CN117795227A - 滚珠丝杠装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种滚珠丝杠装置，即使在对丝杠轴或嵌合部件作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也能够有效地防止丝杠轴的嵌合轴部从嵌合部件沿轴向脱出。嵌合轴部在外周面具有沿周向配置有多个外齿的内径侧卡合部，嵌合部件在内周面具有沿周向配置有多个内齿且与上述内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部，上述内径侧卡合部与上述外径侧卡合部的卡合部在轴向的一部分具备具有径向的过盈量的部分，上述嵌合轴部在上述轴向的一方侧的端部具有与上述嵌合部件在上述轴向卡合的铆接部。

Description

滚珠丝杠装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及滚珠丝杠装置及其制造方法。

背景技术

滚珠丝杠装置使滚珠在丝杠轴与螺母之间滚动，因此相比使丝杠轴和螺母直接接触的滑动丝杠装置，可以得到较高的效率。因此，滚珠丝杠装置为了将电动马达等驱动源的旋转运动变换成直线运动而被装入汽车的电动制动装置、自动手动变速器(AMT)、机床的定位装置等各种机械装置。

滚珠丝杠装置具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的丝杠轴、在内周面具有螺旋状的螺母侧滚珠螺纹槽的螺母、以及配置于轴侧滚珠螺纹槽与螺母侧滚珠螺纹槽之间的多个滚珠。滚珠丝杠装置中，根据用途，丝杠轴和螺母中的一方作为旋转运动要素发挥功能，另一方作为直线运动要素发挥功能。

图23示出了记载于日本特开2009－286137号公报的现有构造的滚珠丝杠装置100。

滚珠丝杠装置100的丝杠轴101具有螺纹部103和配置于螺纹部103的轴向一方侧的嵌合轴部104。在螺纹部103的外周面形成有轴侧滚珠螺纹槽105。嵌合轴部104具有比螺纹部103小的外径。丝杠轴101在将螺纹部103插通螺母102的内侧的状态下，与螺母102同轴配置。

在螺母102的内周面形成有螺母侧滚珠螺纹槽(未图示)。螺母102与支撑于壳体106的多个导向杆107卡合，实现其止转。

轴侧滚珠螺纹槽105和螺母侧滚珠螺纹槽以在径向相互对置的方式配置，构成螺旋状的负载路。负载路的始点和终点通过循环机构(未图示)连接。到达了负载路的终点的滚珠通过循环机构返回到负载路的始点。负载路的始点和终点根据丝杠轴101与螺母102的轴向上的相对位移的方向(相对旋转方向)更换。

作为驱动源的电动马达108的旋转通过带轮装置109减速，并经由嵌合轴部104传递至丝杠轴101。因此，在嵌合轴部104不能相对旋转地外嵌有从动带轮110，在电动马达108的马达轴111前端部不能相对旋转地外嵌驱动带轮112，而且在驱动带轮112与从动带轮110之间挂设有皮带113。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－286137号公报

发明内容

发明所要解决的课题

采取了用于防止丝杠轴的嵌合轴部从外嵌于该嵌合轴部的用于旋转驱动丝杠轴的带轮或齿轮等的嵌合部件沿轴向脱出的措施。作为这样的措施，考虑在嵌合轴部的前端部形成铆接部等。

但是，根据滚珠丝杠装置的使用方式，有时不仅对丝杠轴或嵌合部件作用与中心轴平行的方向的拉拔力，还对丝杠轴或嵌合部件作用绕与中心轴正交的轴的力矩。当作用这样的力矩时，嵌合轴部的中心轴和嵌合部件的中心轴倾斜，仅通过形成铆接，有可能嵌合轴部从嵌合部件沿轴向脱出。

本公开的目的在于提供一种滚珠丝杠装置，即使在对丝杠轴或嵌合部件作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也能够有效地防止丝杠轴的嵌合轴部从嵌合部件沿轴向脱出。

用于解决课题的方案

本公开的一个方式的滚珠丝杠装置具备丝杠轴、螺母、多个滚珠以及嵌合部件。

上述丝杠轴具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的嵌合轴部。

上述螺母在内周面具有螺旋状的螺母侧滚珠螺纹槽。

上述多个滚珠配置于上述轴侧滚珠螺纹槽与上述螺母侧滚珠螺纹槽之间。

上述嵌合部件相对于上述嵌合轴部不能相对旋转地外嵌。

特别是，在本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述嵌合轴部在外周面具有沿周向配置有多个外齿的内径侧卡合部。

上述嵌合部件在内周面具有沿上述周向配置有多个内齿且与上述内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部。

上述内径侧卡合部与上述外径侧卡合部的卡合部在上述轴向的一部分具备具有关于径向的过盈量的部分。

上述嵌合轴部在上述轴向的上述一方侧的端部具有与上述嵌合部件在上述轴向卡合的铆接部。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述嵌合轴部具备在上述轴向的上述一方侧的端面开口的中心孔和存在于该中心孔的上述径向的外侧的筒状部，上述铆接部设置于该筒状部的上述轴向的上述一方侧的端部，且能够被按压于上述嵌合部件的上述轴向的上述一方侧的侧面。

上述中心孔能够具有朝向上述轴向的上述一方侧的底面。

上述筒状部的外周面能够被按压于上述嵌合部件的内周面。

上述铆接部能够在越朝向上述径向的上述外侧而越朝向上述轴向的上述一方侧的方向倾斜。

上述铆接部能够遍及全周地设置在上述嵌合轴部的上述轴向的上述一方侧的上述端部。该情况下，上述铆接部构成为在上述周向连续的环状。

但是，上述铆接部也能够由在上述嵌合轴部的上述轴向的上述一方侧的上述端部的上述周向的多处所配置的多个铆接部构成。该情况下，优选上述多个铆接部等间隔配置。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述铆接部能够设置于上述多个外齿中的至少一个外齿的上述轴向的上述一方侧的端部，且与上述嵌合部件的上述轴向的上述一方侧的内周缘部在上述轴向卡合。

上述铆接部能够由在上述周向的多处所配置的多个铆接部构成。上述多个铆接部优选在上述周向等间隔配置。

取而代之，上述铆接部能够由一个铆接部构成。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，具有关于上述径向的过盈量的部分，能够配置于上述卡合部中的从上述铆接部向上述轴向的另一方侧偏离的位置。

具有关于上述径向的过盈量的部分，能够配置于从上述铆接部向上述轴向的上述另一方侧分离的位置。或者，具有关于上述径向的过盈量的部分，能够配置于与上述铆接部的上述轴向的上述另一方侧相邻的位置。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述多个外齿能够具有其齿根圆直径比其他部分的齿根圆直径大的、或者其齿顶圆直径比其他部分的齿顶圆直径大的、关于上述轴向的一部分。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述多个内齿能够具有其齿根圆直径比其他部分的齿根圆直径小的、或者其齿顶圆直径比其他部分的齿顶圆直径小的、关于上述轴向的一部分。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述嵌合部件能够具有关于上述轴向对称的形状。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置中，上述嵌合部件能够由用于旋转驱动上述丝杠轴的驱动部件构成。该驱动部件能够由构成行星减速机构的行星轮架、齿轮、马达输出轴、带轮、或者链轮构成。

取而代之，上述嵌合部件能够由与上述螺母在上述周向卡合且阻止上述螺母与上述丝杠轴的相对旋转的止动件构成。而且，上述嵌合部件能够由阻止上述丝杠轴的旋转的止转部件构成。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置的制造方法涉及上述铆接部设置在上述筒状部的上述轴向的上述一方侧的端部的方式的滚珠丝杠装置的制造方法。

该滚珠丝杠装置的制造方法具有以下工序：

相对于初始丝杠轴的初始嵌合轴部外嵌嵌合部件，上述初始丝杠轴具备在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的上述初始嵌合轴部，上述初始嵌合轴部具备设置于外周面且沿周向配置有多个外齿的内径侧卡合部、在轴向的上述一方侧的端面开口的初始中心孔、以及存在于该初始中心孔的径向的外侧的初始筒状部，上述嵌合部件具有设置于内周面并在上述周向配置有多个内齿且与上述内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部；以及

通过使铆接夹具相对于上述初始丝杠轴向上述轴向的另一方侧相对移动，将设置于上述铆接夹具的外周面的加工面按压于上述初始筒状部的内周面，从而使上述初始筒状部向上述径向的上述外侧塑性变形而形成铆接部。

特别是，本公开的一方式的滚珠丝杠装置的制造方法中，上述加工面由母线相对于上述铆接夹具的中心轴的倾斜角度互不相同的圆锥面状的多个加工面构成。

上述多个加工面能够具备：第一加工面，其设置于上述铆接夹具的上述外周面中的上述轴向的上述另一方侧的端部；和第二加工面，其设置于上述铆接部的上述外周面中比上述第一加工面靠上述轴向的上述一方侧。该情况下，上述第二加工面的母线相对于上述中心轴的倾斜角度，比上述第一加工面的母线相对于上述中心轴的倾斜角度大。

