CN117805102B - 一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了涉及晶舟检测技术领域的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置。为解决影像检测时，由于人工翻转晶舟时难以保证晶舟始终保持水平状态，导致晶舟的检测结果存在误差的技术问题。包括有底座，所述底座远离所述载物板的一侧滑动连接有伸缩件，所述伸缩件限位密封滑动连接有连接弯块，所述连接弯块转动连接有转动块，所述转动块滑动连接有从动块和主动块，所述从动块和所述主动块远离所述连接弯块的一侧均固接有支杆。本发明通过支杆对晶舟支撑后控制其转动，使晶舟在转动时始终保持水平状态，方便检测头对晶舟的放置槽进行检测，降低了影像检测的误差，同时通过翻转对晶舟的各个位置进行自动化检测，提高了检测效率。

Description

一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置

技术领域

本发明公开了涉及晶舟检测技术领域的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置。

背景技术

碳化硅陶瓷晶舟是一种应用于光伏电池片和半导体圆片生产工艺的载体，在半导体领域中，晶舟是用于储存、运送以及加工晶片的装置，晶舟中通常设置有多组晶片放置槽，在实际使用中，每组放置槽内均放置有一片晶片，随着科技的发展，晶片越来越薄，且属于易碎品，在通过晶舟对晶片进行运输和储存时，为了防止晶片在晶舟放置槽内发生晃动而破损，需要使放置槽的宽度与晶片的厚度相匹配，所以对晶舟中放置槽的精度要求越来越高，为提高对晶舟检测的精度，影像检测已经逐渐替代人工检测，现有影像检测时，需要工人手持晶舟将其移动至影像检测装置的下方并进行翻转，但由于手动操作的误差，在翻转晶舟的过程中，晶舟并不能完全处于水平状态，使得影像检测装置不能完全观测到晶舟放置槽的内部，导致晶舟的检测结果存在误差。

发明内容

本发明提供一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，以克服影像检测时，由于人工翻转晶舟时难以保证晶舟始终保持水平状态，导致晶舟的检测结果存在误差的缺点。

具体技术方案：一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，包括有底座，所述底座固接有支架，所述底座安装有控制终端，所述支架远离所述底座的一侧安装有检测头，所述底座滑动连接有载物板，所述底座远离所述载物板的一侧滑动连接有伸缩件，所述伸缩件限位密封滑动连接有连接弯块，所述连接弯块远离所述底座的一侧转动连接有转动块，所述转动块滑动连接有从动块和主动块，所述从动块和所述主动块远离所述连接弯块的一侧均固接有支杆，所述连接弯块安装有与控制终端电连接的检测电机，所述检测电机的输出轴与所述转动块之间通过齿轮组传动，所述载物板设置有用于为晶舟定位且与控制终端电连接的定位机构，所述底座设置有用于固定晶舟且镜像分布并与控制终端电连接的固定组件。

更为优选地是，所述定位机构包括有与控制终端电连接的移动电机，所述移动电机安装于所述底座远离所述检测头的一侧，所述移动电机的输出轴固接有丝杠，所述丝杠与所述底座转动连接，所述丝杠与所述载物板螺纹连接，所述载物板滑动连接有镜像分布的滑动杆，所述滑动杆与所述载物板之间固接有弹簧，所述底座设置有镜像分布的滑槽，所述滑动杆于相邻所述滑槽内限位滑动，所述滑动杆滑动连接有与所述载物板滑动连接的固定件，所述滑动杆与相邻所述固定件之间固接有弹簧，所述固定件远离相邻所述滑动杆的一侧密封滑动连接有触发柱，所述触发柱与相邻所述固定件之间固接有弹簧，所述触发柱与相邻所述固定件配合形成触发腔室，所述固定件靠近相邻所述滑动杆的一侧密封滑动连接有限位件，所述滑动杆设置有与相邻所述限位件限位配合的凹槽，所述限位件与相邻所述固定件配合形成与相邻所述触发腔室连通的限位腔室，所述限位腔室与所述触发腔室内均存放有液压油。

更为优选地是，所述固定组件包括有锁定柱，所述锁定柱密封滑动连接于所述底座远离所述载物板的一侧，所述锁定柱与所述载物板挤压配合，所述锁定柱与所述底座之间固接有弹簧，所述锁定柱与所述底座配合形成动力腔室，所述支杆远离所述连接弯块的一侧固接有与控制终端电连接的压力传感器，所述支杆的压力传感器固接有锥块，所述支杆远离所述连接弯块的一侧密封滑动连接有锁定件，所述锁定件固接有环形分布的弹性条，所述弹性条与相邻所述锥块挤压配合，所述锁定件与相邻所述支杆配合形成锁定腔室，所述锁定腔室与相邻所述动力腔室之间通过导管连通，所述动力腔室内存放有液压油。

更为优选地是，所述底座靠近所述锁定柱的一侧密封滑动连接有挤压柱，所述挤压柱与所述底座配合形成挤压腔室，所述挤压腔室内存放有液压油，所述连接弯块内密封滑动连接有分隔件，所述分隔件与所述连接弯块配合形成一级调高腔室，所述一级调高腔室与所述挤压腔室之间通过导管连通。

更为优选地是，所述底座靠近所述连接弯块的一侧安装有与控制终端电连接的液压泵站，所述连接弯块通过连接架固接有分隔环，所述转动块固接有与所述分隔环密封转动连接的储液件，所述储液件与所述分隔环配合形成一级中转腔室和二级中转腔室，所述一级中转腔室和所述二级中转腔室内均存放有液压油，所述液压泵站通过导管与所述一级中转腔室连通，所述主动块固接有调宽活塞件，所述调宽活塞件与所述转动块密封滑动连接，所述调宽活塞件与所述转动块配合形成调宽腔室，所述调宽腔室与所述一级中转腔室之间通过导管连通，所述转动块设置有齿轮，所述从动块和所述主动块均设置有与所述转动块的齿轮传动的齿条。

更为优选地是，所述转动块靠近所述从动块的一侧固接有限位活塞件，所述限位活塞件与所述从动块密封滑动连接，所述从动块与所述限位活塞件配合形成主动腔室，所述主动腔室与所述二级中转腔室之间通过导管连通，所述二级中转腔室通过导管与所述一级调高腔室连通，所述主动腔室内存放有液压油。

更为优选地是，所述底座靠近所述液压泵站的一侧滑动连接有挤压件，所述挤压件与所述储液件挤压配合，所述底座固接有液囊，所述液囊与所述挤压件挤压配合，所述液囊通过导管与所述液压泵站连通，所述伸缩件、所述连接弯块和所述分隔件配合形成二级调高腔室，所述液囊通过导管与所述二级调高腔室连通。

