CN117805711A - 检测测试机精确度的装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于检测测试机精确度的装置及方法。检测测试机精确度的装置包括：检测电路板，所述检测电路板包括多个测试通道，与测试机的板卡的电路通道对应，每一测试通道设置有测试电阻；测试通道能够响应于测试机的板卡的一电路通道发出的实际电流信号输出一实际电压信号，通过对比实际电压信号与预设电压信号以检测该电路通道的精确度，预设电压信号为实际电流信号对应的预设电流信号在电路通道中产生的信号。上述技术方案通过对比实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，能精确地对测试机校准的准确性进行检测，保证了测试机的精确度，提升了产品质量；步骤简单，缩短了检测时间，提高了机台利用率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种检测测试机精确度的装置及方法。
背景技术
测试机需要定期校准测试机内的板卡，校准过程需要使用到校准盒以及万用表和相关连线，任何一个工具或操作出现问题，电压电流的校准数据会产生偏差，影响到产品测试值的准确性。目前通常采用两种方法确定校准数据的准确性，但都存在缺陷：(1)用万用表测量测试机里的每块板卡，此方法费时费力，且测量精确度也不够；(2)利用测试机自动测量，偏差较小时测试机无法检测出来，存在质量风险。
因此，如何提高对测试机校准的准确性的检测精确度，简化测试机测量步骤，是目前需要解决的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提高对测试机校准的准确性的检测精确度，简化测试机测量步骤，提供一种检测测试机精确度的装置及方法。
为了解决上述问题，本发明提供了一种检测测试机精确度的装置，所述测试机包括一板卡，所述板卡包括多个电路通道，所述检测测试机精确度的装置包括：检测电路板，所述检测电路板包括多个测试通道，每一所述测试通道设置有测试电阻，所述测试通道与所述测试机的板卡的电路通道对应；所述检测电路板的所述测试通道能够响应于所述测试机的板卡的一电路通道发出的实际电流信号输出一实际电压信号，通过对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，所述预设电压信号为所述实际电流信号对应的预设电流信号在所述电路通道中产生的信号。
为了解决上述问题，本发明提供了一种检测测试机精确度的方法，包括如下步骤：提供一检测测试机精确度的装置并连接至所述测试机，所述装置采用本发明所述的检测测试机精确度的装置；所述测试机的板卡的一电路通道发出实际电流信号；所述装置中的检测电路板的所述测试通道响应于所述实际电流信号输出一实际电压信号；对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测测试机的板卡的该电路通道的精确度，所述预设电压信号为所述实际电流信号对应的预设电流信号在所述电路通道中产生的信号。
测试机在执行校准操作后，需要对其进行测量，以确定其校准的准确性，本申请所述装置能够对校准后的测试机进行测量，能够有效地检测出测试机的精确度，即能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，保证了测试机的精确度，提升了产品质量。具体地说，上述技术方案通过在检测电路板中设置测试电阻，使得测试通道能够响应于检测机板卡的电路通道输出的实际电流信号输出实际电压信号，通过对比实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，该装置可以有效地检测出测试机的精确度，能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，并可根据检测结果对测试机进行调整，保证了测试机的精确度，提升了产品质量；并且使用该装置检测测试机精确度步骤简单，大大缩短了检测时间，提高了机台利用率。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式中的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简要介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些具体实施方式，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明所述检测测试机精确度的装置的一实施例的结构示意图。
图2为本发明所述测试机的一实施例的结构示意图。
