CN117902460A - 生产车间的运行轨道 - Google Patents

Abstract

一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，子加工区包括多个机台，运行轨道包括：主运行轨道，位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于子加工区的边界位置处，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区之间进行传输、以及在子加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，第二分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区内的机台之间进行传输。本发明使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

Description

生产车间的运行轨道

技术领域

本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种生产车间的运行轨道。

背景技术

在半导体制造工厂里，以前都是以STK(stocker，仓储)为主，通常通过人力将物料搬运到机台上进行生产，人力成本占整个晶圆制造的比例很低。但随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸逐渐增大，晶圆的整体重量也由原先的也随之增大，人工搬送已经无法满足生产的需要，同时加上人员安全、产品良率以及产能效率等因素的考虑，对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，为了解决快速稳定的物料传递问题，自动化传输系统(Automatic Material Handling System，AMHS)应运而生。

在厂房建设中，天车轨道的设计与厂房内部的设备布局具有高度相关性，而设备的布局又受产品类型、厂房形状、设备技术代等多方面因素影响，同时新建厂房往往因首次扩产不会直接满产，而存在预留的弹性轨道，所以在首版天车轨道的背景下设计出合理的改造轨道对于晶圆厂的设备布局有着至关重要的作用。

发明内容

本发明实施例解决的问题是提供一种生产车间的运行轨道，提升生产车间的运行轨道的生产传输效率。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，子加工区包括多个机台，其特征在于，运行轨道用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输，运行轨道包括：主运行轨道，位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于子加工区的边界位置处，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区之间进行传输、以及在子加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，第二分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区内的机台之间进行传输。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

本发明实施例提供的生产车间的运行轨道，第一分支轨道位于子加工区的边界位置处，第二分支轨道位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，则在子加工区中，在利用了第一分支轨道进行传输时，相邻边界的第一分支轨道下方的机台之间还具有空余空间，设置与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，有利于在空余空间中利用第一子分支轨道进行传输，从而较好地利用了空余空间，优化了子加工区的可利用面积，使子加工区的面积可利用率提高，进而使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

附图说明

图1和图2示出了一种生产车间的运行轨道对应的俯视图；

图3示出了本发明一实施例生产车间的运行轨道对应的俯视图。

具体实施方式

目前运行轨道的生产传输效率有待提高。现结合一种运行轨道，分析运行轨道的生产传输效率有待提高的原因。

图1和图2是一种生产车间的运行轨道对应的俯视图。

参考图1，一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区1a，子加工区1a包括多个机台12，运行轨道用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输，运行轨道包括：主运行轨道10，位于加工区的边界位置处，主运行轨道10用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；分支轨道11，位于子加工区1a的边界位置处，分支轨道11的两端与主运行轨道10相连接，分支轨道11用于使悬空传输装置在子加工区1a之间进行传输、以及在子加工区1a内的机台之间进行传输。

其中，机台包括量测机台20和制程机台30，制程机台30的占地面积较大，而量测机台20的占地面积较小，在现有运行轨道的设计中，还未摆放机台，通常设计首版运行轨道既可以摆放量测机台20，又可以摆放制程机台30，相应的，在子加工区1a中，相邻且平行的分支轨道11之间的空间较大，足以摆放下制程机台30，而且，如图1所示，针对未摆放机台的运行轨道的设计通常会预留“活口”，以满足未来机台摆放方式的多样性，但是由于制程机台30与量测机台20的长度差异较大，在子加工区1a中，摆放于相邻且平行的分支轨道11下方的量测机台20之间会留有较大的空间2a，从而造成空间浪费。

参考图2，对于后续在子加工区1a中摆放量测机台20的情况，在预留的“活口”处，将分支轨道11直接连接主运行轨道10，则摆放在新增的分支轨道11、以及与其平行的分支轨道11下方的量测机台20之间又留有了较大的空间3a，新增了浪费的空间3a，进一步造成了空间浪费，降低了子加工区1a的面积可利用率，进而难以提高自动化传输系统的生产传输效率。