更为优选地是，所述转动块固接有与所述连接弯块转动连接的螺旋件，所述连接弯块固接有主动液压杆，所述主动液压杆的伸缩端穿过所述连接弯块并与所述螺旋件挤压配合，所述底座固接有从动液压杆，所述从动液压杆的伸缩端与所述伸缩件固接，所述伸缩件远离所述从动液压杆的一侧与所述底座之间固接有弹簧，所述主动液压杆的固定部通过导管与所述从动液压杆的固定部连通，所述主动液压杆和所述从动液压杆内均存放有液压油。

更为优选地是，所述螺旋件由相互错位的两个半圆组成，所述螺旋件与所述转动块固接的位置位于其偏心处，通过所述螺旋件转动控制所述主动液压杆的伸缩端伸缩。

更为优选地是，还包括有设置于所述检测头的防护机构，所述防护机构用于对所述检测头进行保护，所述防护机构包括有防护壳，所述防护壳固接于所述检测头靠近所述底座的一侧，所述防护壳靠近所述底座的一侧密封滑动连接有镜像分布的防护板，所述防护壳固接有防护筒，所述防护筒内密封滑动连接有镜像分布的防护滑杆，所述防护滑杆与相邻的所述防护板固接，所述底座靠近所述从动块的一侧固接有触发液压杆，所述触发液压杆内固接有弹簧，所述触发液压杆的伸缩端穿过所述底座并与相邻所述滑动杆挤压配合，所述触发液压杆内存放有液压油。

本发明至少包括以下有益效果：本发明通过支杆对晶舟支撑后控制其转动，使晶舟在转动时始终保持水平状态，方便检测头对晶舟的放置槽进行检测，降低了影像检测的误差，同时通过翻转对晶舟的各个位置进行自动化检测，提高了检测效率。

通过在晶舟移动过程中对其进行预定位，方便支杆对晶舟进行固定，同时根据压力传感器的数据检测晶舟支撑孔的状态，若检测到晶舟的支撑孔位置不佳，直接终止对该晶舟的检测，节约检测时间。

通过在晶舟转动过程中移动晶舟与检测头正对的位置，使晶舟各个放置槽均能与检测头正对进行检测，提高对晶舟检测的效率。

在检测晶舟时，保持晶舟与载物板之间的距离，使二者之间保持小距离，减小晶舟滑落时所受的损伤。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明底座、载物板和固定件的立体结构示意图；

图3为本发明连接弯块、转动块和从动块的立体结构示意图；

图4为本发明滑动杆、固定件和触发柱的立体结构示意图；

图5为本发明固定件、触发柱和限位件的立体结构示意图；

图6为本发明底座、支杆和锁定柱的立体结构示意图；

图7为本发明图6中A处的局部放大图；

图8为本发明伸缩件、连接弯块和分隔件的立体结构示意图；

图9为本发明液压泵站、分隔环和储液件的立体结构示意图；

图10为本发明储液件、调宽活塞件和限位活塞件的立体结构示意图；

图11为本发明螺旋件、主动液压杆和从动液压杆的立体结构示意图；

图12为本发明转动块、螺旋件和主动液压杆的立体结构示意图；

图13为本发明防护壳、防护板和防护筒的立体结构示意图。

附图中的标记：1-底座，2-支架，3-检测头，4-载物板，5-伸缩件，6-连接弯块，7-转动块，8-从动块，9-主动块，10-支杆，11-检测电机，12-移动电机，13-丝杠，14-滑动杆，141-滑槽，15-固定件，16-触发柱，161-触发腔室，17-限位件，171-限位腔室，18-锁定柱，181-动力腔室，19-锥块，20-锁定件，201-锁定腔室，21-弹性条，22-挤压柱，221-挤压腔室，23-分隔件，231-一级调高腔室，24-液压泵站，25-分隔环，26-储液件，261-一级中转腔室，262-二级中转腔室，27-调宽活塞件，271-调宽腔室，28-限位活塞件，281-主动腔室，29-挤压件，30-液囊，301-二级调高腔室，31-螺旋件，32-主动液压杆，33-从动液压杆，34-防护壳，35-防护板，36-防护筒，37-防护滑杆，38-触发液压杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

实施例1：一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，如图1-图3所示，包括有底座1，底座1上侧的左后部固接有支架2，底座1上侧的后部安装有控制终端，支架2上部的下侧安装有用于对晶舟拍照检测的检测头3，底座1的中部滑动连接有载物板4，载物板4用于放置晶舟，底座1上侧的左部滑动连接有伸缩件5，伸缩件5的活塞杆限位密封滑动连接有连接弯块6，连接弯块6右侧的上部转动连接有转动块7，转动块7的前后两侧分别滑动连接有从动块8和主动块9，从动块8和主动块9的右侧均固接有支杆10，通过两个支杆10穿过晶舟的支撑孔对晶舟进行固定，连接弯块6安装有检测电机11，检测电机11与控制终端电连接，检测电机11的输出轴通过齿轮组与转动块7传动，载物板4设置有用于为晶舟定位且与控制终端电连接的定位机构，底座1设置有用于固定晶舟且前后镜像分布并与控制终端电连接的两个固定组件。

如图2-图5所示，定位机构包括有移动电机12，移动电机12与控制终端电连接，移动电机12安装于底座1下侧的左部，底座1下侧的中部转动连接有与移动电机12的输出轴固接的丝杠13，丝杠13与载物板4螺纹连接，载物板4的中部滑动连接有前后镜像分布的两个滑动杆14，两个滑动杆14的相向侧与载物板4之间均固接有弹簧，底座1设置有前后镜像分布的两个滑槽141，滑动杆14于相邻滑槽141内限位滑动，滑槽141由倾斜部、平直部和复位部组成，当滑动杆14在相邻滑槽141的倾斜部滑动时，滑槽141挤压相邻滑动杆14向载物板4内移动，当滑动杆14在相邻滑槽141的平直部滑动时，支杆10进入晶舟相邻的支撑孔内，滑槽141的复位部由纵向面、倾斜面和横向面组成，当滑动杆14左移至相邻滑槽141平直部的尽头时，滑动杆14在相邻弹簧的作用下沿相邻滑槽141复位部的纵向面滑动，当滑动杆14停止移动后，滑动杆14位于相邻滑槽141复位部的倾斜面内，当在滑动杆14沿相邻滑槽141的复位部右移时，滑动杆14沿相邻滑槽141左侧的倾斜面移动，将滑动杆14相邻的弹簧拉伸，方便后续滑动杆14复位后进入相邻滑槽141的倾斜部，滑动杆14滑动连接有固定件15，且相邻二者之间固接有弹簧，用于在固定件15与相邻滑动杆14失去限位后，保持固定件15与晶舟的接触，固定件15与载物板4滑动连接，两个固定件15相向侧的上部密封滑动连接有触发柱16，两个固定件15和两个触发柱16均呈中心对称分布，触发柱16与相邻固定件15之间固接有弹簧，固定件15与相邻滑动杆14之间弹簧的弹性系数大于触发柱16与相邻固定件15之间弹簧的弹性系数，触发柱16与相邻固定件15配合形成触发腔室161，固定件15的下部密封滑动连接有限位件17，滑动杆14的上侧设置有凹槽，滑动杆14的凹槽与相邻限位件17限位配合，初始时限位件17的下部位于相邻滑动杆14的凹槽内，限位件17上部的下侧与相邻固定件15配合形成限位腔室171，限位腔室171与相邻的触发腔室161连通，限位腔室171与触发腔室161内均存放有液压油。