图3为本发明所述检测测试机精确度的方法的一实施例的步骤流程图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～图2，其中，图1为本发明所述检测测试机精确度的装置的一实施例的结构示意图；图2为本发明所述测试机的一实施例的结构示意图。如图1所示，本发明所述的检测测试机精确度的装置包括检测电路板11。如图2所示，所述测试机20包括一板卡21，所述板卡包括多个电路通道210。如图1～图2所示，所述检测电路板11包括多个测试通道110，每一所述测试通道110设置有测试电阻119，所述测试通道110与所述测试机20的板卡21的电路通道210对应。所述检测电路板11的所述测试通道110能够响应于所述测试机20的板卡21的一电路通道210发出的实际电流信号I1输出一实际电压信号V1，通过对比所述实际电压信号V1与预设电压信号V0以检测所述测试机20的板卡21的该电路通道210的精确度，所述预设电压信号V0为所述实际电流信号I1对应的预设电流信号I0在所述电路通道210中产生的信号。
测试机在执行校准操作后，需要对其进行测量，以确定其校准的准确性，本申请所述装置能够对校准后的测试机进行测量，能够有效地检测出测试机的精确度，即能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，保证了测试机的精确度，提升了产品质量。具体地说，上述技术方案通过在检测电路板中设置测试电阻，使得测试通道能够响应于检测机板卡的电路通道输出的实际电流信号输出实际电压信号，通过对比实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，该装置可以有效地检测出测试机的精确度，能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，并可根据检测结果对测试机进行调整，保证了测试机的精确度，提升了产品质量；并且使用该装置检测测试机精确度步骤简单，大大缩短了检测时间，提高了机台利用率。
在一些实施例中，每一所述测试通道110中的所述测试电阻119的阻值相同。在本实施例中，所述测试电阻119的阻值为1kΩ，当测试机分别输入1mA、2mA、5mA、10mA的所述实际电流信号I1，可以测量出1V、2V、5V、10V多个档位的所述实际电压信号V1，根据所述实际电压信号V1与预设电压信号V0的对比，可以检测出测试机的精确度。
在一些实施例中，所述测试电阻119为精密电阻。精密电阻是一种有高精确度、低温漂以及高可靠性的一种电阻器，最低温漂可以做到1PPM，最高精确度可以做到0.01％。精密电阻的作用包括但不限于电流限制、电压分压、精确测量、温度补偿、校准和稳定。精密电阻按材料分有金属膜精密电阻、线绕精密电阻和金属箔精密电阻几类。金属膜精密电阻的精确度较高，但阻值温度系数和分布参数指标略低；线绕精密电阻的阻值精确度和温度系数指标很高，但分布参数指标偏低；金属箔精密电阻的精确度、阻值温度系数和分布参数各项指标都很高：精确度可达10-6，温度系数可达±0.3×10-6/℃，分布电容可低于0.5pF，分布电感可低于0.1μH。金属膜精密电阻的主体通常为圆柱形；线绕精密电阻则有圆柱形、扁柱形和长方框架形几种；金属箔精密电阻则常呈方块形或片形。线绕精密电阻的匝数较多时，往往采用无感绕制法绕制，正向绕制的匝数和反向绕制的匝数相同，以尽量减小分布电感。长方框架形的线绕精密电阻通常是设备制造厂根据需要专门定制的，常用于仪器仪表。在本实施例中，所述精密电阻的精确度为0.01％。本实施例所述的检测测试机精确度的装置采用高精确度的精密电阻作为所述测试电阻119，能够确保测量结果的准确性和稳定性。精密电阻能够提供相对低的温度系数和高的精确度，对测试机测试这种高精确度测量来说是至关重要的。
在一些实施例中，还包括控制单元12，所述控制单元12用于根据所述测试机的参数编写程序，并根据所述程序选择所述检测电路板11的所述测试通道110以及预设电流信号I0，所述测试机20能够根据所述预设电流信号I0而向该测试通道110输出所述实际电流信号I1。通过程序编译，大幅度提高了所述检测电路板11的通用性。在本实施例中，所述控制单元12位于所述测试机20的主机22中。
所述测试机20用于在所述主机22的命令操控下，对晶片施加激励信号，检测反馈信号，并与预期信号对比来判定待测芯片的好坏。常规的测试机20里包含的板卡21的种类包括浮动双通道功率电压/电流源(FPVI)板卡、浮动八通道电压/电流源(FOVI)板卡、四通道时间测量单元(Quad Time Measure Unit，简称QTMU)板卡、数字通道模块(DigitalInput/Output，简称DIO)板卡、用户板控制模块(CBIT)板卡这5种。根据配置不同，所述板卡21数量也不一样，其中与精确度测试相关的是FPVI板卡和FOVI板卡，其提供相同的精密四象限恒压、恒流、测压、测流通道。在一些实施例中，所述测试通道110包括第一通道111及第二通道112，所述检测电路板11包括48个与浮动八通道电压/电流源(FOVI)板卡的电路通道对应的第一通道111以及8个与浮动双通道功率电压/电流源(FPVI)板卡的电路通道对应的第二通道112。
在一些实施例中，所述检测电路板11通过排线19连接至所述测试机20。在本实施例中，所述检测测试机精确度的装置还包括测试盒13，所述检测电路板11通过所述测试盒13连接至所述测试机20，所述测试盒13用于将所述检测电路板11生成的所述实际电压信号V1返回至所述测试机20。具体地，所述检测电路板11通过排线19连接至所述测试盒13，所述测试盒13通过所述板卡21上的4个64Pin牛角插座(未图示)连接至所述测试机20，对应所述FOVI板卡和所述FPVI板卡的所有所述电路通道210。