为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，子加工区包括多个机台，其特征在于，运行轨道用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输，运行轨道包括：主运行轨道，位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于子加工区的边界位置处，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区之间进行传输、以及在子加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，第二分支轨道用于使悬空传输装置在子加工区内的机台之间进行传输。

本发明实施例提供的生产车间的运行轨道，第一分支轨道位于子加工区的边界位置处，第二分支轨道位于子加工区中，第二分支轨道包括与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，则在子加工区中，在利用了第一分支轨道进行传输时，相邻边界的第一分支轨道下方的机台之间还具有空余空间，设置与第一分支轨道平行且与主运行轨道相连接的第一子分支轨道，有利于在空余空间中利用第一子分支轨道进行传输，从而较好地利用了空余空间，优化了子加工区的可利用面积，使子加工区的面积可利用率提高，进而使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图3示出了本发明一实施例生产车间的运行轨道对应的俯视图。

参考图3，本实施例提供一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区(未示出)，加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区10a，子加工区10a包括多个机台200，运行轨道用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输。

本实施例中，生产车间包括多个加工区(Bay)，加工区包括子加工区10a。

生产车间用于加工生产不同类型的工艺产品。具体地，子加工区10a为生产车间进行加工生产的其中一个隔间区域。

子加工区10a用于放置多个机台200，多个机台200可以具备不同的功能类型，或者，部分机台200的功能类型相同。其中，功能类型包括量测、刻蚀、光刻、离子注入等。

具体地，本实施例中，机台200包括量测机台，量测机台用于量测经过加工的产品，测量产品是否达标需求标准。

需要说明的是，本实施例以在子加工区10a摆放量测机台为例进行说明，本实施例设计的运行轨道在摆放量测机台时具有较好的应用，使得加工区的面积利用率较高。

本实施例中，运行轨道用于固定悬空传输装置(例如：天车)、并使悬空传输装置沿运行轨道进行传输，运行轨道、以及能够沿运行轨道进行传输的悬空传输装置构成自动化传输系统，悬空传输装置用于携带工艺产品进行传输。

具体地，悬空传输装置设置于工厂车间天花板的下方，以及机台200的上方，从而使得物料的搬送和存储不会影响到地面上人员的走动，并且能够节省生产车间的空间。

需要说明的是，本实施例中，以悬空传输装置用于夹持存储装置(Foup)，存储装置用于存储工艺产品(例如晶片)为示例进行说明，相应能够提高悬空传输装置对存储装置的传输效率，进而有利于提升自动化传输系统的效率和产能。

继续参考图3，运行轨道包括：主运行轨道100，位于加工区的边界位置处，主运行轨道100用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道110，位于子加工区10a的边界位置处，第一分支轨道110的两端与主运行轨道100相连接，第一分支轨道110用于使悬空传输装置在子加工区10a之间进行传输、以及在子加工区10a内的机台之间进行传输；第二分支轨道120，位于子加工区10a中，第二分支轨道120包括与第一分支轨道110平行且与主运行轨道100相连接的第一子分支轨道121，第二分支轨道120用于使悬空传输装置在子加工区10a内的机台之间进行传输。

本实施例中，主运行轨道100用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输。

需要说明的是，主运行轨道100横跨生产车间的多个加工区，主运行轨道100的轨迹需要根据生产车间中多个加工区的位置进行布局，相邻加工区之间的直线距离最短，为了提高相邻加工区之间的自动化传输系统的生产传输效率，作为一种示例，位于加工区的边界位置处的主运行轨道100为直行轨道。

本实施例中，主运行轨道100的材料包括但不局限于铝合金材料。

本实施例中，当子加工区10a中的多个机台200处于使用状态时，工艺产品由第一分支轨道110上运行的悬空传输装置在子加工区10a中进行传输，第一分支轨道110位于子加工区10a的边界位置处，工艺产品还可以由第一分支轨道110上运行的悬空传输装置再子加工区10a之间进行传输。

需要说明的是，由于第一分支轨道110的两端与主运行轨道100相连接，因此，第一分支轨道110上运行的悬空传输装置能够传输至主运行轨道100上，从而通过主运行轨道100将悬空传输装置运行至目标区域(例如装卸区)或者，传输至其他加工区。

