CN117902554A - 惰性气体纯化的处理系统和方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开惰性气体纯化的处理系统和方法，所述惰性气体纯化的处理系统包括进气组件、冷凝组件、除尘干燥组件和脱氧组件，所述进气组件包括污气进气构件、第一氢气进气构件和第二氢气进气构件，所述污气进气构件包括污气进气管道，所述污气进气管道的一端部具有用于通入污气的污气进气口，所述第一氢气进气构件包括第一氢气进气管道，所述第一氢气进气管道的一端部具有用于通入一部分预定量氢气的第一氢气进气口，所述第一氢气进气管道的另一端部被连通于所述污气进气管道，所述第二氢气进气构件包括第二氢气进气管道，所述第二氢气进气管道具有用于通入另一部分预定量氢气的第二氢气进气口。
Description
技术领域
本发明涉及惰性气体的处理技术领域，尤其涉及一种惰性气体纯化的处理系统和方法。
背景技术
单晶硅作为硅基太阳能电池组件的主要原料之一，在光伏产业的发展中具有重要地位，原料硅锭在预定的温度条件下通过直拉法制备生产成单晶硅。其中，在直拉法制备单晶硅的过程中，从盛料坩埚中产生的各种挥发性杂质以及空气组分会与单晶硅混合，为了保证制备的单晶硅的生产品质达到预期标准，需要在直拉法制备单晶硅的过程中，使用大量的高纯惰性气体进行气氛吹扫，以去除与单晶硅混合的各种挥发性杂质以及空气组分，如氧、氮、一氧化碳、水分、二氧化碳、甲烷、氢气和液态润滑油雾。
而近些年来，由于惰性气体的使用成本不断升高，降低惰性气体的使用成本对光伏产业中单晶硅生产成本的降低来说极为重要。因此，在使用惰性气体进行气氛吹扫后，需要对惰性气体进行回收纯化，以使惰性气体后续能够被循环使用，进而降低单晶硅的制作成本。
如附图之图1所示，现有的惰性气体回收纯化的系统包括进气装置10A、加热器20A、多个控制阀30A、粗脱氧组件40A、冷凝器50A和除尘干燥构件60A，所述进气装置10A包括污气进气结构11A和氢气进气结构12A，通过所述加热器20A将进入所述污气进气结构11A的污气加热至预定温度，加热后的污气与进入所述氢气进气结构12A的氢气混合后流入所述粗脱氧组件40A，由于所述粗脱氧组件40A中被设置有预定的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层，污气内的含氧杂质与氢气发生催化反应生成水和产生大量的热量，所述粗脱氧组件40A内部升温后，上述催化反应生成的水会被加热为气态，高温状态下的污气会被通入所述冷凝器50A进行冷凝，使污气内气态的水分子被转化为液态并被除去，所述控制阀30A被设置于与所述除尘干燥构件60A连通的各个管道上，以通过所述控制阀30A控制连通于所述除尘干燥构件60A的管道的通断，除水后的污气会通入所述除尘干燥构件60A被进一步除水和除杂，以获得高纯度的无氧惰性气体，并将高纯度的无氧惰性气体存至储存罐。
但是，当污气的含氧杂质的含量高于预定值，或污气的流量大于预定值时，污气在所述粗脱氧组件40A内发生的催化反应会更加剧烈。此时产生的温度会高于所述粗脱氧组件40A能承受的预定温度，此时，所述粗脱氧组件40A会由于被长时间加热至高于所述粗脱氧组件40A可承受的预定温度而易于损坏，且所述粗脱氧组件40A的使用寿命会降低，进而需要对所述粗脱氧组件40A进行高频率的养护，这样一来，同样会导致惰性气体的回收和纯化的成本增高。当所述粗脱氧组件40A在使用时发生损坏后，还会对操作人员的安全造成威胁。
进一步地，由于所述冷凝器50A被长时间通入高于预定最佳温度的气体后，所述冷凝器50A也会易于损坏，因此，当污气被升温至高于所述冷凝器50A最佳的预定通入温度，并从所述粗脱氧组件40A流入所述冷凝器50A进行冷凝时，所述冷凝器50A的冷凝效果会降低，所述冷凝器50A的使用寿命会降低且易于损坏，进而需要对所述冷凝器50A进行养护，这同样会产生大量的资金消耗。当所述冷凝器50A在使用时发生损坏后，对操作人员的安全会造成威胁。
此外，由于所述粗脱氧组件40A中设置的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化效率在预定温度范围内才最佳，因此，当所述粗脱氧组件40A中的温度高于高效加氢脱氧催化剂的最佳催化效率对应的温度时，所述粗脱氧组件40A中设置的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化效率会被降低，进而降低污气内的含氧杂质与氢气发生催化反应的效率，此时污气内的含氧杂质若想通过催化反应达到预期的去除效果，所需要的高效加氢脱氧催化剂的剂量会更多，进而降低了高效加氢脱氧催化剂的利用率。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种惰性气体纯化的处理系统，其中所述惰性气体纯化的处理系统包括：
进气组件，所述进气组件包括污气进气构件、第一氢气进气构件和第二氢气进气构件，所述污气进气构件包括污气进气管道，所述污气进气管道的一端部具有用于通入污气的污气进气口，所述第一氢气进气构件包括第一氢气进气管道，所述第一氢气进气管道的一端部具有用于通入一部分预定量氢气的第一氢气进气口，所述第一氢气进气管道的另一端部被连通于所述污气进气管道，所述第二氢气进气构件包括第二氢气进气管道，所述第二氢气进气管道具有用于通入另一部分预定量氢气的第二氢气进气口；
冷凝组件，所述冷凝组件包括可用于冷凝除水的第一冷凝构件，所述第一冷凝构件包括至少一换热器、至少一第一前置连通管道、至少一第一后置连通管道和至少一第一预冷机，所述第一前置连通管道的一端被连通于所述换热器，所述第一前置连通管道的另一端被连通于所述第一预冷机，所述第一后置连通管道的一端被连通于所述第一预冷机，所述第二氢气进气管道的另一端被连通于所述第一后置连通管道；
除尘干燥组件，所述除尘干燥组件用于将污气除尘干燥；和
脱氧组件，所述脱氧组件包括：
粗脱氧构件，所述粗脱氧构件包括粗脱氧塔、至少一第一回热器、至少一第一连通管道、至少一第一回流管道和至少一第一换热连通管道，所述粗脱氧塔具有粗脱氧入口和粗脱氧出口，所述第一回热器具有第一污气入口、第一污气出口、第一回流入口和第一回流出口，所述污气进气管道的另一端部通过所述第一污气入口被连通于所述第一回热器，所述第一连通管道的一端通过所述第一污气出口被连通于所述第一回热器，所述第一连通管道的另一端通过所述粗脱氧入口被连通于所述粗脱氧塔，所述第一回流管道的一端通过所述粗脱氧出口被连通于所述粗脱氧塔，所述第一回流管道的另一端通过所述第一回流入口被连通于所述第一回热器，所述第一换热连通管道的一端连通于所述第一回热器的所述第一回流出口，所述第一换热连通管道的另一端连通于所述换热器；和
精脱氧构件，所述精脱氧构件包括精脱氧塔、至少一第二回热器、至少一第二连通管道、至少一第二回流管道和至少一第二前置连通管道，所述精脱氧塔具有精脱氧入口和精脱氧出口，所述第二回热器具有第二污气入口、第二污气出口、第二回流入口和第二回流出口，所述第一后置连通管道的另一端通过所述第二污气入口被连通于所述第二回热器，所述第二连通管道的一端通过所述第二污气出口被连通于所述第二回热器，所述第二连通管道的另一端通过所述精脱氧入口被连通于所述精脱氧塔，所述第二回流管道的一端通过所述精脱氧出口被连通于所述精脱氧塔，所述第二回流管道的另一端通过所述第二回流入口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的一端通过所述第二回流出口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的另一端连通于所述除尘干燥组件。
根据本发明的一实施例，所述惰性气体纯化的处理系统还包括控制阀组，所述控制阀组包括多个气体流量阀，其中两个所述气体流量阀分别被可控制气体流量地设置于所述第一氢气进气管道和所述第二氢气进气管道，所述污气进气构件还包括污气测氧控制器，所述污气测氧控制器被可测量通入所述污气进气管道的污气含氧量地设置于所述污气进气管道，通过所述污气测氧控制器可控制所述第一氢气进气管道通入所述污气进气管道的氢气量地电性连接于位于所述第一氢气进气管道的所述气体流量阀。
根据本发明的一实施例，所述粗脱氧构件还包括粗脱测氧控制器，所述粗脱测氧控制器被设置于所述第一换热连通管道，所述粗脱测氧控制器用以测量第一次催化反应后的污气的含氧量，所述粗脱测氧控制器可控制所述第二氢气进气管道通入所述第一后置连通管道的氢气量地电性连接于位于所述第二氢气进气管道的所述气体流量阀。
根据本发明的一实施例，所述换热器包括换热管和冷却管，所述换热管具有连通于所述第一换热连通管道另一端部的用于第一次催化反应后的污气进入的换热进口、与所述换热进口连通并用于第一次催化反应后的污气换热降温的换热腔和与所述换热腔连通并用于流出第一次催化反应后的污气的换热出口，所述第一前置连通管道的一端通过所述换热出口被连通于所述换热器的所述换热管，所述冷却管被以圆周方向环绕设置于所述换热管，所述冷却管具有用于流入冷却液的冷却液进口和用于流出冷却液的冷却液出口。