如图2、图6和图7所示，固定组件包括有锁定柱18，锁定柱18密封滑动连接于底座1的左部，锁定柱18与载物板4挤压配合，在载物板4左移时，载物板4逐渐与锁定柱18接触，并将锁定柱18向左挤压，锁定柱18的左侧与底座1之间固接有弹簧，锁定柱18的左侧与底座1配合形成动力腔室181，支杆10的右端固接有压力传感器，压力传感器与控制终端电连接，支杆10的压力传感器固接有锥块19，锥块19为两个对称的圆台形，其右侧圆台用于辅助其进入晶舟相邻的支撑孔内，在支杆10深入晶舟相邻支撑孔的过程中，若晶舟支撑孔内形状不合格，导致支杆10在深入时受阻，此时压力传感器检测到压力并将信号传递至控制终端，随后控制终端终止检测该晶舟，节省检测的时间，支杆10的右部密封滑动连接有锁定件20，锁定件20的右侧固接有环形分布的弹性条21，弹性条21与相邻锥块19挤压配合，初始时弹性条21位于相邻支杆10内，当锁定件20带动相邻弹性条21右移时，弹性条21沿相邻锥块19左侧圆台的斜面探出相邻支杆10，将晶舟阻挡，防止在检测过程中晶舟沿支杆10滑落，锁定件20的左侧与相邻支杆10配合形成锁定腔室201，锁定腔室201通过导管与相邻的动力腔室181连通，动力腔室181内存放有液压油。

如图2和图8所示，底座1左部的右侧密封滑动连接有挤压柱22，挤压柱22的左侧与底座1配合形成挤压腔室221，挤压腔室221内存放有液压油，连接弯块6内的中部密封滑动连接有分隔件23，分隔件23位于伸缩件5活塞杆的上侧，分隔件23的上侧与连接弯块6配合形成一级调高腔室231，一级调高腔室231通过导管与挤压腔室221连通，在支杆10将晶舟固定后，通过挤压液压油使晶舟上移与载物板4脱离接触，方便对晶舟进行检测。

如图9和图10所示，底座1上侧的左后部安装有液压泵站24，液压泵站24与控制终端电连接，液压泵站24由液压泵和与其连通的油箱组成，连接弯块6通过连接架固接有分隔环25，分隔环25由圆环和圆筒组成，转动块7固接有储液件26，储液件26与分隔环25密封转动连接，分隔环25的圆筒将储液件26分隔为两部分，储液件26与分隔环25配合形成一级中转腔室261和二级中转腔室262，一级中转腔室261和二级中转腔室262内均存放有液压油，液压泵站24与一级中转腔室261之间通过导管连通，主动块9后侧的中部固接有与转动块7密封滑动连接的调宽活塞件27，调宽活塞件27的右侧与转动块7配合形成调宽腔室271，调宽腔室271通过导管与一级中转腔室261连通，转动块7下侧的中部设置有齿轮，从动块8和主动块9的相向侧均设置有齿条，从动块8和主动块9的齿条均与转动块7的齿轮啮合，且从动块8的齿条与主动块9的齿条中心对称分布，当需要调节从动块8和主动块9之间距离时，向调宽腔室271内注入液压油推动主动块9前移，主动块9通过相邻齿条、转动块7下侧的齿轮和从动块8的齿条带动从动块8后移。

如图10所示，转动块7的后侧固接有与从动块8密封滑动连接的限位活塞件28，从动块8与限位活塞件28后部的前侧配合形成主动腔室281，当从动块8后移时，主动腔室281体积减小，主动腔室281通过导管与二级中转腔室262连通，二级中转腔室262与一级调高腔室231之间通过导管连通，主动腔室281内存放有液压油。

如图9所示，底座1上侧的左部滑动连接有挤压件29，挤压件29由圆柱和凸起组成，挤压件29与储液件26挤压配合，储液件26为椭圆形，初始时挤压件29的凸起与储液件26直径最小处接触，底座1上侧的左部固接有液囊30，液囊30与挤压件29挤压配合，当储液件26转动时，将挤压件29向下挤压，挤压件29挤压液囊30，液囊30的下侧通过导管与液压泵站24连通，伸缩件5、连接弯块6和分隔件23的下侧配合形成二级调高腔室301，液囊30的下侧通过导管与二级调高腔室301连通，在晶舟转动时，通过储液件26挤压挤压件29推动晶舟上下移动，防止晶舟在转动过程中与载物板4发生碰撞，同时控制晶舟与载物板4之间的距离，减小晶舟滑落时受到的损伤。

如图10-图12所示，转动块7左侧的中部固接有螺旋件31，螺旋件31与连接弯块6转动连接，连接弯块6上部的下侧固接有主动液压杆32，主动液压杆32的伸缩端穿过连接弯块6，主动液压杆32的伸缩端与螺旋件31挤压配合，螺旋件31由两个相互错位的半圆组成，且螺旋件31与转动块7固接的位置位于其下侧半圆的偏心处，初始时主动液压杆32的伸缩端位于主动液压杆32的中部，当螺旋件31顺时针转动90°（本文转动视角均为自右向左）以内时，螺旋件31逐渐失去对主动液压杆32伸缩端的挤压，当螺旋件31逆时针转动时，螺旋件31先将主动液压杆32的伸缩端向下挤压，并在转动90°后，主动液压杆32的伸缩端探出的距离与初始时探出的距离相同，底座1内的左部固接有从动液压杆33，初始时从动液压杆33的伸缩端位于其中部，从动液压杆33的伸缩端与伸缩件5固接，伸缩件5的后侧与底座1之间固接有弹簧，主动液压杆32固定部的下侧通过导管与从动液压杆33的固定部连通，主动液压杆32和从动液压杆33内均存放有液压油。