上述第一加工面和上述第二加工面能够经由圆角R部或退避槽部而连接。

能够使上述铆接夹具相对于上述初始丝杠轴向上述轴向的上述另一方侧相对移动至上述铆接夹具的上述轴向的上述另一方侧的端面抵碰于上述初始中心孔的底面。

本公开的一方式的滚珠丝杠装置的制造方法涉及上述铆接部设置在上述多个外齿中的至少一个外齿的上述轴向的上述一方侧的端部的方式的滚珠丝杠装置的制造方法。

该滚珠丝杠装置的制造方法具有以下工序：

相对于初始丝杠轴的初始嵌合轴部外嵌嵌合部件，上述初始丝杠轴具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的上述初始嵌合轴部，该初始嵌合轴部具备设置于外周面且沿周向配置有多个初始外齿的初始内径侧卡合部，上述嵌合部件具有设置于内周面并在上述周向配置有多个内齿且与上述初始内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部；以及

通过使铆接夹具相对于上述初始丝杠轴向上述轴向的另一方侧相对位移，将设置于上述铆接夹具的加工面按压于上述多个初始外齿中的至少一个初始外齿的上述轴向的上述一方侧的端部，从而使上述至少一个初始外齿的上述轴向的上述一方侧的端部向径向的外侧及上述周向的两侧塑性变形而形成铆接部。

发明的效果

根据本公开的一方式的滚珠丝杠装置，即使在对丝杠轴或嵌合部件作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也能够有效地防止丝杠轴的嵌合轴部从嵌合部件沿轴向脱出。

附图说明

图1是表示在本公开的实施方式的第一例的滚珠丝杠装置组合有行星减速机构的构造的剖视图。

图2是第一例的滚珠丝杠装置的从径向的外侧且轴向的一方侧观察的局部切断立体图。

图3是第一例的滚珠丝杠装置的从上述径向的上述外侧且上述轴向的另一方侧观察的局部切断立体图。

图4是图1的局部放大图。

图5(A)及图5(B)是用于说明在第一例的滚珠丝杠装置中使用铆接夹具在丝杠轴的嵌合轴部的上述轴向的上述一方侧的端部形成铆接部的工序的剖视示意图。

图6是在第一例的滚珠丝杠装置中使用另一例的铆接夹具形成铆接部的情况的、相当于图5(A)的图。

图7(A)及图7(B)是本公开的实施方式的第二例的、相当于图5(A)及图5(B)的图。

图8(A)及图8(B)是第二例的变形例的、相当于图5(A)及图5(B)的图。

图9(A)及图9(B)是本公开的实施方式的第三例的、相当于图5(A)及图5(B)的图。

图10是本公开的实施方式的第四例的滚珠丝杠装置的立体图。

图11是第四例的、相当于图4的图。

图12是第四例的、从轴向一方侧观察丝杠轴的嵌合轴部与行星轮架的安装孔的嵌合部的端面图的局部放大图。

图13是从第四例的滚珠丝杠装置将丝杠轴取出而表示的局部放大立体图。

图14(A)～图14(D)是用于说明在第四例的滚珠丝杠装置中使用铆接夹具在丝杠轴的嵌合轴部的上述轴向的上述一方侧的端部形成铆接部的工序的剖视示意。

图15是本公开的实施方式的第五例的、相当于图4的图。

图16是本公开的实施方式的第六例的、相当于图4的图。

图17是本公开的实施方式的第七例的、相当于图4的图。

图18是本公开的实施方式的第八例的、相当于图4的图。

图19是本公开的实施方式的第九例的、相当于图4的图。

图20是本公开的实施方式的第十例的滚珠丝杠装置的剖视图。

图21是第十例的、相当于图10的图。

图22是第十例的、相当于图4的图。

图23是表示将现有的滚珠丝杠装置和带轮装置组合的构造的剖视图。

具体实施方式

[第一例]

使用图1～图6，对本公开的实施方式的第一例进行说明。

〔滚珠丝杠装置的整体结构〕

本例的滚珠丝杠装置1不限定于此，例如，在电动制动助力器装置中，用于使液压缸的活塞动作等的用途。

滚珠丝杠装置1具备丝杠轴2、螺母3、多个滚珠4以及嵌合部件5。

丝杠轴2是由作为驱动源的电动马达7经由行星减速机构8旋转驱动，且在使用时进行旋转运动的旋转运动要素。丝杠轴2插通螺母3的内侧，与螺母3同轴配置。螺母3是通过未图示的止转机构防止相对于丝杠轴2共同旋转，且在使用时进行直线运动的直线运动要素。

在丝杠轴2的外周面与螺母3的内周面之间具备螺旋状的负载路9。在负载路9可滚动地配置有多个滚珠4。当使丝杠轴2和螺母3相对旋转时，到达了负载路9的终点的滚珠4通过形成于螺母3的内周面的循环槽10返回负载路9的始点。

在以下的说明中，只要没有特别说明，轴向、径向以及周向就是指丝杠轴2的轴向、径向以及周向。另外，轴向一方侧是指图1～图5的右侧，轴向另一方侧是指图1～图5的左侧。

〈丝杠轴〉

丝杠轴2为金属制，且具有螺纹部11和配置于螺纹部11的轴向一方侧的嵌合轴部12。螺纹部11和嵌合轴部12同轴配置，且互相构成为一体。嵌合轴部12具有比螺纹部11小的外径。

螺纹部11在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽13。轴侧滚珠螺纹槽13通过对螺纹部11的外周面实施研磨加工、切削加工、轧制加工等而形成。在本例中，轴侧滚珠螺纹槽13的条数为一条，轴侧滚珠螺纹槽13的截面的槽形状(槽底形状)由哥特式弧或圆弧构成。

螺纹部11在轴向一方侧的端面具有抵碰面14，该抵碰面14具有圆环形状。抵碰面14是存在于与丝杠轴2的中心轴正交的假想平面上的平坦面。螺纹部11在轴向另一方侧的端面的径向中央部具有有底的第一中心孔15。

嵌合轴部12具有比设置于嵌合部件5的安装孔26的小径孔部54的轴向尺寸稍大的轴向尺寸。

嵌合轴部12在外周面具有内径侧卡合部16。在内径侧卡合部16，沿周向配置有多个外齿17。多个外齿17在内径侧卡合部16的整个轴向伸长，而且内径侧卡合部16在嵌合轴部12的整个轴向伸长。

在本例中，多个外齿17在内径侧卡合部16的周向等间隔配置。即，内径侧卡合部16由外花键构成。多个外齿17与螺纹部11的轴侧滚珠螺纹槽13同轴。本例中，多个外齿17分别由渐开线花键齿构成，但是也可以由方形花键齿构成。

本例中，以螺纹部11的外径为基准对多个外齿17进行花键加工，由此实现了作为驱动转矩的传递部的多个外齿17的节圆的中心与作为旋转直动变换部的轴侧滚珠螺纹槽13的中心轴的同轴度的提高。

本例中，多个外齿17的齿顶圆直径遍及轴向恒定，与之相对，如图4所示，多个外齿17的齿根圆直径并非遍及轴向恒定，而是多个外齿17的关于轴向的一部分即轴向另一方侧的端部的齿根圆直径比其他部分即从轴向一方侧的端部到靠轴向另一方的部分的齿根圆直径稍大。

更具体而言，在多个外齿17的齿根部18的轴向另一方侧的端部设有朝向径向外侧稍微凸起的隆起部19。隆起部19在包含丝杠轴2的中心轴O₂的假想平面上具有梯形的截面形状。隆起部19包括配置于轴向两侧的倾斜面和配置于轴向中间部的平坦面。隆起部19的轴向尺寸优选为多个外齿17的轴向尺寸(全长)的1/50倍～1/2倍左右。本例中为约1/5倍。

嵌合轴部12在轴向一方侧的端面的径向中央部具有作为中心孔的有底的第二中心孔21。第二中心孔21具有朝向轴向一方侧的底面(进深端面)。第二中心孔21和配置于螺纹部11的第一中心孔15彼此同轴配置。第二中心孔21的底面位于嵌合轴部12的轴向中间部，且具有圆锥凹面状。第二中心孔21具有比第一中心孔15大的内径，而且具有嵌合轴部12中的沿轴向错开铆接部32的部分的外径的1/2倍～4/5倍左右的内径。

丝杠轴2在将螺纹部11插通于螺母3的内侧的情况下，与螺母3同轴配置。在实施本公开的情况下，丝杠轴也可以除了螺纹部11以及嵌合轴部12，还具备用于外嵌固定其它部件的支撑轴部(第二嵌合轴部)等。

〈螺母〉

螺母3是金属制，且整体构成为圆筒状。螺母3在内周面具有螺旋状的螺母侧滚珠螺纹槽22。本例中，螺母3还具有循环槽10。

螺母侧滚珠螺纹槽22具有螺旋形状，通过在螺母3的内周面实施例如研磨加工、切削加工、滚压攻丝加工、切削攻丝加工等而形成。螺母侧滚珠螺纹槽22的条数与轴侧滚珠螺纹槽13同样地为一条。螺母侧滚珠螺纹槽22的截面的槽形状也与轴侧滚珠螺纹槽13同样地由哥特式弧或圆弧构成。