根据本发明的一实施例，所述精脱氧构件还包括精脱测氢控制器，所述精脱测氢控制器被设置于所述第二前置连通管道，且所述精脱测氢控制器被可控制所述第二氢气进气管道内氢气流量地电性连接于位于所述第二氢气进气管道的所述气体流量阀。
根据本发明的一实施例，所述控制阀组还包括多个连通阀，所述连通阀用于控制气体在管道中的流通，所述冷凝组件还包括第二冷凝构件，所述第二冷凝构件包括至少一第二后置连通管道、至少一第二预冷机、至少一第二跨接管和至少一第二测温控制器，所述第二前置连通管道的一端通过所述第二回流出口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的另一端被连通于所述第二预冷机，所述第二后置连通管道的一端被连通于所述第二预冷机，所述第二后置连通管道的另一端被连接于所述除尘干燥组件，所述第二跨接管的一端被可连通地设置于所述第二前置连通管道，所述第二跨接管的另一端被可连通地设置于所述第二后置连通管道，其中三个所述连通阀被可控制气体流通状态地分别设置于所述第二前置连通管道、所述第二后置连通管道和所述第二跨接管并被电性连接于所述第二测温控制器，所述第二测温控制器被设置于所述第二前置连通管道，所述第二测温控制器用于测量所述第二前置连通管道内第二次催化反应后的污气的温度，所述第二测温控制器通过电信号控制三个分别位于所述第二前置连通管道、所述第二后置连通管道和所述第二跨接管的所述连通阀。
根据本发明的一实施例，所述第一冷凝构件还包括至少一第一跨接管和至少一第一测温控制器，所述第一跨接管的一端被连通于所述第一前置连通管道，所述第一跨接管的另一端被连通于所述第一后置连通管道，所述第一测温控制器被设置于所述第一前置连通管道，所述第一测温控制器用于测量所述第二前置连通管道内第二次催化反应后的污气的温度，所述第一测温控制器通过电信号控制三个分别位于所述第一前置连通管道、所述第一后置连通管道和所述第一跨接管的所述连通阀。
根据本发明的一实施例，所述控制阀组还包括多个连通阀，所述除尘干燥组件包括至少两个干燥塔、与所述干燥塔数量对应的前置连接管、与所述前置连接管数量对应的后置连接管和至少一高纯度无氧气体出气管，所述前置连接管和所述后置连接管均被设置有所述连通阀，所述干燥塔形成有连通于所述前置连接管的一端的下部气口和连通于所述后置连接管的一端的上部气口，所述前置连接管的另一端被连通于所述第二前置连通管道，所述后置连接管的另一端被连通于所述高纯度无氧气体出气管的一端，所述高纯度无氧气体出气管的另一端形成有用于排出高纯度的无氧惰性气体的出气口。
根据本发明的一实施例，所述惰性气体纯化的处理系统还包括返流组件，所述返流组件包括返流管和返流加热器，所述返流加热器被可加热所述返流管内气体地设置于所述返流管，所述返流管具有用于通入再生气体的返流进气口，所述除尘干燥组件还包括与所述干燥塔数量对应的前置泄压管、与所述干燥塔数量对应的前置排杂管、至少一排杂构件、与所述后置连接管数量对应的吹气管和将至少两个所述后置连接管连通的后置均压管，所述排杂构件包括排杂管道和用于防止气体爆炸的排杂阻火器，所述前置泄压管和所述前置排杂管的一端均被连通于所述前置连接管，且所述前置泄压管和所述前置排杂管的另一端均被连通于所述排杂管道，所述吹气管的一端被连通于所述返流管，所述吹气管的另一端被连通于所述后置连接管，所述控制阀组还包括多个泄压阀、多个排杂阀、均压阀和多个吹气阀，所述泄压阀被设置于所述前置泄压管，所述排杂阀被设置于所述前置排杂管，所述均压阀被设置于所述后置均压管，所述吹气阀被设置于所述吹气管。
附图说明
图1示出了本发明现有技术的结构示意图。
图2示出了本发明第一优选实施例的结构示意图。
图3示出了图2中A处的放大图示意图。
图4示出了本发明第二优选实施例的结构示意图。
图5示出了图4中B处的放大图示意图。
图6示出了本发明第三优选实施例的结构示意图。
图7示出了本发明第四优选实施例的结构示意图。
图8图7中C处的放大图示意图。
附图标记：10A进气装置；11A污气进气结构；12A氢气进气结构；20A加热器；30A控制阀；40A粗脱氧组件；50A冷凝器；60A除尘干燥构件；
10进气组件；
11污气进气构件；111污气进气管道；11101污气进气口； 112污气测氧控制器；
12第一氢气进气构件；121第一氢气进气管道；12101第一氢气进气口；122第一流量控制器；123第一氢气阻火器；
13第二氢气进气构件；131第二氢气进气管道；13101第二氢气进气口；132第二流量控制器；133第二氢气阻火器；
20加热组件；21第一加热器；211第一加热测温件；212第一加热控制件；22第二加热器；221第二加热测温件；222第二加热控制件；
30控制阀组；31气体流量阀；32连通阀；33泄压阀；34排杂阀；35均压阀；36吹气阀；
40脱氧组件；
41粗脱氧构件；411粗脱氧塔；41101粗脱氧入口；41102粗脱氧出口；412第一回热器；41201第一污气入口；41202第一污气出口；41203第一回流入口；41204第一回流出口；413第一连通管道；414第一回流管道；415第一换热连通管道；416粗脱测氧控制器；
42精脱氧构件；421精脱氧塔；42101精脱氧入口；42102精脱氧出口；422第二回热器；42201第二污气入口；42202第二污气出口；42203第二回流入口；42204第二回流出口；423第二连通管道；424第二回流管道；425第二前置连通管道；426精脱测氢控制器；
50冷凝组件；
51第一冷凝构件；511换热器；5111换热管；511101换热进口；511102换热腔；511103换热出口；5112冷却管；511201冷却液进口；511202冷却液出口；512第一前置连通管道；513第一后置连通管道；514第一预冷机；515第一跨接管；516第一测温控制器；
52第二冷凝构件；521第二后置连通管道；522第二预冷机；523第二跨接管；524第二测温控制器；
60除尘干燥组件
61干燥塔；6101下部气口；6102上部气口；
62前置连接管；63前置泄压管；64前置排杂管；65排杂构件；651排杂管道；65101排杂口；652排杂阻火器；66后置连接管；67后置均压管；68吹气管；69高纯度无氧气体出气管；6901出气口；
70返流组件；71返流管；7101返流进气口；72返流加热器。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本发明的限制。
可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
参考附图之图2至图8，依本发明一较佳实施例的惰性气体纯化的处理系统将在以下被详细地阐述，其中所述惰性气体纯化的处理系统用于，污气和氢气混合后，在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下，产生水和生成大量热量，在经过冷凝除水、干燥和除尘后，获得高纯度的无氧惰性气体，实现污气的纯化。
如附图之图2和图3所示，所述惰性气体纯化的处理系统包括一进气组件10、一脱氧组件40、一冷凝组件50和一除尘干燥组件60。
所述进气组件10包括一污气进气构件11、一第一氢气进气构件12和一第二氢气进气构件13。
具体地，所述污气进气构件11包括至少一污气进气管道111，且所述污气进气管道111的一端部具有至少一污气进气口11101，以通过所述污气进气口11101通入污气。
优选地，所述污气进气构件11还包括一污气测氧控制器112，所述污气测氧控制器112被设置于所述污气进气管道111，并用于测量通入所述污气进气管道111的污气的含氧量，进而通过所述污气测氧控制器112控制所述第一氢气进气构件12通入所述污气进气管道111的氢气量。
优选地，所述惰性气体纯化的处理系统还包括一加热组件20。所述加热组件20包括一第一加热器21。所述加热组件20的所述第一加热器21被设置于所述污气进气构件11并被用于在污气通入所述污气进气构件11后将污气加热至预定温度。
所述第一氢气进气构件12包括至少一第一氢气进气管道121，且所述第一氢气进气管道121的一端部具有至少一第一氢气进气口12101，以通入一部分预定量的氢气，所述第一氢气进气管道121远离所述第一氢气进气口12101的一端与所述污气进气管道111连通，以使通入所述第一氢气进气管道121的氢气与所述污气进气管道111内的污气混合，并从所述污气进气管道111远离污气进气口11101的一端通入所述粗脱氧构件41。
具体地，所述惰性气体纯化的处理系统还包括一控制阀组30，所述控制阀组30包括多个气体流量阀31，所述气体流量阀31用于控制气体的流量。
优选地，所述第一氢气进气构件12还包括一第一流量控制器122，所述第一流量控制器122被电性连接于所述污气测氧控制器112并被设置于所述第一氢气进气管道121。其中一个所述气体流量阀31被电性连接于所述第一流量控制器122，并可被所述第一流量控制器122控制流过所述第一氢气进气管道121的预定的氢气量地设置于所述第一氢气进气管道121。
优选地，所述第一氢气进气构件12还包括一第一氢气阻火器123，所述第一氢气阻火器123被设置于所述第一氢气进气管道121并用于防止流入所述第一氢气进气管道121的氢气意外爆炸。