还需要说明的是，第一分支轨道110的运行轨迹需要根据子加工区10a中多个机台200的位置进行布局，为了提高自动化传输系统的生产传输效率，机台200的取货口210均位于同侧，且朝向相对应的第一分支轨道110，且第一分支轨道110位于取放货端口的上方。

还需要说明的是，本实施例中，沿第一分支轨道110的延伸方向，相邻机台200的间距d1不宜过大，也不宜过小。如果相邻机台200的间距d1过大，则容易导致在子加工区10a摆放的机台200数量较少，造成子加工区10a的空间浪费；如果相邻机台200的间距d1过小，为了便于对处于故障状态的机台200进行维修，相邻机台200之间会预留部分空间区域作为维修区，相邻机台200的间距d1过小，容易导致维修区的空间较小，不利于对故障状态的机台200进行维修。为此，本实施例中，沿第一分支轨道110的延伸方向，相邻机台200的间距d1为800mm至1200mm。

还需要说明的是，本实施例中，沿垂直于第一分支轨道110的延伸方向，相邻机台200的间距d2不宜过大，也不宜过小。如果相邻机台200的间距d2过大，则容易造成子加工区10a的空间浪费；如果相邻机台200的间距d2过小，则对于机台200的维修、以及操作工人的行走都容易造成困难。为此，本实施例中，沿垂直于第一分支轨道110的延伸方向，相邻机台200的间距d2为800mm至1500mm。

本实施例中，第一分支轨道110为构成环状回路的双轨。

其中，双轨指的是，两条平行的轨道围成环状，悬空传输装置沿双轨进行传输能够绕环形进行传输。

在其他实施例中，第一分支轨道还可以为构成环状回路的三轨或四轨。

本实施例中，第一分支轨道110沿其延伸方向包括多个双轨，多个双轨沿其延伸方向经由相同的轨道相连接。

第一分支轨道110沿其延伸方向包括多个双轨，则每个双轨的延伸距离减小，当悬空传输装置需要沿一个双轨传输时，需要进行环绕的距离就会相应减小，从而有利于提高第一分支轨道110的传输效率。

本实施例中，第一分支轨道110的材料包括但不局限于铝合金材料。

本实施例中，当子加工区10a中的多个机台200处于使用状态时，工艺产品由第二分支轨道120上运行的悬空传输装置在子加工区10a中进行传输。

需要说明的是，由于第一子分支轨道121与主运行轨道100相连接，因此，第一子分支轨道121上运行的悬空传输装置能够传输至主运行轨道100上，从而通过主运行轨道100将悬空传输装置运行至目标区域(例如装卸区)或者，传输至其他加工区。

本实施例提供的生产车间的运行轨道，第一分支轨道110位于子加工区10a的边界位置处，第二分支轨道120位于子加工区10a中，第二分支轨道120包括与第一分支轨道110平行且与主运行轨道100相连接的第一子分支轨道121，则在子加工区10a中，在利用了第一分支轨道110进行传输时，相邻边界的第一分支轨道110下方的机台之间还具有空余空间，设置与第一分支轨道110平行且与主运行轨道100相连接的第一子分支轨道111，有利于在空余空间中利用第一子分支轨道111进行传输，从而较好地利用了空余空间，优化了子加工区10a的可利用面积，使子加工区10a的面积可利用率提高，进而使得运行轨道的生产传输效率得到提高。

需要说明的是，第二分支轨道120的运行轨迹需要根据子加工区10a中多个机台200的位置进行布局，为了提高自动化传输系统的生产传输效率，机台200的取放货端口210均位于同侧，且朝向相对应的第二分支轨道120，且第二分支轨道120位于取放货端口的上方。

本实施例中，第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g大于与另一侧的第一分支轨道110的间距f，且差值大于或等于机台200的长度尺寸。

第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g大于与另一侧的第一分支轨道110的间距f，且差值大于或等于机台200的长度尺寸，从而能够在第一子分支轨道121的下方也摆放机台200，提高子加工区10a的面积利用率。