螺母侧滚珠螺纹槽22具有与轴侧滚珠螺纹槽13相同的导程。在将丝杠轴2的螺纹部11插通配置于螺母3的内侧的状态下，轴侧滚珠螺纹槽13和螺母侧滚珠螺纹槽22配置成在径向上对置，从而构成负载路9。

循环槽10具有大致S字形状，通过例如锻造加工(冷锻加工)形成于螺母3的内周面。循环槽10将螺母侧滚珠螺纹槽22中的在轴向上相邻的部分彼此顺滑地连接，将负载路9的始点和终点相连。到达了负载路9的终点的滚珠4通过循环槽10返回到负载路9的始点。负载路9的始点和终点根据丝杠轴2与螺母3在轴向上的相对位移的方向(相对旋转方向)而更换。

循环槽10具有大致半圆形的截面形状。循环槽10具有比滚珠4的直径稍大的槽宽，且具有能够使在循环槽10移动的滚珠4越过轴侧滚珠螺纹槽13的螺纹牙的槽深。

本例中，螺母3被用作直线运动要素，因此螺母3通过未图示的止转机构防止相对于丝杠轴2的共同旋转。在实施本公开的情况下，作为螺母的止转机构，能够采用目前已知的各种构造。例如，能够采用使设置于壳体24等固定部件的内周面的突条部(键)卡合于在螺母3的外周面沿轴向所形成的凹槽的构造等。

在实施本公开的情况下，也可以在螺母3的外周面的轴向另一方侧的端部形成外径比在轴向一方侧相邻的部分小的小径部。该情况下，例如能够在小径部外嵌固定未图示的活塞等嵌合筒。

〈滚珠〉

多个滚珠4可滚动地配置于负载路9及循环槽10。多个滚珠4分别由具有预定的直径的钢球构成。配置于负载路9的滚珠4一边承受压缩载荷一边滚动。配置于循环槽10的滚珠4不承受压缩载荷地被后续的滚珠4推动而滚动。

〈嵌合部件〉

嵌合部件5不能相对旋转地外嵌于嵌合轴部12。嵌合部件5具有圆形平板形状，且在径向中央部具有沿轴向贯通的安装孔26。安装孔26具有外径侧卡合部27。在外径侧卡合部27的内周面沿周向配置有多个内齿28。多个内齿28在外径侧卡合部27的整个轴向伸长，而且外径侧卡合部27在嵌合部件5的安装孔26的整个轴向伸长。

本例中，多个内齿28沿外径侧卡合部27的周向等间隔配置。即，外径侧卡合部27由内花键构成。本例中，多个内齿28分别由渐开线花键齿构成，但是也可以由方形花键齿构成。

本例中，多个内齿28的齿根圆直径及齿顶圆直径遍及轴向而恒定。

本例中，安装孔26由阶梯孔构成，且具有设置于轴向另一方侧的半部的小径孔部54、以及设置于轴向一方侧的半部且具有比小径孔部54的内径大的内径的大径孔部55。

本例中，外径侧卡合部27遍及小径孔部54的内周面的整个轴向而设置。

大径孔部55具有圆筒面状的内周面。大径孔部55的内径与螺纹部11的外径相同，或者比螺纹部11的外径稍小。

大径孔部55和小径孔部54由朝向轴向一方侧的圆环状的台阶面56在径向连接。台阶面56由与嵌合部件5的中心轴O₅正交的平坦面构成，且构成嵌合部件5的轴向一方侧的侧面中的径向内侧部。

本例中，嵌合部件5具有关于轴向非对称的形状。但是，在实施本公开的情况下，嵌合部件也可以具有关于轴向对称的形状。该情况下，在安装孔的轴向两侧设有大径孔部。

在嵌合部件5的外周面的轴向中间部(图示的例中，中央部)直接形成有构成滚动轴承6的内圈轨道29。即，在本例中，嵌合部件5还兼具作为构成滚动轴承6的内圈的功能，省略了构成滚动轴承6的内圈。本例中，滚动轴承6由能够支撑径向载荷及两方向的轴向载荷的深槽滚珠轴承构成，因此内圈轨道29为深槽型，其截面形状为凹圆弧形状。

本例的嵌合部件5仅对形成有内圈轨道29的嵌合部件5的外周面实施高频淬火处理以及回火处理，形成有热处理硬化层。在嵌合部件5的轴向一方侧的侧面及轴向另一方侧的侧面未形成热处理硬化层。

本例中，在嵌合部件5的外周面中的从内圈轨道29向轴向两侧偏离的部分遍及全周地形成有密封凹槽，在该密封凹槽滑动接触有密封圈的内径侧端部。但是，嵌合部件5的外周面的轴向两侧部分也可以构成为一部分圆筒面状。

嵌合部件5在径向中间部的周向多处(图示的例中，三处)具有多个支持孔30，该支持孔30用于插通保持构成行星减速机构8的小齿轮销41。多个支持孔30在周向等间隔配置。另外，多个支持孔30各自的中心轴彼此平行地配置。支持孔30由沿轴向贯通嵌合部件5的贯通孔构成，且在嵌合部件5的轴向两侧的侧面开口。但是，也可以由仅在嵌合部件5的轴向一方侧的侧面开口的有底孔构成支持孔30。

多个支持孔30各自的内径遍及轴向而恒定。穿过多个支持孔30的径向内侧的端部的假想圆的直径(内切圆直径)比螺母3的内径稍大。另外，穿过多个支持孔30的径向外侧的端部的假想圆的直径(外切圆直径)比螺母3的外径稍大。

嵌合部件5的轴向一方侧的侧面由阶梯面构成。嵌合部件5的轴向一方侧的侧面中的位于比台阶面56靠径向外侧的外径侧侧面57与台阶面56平行，且配置于比台阶面56靠轴向一方侧。但是，也可以在嵌合部件5的轴向一方侧的侧面中的包括多个支持孔30的开口部的径向中间部设置比存在于径向外侧且径向内侧的部分向轴向一方侧突出的突出部。嵌合部件5的轴向另一方侧的侧面由存在于与嵌合部件5的中心轴O₅正交的假想平面上的平坦面构成。

嵌合部件5通过向安装孔26的内侧插入构成丝杠轴2的嵌合轴部12，从而外嵌于嵌合轴部12。通过将设置于丝杠轴2的螺纹部11的抵碰面14抵碰于嵌合部件5的轴向另一方侧的侧面，实现了丝杠轴2与嵌合部件5的轴向的定位。

本例中，当向安装孔26插入嵌合轴部12时，嵌合部件5的外径侧卡合部27与嵌合轴部12的内径侧卡合部16不能相对旋转地卡合。具体而言，作为内花键齿的外径侧卡合部27的多个内齿28与作为外花键齿的内径侧卡合部16的外齿17花键卡合。

本例中，外径侧卡合部27的多个内齿28的齿顶圆直径遍及轴向而恒定，与之相对，内径侧卡合部16的多个外齿17具有其齿根圆直径比其他部分的齿根圆直径大的关于轴向的一部分、即齿根部18的隆起部19。

因此，内径侧卡合部16的多个外齿17的轴向另一方侧的端部的齿根圆直径，比外径侧卡合部27的多个内齿28的齿顶圆直径稍大，而且内径侧卡合部16的多个外齿17的从轴向一方侧的端部起靠轴向另一方的部分的齿根圆直径，比外径侧卡合部的多个内齿28的齿顶圆直径稍小。

在使内径侧卡合部16和外径侧卡合部27卡合的状态下，在设于多个外齿17的齿根部18的轴向另一方侧的端部的隆起部19与多个内齿28的齿顶面之间形成有关于径向的过盈量。

通过这样的结构，内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的轴向另一方侧的端部成为具有关于径向的过盈量的压入部31。即，作为具有关于径向的过盈量的部分的压入部31配置于内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部中的从形成于嵌合轴部12的轴向一方侧的端部的铆接部32向轴向另一方侧偏离的部分。本例中，压入部31配置于内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部中的从铆接部32向轴向另一方侧分离的部分。内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的从轴向一方侧的端部起靠轴向另一方的部分为关于径向具有稍微的间隙的间隙配合。

本例中，内径侧卡合部16和外径侧卡合部27在轴向的一部分具备具有关于径向的过盈量的部分即压入部31，从而可实现防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5沿轴向脱出的情况。

本例中，为了有效地防止嵌合轴部12从安装孔26向轴向另一方侧脱出，嵌合轴部12在轴向一方侧的端部具有铆接部32，该铆接部32在将嵌合轴部12插入安装孔26的状态下与嵌合部件5在轴向卡合。