碳化硅陶瓷晶舟（后续简称晶舟）在烧制成型后，工人利用工具对晶舟表面切割出放置槽，随后工人将制作好的晶舟进行检测，具体操作如下：工人将晶舟放置到载物板4的上侧，并向控制终端内输入合格晶舟的尺寸数据，控制终端启动液压泵站24，液压泵站24通过相邻导管向一级中转腔室261内输入液压油，一级中转腔室261内的液压油通过相邻导管流向调宽腔室271，调宽腔室271内的液压油推动主动块9前移，主动块9通过相邻齿条带动转动块7的齿轮转动，转动块7的齿轮通过齿条带动从动块8后移，使得主动块9和从动块8之间的距离逐渐增大，进而两个支杆10之间的距离与晶舟上两个支撑孔的距离相等，此时控制终端停止液压泵站24。

在从动块8后移的过程中，限位活塞件28相对于从动块8前移，挤压主动腔室281内的液压油通过相邻导管流向二级中转腔室262，二级中转腔室262内的液压油通过相邻导管流向一级调高腔室231，一级调高腔室231内液压油的体积增大，推动连接弯块6及其上所有零件上移，连接弯块6通过转动块7、从动块8和主动块9带动两个支杆10上移，使得支杆10与晶舟支撑孔的高度相等。

控制终端启动移动电机12，移动电机12的输出轴带动丝杠13转动，丝杠13通过螺纹带动载物板4及其上的晶舟左移，载物板4带动两个滑动杆14沿相邻滑槽141的倾斜部滑动，使得滑动杆14向载物板4内移动，并压缩滑动杆14相邻的弹簧，两个滑动杆14分别通过相邻限位件17带动相邻的固定件15相互靠近移动，固定件15带动相邻触发柱16逐渐与晶舟接触，并推动晶舟转动，随着两个固定件15相互靠近移动，固定件15逐渐与晶舟接触，触发柱16逐渐向相邻固定件15内移动，并压缩触发柱16相邻的弹簧，使得相邻触发腔室161的体积减小，触发腔室161内的液压油流向相邻限位腔室171，限位腔室171内的液压油推动相邻限位件17上移，直至触发柱16完全进入相邻固定件15时，晶舟被摆正，限位件17与相邻滑动杆14的凹槽失去接触并解除对相邻滑动杆14的限位，此时两个固定件15停止相互靠近移动，滑动杆14相对于相邻固定件15移动，并压缩固定件15与相邻滑动杆14之间的弹簧，保持固定件15与晶舟的接触。

随着滑动杆14沿相邻滑槽141移动，当滑动杆14移动到相邻滑槽141的平直部时，滑动杆14停止相对于载物板4移动，此时晶舟的两个支撑孔逐渐与相邻的支杆10接触，随着载物板4带动晶舟左移，两个锥块19同时进入晶舟上相邻的支撑孔内，随后支杆10逐渐进入晶舟相邻的支撑孔内，随着载物板4左移，载物板4的左侧逐渐与锁定柱18接触并推动其左移，压缩锁定柱18相邻的弹簧，此时支杆10探出晶舟的支撑孔，使得相邻动力腔室181内的液压油通过相邻导管输送至相邻锁定腔室201内，锁定腔室201内的液压油将相邻锁定件20向右推动，锁定件20推动相邻的弹性条21沿相邻锥块19的斜面移动，弹性条21逐渐探出相邻支杆10，如此对晶舟进行固定，防止检测时晶舟沿支杆10滑落。

在支杆10进入晶舟相邻的支撑孔时，若晶舟支撑孔形状不佳，导致锥块19在进入晶舟支撑孔时受到阻力，此时锥块19与相邻支杆10之间的压力传感器检测到压力后将信号传递至控制终端，控制终端反向启动移动电机12，移动电机12带动载物板4右移复位，此时工人将晶舟取下进行并更换新的晶舟进行检测，节约检测时间。

在载物板4将锁定柱18向左挤压的同时，滑动杆14移动到相邻滑槽141的尽头，滑动杆14在相邻弹簧作用下向载物板4的外侧移动，滑动杆14与相邻固定件15之间的弹簧逐渐复位，随后滑动杆14带动相邻固定件15移动，固定件15逐渐与晶舟失去接触，同时触发柱16在相邻弹簧作用下向相邻固定件15的外侧移动并复位，使得触发腔室161体积增大，并通过相邻导管将相邻限位腔室171内的液压油抽出，使得相邻限位件17下移，限位件17进入相邻滑动杆14的凹槽内将其限位，最终滑动杆14相对于载物板4复位。

在载物板4与锁定柱18接触的同时，载物板4与挤压柱22接触，并将挤压柱22向左推动，使得挤压腔室221内的液压油通过相邻导管流向一级调高腔室231，一级调高腔室231内液压油体积增大，将连接弯块6及其上所有零件向上推动，连接弯块6带动两个支杆10上移，支杆10带动晶舟上移，使晶舟与载物板4失去接触，当载物板4的左侧与底座1接触时，控制终端停止移动电机12，并启动检测电机11和检测头3，检测电机11通过齿轮组带动转动块7顺时针转动，转动块7通过从动块8、主动块9和支杆10带动晶舟转动，在此期间，检测头3对晶舟上表面的后部进行拍摄，当晶舟后侧的放置槽完全进入检测头3的镜头时，控制终端控制检测电机11的输出轴反转，检测电机11的输出轴通过齿轮组带动转动块7逆时针转动，转动块7带动晶舟逆时针转动，在此期间，检测头3对晶舟上表面的前部进行拍摄，当晶舟前侧的放置槽完全进入检测头3的镜头时，控制终端继续控制检测电机11反转，晶舟逐渐翻转并继续转动，在此期间，检测头3对晶舟下表面进行拍摄，当晶舟与载物板4平行时，控制终端控制检测电机11正转，检测电机11带动晶舟顺时针转动，使晶舟逐渐复位。

在液压泵站24通过相邻导管向一级中转腔室261内输入液压油的同时，液压泵站24通过相邻导管向液囊30内同步输入液压油，使液囊30膨胀，在转动块7通过支杆10带动晶舟转动的同时，转动块7带动储液件26转动，在晶舟顺时针转动时，储液件26逐渐将挤压件29向下挤压，挤压件29挤压液囊30内的液压油通过相邻导管进入二级调高腔室301内，二级调高腔室301内液压油体积增大，推动连接弯块6上移，连接弯块6带动晶舟上移，防止晶舟在顺时针转动时与载物板4发生碰撞，在晶舟逆时针转动时，储液件26转动逐渐失去对挤压件29的挤压，二级调高腔室301内的液压油在连接弯块6重力作用下沿相邻导管流向液囊30，液囊30推动挤压件29上移，在晶舟逆时针转动复位时，液囊30推动挤压件29复位，在晶舟逆时针转动对其背面进行检测时，重复上述步骤，在晶舟逐渐与载物板4垂直的过程中，储液件26挤压挤压件29，使得连接弯块6通过支杆10推动晶舟上移，当晶舟转动逐渐与载物板4平行的过程中，储液件26逐渐失去对挤压件29的挤压，使晶舟在连接弯块6和支杆10的作用下下移，保持晶舟与载物板4之间的距离，减小晶舟发生掉落时的损坏。