需要说明的是，本实施例中，第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g不宜过大，也不宜过小。如果第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g过大，则容易导致在第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110之间区域中，分别位于第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110下方的机台200之间的未利用空间过大，从而造成空间的浪费，还容易导致第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110的间距f过小，对在另一侧的第一分支轨道110下方摆放机台200造成困难；如果第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g过小，则容易对在第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110之间区域中，在第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110下方摆放机台200的空间不足，对高效利用空间摆放机台200造成困难。为此，本实施例中，第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g为8000mm至10000mm。

还需要说明的是，本实施例中，第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110的间距f不宜过大，也不宜过小。如果第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110的间距f过大，则容易导致在第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110之间区域中，位于第一分支轨道110下方的机台200背向取货口210一端未利用空间过大，从而造成空间的浪费，还容易导致第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110的间距g过小，对在第一子分支轨道121与一侧的第一分支轨道110之间区域中摆放机台200造成困难；如果第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110的间距f过小，则容易导致在第一分支轨道110下方摆放机台200的空间不足，对高效利用空间摆放机台200造成困难。为此，本实施例中，第一子分支轨道121与另一侧的第一分支轨道110的间距f为3000mm至4500mm。

本实施例中，第一子分支轨道121为单轨。

其中，单轨指的是，沿一个方向延伸且为构成环形回路的单根轨道。

第一子分支轨道121只需提供在子加工区10a中的单向传输即可，因此，第一子分支轨道121采用单轨即可满足设计需求，从而能够在保障工艺成本较小的情况下，满足轨道设计需求。

本实施例中，第二分支轨道120还包括与第一分支轨道110垂直且两端与第一分支轨道110相连接的第二子分支轨道122，第一子分支轨道121的一端与主运行轨道100相连接，另一端与第二子分支轨道122相连接。

第二子分支轨道122用于使悬空传输装置在子加工区10a内的机台之间进行传输。

第二子分支轨道122与第一分支轨道110垂直且两端与第一分支轨道110相连接，第一子分支轨道121的一端与主运行轨道100相连接，另一端与第二子分支轨道122相连接，从而当悬空传输装置需要在第一子分支轨道121和第一分支轨道110之间传输时，可以通过第二子分支轨道122进行传输，无需穿过整个子加工区10a经过主运行轨道100进行传输，减少了在第一子分支轨道121和第一分支轨道110之间传输的传输路线距离，从而节约传输时间，提高传输效率。

本实施例中，第二子分支轨道122与位于第一子分支轨道121一侧的主运行轨道100、以及第一分支轨道110构成第一区域11a，最靠近第二子分支轨道122的机台200中，至少一个机台200的取货口210朝向第二子分支轨122道设置，其余机台200中，位于第一分支轨道110下方的机台200的取货口210均朝向第一分支轨道110设置，位于第一子分支轨道121下方的机台200的取货口210均朝向第一子分支轨道121设置。

机台200的取货口210均位于朝向相对应的轨道，且相对应的轨道位于取货口210的上方，有利于提高自动化传输系统的生产传输效率。

最靠近第二子分支轨道122的机台200中，至少一个机台200的取货口210朝向第二子分支轨122道设置，有利于适当增大最靠近第二子分支轨道122的机台200中相邻机台200之间的间距，从而有利于机台200的布置、以及为提供较大的维修空间。

本实施例以最靠近第二子分支轨道122的机台200中，两个机台200的取货口210朝向第二子分支轨122道设置为例，在其他实施例中，还可以一个机台的取货口朝向第二子分支轨道设置，或者，三个机台的取货口均朝向第二子分支轨道设置。

在其他实施例中，在第一区域中，还可以，位于第一分支轨道下方的机台的取货口均朝向第一分支轨道设置，位于第一子分支轨道下方的机台的取货口均朝向第一子分支轨道设置。

具体地，本实施例中，第二子分支轨道122通过第一分支轨道110与位于第一子分支轨道121一侧的主运行轨道100相连接。

第二子分支轨道122通过第一分支轨道110与位于第一子分支轨道121一侧的主运行轨道100相连接，从而第一子分支轨道121、第二子分支轨道122和主运行轨道100围成环形，实现悬空传输装置在第一区域11a中的传输功能。