本例中，铆接部32设置于嵌合轴部12中的存在于第二中心孔21的径向外侧的筒状部53的轴向一方侧的端部，且被按压于嵌合部件5的轴向一方侧的侧面。

更具体而言，铆接部32在嵌合轴部12的轴向一方侧的端部遍及全周地形成。即，铆接部32构成为在周向连续的圆环状。

铆接部32具有沿随着朝向径向外侧而朝向轴向一方侧的方向倾斜的大致圆锥筒形状。

铆接部32配置于在嵌合部件5所设置的大径孔部55的内侧。铆接部32的轴向另一方侧面被按压于台阶面56。本例中，台阶面56构成按压铆接部32的嵌合部件5的轴向一方侧的侧面。

铆接部32配置于比构成嵌合部件5的轴向一方侧的侧面的外径侧侧面57靠轴向另一方侧。由此，可防止铆接部32与构成行星减速机构8的太阳齿轮38、行星齿轮39等其他部件干涉。在铆接部32的径向外侧的端部与大径孔部55的内周面之间设有间隙。

本例中，内径侧卡合部16和外径侧卡合部27在轴向的一部分具备具有关于径向的过盈量的部分，即将内径侧卡合部16的轴向另一方侧的端部压入外径侧卡合部27的轴向另一方侧的端部，而且在嵌合轴部12的轴向一方侧的端部形成与嵌合部件5的台阶面56在轴向卡合的铆接部32，从而可防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5沿轴向脱出。

＜铆接部的形成＞

铆接部32通过对图5(A)所示的初始丝杠轴64实施塑性加工而形成。初始丝杠轴64具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽13的螺纹部11和配置于螺纹部11的轴向一方侧的初始嵌合轴部65，该初始嵌合轴部65具备设置于外周面且沿轴向配置有多个外齿17的内径侧卡合部16、在轴向一方侧的端面开口的初始中心孔67、以及存在于该初始中心孔67的径向外侧的初始筒状部66。初始筒状部66具有薄壁圆筒形状，且设置于初始嵌合轴部65的轴向一方侧的半部。在初始筒状部66的外周面也具备多个外齿17。例如，能够如图5(A)以及图5(B)的顺序所示地，将初始丝杠轴64的初始嵌合轴部65插入嵌合部件5的安装孔26，在将嵌合部件5外嵌于初始嵌合轴部65后，使配置于初始丝杠轴64的轴向一方侧的铆接夹具33相对于初始丝杠轴64向轴向另一方侧相对移动，从而形成铆接部32。这样，能够通过将铆接夹具33从轴向一方侧压入初始丝杠轴64的初始中心孔67而形成铆接部32。初始中心孔67具有初始嵌合轴部65的轴向尺寸的1/3倍～2/3倍左右的轴向尺寸。

此外，在形成铆接部32之前的状态下，初始丝杠轴64的初始嵌合轴部65在轴向一方侧的端部的外周缘部具有倒角部20。倒角部20形成于多个外齿17各自的轴向一方侧的端部的径向外侧的端部。倒角部20为了能够将初始嵌合轴部65相对于设置在嵌合部件5的安装孔26顺滑地插入而设置。

本例中，使铆接夹具33相对于初始丝杠轴64向轴向另一方侧相对移动，将设置于铆接夹具33的外周面的加工面按压于初始筒状部66的内周面，从而形成铆接部32。

铆接夹具33的加工面具有母线相对于铆接夹具33的中心轴O₃₃的倾斜角度互不相同的圆锥面状的多个加工面。本例中，多个加工面由铆接夹具33的外周面中的设置于轴向另一方侧的端部的第一加工面58和铆接夹具33的外周面中的在位于比第一加工面58靠轴向一方侧的部分所设置的第二加工面59构成。

第二加工面59的母线相对于铆接夹具33的中心轴O₃₃的倾斜角度θ₅₉，比第一加工面58的母线相对于铆接夹具33的中心轴O₃₃的倾斜角度θ₅₈大(θ₅₈＜θ₅₉)。

本例中，第一加工面58设于铆接夹具33的外周面的轴向另一方侧的端部，第二加工面59设于铆接夹具33的外周面中的与第一加工面58的轴向一方侧相邻的部分。另外，第二加工面59的母线相对于铆接夹具33的中心轴O₃₃的倾斜角度θ₅₉小于90度(θ₅₉＜90°)。

本例中，通过使用具有第一加工面58及第二加工面59的铆接夹具33形成铆接部32，将形成铆接部32的塑性加工分成两个阶段进行。具体而言，首先，将铆接夹具33从轴向一方侧向初始中心孔67稍微推入，将第一加工面58按压于初始筒状部66的轴向一方侧部分的内周面，从而使初始筒状部66的轴向一方侧部分朝向径向外侧稍微塑性变形。

之后，使铆接夹具33相对于初始中心孔67的推入量增大，将第一加工面58按压于初始筒状部66的轴向另一方侧部分的内周面，并且将第二加工面59按压于初始筒状部66的轴向一方侧部分。

由此，将初始筒状部66的轴向另一方侧部分扩径，将初始筒状部66的轴向另一方侧部分的外周面按压于小径孔部54的内周面，而且使初始筒状部66中的从嵌合部件5的小径孔部54向轴向一方侧突出的部分朝向径向外侧塑性变形，形成铆接部32。

在形成铆接部32后的嵌合轴部12中，筒状部53的外周面、更具体而言，设置于筒状部53的外周面的多个外齿17的外周面被按压于小径孔部54的内周面。另外，设置于初始筒状部66的轴向一方侧部分的外周面的多个外齿17在使该部分向径向外侧塑性变形时在周向被扩张，使周向宽度扩大，其一部分陷入台阶面56。即，铆接部32的轴向另一侧面被按压于台阶面56。

在实施本公开的情况下，作为铆接夹具，也能够使用在外周面仅具备一个加工面(第二加工面)的铆接夹具，也能够使用具备三个以上的加工面的铆接夹具。可替代地，也能够使用图6所示那样的铆接夹具33，该铆接夹具33具备具有圆弧状的截面形状的曲面状的加工面63。

在实施本公开的情况下，也能够替代铆接夹具33，例如，利用具备按压模具的摆动铆接装置形成铆接部32，该按压模具具有相对于丝杠轴2的中心轴O₂倾斜的自转轴。

〈滚动轴承〉

滚动轴承6具有如下的功能：能够将外嵌固定于丝杠轴2的嵌合部件5相对于壳体24旋转自如地支撑，并且能够使传递到嵌合部件5的轴向的力由壳体24支撑。

本例中，滚动轴承6由深槽滚珠轴承构成，但作为滚动轴承6，也可以应用多点接触滚珠轴承(四点接触滚珠轴承)、多列深槽滚珠轴承、多列角接触滚珠轴承、圆锥滚动轴承、多列圆锥滚珠轴承等单列或多列的能够支撑径向载荷及轴向载荷的轴承。

滚动轴承6具备外圈35、内圈轨道29以及多个滚动体36。

外圈35具有圆环形状，在内周面的轴向中央部具有外圈轨道37。外圈35相对于壳体24被内嵌固定，在使用时也不旋转。外圈轨道37是深槽型，其截面形状为凹圆弧形状。此外，在壳体24的内周面中的从内嵌有外圈35的部分沿轴向偏离的部分卡定卡环，从而能够实现外圈35的止脱。

在外圈35的内周面中，在从外圈轨道37向轴向两侧偏离的部分遍及全周地形成有卡定槽，在该卡定槽卡定有密封圈的外径侧端部。但是，外圈的内周面的轴向两侧部分也能够形成为一部分圆筒面状。

内圈轨道29直接形成于与外圈轨道37在径向上对置的嵌合部件5的外周面的轴向中间部。由此，在本例中，使嵌合部件5具有作为构成滚动轴承6的内圈的功能，省略了构成滚动轴承6的内圈。但是，也能够采用如下结构，即，将构成滚动轴承的内圈构成为与嵌合部件不同的部件，将内圈外嵌于嵌合部件。

多个滚动体36为钢制或陶瓷制，在周向等间隔地配置于外圈轨道37与内圈轨道29之间。本例中，作为滚动体36，使用滚珠。滚动轴承6也能够具备保持器，该保持器用于在周向等间隔滚动自如地保持滚动体36。

〔行星减速机构〕

行星减速机构8具备太阳齿轮38、多个行星齿轮39、齿环40、作为行星轮架发挥功能的嵌合部件5、以及小齿轮销41。

太阳齿轮38固定于电动马达7的马达轴(太阳齿轮轴)42的中间部。齿环40与太阳齿轮38同轴配置，内嵌固定于壳体24。此外，也可以将壳体24设为两分割构造，由不同的部件构成内嵌齿环40的部分和内嵌构成滚动轴承6的外圈35的部分构成。

本例中，马达轴42的轴向另一方侧的端部插入配置于铆接部32的径向内侧。

多个行星齿轮39在周向等间隔配置，相对于嵌合部件5旋转自如地支撑。具体而言，小齿轮销41的轴向另一方侧的半部压入支持孔30，小齿轮销41的轴向一方侧的半部从支持孔30向轴向一方侧突出。在小齿轮销41的轴向一方侧的半部的周围经由未图示的滑动轴承或滚针轴承(C&R)旋转自如地支撑有行星齿轮39。多个行星齿轮39分别与太阳齿轮38及齿环40啮合。

