进行自动找平；

液体的铟材料（3）自动找平的同时，靶材校平压板（10）向下移动，当靶材校平压板（10）边沿与压板规矩支块（14）全部接触、无间隙时，压力传感器（12）全部进行报警；控制中心（6-1）接收到全部的压力传感器（12）报警后，控制中心（6-1）自动控制振动装置（7）停止，靶材校平压板（10）完成一组平面靶材（2）的校平；一组平面靶材（2）的完成校平后，靶材校平压板（10）边沿下面与压板规矩支块（14）上面为同一平面，内压板（11）下面与一组平面靶材（2）上面为同一平面，一组平面靶材（2）下面为液体的铟材料（3）全面接触，一组平面靶材（2）的间隙中为液体的铟材料（3），一组平面靶材（2）与液体的铟材料（3）、背板（1）的贴合率为95%以上。

4.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法，其特征在于：一组平面靶材（2）的完成校平后，待液体的铟材料（3）通过自然降温至155℃为固态时，一组平面靶材（2）通过固态的铟与背板（1）绑定完成；背板（1）与平面靶材（2）的绑定完成后，通过人工将靶材校平压板（10）取下，再将绑定平面靶材（2）的背板（1）取下加热台面（5）；绑定平面靶材（2）的背板（1）取下加热台面（5）后，加热台面（5）上放置新的背板（1），按照以上的操作流程进行新的背板（1）与平面靶材（2）的绑定。