具体地，所述加热组件20的所述第一加热器21被设置于所述污气进气构件11的所述污气进气管道111，所述第一加热器21用于将通入所述污气进气构件11的所述污气进气管道111的污气加热至预定温度。所述第一加热器21具有一第一加热测温件211和一第一加热控制件212，所述第一加热测温件211被设置位于所述污气进气管道111，所述第一加热控制件212被设置位于所述第一加热器21，所述第一加热测温件211被电性连接于所述第一加热控制件212，所述第一加热测温件211用于测量并显示所述污气进气管道111内的温度，以使操作人员能实时了解所述第一加热器21对污气加热时的温度，便于操作人员对所述第一加热器21的温度加以控制，换句话说，所述第一加热控制件212用于控制所述第一加热器21的加热状态。
所述脱氧组件40包括一粗脱氧构件41和一精脱氧构件42。所述粗脱氧构件41包括一粗脱氧塔411、至少一第一回热器412、至少一第一连通管道413、至少一第一回流管道414和至少一第一换热连通管道415，所述粗脱氧塔411内设有由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层，所述粗脱氧塔411具有一粗脱氧入口41101和一粗脱氧出口41102，所述第一回热器412具有一第一污气入口41201、一第一污气出口41202、一第一回流入口41203和一第一回流出口41204。所述污气进气管道111的一端通过所述第一污气入口41201被连接于所述第一回热器412，所述第一连通管道413的一端通过所述第一污气出口41202被连接于所述第一回热器412，所述第一连通管道413的另一端通过所述粗脱氧入口41101被连接于所述粗脱氧塔411，所述第一回流管道414的一端通过所述粗脱氧出口41102被连接于所述粗脱氧塔411，所述第一回流管道414的另一端通过所述第一回流入口41203被连接于所述第一回热器412，所述第一换热连通管道415的一端通过所述第一回流出口41204被连接于所述第一回热器412。所述第一换热连通管道415的另一端连接于所述第一冷凝构件51。
优选地，所述第一回热器412内从所述第一污气入口41201流向所述第一污气出口41202的气体流动的路径，与所述第一回热器412内从所述第一回流入口41203流向所述第一回流出口41204的气体流动的路径互不干扰。
具体地，所述污气进气管道111内的污气被所述第一加热器21加热至预定温度并与从所述第一氢气进气管道121通入所述污气进气管道111的预定量的氢气混合后，通过所述污气进气管道111一端连接的所述第一回热器412的所述第一污气入口41201进入所述第一回热器412，并从所述第一回热器412的所述第一污气出口41202流出至所述第一连通管道413，从所述粗脱氧塔411的所述粗脱氧入口41101进入所述粗脱氧塔411后，在所述粗脱氧塔411内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第一次催化反应，生成预定量的水和热量。由于第一次催化反应后的污气温度高于水的沸点，催化反应生成的水会以气态的形式与污气混合。第一次催化反应后的污气从所述粗脱氧塔411的所述粗脱氧出口41102流出至所述第一回流管道414，并通过所述第一回流管道414从所述第一回热器412的所述第一回流入口41203进入所述第一回热器412，从所述第一回热器412的所述第一回流出口41204流出并经过所述第一换热连通管道415流至所述第一冷凝构件51被冷凝除水。
本领域技术人员可以理解的是，由于污气被加热至预定温度，因此其与氢气混合后的混合气体具有一预定温度，使得其被通入所述粗脱氧塔411时，在所述粗脱氧塔411内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应的速度得以达到预期，进而避免发生由于由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化效果不佳而需要添加更多的高效加氢脱氧催化剂的情况，使高效加氢脱氧催化剂的利用率达到最佳的预期效果，降低高效加氢脱氧催化剂的损耗。
其中，污气与氢气混合后在所述粗脱氧塔411内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应时，会产生水和大量的热量，第一次催化反应后的污气的温度因此较高，第一次催化反应后的污气从所述粗脱氧塔411的所述粗脱氧出口41102经过所述第一回流管道414从所述第一回流入口41203进入所述第一回热器412时，所述第一回热器412会被加热至预定温度，使从所述第二污气入口42201进入所述第二回热器422的与氢气混合后的污气会被加热至预定温度。
换句话说，当被所述第一加热器21加热后的污气与氢气混合后，进入所述粗脱氧塔411并在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应，且从所述粗脱氧出口41102流出的污气被加热后，即可关闭所述第一加热器21，并使所述第一加热器21停止对污气进行加热。由于污气和氢气混合后会流经所述第一回热器412，且第一次催化反应后的污气从所述粗脱氧出口41102流出并经过所述第一回流管道414从所述第一回流入口41203流入所述第一连通管道413后会加热所述第一回热器412，因此污气和氢气混合后流经所述第一回热器412会被加热至预定温度，进而确保污气和氢气混合后进入所述粗脱氧塔411在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应时，催化反应得以达到预期反应速度。因此，所述第一回热器412的存在，使得无需持续开启所述第一加热器21对污气加热，更好的利用第一次催化反应后的污气携带的热量，节约生产能源，节省资金消耗。
优选地，所述冷凝组件50包括一第一冷凝构件51。所述第一冷凝构件51包括至少一换热器511、至少一第一前置连通管道512、至少一第一后置连通管道513和至少一第一预冷机514，所述换热器511包括一换热管5111和一冷却管5112。所述换热管5111具有连接于所述第一换热连通管道415另一端部的用于第一次催化反应后的污气进入的一换热进口511101和与所述换热进口511101连通并用于污气换热降温的一换热腔511102和与所述换热腔511102连通并用于流出污气的一换热出口511103。所述冷却管5112被以圆周方向环绕设置于所述换热管5111，所述冷却管5112具有用于流入冷却液的一冷却液进口511201和用于流出冷却液的一冷却液出口511202。
进一步地，所述第一前置连通管道512的一端通过所述换热出口511103被连接于所述换热器511的所述换热管5111，所述第一前置连通管道512的另一端被连接于所述第一预冷机514，所述第一后置连通管道513的一端被连接于所述第一预冷机514，所述第一预冷机514用于进一步将所述换热出口511103流出的第一次催化反应后的污气冷凝除水，所述第一后置连通管道513的另一端被设置于所述精脱氧构件42。
值得一提的是，由于第一次催化反应后的污气温度温度高于所述第一预冷机514能承受的预期承受温度范围，因此，第一次催化反应后的污气从所述换热管5111的所述换热进口511101进入所述换热腔511102，并将热量传递至所述换热管5111，所述冷却管5112通过热传递降低所述换热管5111的温度，进而使所述换热腔511102内第一次催化反应后的污气的温度降至预定值，在污气被降温的过程中，混合于污气的气态水会转化为液态水，最终实现污气的第一次脱水。第一次脱水后的污气从所述换热管5111的所述换热出口511103流出后，通过所述第一前置连通管道512进入所述第一预冷机514被进一步冷凝脱水，再通过所述第一后置连通管道513流至所述精脱氧构件42。
值得一提的是，第一次催化反应后的污气从所述第一回热器412的所述第一回流出口41204流出后，先通过所述换热器511进行初步的降温冷凝，再进入所述第一预冷机514进行冷凝，避免第一次催化反应后的污气从所述第一回热器412的所述第一回流出口41204流出后由于温度过高直接进入所述第一预冷机514，而使所述第一预冷机514长时间承受超过可承受的预期温度而导致所述第一预冷机514的冷凝效果降低或导致所述第一预冷机514被高温损坏，进而避免因所述第一预冷机514在使用时高温损坏后破损而对操作人员的安全造成威胁，为操作人员的安全提供保障。
优选地，所述粗脱氧构件41还包括一粗脱测氧控制器416，所述粗脱测氧控制器416优选地被设置于所述第一换热连通管道415，所述粗脱测氧控制器416用以测量第一次催化反应后的污气的含氧量，并通过所述粗脱测氧控制器416可控制所述第二氢气进气构件13通入所述第一后置连通管道513的氢气量地电性连接于所述第二氢气进气构件13。