小齿轮销41相对于支持孔30的固定方法没有特别限定，也能够采用利用了铆接、卡定销等的固定构造。另外，也能够采用如下构造，即，设置支撑小齿轮销41的轴向一方侧的端部的其他行星轮架，将小齿轮销41两点支撑。

行星齿轮的数量没有特别限定，能够设为两个、三个或者四个以上。

本例中，小齿轮销41被实施淬火处理以及回火处理，在其外周面形成有热处理硬化层。

〈滚珠丝杠装置的动作说明〉

当对电动马达7通电，使太阳齿轮38沿预定方向旋转时，行星齿轮39在太阳齿轮38的周围一边自传一边公转。行星齿轮39的公转运动经由嵌合部件5传递至丝杠轴2。滚珠丝杠装置1通将丝杠轴2沿预定方向旋转驱动，使螺母3直线运动。

例如，在将太阳齿轮38向周向一方侧旋转驱动的情况下，螺母3相对于丝杠轴2向轴向一方侧相对移动，在将太阳齿轮38向周向另一方侧旋转驱动的情况下，螺母3相对于丝杠轴2向轴向另一方侧相对移动。

此外，与螺母3相对于丝杠轴2向轴向一方侧及轴向另一方侧相对移动相关的行程终端能够利用公知的行程限制机构来限制。

根据本例的滚珠丝杠装置1，即使在对丝杠轴2或嵌合部件5作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也可以有效地防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5沿轴向脱出。

铆接部32与构成嵌合部件5的轴向一方侧的侧面的台阶面56在轴向卡合，因此即使在对丝杠轴2或嵌合部件5作用与中心轴平行的拉拔力的情况下，也可以防止丝杠轴2的嵌合轴部12从安装孔26向轴向另一方侧脱出。

另外，当对丝杠轴2或嵌合部件5作用绕与中心轴正交的轴的力矩时，丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅倾斜，存在嵌合轴部12的轴向一方侧的端部的周向的一部分向安装孔26的内侧被拉入的倾向。但是，在本例中，铆接部32在轴向卡合于嵌合部件5的台阶面56，因此可以抑制嵌合轴部12的轴向一方侧的端部向安装孔26的内侧被拉入，抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅倾斜。

特别是，铆接部32通过使筒状部53向径向外侧塑性变形而形成，因此可充分确保铆接部32与台阶面56的卡合量，可有效且充分地发挥铆接部32的功能。即，可有效地防止嵌合轴部12从安装孔26脱出，而且也可以有效防止丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅倾斜。

通过存在压入部31，即使在对丝杠轴2或嵌合部件5作用与中心轴平行的拉拔力的情况下，也能够增大针对丝杠轴2和嵌合部件5在轴向相对位移的阻力，可以防止嵌合轴部12从安装孔26向轴向另一方侧脱出。另外，压入部31能够抑制嵌合轴部12相对于安装孔26的径向的晃动，因此可以抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅的倾斜。

因此，即使在由于施加于嵌合部件5的轴向的力而对嵌合部件5作用图4中箭头X所示那样的、使嵌合部件5的中心轴O₅相对于丝杠轴2的中心轴O₂倾斜的、绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，通过铆接部32及压入部31，也能够抑制嵌合部件5的中心轴O₅相对于丝杠轴2的中心轴O₂倾斜，能够防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5沿轴向脱出。

即使在对丝杠轴2作用图4中箭头Y所示那样的、使丝杠轴2的中心轴O₂相对于嵌合部件5的中心轴O₅倾斜的、绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，通过铆接部32及压入部31，也能够抑制丝杠轴2的中心轴O₂相对于嵌合部件5的中心轴O₅倾斜，能够防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5沿轴向脱出。

本例中，在内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部中的从铆接部32向轴向另一方侧分离的位置即轴向另一方侧的端部设有压入部31。即，铆接部32和压入部31在轴向分开配置。从而，能够缩小对丝杠轴2或嵌合部件5作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下的丝杠轴2的中心轴O₂与嵌合部件5的中心轴O₅的倾斜角度。

另外，在嵌合轴部12向安装孔26插入的作业的最终阶段，将内径侧卡合部16的轴向另一方侧的端部压入外径侧卡合部27的轴向另一方侧的端部，因此，可实现嵌合轴部12向安装孔26的插入作业的作业性的提高。

在本例中，铆接部32在嵌合轴部12的轴向一方侧的端部遍及全周地形成，因此与对丝杠轴2或嵌合部件5施加的绕与中心轴正交的轴的力矩的方向无关，都可抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅倾斜。

本例中，在形成铆接部32时，将筒状部53的轴向另一方侧半部的外周面按压于小径孔部54的内周面，由此，即使在对丝杠轴2或嵌合部件5作用与中心轴平行的拉拔力的情况下，也能够增大针对丝杠轴2和嵌合部件5在轴向相对位移的阻力，可以防止嵌合轴部12从安装孔26向轴向另一方侧脱出。另外，相对于小径孔部54的内周面的筒状部53的轴向另一方侧半部的外周面的按压部能够抑制嵌合轴部12相对于安装孔26的径向的晃动，因此可以有效地抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5的中心轴O₅倾斜。

本例中，扩大了在铆接部32的外周面所设置的外齿17的周向宽度，因此即使在由于长期的使用而铆接部32的外周面从嵌合部件5的台阶面56分离的情况下，外齿17也难以在周向相邻的内齿28彼此之间沿轴向移动，因此能够防止嵌合轴部12从嵌合部件5向轴向另一方侧脱出。

本例中，由于在铆接夹具33的外周面所设置的第二加工面59的倾斜角度θ₅₉小于90°，因此能够防止使铆接夹具33相对于丝杠轴2向轴向另一方侧相对移动而使筒状部53塑性变形所需的铆接载荷过大。

本例中，在嵌合部件5的外周面直接形成构成滚动轴承6的内圈轨道29，省略了构成滚动轴承6的内圈，因此实现了零件个数的降低、组装工时的降低以及组装性的提高。另外，在嵌合部件5外嵌固定分体的内圈的情况下，需要用于向嵌合部件5的外周面传递轴向的力的凸边部，但是，在本例中，也不需要这样的凸边部，实现了加工工时的降低。

本例中，不需要凸边部，因此只要仅对嵌合部件5中包含内圈轨道29的外周面形成热处理硬化层即可。由此，无需对嵌合部件5的轴向侧面实施用于形成支持孔30的冲孔加工时的热处理硬化层的去除加工，实现了加工工时的降低。

本例中，能够将传递到嵌合部件5的轴向的力经由滚动轴承6由壳体24承担。具体而言，可以防止在旋转驱动丝杠轴2时，从螺母3经由滚珠4作用于丝杠轴2的轴向的反作用力传递至行星齿轮39与太阳齿轮38及齿环40的啮合部。

另外，在由于确保声振性能等理由而使用斜齿轮作为行星齿轮39的情况下，对嵌合部件5作用轴向的力，但是，可以防止这样的轴向的力传递至滚珠4与轴侧滚珠螺纹槽13及螺母侧滚珠螺纹槽22的接触部。

[第二例]

使用图7(A)及图7(B)对本公开的实施方式的第二例进行说明。

本例中，对第一例的构造仅变更了铆接夹具33a的外周面的形状。本例中，设置于铆接夹具33a的外周面的加工面具有第一加工面58、第二加工面59以及退避槽部60。第一加工面58和第二加工面59经由退避槽部60连接。换言之，铆接夹具33a在设置于外周面的加工面中的第一加工面58与第二加工面59之间的部分具有退避槽部60。

退避槽部60具有凹圆弧状的截面形状。退避槽部60的曲率半径比铆接夹具33a的轴向另一方侧的端面(前端面)的外径充分小。

本例中，在通过使铆接夹具33相对于初始丝杠轴64向轴向另一方侧相对移动，并将设置于铆接夹具33的外周面的加工面按压于初始筒状部66的内周面而形成铆接部32时，能够使退避槽部60与连接初始筒状部66的轴向一方侧侧半部和初始筒状部66的轴向另一方侧半部的弯曲部61的内周面对置，不接触铆接夹具33a的外周面即可完成，因此，对弯曲部61不施加外力即可完成。

根据本例，能够防止弯曲部61的壁厚过度变小，能够确保弯曲部61的壁厚，因此，容易确保铆接部32的强度。

第二例的其他结构及作用效果与第一例相同。

在第二例的变形例中，如图8(A)及图8(B)所示，设置于铆接夹具33b的外周面的加工面具有第一加工面58、第二加工面59以及圆角R部62。圆角R部62将第一加工面58和第二加工面59平滑地连接。圆角R部62的曲率半径比退避槽部60的曲率半径充分大。

在使用本例的铆接夹具33b形成铆接部32时，设置于铆接夹具33b的外周面的加工面中的圆角R部62被按压于弯曲部61的内周面。因此，能够实现弯曲部61的壁厚的均匀化，并且能够对弯曲部61施加压缩应力，因此，可以抑制弯曲部61产生裂纹等。