在一些实施例中，所述检测测试机精确度的装置还包括比较单元14，用于对比所述实际电压信号V1与所述预设电压信号V0，通过对比所述实际电压信号V1与预设电压信号V0以检测所述测试机20的板卡21的该电路通道210的精确度，检测步骤简单，大大缩短了检测时间，提高了机台利用率。在本实施例中，所述比较单元14位于所述测试机20的主机22中。
基于同一发明构思，本发明一实施例还提供了一种检测测试机精确度的方法。
请参阅图3，其为本发明所述检测测试机精确度的方法的一实施例的步骤流程图。如图3所示，所述检测测试机精确度的方法包括如下步骤：步骤S31，提供一检测测试机精确度的装置并连接至所述测试机，所述装置采用本发明所述的检测测试机精确度的装置；步骤S32，所述测试机的板卡的一电路通道发出实际电流信号；步骤S33，所述装置中的检测电路板的所述测试通道响应于所述实际电流信号输出一实际电压信号；步骤S34，对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测测试机的板卡的该电路通道的精确度，所述预设电压信号为所述实际电流信号对应的预设电流信号在所述电路通道中产生的信号。
请参考图1以及步骤S31，提供一用于检测测试机精确度的装置并连接至所述测试机20，所述装置采用本发明图1所述的检测测试机精确度的装置。在一些实施例中，所述检测电路板11通过排线19连接至所述测试机20。在本实施例中，所述检测电路板11通过所述测试盒13连接至所述测试机20，所述测试盒13用于将所述检测电路板11生成的所述实际电压信号V1返回至所述测试机20。具体地，所述检测电路板11通过排线19连接至所述测试盒13，所述测试盒13通过所述板卡21上的4个64Pin牛角插座(未图示)连接至所述测试机20，对应所述FOVI板卡和所述FPVI板卡的所有所述电路通道210。
请参考图1～图2以及步骤S32，所述测试机20的板卡21的一电路通道210发出实际电流信号I1。在一些实施例中，所述测试机20的板卡21的一电路通道210发出实际电流信号I1的步骤中，还包括：根据所述测试机20的参数编写程序，并根据所述程序选择所述检测电路板11的所述测试通道110以及预设电流信号I0，所述测试机20根据所述预设电流信号I0而向该测试通道输出所述实际电流信号I1。通过程序编译，大幅度提高了所述检测电路板11的通用性。所述实际电流信号I1可以为1mA、2mA、5mA、10mA。
请参考图1～图2以及步骤S33，所述装置中的检测电路板11的所述测试通道110响应于所述实际电流信号I1输出一实际电压信号V1。在本实施例中，所述测试电阻119的阻值为1kΩ，当测试机分别输入1mA、2mA、5mA、10mA的所述实际电流信号I1，可以测量出1V、2V、5V、10V多个档位的所述实际电压信号V1。
请参考图1～图2以及步骤S34，对比所述实际电压信号V1与预设电压信号V0以检测测试机20的板卡21的该电路通道的精确度，所述预设电压信号V0为所述实际电流信号V1对应的预设电流信号I0在所述电路通道210中产生的信号。在一些实施例中，所述的对比所述实际电压信号V1与预设电压信号V0以检测测试机20的精确度进一步包括如下步骤：对所述实际电压信号V1与所述预设电压信号V0求差值，若差值小于一预设阈值，则所述测试机20的板卡21的该电路通道210的精确度合格；若差值大于所述预设阈值，判断所述测试机的板卡的该电路通道210的精确度不合格。
在一些实施例中，所述检测测试机精确度的方法还包括如下步骤：定位至精确度不合格的硬件；进行检查并重新校准。
测试机在执行校准操作后，需要对其进行测量，以确定其校准的准确性，本申请所述装置能够对校准后的测试机进行测量，能够有效地检测出测试机的精确度，即能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，保证了测试机的精确度，提升了产品质量。具体地说，上述技术方案通过在检测电路板中设置测试电阻，使得测试通道能够响应于检测机板卡的电路通道输出的实际电流信号输出实际电压信号，通过对比实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，该装置可以有效地检测出测试机的精确度，能够精确地对测试机校准的准确性进行检测，并可根据检测结果对测试机进行调整，保证了测试机的精确度，提升了产品质量；并且使用该装置检测测试机精确度步骤简单，大大缩短了检测时间，提高了机台利用率。
应注意到，在说明书中对“一实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等的引用指示所描述的实施例可以包括特定的特征、结构或特性，但是每个实施例可能不一定包括该特定的特征、结构或特性。而且，这样的短语不一定指代相同的实施例。此外，当结合实施例描述特定的特征、结构或特性时，无论是否明确描述，结合其它实施例来实现这样的特征、结构或特性都在相关领域的技术人员的知识范围内。