在晶舟转动对其进行检测时，由于晶舟整体呈弧形，在对晶舟上侧的后部进行检测时，晶舟后部的放置槽未处于检测头3的正下方，导致检测效果不佳，解决方式如下：在对晶舟的上侧面进行检测时，转动块7顺时针转动，转动块7带动螺旋件31转动，螺旋件31对主动液压杆32伸缩端的挤压力逐渐减小，此时主动液压杆32的伸缩端沿螺旋件31滑动，伸缩件5在相邻弹簧作用下前移，伸缩件5将从动液压杆33的伸缩端向其内推动，使得从动液压杆33内的液压油通过相邻导管流向主动液压杆32，使主动液压杆32的伸缩端伸出，保持主动液压杆32的伸缩端与螺旋件31的接触，在此过程中，伸缩件5带动连接弯块6前移，连接弯块6通过支杆10带动晶舟后移，使晶舟上侧后部的放置槽前移至检测头3的正下方，当需要对晶舟上侧的前部进行检测时，晶舟逆时针转动，转动块7带动螺旋件31转动，螺旋件31逐渐将主动液压杆32的伸缩端向其内推动，主动液压杆32内的液压油通过相邻导管流向从动液压杆33，从动液压杆33的伸缩端伸出，从动液压杆33的伸缩端推动伸缩件5后移，压缩伸缩件5相邻的弹簧，伸缩件5带动连接弯块6后移，连接弯块6通过支杆10带动晶舟后移，使晶舟上侧前部的放置槽移动至检测头3的正下方。

当对晶舟检测结束后，控制终端停止检测电机11并启动移动电机12，移动电机12输出轴带动丝杠13反转，丝杠13通过螺纹带动载物板4右移，载物板4逐渐失去对锁定柱18和挤压柱22的接触，锁定柱18在相邻弹簧作用下右移，通过导管将相邻锁定腔室201内的液压油抽至相邻动力腔室181内，锁定腔室201内的液压油带动相邻锁定件20和弹性条21左移，使锁定件20和弹性条21复位，同时在连接弯块6重力作用下挤压一级调高腔室231内的液压油通过相邻导管流向挤压腔室221，挤压腔室221内的液压油推动挤压柱22右移并复位，在此期间晶舟逐渐与载物板4接触，并随着载物板4右移，载物板4带动晶舟右移。

在载物板4右移过程中，载物板4带动滑动杆14右移，滑动杆14沿相邻滑槽141左侧的倾斜面滑动，两个滑动杆14相互远离移动，并拉伸滑动杆14相邻弹簧，当载物板4复位时，滑动杆14移动至相邻滑槽141的右侧，两个滑动杆14在相邻弹簧的作用下相互靠近移动，使滑动杆14进入相邻滑槽141的倾斜部并复位，此时控制终端停止移动电机12并启动液压泵站24，液压泵站24通过相邻导管和一级中转腔室261将调宽腔室271内的液压油抽出，调宽腔室271内的液压油带动调宽活塞件27和主动块9后移复位，主动块9通过相邻齿条、转动块7的齿轮和从动块8的齿条带动从动块8前移复位，在此过程中，主动腔室281体积增大并通过相邻导管和二级中转腔室262将一级调高腔室231内的液压油抽出，使得连接弯块6在重力作用下下移并复位，在液压泵站24抽油的过程中，液压泵站24通过相邻导管将液囊30内的液压油抽出，使液囊30复位，此时控制终端停止液压泵站24，随后工人将载物板4上的晶舟取下并放置新待检测晶舟，重复上述步骤对晶舟进行检测。

实施例2：在实施例1的基础上，如图1、图2和图13所示，还包括有设置于检测头3的防护机构，防护机构用于对检测头3进行保护，防护机构包括有防护壳34，检测头3的镜头位于防护壳34内，防护壳34固接于检测头3的下侧，防护壳34的下侧密封滑动连接有左右镜像分布的两个防护板35，防护壳34后侧的下部固接有防护筒36，防护筒36内密封滑动连接有左右镜像分布且与相邻的防护板35固接的两个防护滑杆37，底座1内的后部固接有触发液压杆38，触发液压杆38内固接有弹簧，触发液压杆38的伸缩端穿过底座1，触发液压杆38的伸缩端与后侧的滑动杆14挤压配合，当后侧的滑动杆14移动到相邻滑槽141的左侧时，后侧的滑动杆14在相邻弹簧作用下后移并挤压触发液压杆38的伸缩端，触发液压杆38内存放有液压油。

在工人将晶舟放置在载物板4上时，晶舟表面存在灰尘等，影响检测头3对晶舟表面进行检测，解决方法如下：在工人将晶舟放置在载物板4上后，工人利用风机等工具对晶舟表面进行清理，随后控制终端控制载物板4左移，当滑动杆14移动至相邻滑槽141的左侧时，后侧的滑动杆14在相邻弹簧作用下后移，后侧的滑动杆14逐渐与触发液压杆38的伸缩端接触并将其向内挤压，压缩触发液压杆38相邻弹簧，触发液压杆38内的液压油通过相邻导管进入防护筒36内，防护筒36内的液压油推动两个防护滑杆37相互远离移动，防护滑杆37带动相邻的防护板35移动，两个防护板35相互远离移动并打开防护壳34，解除对检测头3的封堵，此时通过检测头3对晶舟进行检测，当载物板4右移时，后侧的滑动杆14逐渐与触发液压杆38的伸缩端失去接触，此时触发液压杆38的伸缩端在其内弹簧作用下前移复位，通过相邻导管将防护筒36内的液压油抽出，使两个防护滑杆37带动相邻防护板35相互靠近移动复位，将检测头3进行封堵。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，其特征在于：包括有底座（1），所述底座（1）上侧的左后部固接有支架（2），所述底座（1）安装有控制终端，所述支架（2）上部的下侧安装有用于对晶舟拍照检测的检测头（3），所述底座（1）的中部滑动连接有载物板（4），所述载物板（4）用于放置晶舟，所述底座（1）上侧的左部滑动连接有伸缩件（5），所述伸缩件（5）的活塞杆限位密封滑动连接有连接弯块（6），所述连接弯块（6）右侧的上部转动连接有转动块（7），所述转动块（7）的前后两侧分别滑动连接有从动块（8）和主动块（9），所述从动块（8）和所述主动块（9）的右侧均固接有支杆（10），通过两个所述支杆（10）穿过晶舟的支撑孔对晶舟进行固定，所述连接弯块（6）安装有与控制终端电连接的检测电机（11），所述检测电机（11）的输出轴与所述转动块（7）之间通过齿轮组传动，所述载物板（4）设置有用于为晶舟定位且与控制终端电连接的定位机构，所述底座（1）设置有用于固定晶舟且镜像分布并与控制终端电连接的两个固定组件；