[第三例]

使用图9(A)及图9(B)对本公开的实施方式的第三例进行说明。

在本例中，对第一例的方法变更了铆接部32的形成方法。本例中，利用铆接夹具33的轴向另一方侧的端面和初始中心孔67(第二中心孔21)的底面限制铆接夹具33向轴向另一方侧的移动量、即铆接夹具33向初始中心孔67的推入量。

具体而言，在使铆接夹具33相对于初始丝杠轴64向轴向另一方侧相对移动时，使铆接夹具33相对于丝杠轴2向轴向另一方侧移动至铆接夹具33的轴向另一方侧的端面(前端面)抵碰于初始中心孔67的底面。铆接夹具33的轴向另一方侧的端面与初始中心孔67的底面抵碰的位置是铆接夹具33的停止位置。在本例中，以在铆接夹具33的轴向另一方侧的端面与初始中心孔67的底面抵碰的位置适当地形成铆接部32的方式限制各部的尺寸。

在本例中，为了严格地限制铆接夹具33的停止位置，由存在于与丝杠轴2的中心轴O₂正交的假想平面上的平坦面构成初始中心孔67(第二中心孔21)的底面，而且由存在于与铆接夹具33的中心轴O₃₃正交的假想平面上的平坦面构成铆接夹具33的轴向另一方侧的端面，因此，平坦面彼此抵碰。

根据本例，可以防止铆接夹具33相对于初始丝杠轴64向轴向另一方侧相对移动所需以上，因此，容易实现铆接部32的壁厚到适当的厚度的限制。特别是可以防止铆接部32的弯曲部61的厚度过小。另外，相反地，由于铆接夹具33向轴向另一方侧的移动力不足而在铆接部32的外周面与嵌合部件5的台阶面56之间产生间隙这样的情况也可以被防止。

第三例的其他结构及作用效果与第一例相同。

[第四例]

使用图10～图14(D)对本公开的实施方式的第四例进行说明。

本例中，铆接部32a的构造与第一例～第三例的构造不同。本例中，对于铆接部32a，不是通过使初始筒状部66的轴向一方侧部分塑性变形来形成筒状部53的轴向一端部，而是仅使多个外齿17中的至少一个外齿17的轴向一方侧的端部塑性变形而形成。

具体而言，在将嵌合轴部12插入安装孔26的状态下，从安装孔26沿轴向突出的多个外齿17中的至少一个外齿17具有形成于轴向一方侧的端部且与嵌合部件5的轴向一方侧的内周缘部在轴向卡合的铆接部32a。

如图12所示，铆接部32a从至少一个外齿17向径向外侧及周向两侧突出，且在沿轴向观察时，具有大致U字形状。

铆接部32a在轴向及径向分别无间隙地被按压于嵌合部件5a的轴向一方侧的内周缘部。即，铆接部32a在轴向分别被按压于嵌合部件5a的轴向一方侧的侧面中的关于周向的相位与内齿28的齿根部一致的部分的径向内侧的端部及内齿28的轴向一方侧的端面，而且在径向被按压于内齿28的齿根部。

本例中，铆接部32a形成于多个外齿17中的全部的外齿17。即，铆接部32a由多个铆接部32a构成。多个铆接部32a在周向等间隔配置。

本例中，丝杠轴2的嵌合轴部12在轴向一方侧的端部的外周缘部具有倒角部20。倒角部20形成于多个外齿17各自的轴向一方侧的端部的径向外侧的端部。

特别是，在本例中，为了确保铆接部32a的体积(壁)，形成于嵌合轴部12(筒状部53)的轴向一方侧的端部的外周缘部的倒角部20的倒角的大小被抑制得比一般的倒角部的倒角的大小小。具体而言，倒角部20通过C倒角或轻倒角而构成，水平方向及垂直方向的倒角的大小为轻倒角0.05mm～0.2mm左右。

本例中，螺母3a在外周面的轴向一方侧的端部具有向外凸缘状的凸边部23。在凸边部23的周向多处具备卡合槽25(参照图10)，该卡合槽25用于与设置于壳体24等固定部件的未图示的止转部件卡合而防止螺母3a的共同旋转。

本例中，嵌合部件5a在安装孔26a的内周面的整个轴向具有外径侧卡合部27。安装孔26a不具有第一例的安装孔26所具备的大径孔部，并非阶梯孔。另外，嵌合部件5a具有关于轴向对称的形状。

铆接部32a通过对图14(A)所示那样的初始丝杠轴64a实施塑性加工而形成。初始丝杠轴64a具备在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽13的螺纹部11和配置于螺纹部11的轴向一方侧的初始嵌合轴部65a，该初始嵌合轴部65a具备设置于外周面且沿周向配置有多个初始外齿68的初始内径侧卡合部69。

例如，能够如图14(A)～图14(D)的顺序所示地，将初始丝杠轴64a的初始嵌合轴部65a插入嵌合部件5a的安装孔26a，在将嵌合部件5a外嵌于初始嵌合轴部65之后，使配置于初始丝杠轴64a的轴向一方侧的铆接夹具33c相对于初始丝杠轴64a向轴向另一方侧相对移动，从而形成铆接部32a。

铆接部32a通过使至少一个初始外齿68的轴向一方侧的端部朝向径向外侧及周向两侧塑性变形而形成。

本例中，使铆接夹具33c相对于初始丝杠轴64a向轴向另一方侧相对移动，将设置于铆接夹具33c的轴向另一方侧的侧面的加工面34按压于构成初始内径侧卡合部69的多个初始外齿68中的至少一个初始外齿68的轴向一方侧的端部，从而形成铆接部32a。

铆接夹具33c的加工面34由沿随着朝向轴向另一方侧而朝向径向外侧的方向倾斜的倾斜面构成。本例中，铆接部32a形成于全部的外齿17，因此加工面34由随着朝向轴向另一方侧而内径变大的圆锥台面构成。

本例中，通过使用具有加工面34的铆接夹具33c，同时形成多个铆接部32a。具体而言，通过将铆接夹具33c的加工面34按压于多个初始外齿68中的从嵌合部件5a的轴向一方侧的侧面突出的轴向一方侧的端部，使多个初始外齿68的轴向一方侧的端部朝向径向外侧及周向两侧塑性变形，形成多个铆接部32a。

根据本例，即使在对丝杠轴2或嵌合部件5a作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也可有效地防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件5a沿轴向脱出。

铆接部32a与嵌合部件5a的轴向一方侧的内周缘部在轴向卡合，因此在对丝杠轴2或嵌合部件5a作用与中心轴平行的拉拔力的情况下，也可防止丝杠轴2的嵌合轴部12从安装孔26a向轴向另一方侧脱出。

另外，铆接部32a在轴向卡合于嵌合部件5a的轴向一方侧的内周缘部，因此即使在对丝杠轴2或嵌合部件5a作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也可抑制嵌合轴部12的轴向一方侧的端部向安装孔26a的内侧被拉入，可抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5a的中心轴O₅倾斜。

本例中，铆接部32a由多个铆接部32a构成，因此能够缩小作用于各个铆接部32a的应力。另外，与对丝杠轴2或嵌合部件5a施加的绕与中心轴正交的轴的力矩的作用方向无关，都能够抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5a的中心轴O₅倾斜。

多个铆接部32a沿周向等间隔配置，可以抑制对一部分铆接部32a作用较大的应力，而且可以抑制丝杠轴2及嵌合部件5a的旋转平衡的破坏。

本例中，形成于嵌合轴部12的外周缘部的倒角部20的倒角的大小比一般的倒角部的倒角的大小小，因此可以兼顾嵌合轴部12的插入作业的作业性的确保和铆接部32a的体积确保。

本例中，铆接部32a形成为从多个外齿17中的至少一个外齿17向径向外侧及周向两侧突出，因此可以充分实现铆接部32a与嵌合部件5a的轴向一方侧的内周缘部的卡合，可以有效且充分地发挥铆接部32a的功能。即，通过铆接部32a，可以有效防止嵌合轴部12从安装孔26a脱出，而且可以有效抑制丝杠轴2的中心轴O₂和嵌合部件5a的中心轴O₅倾斜。

在本例中，铆接部32a仅形成于外齿17的轴向一方侧的端部，为了形成铆接部32a而所需的铆接载荷充分小，因此实现了滚珠丝杠装置1的制造成本的降低。另外，嵌合部件5a在轴向上具有对称形状，因此嵌合部件5a在轴向没有方向性，因此组装方向的限制被缓解，实现了滚珠丝杠装置1的组装性的提高。

[第五例]

使用图15对本公开的实施方式的第五例进行说明。

本例中，对第四例的构造仅变更了形成于多个外齿17的齿根部18的隆起部19a的形状。本例中，隆起部19a具有三角形状的截面形状。隆起部19a包括配置于轴向两侧的倾斜面和配置于轴向中间部的角部。