本实施例中，第二分支轨道120还包括与第二子分支轨道122平行的第三子分支轨道123，第三子分支轨道123位于第二子分支轨道122背向第一子分支轨道121的一侧。

第三子分支轨道123用于使悬空传输装置在子加工区10a内的机台之间进行传输。

第三子分支轨道123与第二子分支轨道122平行，两端分别与两端的第一分支轨道110连接，使得悬空传输装置能够在背向第二子分支轨道122一侧的子加工区10a中进行传输。

本实施例中，第三子分支轨道123与未与第一子分支轨道121相连的主运行轨道100、以及第一分支轨道110构成第二区域13a，在第二区域13a中，多个机台200的取货口210均朝向第三子分支轨道123设置。

机台200的取货口210均位于朝向相对应的轨道，且相对应的轨道位于取货口210的上方，有利于提高自动化传输系统的生产传输效率。

在第二区域13a中，多个机台200的取货口210均朝向第三子分支轨道123设置，有利于适当增大相邻机台200之间的间距，从而有利于机台200的布置、以及为提供较大的维修空间。

在其他实施例中，在第二区域中，还可以，最靠近第一分支轨道的机台的取货口朝向所述第一分支轨道设置，其余所述机台的取货口均朝向所述第三子分支轨道设置。

具体地，本实施例中，第三子分支轨道123通过第一分支轨道110与另一侧的主运行轨道100相连接。

第三子分支轨道123通过第一分支轨道110与另一侧的主运行轨道100相连接，从而第三子分支轨道123、第一分支轨道110和主运行轨道100围成环形，实现悬空传输装置在第二区域13a中的传输功能。

需要说明的是，通过将第二分支轨道120设置包括第二子分支轨道122和第三子分支轨道123，将悬空传输装置在子加工区10a中的传输细化，悬空装置在子加工区10a中的各个位置进行传输时，均能够绕较少的路线达到目的地，提高在子加工区10a内进行传输的传输效率。

本实施例中，第二子分支轨道122与第三子分支轨道123均为单轨。

其中，单轨指的是，沿一个方向延伸且为构成环形回路的单根轨道。

第二子分支轨道122与第三子分支轨道123只需提供在子加工区10a中的单向传输即可，因此，第二子分支轨道122与第三子分支轨道123均采用单轨即可满足设计需求，从而能够在保障工艺成本较小的情况下，满足轨道设计需求。

需要说明的是，本实施例中，第三子分支轨道123与未与第一子分支轨道121相连的主运行轨道100之间的间距e不宜过大，也不宜过小。如果第三子分支轨道123与未与第一子分支轨道121相连的主运行轨道100之间的间距e过大，在第二区域13a中，仅能在第三子分支轨道123和第一分支轨道110下方设置机台200，则间距e过大，容易导致第二区域13a的中间位置留有较大空间，从而造成空间的浪费；如果第三子分支轨道123与未与第一子分支轨道121相连的主运行轨道100之间的间距e过小，通常在第二区域12a位于主运行轨道100一侧留有人行区域，则容易造成人行区域的空间较小，从而不利于工人的行走和操作。为此，本实施例中，如果第三子分支轨道123与未与第一子分支轨道121相连的主运行轨道100之间的间距e为3000mm至4500mm。

还需要说明的是，本实施例中，第二子分支轨道122与第三子分支轨道123之间的间距d不宜过大，也不宜过小。如果第二子分支轨道122与第三子分支轨道123之间的间距d过大，则第二子分支轨道122与第三子分支轨道123之间留有较大的未利用空间，容易造成空间的浪费；如果第二子分支轨道122与第三子分支轨道123之间的间距d过小，则容易对第二子分支轨道122与第三子分支轨道123的布局造成困难，在第二子分支轨道122与第三子分支轨道123同时工作时，还容易导致第二子分支轨道122与第三子分支轨道123上进行传输的悬空传输装置间距过小而相撞或相互阻碍，对第二子分支轨道122与第三子分支轨道123的传输造成困难。为此，本实施例中，第二子分支轨道122与第三子分支轨道123之间的间距d为500mm至1000mm。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (16)