所述精脱氧构件42包括一精脱氧塔421、至少一第二回热器422、至少一第二连通管道423、至少一第二回流管道424和至少一第二前置连通管道425，所述精脱氧塔421内设有由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层，所述精脱氧塔421具有一精脱氧入口42101和一精脱氧出口42102，所述第二回热器422具有一第二污气入口42201、一第二污气出口42202、一第二回流入口42203和一第二回流出口42204。所述第一后置连通管道513通过所述第二污气入口42201被连接于所述第二回热器422，所述第二连通管道423的一端通过所述第二污气出口42202被连接于所述第二回热器422，所述第二连通管道423的另一端通过所述精脱氧入口42101被连接于所述精脱氧塔421，所述第二回流管道424的一端通过所述精脱氧出口42102被连接于所述精脱氧塔421，所述第二回流管道424的另一端通过所述第二回流入口42203被连接于所述第二回热器422，所述第二前置连通管道425的一端通过所述第二回流出口42204被连接于所述第二回热器422，所述第二前置连通管道425的另一端连接于所述除尘干燥组件60。
优选地，所述第二回热器422内从所述第二污气入口42201流向所述第二污气出口42202的气体流动的路径，与所述第二回热器422内从所述第二回流入口42203流向所述第二回流出口42204的气体流动的路径互不干扰。
所述第二氢气进气构件13包括至少一第二氢气进气管道131，且所述第二氢气进气管道131的一端部具有至少一第二氢气进气口13101，以通入另一部分预定量的氢气，所述第二氢气进气管道131的另一端部与所述第一后置连通管道513连通，以将通入所述第二氢气进气管道131的氢气与所述第一后置连通管道513内第一次催化反应后的污气混合。
值得一提的是，所述第二氢气进气构件13还包括一第二流量控制器132。所述第二流量控制器132被电性连接于所述粗脱测氧控制器416并被设置于所述第二氢气进气管道131，所述气体流量阀31被电性连接于所述第二流量控制器132并可被所述第二流量控制器132控制流过所述第二氢气进气管道131的预定的氢气量地设置于所述第二氢气进气管道131。
值得一提的是，所述第二氢气进气构件13还包括一第二氢气阻火器133，所述第二氢气阻火器133被设置于所述第二氢气进气管道131并用于防止流入所述第二氢气进气管道131的氢气意外爆炸。
如附图之图2和图3所示，在本发明的第一优选实施例中，经过所述换热器511降温除水后的污气仍具有一预定的温度，污气经过所述第一预冷机514时，所述第一预冷机514为未启动状态，因此污气会以一预定的温度从连接于所述第一预冷机514的所述第一后置连通管道513与预定量的氢气混合，并使混合后的气体具有预定的温度，从所述第二回热器422的所述第二污气入口42201流向所述第二污气出口42202。具有预定温度的污气在经过所述第二连通管道423后，从所述精脱氧塔421的所述精脱氧入口42101进入所述精脱氧塔421，并在所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应，由于第二次催化反应后的污气温度高于水的沸点，催化反应生成的水会以气态的形式与污气混合。第二次催化反应后的污气从所述精脱氧塔421的所述精脱氧出口42102流出至所述第二回流管道424，并通过所述第二回流管道424从所述第二回热器422的所述第二回流入口42203进入所述第二回热器422，从所述第二回热器422的所述第二回流出口42204流出并经过所述第二前置连通管道425流至所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终制成高纯度的无氧惰性气体，完成回收纯化的目的。
值得一提的是，进入所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应的污气与氢气混合后的气体具有一预定温度。因此，在所述粗脱氧塔411内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应的速度得以达到预期，进而避免发生由于由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化效果不佳而需要添加更多的高效加氢脱氧催化剂的情况，使高效加氢脱氧催化剂的利用率达到最佳的预期效果，降低高效加氢脱氧催化剂的损耗。
本领域技术人员可以理解的是，当启动所述第一预冷机514时，经过所述第一预冷机514的污气会被进一步冷凝除水且污气的温度会被降至预定温度以下。但是，污气与氢气混合后在所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应时，会产生水和大量的热量，第二次催化反应后的污气的温度因此较高。第二次催化反应后的污气从所述精脱氧塔421的所述精脱氧出口42102经过所述第二回流管道424从所述第二回流入口42203进入所述第二回热器422时，所述第二回热器422会被加热至预定温度，使从所述第二污气入口42201进入所述第二回热器422的混合后的污气和氢气会被加热至预定温度，进而使混合后的污气和氢气从所述第二污气出口42202通过所述第二连通管道423从所述精脱氧入口42101流入所述精脱氧塔421时，在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应的速度达到预期，进而更好的将污气内的氧分子与氢气反应生成水和预定热量。
换句话说，污气流经所述第一预冷机514后，与氢气混合并经过所述第一回热器412最终在所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应后，第二次催化反应后的气体经过所述第二回流管道424从所述第二回流入口42203进入所述第二回热器422后，启动所述第一预冷机514。经过所述第一预冷机514降温的污气与氢气混合后经过所述第二回热器422后会被升温至预定温度，进而使混合后的污气和氢气从所述第二污气出口42202通过所述第二连通管道423从所述精脱氧入口42101流入所述精脱氧塔421后，在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应的速度达到预期，进而更好的将污气内的氧分子与氢气反应生成水和预定热量。
优选地，所述精脱氧构件42还包括一精脱测氢控制器426，所述精脱测氢控制器426被设置于所述第二前置连通管道425，所述精脱测氢控制器426被电性连接于所述第二氢气进气构件13的所述第二流量控制器132。所述精脱测氢控制器426用于检测所述第二前置连通管道425内第二次催化反应后的污气内的氢气含量，并通过电信号传递给所述第二流量控制器132，以此通过所述第二流量控制器132控制安装于所述第二氢气进气管道131的所述气体流量阀31。最终实现控制通过所述第二氢气进气管道131流入所述第一后置连通管道513的氢气量，避免氢气与污气经过由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化反应后因氢气反应不完全而导致氢气的浪费。
如附图之图4和图5所示，根据本发明的第二优选实施例，其中第二优选实施例是第一优选实施例的修改。所述加热组件20还包括一第二加热器22，所述第二加热器22被设置于所述第一后置连通管道513，用于加热从所述第一预冷机514流入所述第一后置连通管道513的污气。所述第二加热器22具有一第二加热测温件221和一第二加热控制件222，所述第二加热测温件221被设置位于所述第一后置连通管道513，所述第二加热控制件222被设置位于所述第二加热器22，所述第二加热测温件221被电性连接于所述第二加热控制件222，所述第二加热测温件221用于测量并显示所述第一后置连通管道513内的温度，以使操作人员能实时了解所述第二加热器22对污气加热时的温度，便于操作人员对所述第二加热器22的温度加以控制。换句话说，所述第二加热控制件222用于控制所述第二加热器22的加热状态。
本领域技术人员可以理解的是，经过所述换热器511降温除水后的污气仍具有一预定的温度。污气经过所述第一预冷机514时，所述第一预冷机514为启动状态，并对污气进一步冷凝除水，并流入所述第一后置连通管道513经过所述第二加热器22后被加热至预定温度。因此污气会以一预定温度与从所述第二氢气进气管道131通入所述第一后置连通管道513的预定量的氢气混合，并使混合后的气体具有预定的温度。进而使混合后的污气和氢气从所述第二污气出口42202通过所述第二连通管道423从所述精脱氧入口42101流入所述精脱氧塔421后，在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应的速度达到预期，进而更好的将污气内的氧分子与氢气反应生成水和预定热量。
进一步地，由于第二次催化反应后的污气温度高于水的沸点，催化反应生成的水会以气态的形式与污气混合，第二次催化反应后的污气从所述精脱氧塔421的所述精脱氧出口42102流出至所述第二回流管道424，并通过所述第二回流管道424从所述第二回热器422的所述第二回流入口42203进入所述第二回热器422，从所述第二回热器422的所述第二回流出口42204流出并经过所述第二前置连通管道425流至所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终获得高纯度的无氧惰性气体。
