CN117894711A - 降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，所属硅片加工技术领域，包括如下操作步骤：第一步：将烘干槽内的红外加热管移至烘干槽外壁上。第二步：更换烘干槽的材质，由原来的金属材质更换成石英材质作为外框架。第三步：当在烘干槽内进行烘干后，在烘干槽两侧设置磁块，通过磁块对烘干槽形成磁场，在烘干槽过程中使得硅片水分被蒸发的同时，附着的金属污染和颗粒脱离硅片表面。具有操作便捷、效果好和质量稳定性高的特点。解决了金属污染控制难度大的问题。有效杜绝颗粒污染，提高硅片洗净工艺的高效性和合格率，改善硅片品质，减少报废率。
Description
技术领域
本发明涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法。
背景技术
洗净机的作业流程：先通过化学槽进行碱腐蚀或酸洗，接着在清洗槽进行纯水清洗，然后进入烘干槽完成烘干。由于当前洗净设备烘干槽材质选择是金属材质，长期使用中出现产品金属规格要求超标异常问题。
同时在烘干槽内部使用的红外加热管进行80度进行烘干。但长期使用会造成红外线加热管外包装材料释放颗粒从而也会引起颗粒污染。
发明内容
本发明主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其具有操作便捷、效果好和质量稳定性高的特点。解决了金属污染控制难度大的问题。有效杜绝颗粒污染，提高硅片洗净工艺的高效性和合格率，改善硅片品质，减少报废率。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，包括如下操作步骤：
第一步：将烘干槽内的红外加热管移至烘干槽外壁上。
第二步：更换烘干槽的材质，由原来的金属材质更换成石英材质作为外框架。
第三步：当在烘干槽内进行烘干后，在烘干槽两侧设置磁块，通过磁块对烘干槽形成磁场，在烘干槽过程中使得硅片水分被蒸发的同时，附着的金属污染和颗粒脱离硅片表面。
作为优选，在烘干槽过程，磁块通电生成电磁场，采用侧边及上方吹入带压力和流速的氮气，对硅片避免的金属污染和颗粒进行吹除。
作为优选，吹入烘干槽内的氮气通过加热后进行吹入，实现烘干槽内温度的上升。
作为优选，红外加热管的温度为65度进行烘干，降低工作温度提高红外加热管的使用寿命。
作为优选，烘干槽进行烘干工艺前，在对清洗槽内的硅片进行浸泡清洗和冲淋清洗的操作过程，在浸泡清洗过程采用通入氮气进行气爆，通过氮气气爆使得金属污染和颗粒脱离硅片表面；在浸泡清洗工艺中同时进行脉冲式声波清洗。
本发明能够达到如下效果：
本发明提供了一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，与现有技术相比较，具有操作便捷、效果好和质量稳定性高的特点。解决了金属污染控制难度大的问题。有效杜绝颗粒污染，提高硅片洗净工艺的高效性和合格率，改善硅片品质，减少报废率。
具体实施方式
下面通过实施例，对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，包括如下操作步骤：
烘干槽进行烘干工艺前，在对清洗槽内的硅片进行浸泡清洗和冲淋清洗的操作过程，在浸泡清洗过程采用通入氮气进行气爆，通过氮气气爆使得金属污染和颗粒脱离硅片表面；在浸泡清洗工艺中同时进行脉冲式声波清洗。
第一步：将烘干槽内的红外加热管移至烘干槽外壁上，红外加热管的温度为65度进行烘干，降低工作温度提高红外加热管的使用寿命。吹入烘干槽内的氮气通过加热后进行吹入，实现烘干槽内温度的上升。
第二步：更换烘干槽的材质，由原来的金属材质更换成石英材质作为外框架。
第三步：当在烘干槽内进行烘干后，在烘干槽两侧设置磁块，通过磁块对烘干槽形成磁场，在烘干槽过程中使得硅片水分被蒸发的同时，附着的金属污染和颗粒脱离硅片表面。
在烘干槽过程，磁块通电生成电磁场，采用侧边及上方吹入带压力和流速的氮气，对硅片避免的金属污染和颗粒进行吹除。
综上所述，该降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，具有操作便捷、效果好和质量稳定性高的特点。解决了金属污染控制难度大的问题。有效杜绝颗粒污染，提高硅片洗净工艺的高效性和合格率，改善硅片品质，减少报废率。
以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围之中。
Claims (5)
1.一种降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其特征在于包括如下操作步骤：
第一步：将烘干槽内的红外加热管移至烘干槽外壁上；
第二步：更换烘干槽的材质，由原来的金属材质更换成石英材质作为外框架；
第三步：当在烘干槽内进行烘干后，在烘干槽两侧设置磁块，通过磁块对烘干槽形成磁场，在烘干槽过程中使得硅片水分被蒸发的同时，附着的金属污染和颗粒脱离硅片表面。
2.根据权利要求1所述的降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其特征在于：在烘干槽过程，磁块通电生成电磁场，采用侧边及上方吹入带压力和流速的氮气，对硅片避免的金属污染和颗粒进行吹除。
3.根据权利要求2所述的降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其特征在于：吹入烘干槽内的氮气通过加热后进行吹入，实现烘干槽内温度的上升。
4.根据权利要求1所述的降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其特征在于：红外加热管的温度为65度进行烘干，降低工作温度提高红外加热管的使用寿命。
5.根据权利要求1所述的降低洗净机烘干槽对产品造成金属污染和颗粒超标的方法，其特征在于：烘干槽进行烘干工艺前，在对清洗槽内的硅片进行浸泡清洗和冲淋清洗的操作过程，在浸泡清洗过程采用通入氮气进行气爆，通过氮气气爆使得金属污染和颗粒脱离硅片表面；在浸泡清洗工艺中同时进行脉冲式声波清洗。
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