1.一种生产车间的运行轨道，所述生产车间包括多个加工区，所述加工区沿其延伸方向分布有多个子加工区，所述子加工区包括多个机台，其特征在于，所述运行轨道用于固定悬空传输装置、并使所述悬空传输装置沿所述运行轨道进行传输，所述运行轨道包括：

主运行轨道，位于所述加工区的边界位置处，所述主运行轨道用于使所述悬空传输装置在所述加工区之间进行传输；

第一分支轨道，位于所述子加工区的边界位置处，所述第一分支轨道的两端与所述主运行轨道相连接，所述第一分支轨道用于使所述悬空传输装置在所述子加工区之间进行传输、以及在所述子加工区内的机台之间进行传输；

第二分支轨道，位于所述子加工区中，所述第二分支轨道包括与所述第一分支轨道平行且与所述主运行轨道相连接的第一子分支轨道，所述第二分支轨道用于使所述悬空传输装置在所述子加工区内的机台之间进行传输。

2.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第二分支轨道还包括与所述第一分支轨道垂直且两端与所述第一分支轨道相连接的第二子分支轨道，所述第一子分支轨道的一端与所述主运行轨道相连接，另一端与所述第二子分支轨道相连接；

所述第二分支轨道还包括与所述第二子分支轨道平行的第三子分支轨道，所述第三子分支轨道位于所述第二子分支轨道背向所述第一子分支轨道的一侧。

3.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道通过所述第一分支轨道与位于所述第一子分支轨道一侧的主运行轨道相连接；

所述第三子分支轨道通过所述第一分支轨道与另一侧的主运行轨道相连接。

4.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与所述第三子分支轨道均为单轨。

5.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第三子分支轨道与未与所述第一子分支轨道相连的主运行轨道之间的间距为3000mm至4500mm。

6.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与所述第三子分支轨道之间的间距为500mm至1000mm。

7.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第二子分支轨道与位于所述第一子分支轨道一侧的主运行轨道、以及第一分支轨道构成第一区域，在所述第一区域中，位于所述第一分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一分支轨道设置，位于所述第一子分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一子分支轨道设置；

或者，最靠近所述第二子分支轨道的机台中，至少一个机台的取货口朝向所述第二子分支轨道设置，其余所述机台中，位于所述第一分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一分支轨道设置，位于所述第一子分支轨道下方的机台的取货口均朝向所述第一子分支轨道设置。

8.如权利要求2所述的运行轨道，其特征在于，所述第三子分支轨道与未与所述第一子分支轨道相连的主运行轨道、以及第一分支轨道构成第二区域，在所述第二区域中，多个所述机台的取货口均朝向所述第三子分支轨道设置；

或者，最靠近所述第一分支轨道的机台的取货口朝向所述第一分支轨道设置，其余所述机台的取货口均朝向所述第三子分支轨道设置。

9.如权利要求7或8所述的运行轨道，其特征在于，沿所述第一分支轨道的延伸方向，相邻所述机台的间距为800mm至1200mm。

10.如权利要求7或8所述的运行轨道，其特征在于，沿垂直于所述第一分支轨道的延伸方向，相邻所述机台的间距为800mm至1500mm。

11.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道与一侧的第一分支轨道的间距大于与另一侧的第一分支轨道的间距，且差值大于或等于所述机台的长度尺寸。

12.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道与一侧的第一分支轨道的间距为8000mm至10000mm；所述第一子分支轨道与另一侧的第一分支轨道的间距为3000mm至4500mm。

13.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一子分支轨道为单轨。

14.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述第一分支轨道为构成环状回路的双轨。

15.如权利要求14所述的运行轨道，其特征在于，所述第一分支轨道沿其延伸方向包括多个所述双轨，多个所述双轨沿其延伸方向经由相同的轨道相连接。

16.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述机台包括量测机台。