值得一提的是，进入所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生第二次催化反应的污气与氢气混合后的气体具有一预定温度。因此，在所述粗脱氧塔411内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应的速度得以达到预期，进而避免发生由于由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化效果不佳而需要添加更多的高效加氢脱氧催化剂的情况，使高效加氢脱氧催化剂的利用率达到最佳的预期效果，降低高效加氢脱氧催化剂的损耗。
本领域技术人员可以理解的是，由于污气与氢气混合后在所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应时，会产生水和大量的热量，第二次催化反应后的污气的温度因此较高。第二次催化反应后的污气从所述精脱氧塔421的所述精脱氧出口42102经过所述第二回流管道424从所述第二回流入口42203进入所述第二回热器422时，所述第二回热器422会被加热至预定温度，使从所述第二污气入口42201进入所述第二回热器422的混合后的污气和氢气会被加热至预定温度。此时无需开启所述第二加热器22对被所述第一预冷机514降温并流入所述第一后置连通管道513的污气加热，即可保证所述第一后置连通管道513内的污气和氢气混合后进入所述精脱氧塔421在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下发生催化反应时，催化反应得以达到预期反应速度。因此，所述第二回热器422的存在，使得无需持续开启所述第一加热器21对所述第一后置连通管道513内的污气进行加热，更好的利用第一次催化反应后的污气携带的热量，节约生产能源，节省资金消耗。
优选地，所述精脱氧构件42还包括一精脱测氢控制器426，所述精脱测氢控制器426被设置于所述第二前置连通管道425，所述精脱测氢控制器426被电性连接于所述第二氢气进气构件13的所述第二流量控制器132。所述精脱测氢控制器426用于检测所述第二前置连通管道425内第二次催化反应后的污气内的氢气含量，并通过电信号传递给所述第二流量控制器132。以此通过所述第二流量控制器132控制安装于所述第二氢气进气管道131的所述气体流量阀31，最终实现控制通过所述第二氢气进气管道131流入所述第一后置连通管道513的氢气量，避免氢气与污气经过由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化反应后因氢气反应不完全而导致氢气的浪费。
如附图之图2至图5所示，根据本发明的第一优选实施例和第二优选实施例，所述除尘干燥组件60包括至少两个干燥塔61、与所述干燥塔61数量对应的一前置连接管62、与所述前置连接管62数量对应的一后置连接管66和至少一高纯度无氧气体出气管69。所述前置连接管62和所述后置连接管66均被设置有所述连通阀32，所述干燥塔61形成有连接于所述前置连接管62的一端的一下部气口6101和连接于所述后置连接管66的一端的一上部气口6102，所述前置连接管62的另一端被连接于所述第二前置连通管道425，所述后置连接管66的另一端被连接于所述高纯度无氧气体出气管69的一端，所述高纯度无氧气体出气管69的另一端形成有用于排出高纯度的无氧惰性气体的一出气口6901。
优选地，所述高纯度无氧气体出气管69的所述出气口6901连接于一储气罐。
本领域技术人员可以理解的是，仅其中一个所述前置连接管62和与所述前置连接管62对应的所述后置连接管66的所述连通阀32均处于开启状态时，从所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气将流入所述前置连接管62并从所述干燥塔61的所述下部气口6101进入所述干燥塔61。第二次催化反应后的污气在所述干燥塔61内从所述下部气口6101流向所述上部气口6102的过程中被干燥和除尘后获得高纯度的无氧惰性气体。高纯度的无氧惰性气体从所述干燥塔61的所述上部气口6102流出并经过所述后置连接管66后进入所述高纯度无氧气体出气管69并从所述高纯度无氧气体出气管69的所述出气口6901流出至储气罐。
进一步地，其中一个所述干燥塔61被长时间使用后，所述干燥塔61对应的安装于所述干燥塔61和所述后置连接管66的所述连通阀32将被关闭，以使此所述干燥塔61处于恢复状态。且另一所述干燥塔61对应的安装于所述干燥塔61和所述后置连接管66的所述连通阀32将被开启，以使此所述干燥塔61处于工作状态。进而使所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气进入另一个所述前置连接管62并从对应的所述干燥塔61的所述下部气口6101进入所述干燥塔61，在所述干燥塔61内被干燥和除尘后获得高纯度的无氧惰性气体，以避免所述干燥塔61被长时间使用而使干燥除尘的效果减弱。
优选地，所述惰性气体纯化的处理系统还包括一返流组件70，所述返流组件70包括一返流管71和一返流加热器72，所述返流加热器72被可加热所述返流管71内气体地设置于所述返流管71，所述返流管71具有用于通入再生气体的一返流进气口7101。
所述除尘干燥组件60还包括与所述干燥塔61数量对应的一前置泄压管63、与所述干燥塔61数量对应的前置排杂管64、至少一排杂构件65和与所述后置连接管66数量对应的吹气管68。所述前置泄压管63和所述前置排杂管64的一端均被连接于所述前置连接管62，且所述前置泄压管63和所述前置排杂管64的另一端均被连接于所述排杂构件65的一排杂管道651，所述吹气管68的一端被连接于所述返流管71，所述吹气管68的另一端被连接于所述后置连接管66。
所述控制阀组30还包括多个泄压阀33、多个排杂阀34和多个吹气阀36，所述泄压阀33被设置于所述前置泄压管63，所述排杂阀34被设置于所述前置排杂管64，所述吹气阀36被设置于所述吹气管68。
本领域技术人员可以理解的是，当关闭位于所述前置连接管62和所述后置连接管66上的所述连通阀32，使所述干燥塔61处于恢复状态后，打开与处于恢复状态的所述干燥塔61对应的所述前置泄压管63上的所述泄压阀33，以使所述干燥塔61内的气体从所述下部气口6101通过所述前置连接管62进入所述前置泄压管63。气体从所述排杂管道651的所述排杂口65101排出后，关闭设置于所述前置泄压管63的所述泄压阀33。最终实现处于恢复状态的所述干燥塔61的泄压。
进一步地，打开对应处于恢复状态的所述干燥塔61的所述吹气管68上的所述吹气阀36，并打开对应的设置于所述前置排杂管64的所述排杂阀34，使从所述返流管71的所述返流进气口7101进入所述返流管71的再生气体流经所述吹气管68后进入所述后置连接管66，再流经所述后置连接管66从处于恢复状态的所述干燥塔61的所述上部气口6102进入所述干燥塔61。再生气体从所述干燥塔61的所述上部气口6102流向所述下部气口6101的过程中，将所述干燥塔61内的灰尘和水分吹出至所述前置连接管62，进而流至所述前置排杂管64，并从所述前置排杂管64流出至所述排杂管道651后从所述排杂管道651的所述排杂口65101排出。最终使所述干燥塔61恢复至可继续对第二次催化反应后的污气进行干燥除尘的状态后，向所述干燥塔61内通入与定量的高纯度的无氧惰性气体，并关闭所述排杂阀34和所述吹气阀36，以防止在下一次使用装置时，因所述干燥塔61内存在污染气体而污染装置内获得的高纯度的无氧惰性气体，并关闭所述排杂阀34和所述吹气阀36。
具体地，所述返流加热器72将进入所述返流管71的再生气体加热至预定温度，以使防止再生气体过冷而进入所述干燥塔61时，对所述干燥塔61造成损伤。
值得一提的是，所述除尘干燥组件60还包括将至少两个所述后置连接管66连通的一后置均压管67，所述控制阀组30还包括一均压阀35，所述均压阀35被设置于所述后置均压管67。第二次催化反应后的污气被所述除尘干燥组件60完全干燥除尘并获得高纯度的无氧惰性气体后，且多个所述干燥塔61均恢复至可继续对第二次催化反应后的污气进行干燥除尘的状态后，关闭所有所述控制阀组30，仅打开所述均压阀35，以均衡所述干燥塔61内部的气压。防止在下一次使用装置时，因所述干燥塔61内部的气压不一致而导致进入所述干燥塔61的第二次催化反应后的污气被干燥除尘的效果减弱不一致。
优选地，所述排杂构件65还包括一排杂阻火器652，所述排杂阻火器652被设置于所述排杂管道651并用于防止流入所述排杂管道651的气体意外爆炸，以保障操作人员的安全。