所述定位机构包括有与控制终端电连接的移动电机（12），所述移动电机（12）安装于所述底座（1）下侧的左部，所述移动电机（12）的输出轴固接有丝杠（13），所述丝杠（13）与所述底座（1）下侧的中部转动连接，所述丝杠（13）与所述载物板（4）螺纹连接，所述载物板（4）滑动连接有前后镜像分布的两个滑动杆（14），所述滑动杆（14）与所述载物板（4）之间固接有弹簧，所述底座（1）设置有前后镜像分布的两个滑槽（141），所述滑动杆（14）于相邻所述滑槽（141）内限位滑动，所述滑槽（141）由倾斜部、平直部和复位部组成，当所述滑动杆（14）在相邻所述滑槽（141）的倾斜部滑动时，所述滑槽（141）挤压相邻所述滑动杆（14）向所述载物板（4）内移动，当所述滑动杆（14）在相邻所述滑槽（141）的平直部滑动时，所述支杆（10）进入晶舟相邻的支撑孔内，所述滑槽（141）的复位部由纵向面、倾斜面和横向面组成，当所述滑动杆（14）左移至相邻所述滑槽（141）平直部的尽头时，所述滑动杆（14）在相邻弹簧的作用下沿相邻所述滑槽（141）复位部的纵向面滑动，当所述滑动杆（14）停止移动后，所述滑动杆（14）位于相邻所述滑槽（141）复位部的倾斜面内，当在所述滑动杆（14）沿相邻所述滑槽（141）的复位部右移时，所述滑动杆（14）沿相邻所述滑槽（141）左侧的倾斜面移动，将所述滑动杆（14）相邻的弹簧拉伸，方便后续所述滑动杆（14）复位后进入相邻所述滑槽（141）的倾斜部，所述滑动杆（14）滑动连接有与所述载物板（4）滑动连接的固定件（15），所述滑动杆（14）与相邻所述固定件（15）之间固接有弹簧，所述固定件（15）远离相邻所述滑动杆（14）的一侧密封滑动连接有触发柱（16），两个所述固定件（15）和两个所述触发柱（16）均呈中心对称分布，所述触发柱（16）与相邻所述固定件（15）之间固接有弹簧，所述固定件（15）与相邻所述滑动杆（14）之间弹簧的弹性系数大于所述触发柱（16）与相邻所述固定件（15）之间弹簧的弹性系数，所述触发柱（16）与相邻所述固定件（15）配合形成触发腔室（161），所述固定件（15）的下部密封滑动连接有限位件（17），所述滑动杆（14）的上侧设置有与相邻所述限位件（17）限位配合的凹槽，初始时所述限位件（17）的下部位于相邻所述滑动杆（14）的凹槽内，所述限位件（17）上部的下侧与相邻所述固定件（15）配合形成与相邻所述触发腔室（161）连通的限位腔室（171），所述限位腔室（171）与所述触发腔室（161）内均存放有液压油，控制终端启动所述移动电机（12），所述移动电机（12）的输出轴带动所述丝杠（13）转动，所述丝杠（13）通过螺纹带动所述载物板（4）及其上的晶舟左移，所述载物板（4）带动两个所述滑动杆（14）沿相邻所述滑槽（141）的倾斜部滑动，使得所述滑动杆（14）向所述载物板（4）内移动，并压缩所述滑动杆（14）相邻的弹簧，两个所述滑动杆（14）分别通过相邻所述限位件（17）带动相邻的所述固定件（15）相互靠近移动，所述固定件（15）带动相邻所述触发柱（16）逐渐与晶舟接触，并推动晶舟转动，随着两个所述固定件（15）相互靠近移动，所述固定件（15）逐渐与晶舟接触，所述触发柱（16）逐渐向相邻所述固定件（15）内移动，并压缩所述触发柱（16）相邻的弹簧，使得相邻所述触发腔室（161）的体积减小，所述触发腔室（161）内的液压油流向相邻所述限位腔室（171），所述限位腔室（171）内的液压油推动相邻所述限位件（17）上移，直至所述触发柱（16）完全进入相邻所述固定件（15）时，晶舟被摆正，所述限位件（17）与相邻所述滑动杆（14）的凹槽失去接触并解除对相邻所述滑动杆（14）的限位，此时两个所述固定件（15）停止相互靠近移动，所述滑动杆（14）相对于相邻所述固定件（15）移动，并压缩所述固定件（15）与相邻所述滑动杆（14）之间的弹簧，保持所述固定件（15）与晶舟的接触，随着所述滑动杆（14）沿相邻所述滑槽（141）移动，当所述滑动杆（14）移动到相邻所述滑槽（141）的平直部时，所述滑动杆（14）停止相对于所述载物板（4）移动，此时晶舟的两个支撑孔逐渐与相邻的所述支杆（10）接触；