将隆起部19a的截面形状设为三角形状，从而与第一例～第四例那样将隆起部19(参照图4、图11)的截面形状设为梯形的情况相比，能够容易地进行外齿17的齿根部18的加工。另外，在使隆起部19a的径向的高度尺寸与第一例～第四例的构造的隆起部19的径向的高度尺寸相同的情况下，能够增大轴向一方侧的倾斜面的轴向尺寸，因此能够减小向安装孔26a插入嵌合轴部12时的压入载荷。

第五例的其他结构及作用效果与第一例及第四例相同。

[第六例]

使用图16对本公开的实施方式的第六例进行说明。

本例中，对第四例的构造仅变更了外齿17的齿根部18a的形状。本例中，齿根部18a的整个轴向由倾斜面构成。

多个外齿17的齿根圆直径随着从轴向一方侧朝向轴向另一方侧而变大。多个外齿17的轴向另一方侧的端部处的齿根圆直径比从轴向一方侧的端部靠轴向另一方的部分处的齿根圆直径大。多个外齿17的轴向另一方侧的端部处的齿根圆直径比多个内齿28的齿顶圆直径稍大，而且多个外齿17的从轴向一方侧的端部靠轴向另一方的部分处的齿根圆直径比内齿28的齿顶圆直径小。

即，在多个外齿17的齿根部18a的轴向另一方侧的端部形成有截面形状为三角形状的隆起部19b，而且在从轴向一方侧的端部靠轴向另一方的部分以与隆起部19b平滑地连接的方式形成有朝向径向内侧凹陷的截面形状为三角形状的凹部43。

本例中，能够容易地进行多个外齿17的齿根部18a的加工，因此实现了丝杠轴2的加工成本的降低。

第六例的其他结构及作用效果与第一例及第四例相同。

[第七例]

使用图17对本公开的实施方式的第七例进行说明。

本例中，多个外齿17的齿根圆直径遍及轴向恒定。取而代之，多个外齿17的齿顶圆直径并非遍及轴向恒定，而是作为关于轴向的一部分的轴向另一方侧的端部的齿顶圆直径比作为其他部分的从轴向一方侧的端部偏靠轴向另一方的部分处的齿顶圆直径稍大。

具体而言，多个外齿17的轴向另一方侧的端部处的齿顶圆直径比多个内齿28的齿根圆直径稍大，而且多个外齿17的从轴向一方侧的端部偏靠轴向另一方的部分处的齿顶圆直径比多个内齿28的齿根圆直径稍小。即，在多个外齿17的齿顶部44的轴向另一方侧的端部设有朝向径向外侧稍微凸起的隆起部45。

本例中，在使内径侧卡合部16和外径侧卡合部27卡合的状态下，在多个内齿28的齿根面与设于外齿17的齿顶部44的隆起部45之间形成有关径向的过盈量。因此，内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的轴向另一方侧的端部为具有关于径向的过盈量的压入部31a。内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的从轴向一方侧的端部偏靠轴向另一方的部分为关于径向具有稍微的间隙的间隙配合。

本例中，隆起部45设于多个外齿17的齿顶部44，因此可实现隆起部45的加工性及形状的自由度的提高。

第七例的其他结构及作用效果与第一例及第四例相同。

[第八例]

使用图18对本公开的实施方式的第八例进行说明。

本例中，多个外齿17的齿根圆直径及齿顶圆直径遍及轴向恒定。取而代之，多个内齿28的齿根圆直径并非遍及轴向恒定，作为关于轴向的一部分的轴向一方侧的端部的齿根圆直径比作为其他部分的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分的齿根圆直径稍小。

具体而言，多个内齿28的轴向一方侧的端部处的齿根圆直径比多个外齿17的齿顶圆直径稍小，而且多个内齿28的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分处的齿根圆直径比外齿17的齿顶圆直径稍大。即，在多个内齿28的齿根部46的轴向一方侧的端部设有朝向径向内侧稍微凸起的隆起部47。

本例中，在使内径侧卡合部16和外径侧卡合部27卡合的状态下，在设于多个内齿28的齿根部46的轴向一方侧的端部的隆起部47与多个外齿17的齿顶面之间形成有关径向的过盈量。因此，内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的轴向一方侧的端部为具有关于径向的过盈量的压入部31b。

即，具有关于径向的过盈量的部分的压入部31b配置于内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部中的从铆接部32a向轴向另一方侧偏离的部分。具体而言，在本例中，压入部31b配置于内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部中的与铆接部32a的轴向另一方侧相邻的部分。内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分为关于径向具有稍微的间隙的间隙配合。

本例中，隆起部47形成于嵌合部件5a的外径侧卡合部27而非丝杠轴2的内径侧卡合部16，因此能够使外齿17的齿根圆直径以及齿顶圆直径遍及轴向恒定。因此，实现了丝杠轴2的加工成本的降低。另外，在多个内齿28的轴向一方侧的端部设有隆起部47，因此可实现向安装孔26a插入嵌合轴部12的作业的作业性的提高。

但是，多个内齿28的隆起部47也能够设于从设于多个外齿17的至少一个的铆接部在轴向分离的位置、即内径侧卡合部的轴向另一方侧的端部。

第五例的其他结构及作用效果与第一例及第四例相同。

[第九例]

使用图19对本公开的实施方式的第九例进行说明。

本例中，多个内齿28的齿根圆直径遍及轴向恒定。取而代之，多个内齿28的齿顶圆直径并非遍及轴向恒定，而是作为轴向的一部分的轴向一方侧的端部的齿顶圆直径比作其他的部分的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分处的齿顶圆直径稍小。

具体而言，多个内齿28的轴向一方侧的端部处的齿顶圆直径比多个外齿17的齿根圆直径稍小，而且多个内齿28的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分处的齿顶圆直径比多个外齿17的齿根圆直径稍大。即，在多个内齿28的齿顶部48的轴向一方侧的端部设有朝向径向内侧稍微凸起的隆起部49。

本例中，在使内径侧卡合部16和外径侧卡合部27卡合的状态下，在设于多个内齿28的齿顶部48的轴向一方侧的端部的隆起部49与多个外齿17的齿根面之间形成有关径向的过盈量。因此，内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的轴向一方侧的端部为具有关于径向的过盈量的压入部31c。内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的从轴向另一方侧的端部靠轴向一方的部分为关于径向具有稍微的间隙的间隙配合。

本例中，隆起部49设于多个内齿28的齿顶部48，因此可实现隆起部49的加工性及隆起部49的形状的自由度的提高。

第九例的其他结构及作用效果与第一例、第四例以及第八例相同。

[第十例]

使用图20～图22对本公开的实施方式的第十例进行说明。

在本例的滚珠丝杠装置1a中，嵌合部件50由齿轮构成。

构成嵌合部件50的齿轮是通过将从驱动源经由其他齿轮所输入的转矩传递至丝杠轴2而旋转驱动丝杠轴2的驱动部件。

本例中，嵌合部件50由正齿轮构成，且具有圆形平板形状。嵌合部件50在径向中央部具有沿轴向贯通的安装孔51。安装孔51具有外径侧卡合部27。嵌合部件50具有关于轴向对称的形状。

在外径侧卡合部27的内周面沿周向等间隔地配置有多个内齿28。多个内齿28在外径侧卡合部27的整个轴向伸长，而且外径侧卡合部27在嵌合部件50的安装孔51的整个轴向伸长。多个内齿28的齿根圆直径及齿顶圆直径遍及轴向恒定。

本例中，设置于丝杠轴2的嵌合轴部12的外周面的多个外齿17的齿根圆直径也并非遍及轴向恒定，作为轴向的一部分的轴向另一方侧的端部的齿根圆直径比作为其他部分的从轴向一方侧的端部靠轴向另一方的部分处的齿根圆直径稍大。

在嵌合部件50的外周面遍及全周地形成有与其他齿轮啮合的齿部52。

本例中，嵌合部件50也与第一例同样地相对于嵌合轴部12外嵌固定，外径侧卡合部27和内径侧卡合部16不能相对旋转地卡合，而且多个内齿28和多个外齿17卡合。

另外，在使内径侧卡合部16和外径侧卡合部27卡合的状态下，在多个内齿28的齿顶面与设于多个外齿17的齿根部18的轴向另一方侧的端部的隆起部19之间形成有关径向的过盈量。因此，内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的轴向另一方侧的端部为具有关于径向的过盈量的压入部31。内径侧卡合部16与外径侧卡合部27的卡合部的从轴向一方侧的端部靠轴向另一方的部分为关于径向具有稍微的间隙的间隙配合。

而且，在将嵌合轴部12插入安装孔51的状态下，在多个外齿17中的至少一个外齿17的轴向一方侧的端部形成有铆接部32a。本例中，铆接部32a也形成于多个外齿17的全部外齿17，多个铆接部32a沿周向等间隔配置。

本例中，也通过使多个外齿17中的至少一个外齿17的轴向一方侧的端部朝向径向外侧以及周向两侧塑性变形而形成铆接部32a。铆接部32a从外齿17向径向外侧及周向两侧突出。