如附图之图6所示，根据本发明的第三优选实施例，其中第三优选实施例与第二优选实施例的区别在于，第三优选实施例中，所述控制阀组30还包括多个连通阀32，所述连通阀32用于控制气体在管道中的流通，所述冷凝组件50还包括一第二冷凝构件第二冷凝构件52，所述第二冷凝构件52包括至少一第二后置连通管道521、至少一第二预冷机522、至少一第二跨接管523和至少一第二测温控制器524。所述第二前置连通管道425的一端通过所述第二回流出口42204被连接于所述第二回热器422，所述第二前置连通管道425的另一端被连接于所述第二预冷机522，所述第二后置连通管道521的一端被连接于所述第二预冷机522，所述第二后置连通管道521的另一端被连接于所述除尘干燥组件60，所述第二跨接管523的一端被可连通地设置于所述第二前置连通管道425，所述第二跨接管523的另一端被可连通地设置于所述第二后置连通管道521。其中三个所述连通阀32被可控制气体流通状态地分别设置于所述第二前置连通管道425、所述第二后置连通管道521和所述第二跨接管523，并被电性连接于所述第二测温控制器524。所述第二测温控制器524被优选地设置于所述第二前置连通管道425，所述第二测温控制器524用于测量所述第二前置连通管道425内第二次催化反应后的污气的温度，所述第二测温控制器524通过电信号控制三个分别位于所述第二前置连通管道425、所述第二后置连通管道521和所述第二跨接管523的所述连通阀32。
本领域技术人员可以理解的是，第二次催化反应后的污气从所述第二回热器422的所述第二回流出口42204流入所述第二前置连通管道425后，被位于所述第二前置连通管道425的所述第二测温控制器524测量第二次催化反应后的污气的温度，并通过所述第二测温控制器524发出的电信号控制位于所述第二前置连通管道425的所述连通阀32，进而控制第二次催化反应后的污气进入所述第二预冷机522进行冷凝除水。
具体地，所述第二测温控制器524检测到所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气的温度达到预定温度后，通过电信号控制开启位于所述第二前置连通管道425和所述第二后置连通管道521的所述连通阀32，并通过电信号控制关闭位于所述第二跨接管523的所述连通阀32。最终使第二次催化反应后的污气进入所述第二预冷机522被冷凝除水，冷凝除水后的污气将流经所述第二后置连通管道521进入所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终获得高纯度的无氧惰性气体。
此外，所述第二测温控制器524检测到所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气的温度未达到预定温度后，通过电信号控制关闭位于所述第二前置连通管道425和所述第二后置连通管道521的所述连通阀32，并通过电信号控制开启位于所述第二跨接管523的所述连通阀32。最终使第二次催化反应后的污气进入所述第二跨接管523并流入所述第二后置连通管道521后进入所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终获得高纯度的无氧惰性气体。
如附图之图6和图8所示，根据本发明的第四优选实施例，其中第四优选实施例与第一优选实施例的区别在于，第四优选实施例中，所述控制阀组30还包括多个连通阀32，所述连通阀32用于控制气体在管道中的流通，所述第一冷凝构件51还包括至少一第一跨接管515和至少一第一测温控制器516。所述第一跨接管515的一端被连接于所述第一前置连通管道512，所述第一跨接管515的另一端被连接于所述第一后置连通管道513。所述第一测温控制器516被优选地设置于所述第一前置连通管道512，所述第一测温控制器516用于测量所述第二前置连通管道425内第二次催化反应后的污气的温度，所述第一测温控制器516通过电信号控制三个分别位于所述第一前置连通管道512、所述第一后置连通管道513和所述第一跨接管515的所述连通阀32。
本领域技术人员可以理解的是，第一次催化反应后的污气流入所述换热器511的所述换热管5111并从所述换热管5111的所述换热出口511103流入所述第一前置连通管道512后，被位于所述第一前置连通管道512的所述第一测温控制器516检测温度，并通过所述第一测温控制器516发出电信号控制三个分别位于所述第一前置连通管道512、所述第一后置连通管道513和所述第一跨接管515的所述连通阀32，控制第一次催化反应后的污气是否需要进入所述第一预冷机514进一步地冷凝除水。
值得一提的是，所述第一测温控制器516检测到所述第一前置连通管道512内的第一次催化反应后的污气的温度达到预定温度且所述第二回热器422未被第二次催化反应后的污气加热达到预期温度时，所述第一测温控制器516通过电信号控制关闭位于所述第一前置连通管道512和所述第一后置连通管道513的所述连通阀32，并通过电信号控制开启位于所述第一跨接管515的所述连通阀32，以使第一次催化反应后的污气流入所述第一后置连通管道513。
进一步地，流入所述第一后置连通管道513的第一次催化反应后的污气与氢气混合后经过所述第二回热器422并通过所述第二连通管道423从所述精脱氧塔421的所述精脱氧入口42101流入所述精脱氧塔421，在所述精脱氧塔421内的由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下会发生催化反应，生成水和预定量的热量。生成的热量会使第二次催化反应后的污气加热至预定温度，并通过所述精脱氧出口42102流入所述第二回流管道424后，从所述第二回流出口42204进入并加热所述第二回热器422，以使第一次催化反应后的污气和氢气混合后从所述第二污气出口42202进入所述第二回热器422时被加热至预定温度。
具体地，当所述第二回热器422的温度达到预期且所述第一测温控制器516检测到所述第一前置连通管道512内的第一次催化反应后的污气的温度达到预定温度时，所述第一测温控制器516通过电信号控制开启位于所述第一前置连通管道512和所述第一后置连通管道513的所述连通阀32，并通过电信号控制关闭位于所述第一跨接管515的所述连通阀32。以使第一次催化反应后的污气流入所述第一预冷机514进行冷凝除水，以使第一次催化反应后的污气含水量降低至预期。
值得一提的是，从所述第一预冷机514流出的第一次催化反应后的污气与氢气混合后从所述第二回热器422的所述第二污气出口42202进入所述第二回热器422时，会在所述第二回热器422内被加热至预定温度。
本优选实施例与第一优选实施例的区别在于，避免装置在使用时，所述第一预冷机514被频繁地开启或关闭，更好的延长所述第一预冷机514的使用寿命。
具体地，所述冷凝组件50还包括一第二冷凝构件第二冷凝构件52，所述第二冷凝构件52包括至少一第二后置连通管道521、至少一第二预冷机522、至少一第二跨接管523和至少一第二测温控制器524。所述第二前置连通管道425的一端通过所述第二回流出口42204被连接于所述第二回热器422，所述第二前置连通管道425的另一端被连接于所述第二预冷机522，所述第二后置连通管道521的一端被连接于所述第二预冷机522，所述第二后置连通管道521的另一端被连接于所述除尘干燥组件60，所述第二跨接管523的一端被可连通地设置于所述第二前置连通管道425，所述第二跨接管523的另一端被可连通地设置于所述第二后置连通管道521。其中三个所述连通阀32被可控制气体流通状态地分别设置于所述第二前置连通管道425、所述第二后置连通管道521和所述第二跨接管523并被电性连接于所述第二测温控制器524，所述第二测温控制器524被优选地设置于所述第二前置连通管道425，所述第二测温控制器524用于测量所述第二前置连通管道425内第二次催化反应后的污气的温度，所述第二测温控制器524通过电信号控制三个分别位于所述第二前置连通管道425、所述第二后置连通管道521和所述第二跨接管523的所述连通阀32。
本领域技术人员可以理解的是，第二次催化反应后的污气从所述第二回热器422的所述第二回流出口42204流入所述第二前置连通管道425后，被位于所述第二前置连通管道425的所述第二测温控制器524测量第二次催化反应后的污气的温度，并通过所述第二测温控制器524发出的电信号控制位于所述第二前置连通管道425的所述连通阀32，进而控制第二次催化反应后的污气进入所述第二预冷机522进行冷凝除水。
具体地，所述第二测温控制器524检测到所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气的温度达到预定温度后，通过电信号控制开启位于所述第二前置连通管道425和所述第二后置连通管道521的所述连通阀32，并通过电信号控制关闭位于所述第二跨接管523的所述连通阀32。最终使第二次催化反应后的污气进入所述第二预冷机522被冷凝除水，冷凝除水后的污气将流经所述第二后置连通管道521进入所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终获得高纯度的无氧惰性气体。
此外，所述第二测温控制器524检测到所述第二前置连通管道425内的第二次催化反应后的污气的温度未达到预定温度后，通过电信号控制关闭位于所述第二前置连通管道425和所述第二后置连通管道521的所述连通阀32，并通过电信号控制开启位于所述第二跨接管523的所述连通阀32。最终使第二次催化反应后的污气进入所述第二跨接管523并流入所述第二后置连通管道521后进入所述除尘干燥组件60被干燥和除尘，最终获得高纯度的无氧惰性气体。