所述固定组件包括有锁定柱（18），所述锁定柱（18）密封滑动连接于所述底座（1）的左部，所述锁定柱（18）与所述载物板（4）挤压配合，在所述载物板（4）左移时，所述载物板（4）逐渐与所述锁定柱（18）接触，并将所述锁定柱（18）向左挤压，所述锁定柱（18）的左侧与所述底座（1）之间固接有弹簧，所述锁定柱（18）的左侧与所述底座（1）配合形成动力腔室（181），所述支杆（10）的右端固接有与控制终端电连接的压力传感器，所述支杆（10）的压力传感器固接有锥块（19），所述锥块（19）为两个对称的圆台形，其右侧圆台用于辅助其进入晶舟相邻的支撑孔内，所述支杆（10）的右部密封滑动连接有锁定件（20），所述锁定件（20）的右侧固接有环形分布的弹性条（21），所述弹性条（21）与相邻所述锥块（19）挤压配合，初始时所述弹性条（21）位于相邻所述支杆（10）内，当所述锁定件（20）带动相邻所述弹性条（21）右移时，所述弹性条（21）沿相邻所述锥块（19）左侧圆台的斜面探出相邻所述支杆（10），所述锁定件（20）的左侧与相邻所述支杆（10）配合形成锁定腔室（201），所述锁定腔室（201）与相邻所述动力腔室（181）之间通过导管连通，所述动力腔室（181）内存放有液压油，随着所述载物板（4）带动晶舟左移，两个所述锥块（19）同时进入晶舟上相邻的支撑孔内，随后所述支杆（10）逐渐进入晶舟相邻的支撑孔内，随着所述载物板（4）左移，所述载物板（4）的左侧逐渐与所述锁定柱（18）接触并推动其左移，压缩所述锁定柱（18）相邻的弹簧，此时所述支杆（10）探出晶舟的支撑孔，使得相邻所述动力腔室（181）内的液压油通过相邻导管输送至相邻所述锁定腔室（201）内，所述锁定腔室（201）内的液压油将相邻所述锁定件（20）向右推动，所述锁定件（20）推动相邻的所述弹性条（21）沿相邻所述锥块（19）的斜面移动，所述弹性条（21）逐渐探出相邻所述支杆（10），如此对晶舟进行固定，在所述载物板（4）将所述锁定柱（18）向左挤压的同时，所述滑动杆（14）移动到相邻所述滑槽（141）的尽头，所述滑动杆（14）在相邻弹簧作用下向所述载物板（4）的外侧移动，所述滑动杆（14）与相邻所述固定件（15）之间的弹簧逐渐复位，随后所述滑动杆（14）带动相邻所述固定件（15）移动，所述固定件（15）逐渐与晶舟失去接触，同时所述触发柱（16）在相邻弹簧作用下向相邻所述固定件（15）的外侧移动并复位，使得所述触发腔室（161）体积增大，并通过相邻导管将相邻所述限位腔室（171）内的液压油抽出，使得相邻所述限位件（17）下移，所述限位件（17）进入相邻所述滑动杆（14）的凹槽内将其限位，最终所述滑动杆（14）相对于所述载物板（4）复位，在所述支杆（10）进入晶舟相邻的支撑孔时，若晶舟支撑孔形状不佳，导致所述锥块（19）在进入晶舟支撑孔时受到阻力，此时所述锥块（19）与相邻所述支杆（10）之间的压力传感器检测到压力后将信号传递至控制终端，控制终端反向启动所述移动电机（12），所述移动电机（12）带动所述载物板（4）右移复位；

所述底座（1）左部的右侧密封滑动连接有挤压柱（22），所述挤压柱（22）的左侧与所述底座（1）配合形成挤压腔室（221），所述挤压腔室（221）内存放有液压油，所述连接弯块（6）内的中部密封滑动连接有分隔件（23），所述分隔件（23）位于所述伸缩件（5）活塞杆的上侧，所述分隔件（23）的上侧与所述连接弯块（6）配合形成一级调高腔室（231），所述一级调高腔室（231）与所述挤压腔室（221）之间通过导管连通，在所述载物板（4）与所述锁定柱（18）接触的同时，所述载物板（4）与所述挤压柱（22）接触，并将所述挤压柱（22）向左推动，使得所述挤压腔室（221）内的液压油通过相邻导管流向所述一级调高腔室（231），所述一级调高腔室（231）内液压油体积增大，将所述连接弯块（6）及其上所有零件向上推动，所述连接弯块（6）带动两个所述支杆（10）上移，所述支杆（10）带动晶舟上移，使晶舟与所述载物板（4）失去接触；

所述底座（1）上侧的左后部安装有与控制终端电连接的液压泵站（24），所述液压泵站（24）由液压泵和与其连通的油箱组成，所述连接弯块（6）通过连接架固接有分隔环（25），所述分隔环（25）由圆环和圆筒组成，所述转动块（7）固接有与所述分隔环（25）密封转动连接的储液件（26），所述分隔环（25）的圆筒将所述储液件（26）分隔为两部分，所述储液件（26）与所述分隔环（25）配合形成一级中转腔室（261）和二级中转腔室（262），所述一级中转腔室（261）和所述二级中转腔室（262）内均存放有液压油，所述液压泵站（24）通过导管与所述一级中转腔室（261）连通，所述主动块（9）后侧的中部固接有调宽活塞件（27），所述调宽活塞件（27）与所述转动块（7）密封滑动连接，所述调宽活塞件（27）的右侧与所述转动块（7）配合形成调宽腔室（271），所述调宽腔室（271）与所述一级中转腔室（261）之间通过导管连通，所述转动块（7）下侧的中部设置有齿轮，所述从动块（8）和所述主动块（9）的相向侧均设置有与所述转动块（7）的齿轮传动的齿条，且所述从动块（8）的齿条与所述主动块（9）的齿条中心对称分布，所述液压泵站（24）通过相邻导管向所述一级中转腔室（261）内输入液压油，所述一级中转腔室（261）内的液压油通过相邻导管流向所述调宽腔室（271），所述调宽腔室（271）内的液压油推动所述主动块（9）前移，所述主动块（9）通过相邻齿条带动所述转动块（7）的齿轮转动，所述转动块（7）的齿轮通过齿条带动所述从动块（8）后移，使得所述主动块（9）和所述从动块（8）之间的距离逐渐增大，进而两个所述支杆（10）之间的距离与晶舟上两个支撑孔的距离相等；