通常，可以至少部分地从上下文中的用法理解术语。例如，如在本文中所使用的术语“一个或多个”至少部分取决于上下文，可以用于以单数意义描述任何特征、结构或特性，或可以用于以复数意义描述特征、结构或特征的组合。类似地，至少部分取决于上下文，诸如“一”、“某一”或“该”的术语同样可以被理解为表达单数用法或表达复数用法。另外，术语“基于”可以被理解为不一定旨在表达一组排他性的因素，而是可以替代地，同样至少部分地取决于上下文，允许存在不一定明确描述的其它因素。在本说明书中也应当注意的是，“连接/耦接”不仅指一个部件与另一个部件直接耦接，也指一个部件通过中间部件与另一个部件间接地耦接。
需要说明的是，本发明的文件中涉及的术语“包括”和“具有”以及它们的变形，意图在于覆盖不排他的包含。术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，除非上下文有明确指示，应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换。另外，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。此外，在以上说明中，省略了对公知组件和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。上述各个实施例中，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同/相似的部分互相参见即可。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种检测测试机精确度的装置，所述测试机包括一板卡，所述板卡包括多个电路通道，其特征在于，所述检测测试机精确度的装置包括：
检测电路板，所述检测电路板包括多个测试通道，每一所述测试通道设置有测试电阻，所述测试通道与所述测试机的板卡的电路通道对应；
所述检测电路板的所述测试通道能够响应于所述测试机的板卡的一电路通道发出的实际电流信号输出一实际电压信号，通过对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测所述测试机的板卡的该电路通道的精确度，所述预设电压信号为所述实际电流信号对应的预设电流信号在所述电路通道中产生的信号。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每一所述测试通道中的所述测试电阻的阻值相同。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测试电阻为精密电阻。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述测试机的参数编写程序，并根据所述程序选择所述检测电路板的所述测试通道以及预设电流信号，所述测试机能够根据所述预设电流信号而向该测试通道输出所述实际电流信号。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测试通道包括第一通道及第二通道，所述检测电路板包括48个第一通道以及8个第二通道。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括比较单元，用于对比所述实际电压信号与所述预设电压信号。
7.一种检测测试机精确度的方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一检测测试机精确度的装置并连接至所述测试机，所述装置采用如权利要求1～6任一项所述的检测测试机精确度的装置；
所述测试机的板卡的一电路通道发出实际电流信号；
所述装置中的检测电路板的所述测试通道响应于所述实际电流信号输出一实际电压信号；
对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测测试机的板卡的该电路通道的精确度，所述预设电压信号为所述实际电流信号对应的预设电流信号在所述电路通道中产生的信号。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述的对比所述实际电压信号与预设电压信号以检测测试机的精确度进一步包括如下步骤：
对所述实际电压信号与所述预设电压信号求差值，若差值小于一预设阈值，则所述测试机的板卡的该电路通道的精确度合格；若差值大于所述预设阈值，判断所述测试机的板卡的该电路通道的精确度不合格。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述的所述测试机的板卡的一电路通道发出实际电流信号还包括如下步骤：
根据所述测试机的参数编写程序，并根据所述程序选择所述检测电路板的所述测试通道以及预设电流信号，所述测试机根据所述预设电流信号而向该测试通道输出所述实际电流信号。
10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤：
定位至精确度不合格的硬件；
进行检查并重新校准。
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