本领域技术人员可以理解的是，如附图之图2至图8所示，由于所述粗脱氧构件41的所述粗脱氧塔411和所述精脱氧构件42的所述精脱氧塔421使污气在由高效加氢脱氧催化剂形成的吸附层的催化下会发生共两次的催化反应而放出热量时，避免因催化反应过于剧烈而放出的热量使所述粗脱氧塔411和所述第一回热器412被长时间承受超过所述粗脱氧塔411和所述第一回热器412预期的可承受温度，进而避免所述粗脱氧塔411和所述第一回热器412因高温而损坏。避免因所述粗脱氧塔411和所述第一回热器412损坏而产生大量的资金消耗，同时避免所述粗脱氧塔411和所述第一回热器412在使用时发生损坏后，对操作人员的安全会造成威胁，为操作人员的安全提供保障。
如附图之图6至图8所示，根据本发明的第三优选实施例和第四优选实施例，所述除尘干燥组件60包括至少两个干燥塔61、与所述干燥塔61数量对应的前置连接管62、与所述前置连接管62数量对应的后置连接管66和至少一高纯度无氧气体出气管69。所述前置连接管62和所述后置连接管66均被设置有所述连通阀32，所述干燥塔61形成有连接于所述前置连接管62的一端的一下部气口6101和连接于所述后置连接管66的一端的一上部气口6102，所述前置连接管62的另一端被连接于所述第二后置连通管道521，所述后置连接管66的另一端被连接于所述高纯度无氧气体出气管69的一端，所述高纯度无氧气体出气管69的另一端形成有用于排出高纯度的无氧惰性气体的一出气口6901。
优选地，所述高纯度无氧气体出气管69的所述出气口6901连接于一储气罐。
本领域技术人员可以理解的是，仅其中一个所述前置连接管62和与所述前置连接管62对应的所述后置连接管66的所述连通阀32均处于开启状态时，从所述第二后置连通管道521内的第二次催化反应后的污气将流入所述前置连接管62并从所述干燥塔61的所述下部气口6101进入所述干燥塔61。第二次催化反应后的污气在所述干燥塔61内从所述下部气口6101流向所述上部气口6102的过程中被干燥和除尘后获得高纯度的无氧惰性气体，高纯度的无氧惰性气体从所述干燥塔61的所述上部气口6102流出并经过所述后置连接管66后进入所述高纯度无氧气体出气管69并从所述高纯度无氧气体出气管69的所述出气口6901流出至储气罐。
进一步地，其中一个所述干燥塔61被长时间使用后，所述干燥塔61对应的安装于所述干燥塔61和所述后置连接管66的所述连通阀32将被关闭，以使此所述干燥塔61处于恢复状态，且另一所述干燥塔61对应的安装于所述干燥塔61和所述后置连接管66的所述连通阀32将被开启，以使此所述干燥塔61处于工作状态。进而使所述第二后置连通管道521内的第二次催化反应后的污气进入另一个所述前置连接管62并从对应的所述干燥塔61的所述下部气口6101进入所述干燥塔61，在所述干燥塔61内被干燥和除尘后获得高纯度的无氧惰性气体，以避免所述干燥塔61被长时间使用而使干燥除尘的效果减弱。
优选地，所述惰性气体纯化的处理系统还包括一返流组件70，所述返流组件70包括一返流管71和一返流加热器72，所述返流加热器72被可加热所述返流管71内气体地设置于所述返流管71，所述返流管71具有用于通入再生气体的一返流进气口7101。所述除尘干燥组件60还包括与所述干燥塔61数量对应的一前置泄压管63、与所述干燥塔61数量对应的前置排杂管64、至少一排杂构件65和与所述后置连接管66数量对应的吹气管68。所述前置泄压管63和所述前置排杂管64的一端均被连接于所述前置连接管62，且所述前置泄压管63和所述前置排杂管64的另一端均被连接于所述排杂构件65的一排杂管道651，所述吹气管68的一端被连接于所述返流管71，所述吹气管68的另一端被连接于所述后置连接管66。
所述控制阀组30还包括多个泄压阀33、多个排杂阀34和多个吹气阀36，所述泄压阀33被设置于所述前置泄压管63，所述排杂阀34被设置于所述前置排杂管64，所述吹气阀36被设置于所述吹气管68。
本领域技术人员可以理解的是，当关闭位于所述前置连接管62和所述后置连接管66上的所述连通阀32，使所述干燥塔61处于恢复状态后，打开与处于恢复状态的所述干燥塔61对应的所述前置泄压管63上的所述泄压阀33，以使所述干燥塔61内的气体从所述下部气口6101通过所述前置连接管62进入所述前置泄压管63。气体从所述排杂管道651的所述排杂口65101排出后，关闭设置于所述前置泄压管63的所述泄压阀33。最终实现处于恢复状态的所述干燥塔61的泄压。
进一步地，打开对应处于恢复状态的所述干燥塔61的所述吹气管68上的所述吹气阀36，并打开对应的设置于所述前置排杂管64的所述排杂阀34，使从所述返流管71的所述返流进气口7101进入所述返流管71的再生气体流经所述吹气管68后进入所述后置连接管66，再流经所述后置连接管66从处于恢复状态的所述干燥塔61的所述上部气口6102进入所述干燥塔61。再生气体从所述干燥塔61的所述上部气口6102流向所述下部气口6101的过程中，将所述干燥塔61内的灰尘和水分吹出至所述前置连接管62，进而流至所述前置排杂管64，并从所述前置排杂管64流出至所述排杂管道651后从所述排杂管道651的所述排杂口65101排出。最终使所述干燥塔61恢复至可继续对第二次催化反应后的污气进行干燥除尘的状态后，向所述干燥塔61内通入与定量的高纯度的无氧惰性气体，并关闭所述排杂阀34和所述吹气阀36，以防止在下一次使用装置时，因所述干燥塔61内存在污染气体而污染装置内获得的高纯度的无氧惰性气体。
具体地，所述返流加热器72将进入所述返流管71的再生气体加热至预定温度，以使防止再生气体过冷而进入所述干燥塔61时，对所述干燥塔61造成损伤。
值得一提的是，所述除尘干燥组件60还包括将至少两个所述后置连接管66连通的一后置均压管67，所述控制阀组30还包括一均压阀35，所述均压阀35被设置于所述后置均压管67。第二次催化反应后的污气被所述除尘干燥组件60完全干燥除尘并获得高纯度的无氧惰性气体后，且多个所述干燥塔61均恢复至可继续对第二次催化反应后的污气进行干燥除尘的状态后，关闭所有所述控制阀组30，仅打开所述均压阀35，以均衡所述干燥塔61内部的气压，防止在下一次使用装置时，因所述干燥塔61内部的气压不一致而导致进入所述干燥塔61的第二次催化反应后的污气被干燥除尘的效果减弱不一致。
优选地，所述排杂构件65还包括一排杂阻火器652，所述排杂阻火器652被设置于所述排杂管道651并用于防止流入所述排杂管道651的气体意外爆炸，以保障操作人员的安全。
本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的优势已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。
Claims (10)
1.惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，其中所述惰性气体纯化的处理系统包括：
进气组件，所述进气组件包括污气进气构件、第一氢气进气构件和第二氢气进气构件，所述污气进气构件包括污气进气管道，所述污气进气管道的一端部具有用于通入污气的污气进气口，所述第一氢气进气构件包括第一氢气进气管道，所述第一氢气进气管道的一端部具有用于通入一部分预定量氢气的第一氢气进气口，所述第一氢气进气管道的另一端部被连通于所述污气进气管道，所述第二氢气进气构件包括第二氢气进气管道，所述第二氢气进气管道具有用于通入另一部分预定量氢气的第二氢气进气口；
冷凝组件，所述冷凝组件包括可用于冷凝除水的第一冷凝构件，所述第一冷凝构件包括至少一换热器、至少一第一前置连通管道、至少一第一后置连通管道和至少一第一预冷机，所述第一前置连通管道的一端被连通于所述换热器，所述第一前置连通管道的另一端被连通于所述第一预冷机，所述第一后置连通管道的一端被连通于所述第一预冷机，所述第二氢气进气管道的另一端被连通于所述第一后置连通管道；
除尘干燥组件，所述除尘干燥组件用于将污气除尘干燥；和
脱氧组件，所述脱氧组件包括：
粗脱氧构件，所述粗脱氧构件包括粗脱氧塔、至少一第一回热器、至少一第一连通管道、至少一第一回流管道和至少一第一换热连通管道，所述粗脱氧塔具有粗脱氧入口和粗脱氧出口，所述第一回热器具有第一污气入口、第一污气出口、第一回流入口和第一回流出口，所述污气进气管道的另一端部通过所述第一污气入口被连通于所述第一回热器，所述第一连通管道的一端通过所述第一污气出口被连通于所述第一回热器，所述第一连通管道的另一端通过所述粗脱氧入口被连通于所述粗脱氧塔，所述第一回流管道的一端通过所述粗脱氧出口被连通于所述粗脱氧塔，所述第一回流管道的另一端通过所述第一回流入口被连通于所述第一回热器，所述第一换热连通管道的一端连通于所述第一回热器的所述第一回流出口，所述第一换热连通管道的另一端连通于所述换热器；和
精脱氧构件，所述精脱氧构件包括精脱氧塔、至少一第二回热器、至少一第二连通管道、至少一第二回流管道和至少一第二前置连通管道，所述精脱氧塔具有精脱氧入口和精脱氧出口，所述第二回热器具有第二污气入口、第二污气出口、第二回流入口和第二回流出口，所述第一后置连通管道的另一端通过所述第二污气入口被连通于所述第二回热器，所述第二连通管道的一端通过所述第二污气出口被连通于所述第二回热器，所述第二连通管道的另一端通过所述精脱氧入口被连通于所述精脱氧塔，所述第二回流管道的一端通过所述精脱氧出口被连通于所述精脱氧塔，所述第二回流管道的另一端通过所述第二回流入口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的一端通过所述第二回流出口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的另一端连通于所述除尘干燥组件。