所述转动块（7）的后侧固接有限位活塞件（28），所述限位活塞件（28）与所述从动块（8）密封滑动连接，所述从动块（8）与所述限位活塞件（28）后部的前侧配合形成主动腔室（281），当所述从动块（8）后移时，所述主动腔室（281）体积减小，所述主动腔室（281）与所述二级中转腔室（262）之间通过导管连通，所述二级中转腔室（262）通过导管与所述一级调高腔室（231）连通，所述主动腔室（281）内存放有液压油，在所述从动块（8）后移的过程中，所述限位活塞件（28）相对于所述从动块（8）前移，挤压所述主动腔室（281）内的液压油通过相邻导管流向所述二级中转腔室（262），所述二级中转腔室（262）内的液压油通过相邻导管流向所述一级调高腔室（231），所述一级调高腔室（231）内液压油的体积增大，推动所述连接弯块（6）及其上所有零件上移，所述连接弯块（6）通过所述转动块（7）、所述从动块（8）和所述主动块（9）带动两个所述支杆（10）上移，使得所述支杆（10）与晶舟支撑孔的高度相等。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，其特征在于：所述底座（1）上侧的左部滑动连接有挤压件（29），所述挤压件（29）由圆柱和凸起组成，所述挤压件（29）与所述储液件（26）挤压配合，所述储液件（26）为椭圆形，初始时所述挤压件（29）的凸起与所述储液件（26）直径最小处接触，所述底座（1）上侧的左部固接有液囊（30），所述液囊（30）与所述挤压件（29）挤压配合，当所述储液件（26）转动时，将所述挤压件（29）向下挤压，所述挤压件（29）挤压所述液囊（30），所述液囊（30）的下侧通过导管与所述液压泵站（24）连通，所述伸缩件（5）、所述连接弯块（6）和所述分隔件（23）的下侧配合形成二级调高腔室（301），所述液囊（30）的下侧通过导管与所述二级调高腔室（301）连通，在所述液压泵站（24）通过相邻导管向所述一级中转腔室（261）内输入液压油的同时，所述液压泵站（24）通过相邻导管向所述液囊（30）内同步输入液压油，使所述液囊（30）膨胀，在所述转动块（7）通过所述支杆（10）带动晶舟转动的同时，所述转动块（7）带动所述储液件（26）转动，在晶舟顺时针转动时，所述储液件（26）逐渐将所述挤压件（29）向下挤压，所述挤压件（29）挤压所述液囊（30）内的液压油通过相邻导管进入所述二级调高腔室（301）内，所述二级调高腔室（301）内液压油体积增大，推动所述连接弯块（6）上移，所述连接弯块（6）带动晶舟上移，防止晶舟在顺时针转动时与所述载物板（4）发生碰撞，在晶舟逆时针转动时，所述储液件（26）转动逐渐失去对所述挤压件（29）的挤压，所述二级调高腔室（301）内的液压油在所述连接弯块（6）重力作用下沿相邻导管流向所述液囊（30），所述液囊（30）推动所述挤压件（29）上移，在晶舟逆时针转动复位时，所述液囊（30）推动所述挤压件（29）复位，在晶舟逆时针转动对其背面进行检测时，重复上述步骤，在晶舟逐渐与所述载物板（4）垂直的过程中，所述储液件（26）挤压所述挤压件（29），使得所述连接弯块（6）通过所述支杆（10）推动晶舟上移，当晶舟转动逐渐与所述载物板（4）平行的过程中，所述储液件（26）逐渐失去对所述挤压件（29）的挤压，使晶舟在所述连接弯块（6）和所述支杆（10）的作用下下移，保持晶舟与所述载物板（4）之间的距离。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，其特征在于：所述转动块（7）左侧的中部固接有与所述连接弯块（6）转动连接的螺旋件（31），所述连接弯块（6）上部的下侧固接有主动液压杆（32），所述主动液压杆（32）的伸缩端穿过所述连接弯块（6）并与所述螺旋件（31）挤压配合，初始时所述主动液压杆（32）的伸缩端位于所述主动液压杆（32）的中部，所述底座（1）内的左部固接有从动液压杆（33），初始时所述从动液压杆（33）的伸缩端位于其中部，所述从动液压杆（33）的伸缩端与所述伸缩件（5）固接，所述伸缩件（5）的后侧与所述底座（1）之间固接有弹簧，所述主动液压杆（32）的固定部通过导管与所述从动液压杆（33）的固定部连通，所述主动液压杆（32）和所述从动液压杆（33）内均存放有液压油；

所述螺旋件（31）由相互错位的两个半圆组成，所述螺旋件（31）与所述转动块（7）固接的位置位于其下侧半圆的偏心处，通过所述螺旋件（31）转动控制所述主动液压杆（32）的伸缩端伸缩，在对晶舟的上侧面进行检测时，所述转动块（7）顺时针转动，所述转动块（7）带动所述螺旋件（31）转动，所述螺旋件（31）对所述主动液压杆（32）伸缩端的挤压力逐渐减小，此时所述主动液压杆（32）的伸缩端沿所述螺旋件（31）滑动，所述伸缩件（5）在相邻弹簧作用下前移，所述伸缩件（5）将所述从动液压杆（33）的伸缩端向其内推动，使得所述从动液压杆（33）内的液压油通过相邻导管流向所述主动液压杆（32），使所述主动液压杆（32）的伸缩端伸出，保持所述主动液压杆（32）的伸缩端与所述螺旋件（31）的接触，在此过程中，所述伸缩件（5）带动所述连接弯块（6）前移，所述连接弯块（6）通过所述支杆（10）带动晶舟后移，使晶舟上侧后部的放置槽前移至所述检测头（3）的正下方，当需要对晶舟上侧的前部进行检测时，晶舟逆时针转动，所述转动块（7）带动所述螺旋件（31）转动，所述螺旋件（31）逐渐将所述主动液压杆（32）的伸缩端向其内推动，所述主动液压杆（32）内的液压油通过相邻导管流向所述从动液压杆（33），所述从动液压杆（33）的伸缩端伸出，所述从动液压杆（33）的伸缩端推动所述伸缩件（5）后移，压缩所述伸缩件（5）相邻的弹簧，所述伸缩件（5）带动所述连接弯块（6）后移，所述连接弯块（6）通过所述支杆（10）带动晶舟后移，使晶舟上侧前部的放置槽移动至所述检测头（3）的正下方。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置，其特征在于：还包括有设置于所述检测头（3）的防护机构，所述防护机构用于对所述检测头（3）进行保护，所述防护机构包括有防护壳（34），所述防护壳（34）固接于所述检测头（3）的下侧，所述检测头（3）的镜头位于所述防护壳（34）内，所述防护壳（34）的下侧密封滑动连接有左右镜像分布的两个防护板（35），所述防护壳（34）后侧的下部固接有防护筒（36），所述防护筒（36）内密封滑动连接有左右镜像分布的两个防护滑杆（37），所述防护滑杆（37）与相邻的所述防护板（35）固接，所述底座（1）内的后部固接有触发液压杆（38），所述触发液压杆（38）内固接有弹簧，所述触发液压杆（38）的伸缩端穿过所述底座（1）并与后侧的所述滑动杆（14）挤压配合，当后侧的所述滑动杆（14）移动到相邻所述滑槽（141）的左侧时，后侧的所述滑动杆（14）在相邻弹簧作用下后移并挤压所述触发液压杆（38）的伸缩端，所述触发液压杆（38）内存放有液压油，控制终端控制所述载物板（4）左移，当所述滑动杆（14）移动至相邻所述滑槽（141）的左侧时，后侧的所述滑动杆（14）在相邻弹簧作用下后移，后侧的所述滑动杆（14）逐渐与所述触发液压杆（38）的伸缩端接触并将其向内挤压，压缩所述触发液压杆（38）相邻弹簧，所述触发液压杆（38）内的液压油通过相邻导管进入所述防护筒（36）内，所述防护筒（36）内的液压油推动两个所述防护滑杆（37）相互远离移动，所述防护滑杆（37）带动相邻的所述防护板（35）移动，两个所述防护板（35）相互远离移动并打开所述防护壳（34），解除对所述检测头（3）的封堵，当所述载物板（4）右移时，后侧的所述滑动杆（14）逐渐与所述触发液压杆（38）的伸缩端失去接触，此时所述触发液压杆（38）的伸缩端在其内弹簧作用下前移复位，通过相邻导管将所述防护筒（36）内的液压油抽出，使两个所述防护滑杆（37）带动相邻所述防护板（35）相互靠近移动复位，将所述检测头（3）进行封堵。