铆接部32a与嵌合部件50的轴向一方侧的内周缘部在轴向卡合，而且在轴向及径向无间隙地被按压于嵌合部件50的轴向一方侧的内周缘部。

在本例也设有铆接部32a和压入部31这两方，因此，例如，通过由斜齿轮构成嵌合部件50，即使在对嵌合部件50作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下、或者对丝杠轴2作用绕与中心轴正交的轴的力矩的情况下，也能够有效防止丝杠轴2的嵌合轴部12从嵌合部件50沿轴向脱出。

第十例的其他结构及作用效果与第一例及第四例相同。

以上，对本公开的实施方式进行了说明，但本公开不限定于此，能够在不脱离其技术思想的范围内适当变更。另外，本公开的实施方式的各例的构造只要不产生矛盾，就能够适当组合实施。

本公开的实施方式的各例的构造中，采用了外花键齿作为构成内径侧卡合部的多个外齿，而且采用了内花键齿作为构成外径侧卡合部的多个内齿，但是，在实施本公开的情况下，也能够取而代之采用外锯齿形齿作为多个外齿，而且采用内锯齿形齿作为多个内齿。

本公开的实施方式的各例的构造中，循环槽直接形成于螺母的内周面，但是，在实施本公开的情况下，也可以将循环槽形成于与螺母分体的循环部件，并将该循环部件相对于螺母固定。作为循环部件，例如能够采用板牙式、管式、末端反相器式等任意的形式。

本公开的实施方式的各例的构造中，作为嵌合部件，采用了构成行星减速机构的行星轮架或齿轮，但是在实施本公开的情况下，也能够采用作为旋转驱动丝杠轴的驱动部件发挥功能的齿轮、马达输出轴、带轮或链轮等作为嵌合部件。另外，作为嵌合部件，也能够采用通过与螺母在周向卡合而阻止螺母与丝杠轴的相对旋转的止动件。而且，在将螺母用作旋转运动要素并且将丝杠轴用作直线运动要素的情况下，也能够采用阻止丝杠轴的共同旋转的止转部件作为嵌合部件。

符号说明

1、1a—滚珠丝杠装置，2、2a—丝杠轴，3、3a—螺母，4—滚珠，5、5a—嵌合部件，6—滚动轴承，7—电动马达，8—行星减速机构，9—负载路，10—循环槽，11—螺纹部，12—嵌合轴部，13—轴侧滚珠螺纹槽，14—抵碰面，15—第一中心孔，16—内径侧卡合部，17—外齿，18、18a—齿根部，19、19a、19b—隆起部，20—倒角部，21—第二中心孔，22—螺母侧滚珠螺纹槽，23—凸边部，24—壳体，25—卡合槽，26、26a—安装孔，27—外径侧卡合部，28—内齿，29—内圈轨道，30—支持孔，31、31a～31c—压入部，32、32a—铆接部，33、33a、33b、33c—铆接夹具，34—加工面，35—外圈，36—滚动体，37—外圈轨道，38—太阳齿轮，39—行星齿轮，40—齿环，41—小齿轮销，42—马达轴，43—凹部，44—齿顶部，45—隆起部，46—齿根部，47—隆起部，48—齿顶部，49—隆起部，50—嵌合部件，51—安装孔，52—齿部，53—筒状部，54—小径孔部，55—大径孔部，56—台阶面，57—外径侧侧面，58—第一加工面，59—第二加工面，60—退避槽部，61—弯曲部，62—圆角R部，63—加工面，64、64a—初始丝杠轴，65、65a—初始嵌合轴部，66—初始筒状部，67—初始中心孔，68—初始外齿，69—初始内径侧卡合部，100—滚珠丝杠装置，101—丝杠轴，102—螺母，103—螺纹部，104—嵌合轴部，105—轴侧滚珠螺纹槽，106—壳体，107—导向杆，108—电动马达，109—带轮装置，110—从动带轮，111—马达轴，112—驱动带轮，113—皮带。

Claims (14)

1.一种滚珠丝杠装置，其特征在于，具备：

丝杠轴，其具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的嵌合轴部；

螺母，其在内周面具有螺旋状的螺母侧滚珠螺纹槽；

多个滚珠，其配置于上述轴侧滚珠螺纹槽与上述螺母侧滚珠螺纹槽之间；以及

嵌合部件，其相对于上述嵌合轴部不能相对旋转地外嵌，

上述嵌合轴部在外周面具有沿周向配置有多个外齿的内径侧卡合部，

上述嵌合部件在内周面具有沿上述周向配置有多个内齿且与上述内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部，

上述内径侧卡合部与上述外径侧卡合部的卡合部在上述轴向的一部分具备具有关于径向的过盈量的部分，

上述嵌合轴部在上述轴向的上述一方侧的端部具有与上述嵌合部件在上述轴向卡合的铆接部。

2.根据权利要求1所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述嵌合轴部具备在上述轴向的上述一方侧的端面开口的中心孔和存在于该中心孔的上述径向的外侧的筒状部，

上述铆接部设置于该筒状部的上述轴向的上述一方侧的端部，且被按压于上述嵌合部件的上述轴向的上述一方侧的侧面。

3.根据权利要求2所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述筒状部的外周面被按压于上述嵌合部件的内周面。

4.根据权利要求3所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述铆接部在越朝向上述径向的上述外侧而越朝向上述轴向的上述一方侧的方向倾斜。

5.根据权利要求2或3所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述铆接部遍及全周地设置在上述嵌合轴部的上述轴向的上述一方侧的上述端部。

6.根据权利要求1所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述铆接部形成于上述多个外齿中的至少一个外齿的上述轴向的上述一方侧的端部，且与上述嵌合部件的上述轴向的上述一方侧的内周缘部在上述轴向卡合。

7.根据权利要求6所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述铆接部由配置于上述周向的多处的多个铆接部构成。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

具有关于上述径向的过盈量的部分，配置于上述卡合部中的从上述铆接部向上述轴向的另一方侧偏离的位置。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述多个外齿具有其齿根圆直径比其他部分的齿根圆直径大的、或者其齿顶圆直径比其他部分的齿顶圆直径大的、关于上述轴向的一部分。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述多个内齿具有其齿根圆直径比其他部分的齿根圆直径小的、或者其齿顶圆直径比其他部分的齿顶圆直径小的、关于上述轴向的一部分。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的滚珠丝杠装置，其特征在于，

上述嵌合部件具有关于上述轴向对称的形状。

12.一种滚珠丝杠装置的制造方法，是权利要求2～5中的任一项所记载的滚珠丝杠装置的制造方法，

该滚珠丝杠装置的制造方法的特征在于，具有以下工序：

相对于初始丝杠轴的初始嵌合轴部外嵌嵌合部件，上述初始丝杠轴具备在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的上述初始嵌合轴部，上述初始嵌合轴部具备设置于外周面且沿周向配置有多个外齿的内径侧卡合部、在轴向的上述一方侧的端面开口的初始中心孔、以及存在于该初始中心孔的径向的外侧的初始筒状部，上述嵌合部件具有设置于内周面并在上述周向配置有多个内齿且与上述内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部；以及

通过使铆接夹具相对于上述初始丝杠轴向上述轴向的另一方侧相对移动，将设置于上述铆接夹具的外周面的加工面按压于上述初始筒状部的内周面，从而使上述初始筒状部向上述径向的上述外侧塑性变形而形成铆接部，

上述加工面由母线相对于上述铆接夹具的中心轴的倾斜角度互不相同的圆锥面状的多个加工面构成。

13.根据权利要求12所述的滚珠丝杠装置的制造方法，其特征在于，

上述多个加工面具备：第一加工面，其设置于上述铆接夹具的上述外周面中的上述轴向的上述另一方侧的端部；和第二加工面，其设置于上述铆接夹具的上述外周面中位于比上述第一加工面靠上述轴向的上述一方侧的部分，

上述第二加工面的母线相对于上述中心轴的倾斜角度，比上述第一加工面的母线相对于上述中心轴的倾斜角度大。

14.一种滚珠丝杠装置的制造方法，是权利要求6或7所记载的滚珠丝杠装置的制造方法，

该滚珠丝杠装置的制造方法的特征在于，具有以下工序：

相对于初始丝杠轴的初始嵌合轴部外嵌嵌合部件，上述初始丝杠轴具有在外周面具有螺旋状的轴侧滚珠螺纹槽的螺纹部和配置于上述螺纹部的轴向的一方侧的上述初始嵌合轴部，该初始嵌合轴部具备设置于外周面且沿周向配置有多个初始外齿的初始内径侧卡合部，上述嵌合部件具有设置于内周面并在上述周向配置有多个内齿且与上述初始内径侧卡合部卡合的外径侧卡合部；以及

通过使铆接夹具相对于上述初始丝杠轴向上述轴向的另一方侧相对位移，将设置于上述铆接夹具的加工面按压于上述多个初始外齿中的至少一个初始外齿的上述轴向的上述一方侧的端部，从而使上述至少一个初始外齿的上述轴向的上述一方侧的端部向径向的外侧及上述周向的两侧塑性变形而形成铆接部。