2.根据权利要求1所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述惰性气体纯化的处理系统还包括控制阀组，所述控制阀组包括多个气体流量阀，其中两个所述气体流量阀分别被可控制气体流量地设置于所述第一氢气进气管道和所述第二氢气进气管道，所述污气进气构件还包括污气测氧控制器，所述污气测氧控制器被可测量通入所述污气进气管道的污气含氧量地设置于所述污气进气管道，通过所述污气测氧控制器可控制所述第一氢气进气管道通入所述污气进气管道的氢气量地电性连接于位于所述第一氢气进气管道的所述气体流量阀。
3.根据权利要求2所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述粗脱氧构件还包括粗脱测氧控制器，所述粗脱测氧控制器被设置于所述第一换热连通管道，所述粗脱测氧控制器用以测量第一次催化反应后的污气的含氧量，所述粗脱测氧控制器可控制所述第二氢气进气管道通入所述第一后置连通管道的氢气量地电性连接于位于所述第二氢气进气管道的所述气体流量阀。
4.根据权利要求3所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述换热器包括换热管和冷却管，所述换热管具有连通于所述第一换热连通管道另一端部的用于第一次催化反应后的污气进入的换热进口、与所述换热进口连通并用于第一次催化反应后的污气换热降温的换热腔和与所述换热腔连通并用于流出第一次催化反应后的污气的换热出口，所述第一前置连通管道的一端通过所述换热出口被连通于所述换热器的所述换热管，所述冷却管被以圆周方向环绕设置于所述换热管，所述冷却管具有用于流入冷却液的冷却液进口和用于流出冷却液的冷却液出口。
5.根据权利要求4所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述精脱氧构件还包括精脱测氢控制器，所述精脱测氢控制器被设置于所述第二前置连通管道，且所述精脱测氢控制器被可控制所述第二氢气进气管道内氢气流量地电性连接于位于所述第二氢气进气管道的所述气体流量阀。
6.根据权利要求5所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述控制阀组还包括多个连通阀，所述连通阀用于控制气体在管道中的流通，所述冷凝组件还包括第二冷凝构件，所述第二冷凝构件包括至少一第二后置连通管道、至少一第二预冷机、至少一第二跨接管和至少一第二测温控制器，所述第二前置连通管道的一端通过所述第二回流出口被连通于所述第二回热器，所述第二前置连通管道的另一端被连通于所述第二预冷机，所述第二后置连通管道的一端被连通于所述第二预冷机，所述第二后置连通管道的另一端被连接于所述除尘干燥组件，所述第二跨接管的一端被可连通地设置于所述第二前置连通管道，所述第二跨接管的另一端被可连通地设置于所述第二后置连通管道，其中三个所述连通阀被可控制气体流通状态地分别设置于所述第二前置连通管道、所述第二后置连通管道和所述第二跨接管并被电性连接于所述第二测温控制器，所述第二测温控制器被设置于所述第二前置连通管道，所述第二测温控制器用于测量所述第二前置连通管道内第二次催化反应后的污气的温度，所述第二测温控制器通过电信号控制三个分别位于所述第二前置连通管道、所述第二后置连通管道和所述第二跨接管的所述连通阀。
7.根据权利要求6所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述第一冷凝构件还包括至少一第一跨接管和至少一第一测温控制器，所述第一跨接管的一端被连通于所述第一前置连通管道，所述第一跨接管的另一端被连通于所述第一后置连通管道，所述第一测温控制器被设置于所述第一前置连通管道，所述第一测温控制器用于测量所述第二前置连通管道内第二次催化反应后的污气的温度，所述第一测温控制器通过电信号控制三个分别位于所述第一前置连通管道、所述第一后置连通管道和所述第一跨接管的所述连通阀。
8.根据权利要求5所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述控制阀组还包括多个连通阀，所述除尘干燥组件包括至少两个干燥塔、与所述干燥塔数量对应的前置连接管、与所述前置连接管数量对应的后置连接管和至少一高纯度无氧气体出气管，所述前置连接管和所述后置连接管均被设置有所述连通阀，所述干燥塔形成有连通于所述前置连接管的一端的下部气口和连通于所述后置连接管的一端的上部气口，所述前置连接管的另一端被连通于所述第二前置连通管道，所述后置连接管的另一端被连通于所述高纯度无氧气体出气管的一端，所述高纯度无氧气体出气管的另一端形成有用于排出高纯度的无氧惰性气体的出气口。
9.根据权利要求8所述惰性气体纯化的处理系统，其特征在于，所述惰性气体纯化的处理系统还包括返流组件，所述返流组件包括返流管和返流加热器，所述返流加热器被可加热所述返流管内气体地设置于所述返流管，所述返流管具有用于通入再生气体的返流进气口，所述除尘干燥组件还包括与所述干燥塔数量对应的前置泄压管、与所述干燥塔数量对应的前置排杂管、至少一排杂构件、与所述后置连接管数量对应的吹气管和将至少两个所述后置连接管连通的后置均压管，所述排杂构件包括排杂管道和用于防止气体爆炸的排杂阻火器，所述前置泄压管和所述前置排杂管的一端均被连通于所述前置连接管，且所述前置泄压管和所述前置排杂管的另一端均被连通于所述排杂管道，所述吹气管的一端被连通于所述返流管，所述吹气管的另一端被连通于所述后置连接管，所述控制阀组还包括多个泄压阀、多个排杂阀、均压阀和多个吹气阀，所述泄压阀被设置于所述前置泄压管，所述排杂阀被设置于所述前置排杂管，所述均压阀被设置于所述后置均压管，所述吹气阀被设置于所述吹气管。
10.通过权利要求4至9任一所述惰性气体纯化的处理系统执行的惰性气体回收纯化的方法。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0761596A1 (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-12 | Teisan Kabushiki Kaisha | Argon purification process and unit |
| CN1346788A (zh) * | 2001-09-14 | 2002-05-01 | 温州瑞气空分设备有限公司 | 气体纯化工艺 |
| CN113120873A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 大连中鼎化学有限公司 | 一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法 |
| CN217247655U (zh) * | 2022-04-22 | 2022-08-23 | 内蒙古亿钶气体有限公司 | 一种单晶炉尾气净化回收系统 |
| CN217868143U (zh) * | 2022-06-14 | 2022-11-22 | 银川隆基光伏科技有限公司 | 一种用于回收单晶炉氩气的系统 |
-
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0761596A1 (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-12 | Teisan Kabushiki Kaisha | Argon purification process and unit |
| CN1346788A (zh) * | 2001-09-14 | 2002-05-01 | 温州瑞气空分设备有限公司 | 气体纯化工艺 |
| CN113120873A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 大连中鼎化学有限公司 | 一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法 |
| CN217247655U (zh) * | 2022-04-22 | 2022-08-23 | 内蒙古亿钶气体有限公司 | 一种单晶炉尾气净化回收系统 |
| CN217868143U (zh) * | 2022-06-14 | 2022-11-22 | 银川隆基光伏科技有限公司 | 一种用于回收单晶炉氩气的系统 |
| WO2023241231A1 (zh) * | 2022-06-14 | 2023-12-21 | 银川隆基光伏科技有限公司 | 一种用于回收单晶炉氩气的系统 |
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