CN117686186A - 振镜性能检测系统、方法和存储介质 - Google Patents
振镜性能检测系统、方法和存储介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117686186A CN117686186A CN202211080053.XA CN202211080053A CN117686186A CN 117686186 A CN117686186 A CN 117686186A CN 202211080053 A CN202211080053 A CN 202211080053A CN 117686186 A CN117686186 A CN 117686186A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- vibrating mirror
- galvanometer
- control module
- performance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 188
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 92
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 41
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 30
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 14
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004556 laser interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本申请涉及一种振镜性能检测系统、方法和存储介质。该系统包括：控制模块，用于对激光器和/或振镜的参数进行控制；激光器，用于响应于控制模块的控制，发射第一激光；振镜，用于响应于控制模块的控制，利用第一激光，发射第二激光，第二激光用于在样品上形成标记；检测模块，用于对标记进行分析，得到分析结果，分析结果指示振镜的性能。根据本申请实施例，可以实现对于振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。同时，可以更加快速的对振镜性能进行检测，成本低、操作简单，且可检测的性能指标更多。
Description
技术领域
本申请涉及信息技术领域，尤其涉及一种振镜性能检测系统、方法和存储介质。
背景技术
随着信息技术的快速发展，其中，激光振镜的应用越来越广泛，比如在激光内雕、激光打标、激光雷达等领域，激光振镜发挥了重大作用，且对激光振镜的性能要求也越来越高。通常需要对振镜的性能进行检测以掌握振镜性能。
当前对于振镜性能的检测多从振镜扫描坐标变换的角度，去分析振镜存在的误差，这些方式对振镜的性能分析仅仅停留在理论层面，脱离了振镜实际的使用环境，无法很好的了解振镜的实际性能。此外，还有圆光栅测角法、激光干涉测角法等。圆光栅测角法通过摩尔条纹测量振镜转过的角度，其测量精度高、速度快、抗干扰能力强，但由于需要在振镜上安装圆光栅结构作为辅助，因此无法实现非接触测量；激光干涉测角法利用振镜转角引起的测量光束与参考光束所产生的光程差来测量振镜的转过的角度，其测量精度较高，但是需要在振镜上安装鱼眼镜或角棱镜等辅助装置，因此会对振镜的动态性能产生影响。上述方式均需要在振镜上安装辅助装置，无法做到非接触测量，容易对振镜表面进行破环，影响振镜的使用。因此，亟需一种新型的振镜性能检测系统使得能够在不对振镜表面造成影响的基础上，快速高精度的完成对振镜性能的检测。
发明内容
有鉴于此，提出了一种振镜性能检测系统、方法和存储介质。
第一方面，本申请的实施例提供了一种振镜性能检测系统，该系统包括：
控制模块，用于对激光器和/或振镜的参数进行控制；
激光器，用于响应于控制模块的控制，发射第一激光；
振镜，用于响应于控制模块的控制，利用第一激光，发射第二激光，第二激光用于在样品上形成标记；
检测模块，用于对标记进行分析，得到分析结果，分析结果指示振镜的性能。
根据本申请实施例，通过控制模块对激光器和/或振镜的参数进行控制，使得激光器发射的激光可以通过振镜在样品上形成标记，通过对样品上的标记进行分析，可以根据分析结果确定振镜性能，从而实现对振镜性能的检测。在此过程中，可以做到对于振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。同时，通过该振镜性能检测系统对振镜的性能进行检测，成本低、操作简单，可以更加快速的对振镜性能进行检测，且可检测的性能指标更多。
根据第一方面，在振镜性能检测系统的第一种可能的实现方式中，该控制模块，还用于：
对调焦模块进行控制；
该系统，还包括：
调焦模块，用于响应于控制模块的控制，对物镜进行控制；
物镜，用于响应于调焦模块的控制，将第二激光聚焦至样品的表面，在样品上形成标记。
根据本申请实施例，通过利用调焦模块和物镜对激光进行紧聚焦，可以使得物镜出射的激光能够更好的汇聚在样品的表面，使得样品上形成的标记可以达到纳米尺度，从而使对振镜的检测可以实现更高的精度，使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
根据第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第二种可能的实现方式中，该系统还包括：
反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，用于对第一激光或第二激光进行处理，得到第三激光，第三激光用于在样品上形成标记。
根据本申请实施例，通过利用反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，对激光进行处理，可以使得最终形成的标记更加清晰，从而能够方便后续对标记进行分析，能够使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
根据第一方面或第一方面的第一种或第二种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第三种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜在不同振幅下的标刻范围，该控制模块，用于：
固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
固定振镜的频率，对振镜的振幅进行调整；
该检测模块，用于：
测量标记中不同振幅下的线条的长度；
根据不同振幅下的线条的长度，确定振镜在不同振幅下的标刻范围。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，并对振镜的振幅进行调整，且通过检测模块对样品上形成的线状标记进行分析，可以实现对振镜的实际标刻范围的标定，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
根据第一方面或第一方面的第一种或第二种或第三种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第四种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的加速度和/或减速度，该控制模块，用于：
固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
固定振镜的频率；
该检测模块，用于：
测量标记中点阵之间的间隔距离；
根据振镜的频率、以及间隔距离，确定加速度和/或减速度。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现对振镜的加速度和/或减速度的测量，从而可以进一步的确定振镜加减速的稳定性，快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
根据第一方面或第一方面的第一种或第二种或第三种或第四种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第五种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的最小阶跃时间，该控制模块，用于：
固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
对振镜的频率进行调整；
该检测模块，用于：
确定标记中点阵在极限状态下对应的振镜的频率；
根据在极限状态下对应的振镜的频率，确定最小阶跃时间。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最小阶跃时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
根据第一方面或第一方面的第一种或第二种或第三种或第四种或第五种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第六种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的线性度信息，该控制模块，用于：
对振镜的幅值进行调整；
响应于振镜的幅值变化，控制激光器在振镜的幅值发生变化时，发射第一激光；
该检测模块，用于：
确定标记中点阵中点的位移变化信息；
根据位移变化信息，确定线性度信息。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器响应于振镜的幅值变化发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以确定振镜的线性度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
根据第一方面或第一方面的第一种或第二种或第三种或第四种或第五种或第六种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第七种可能的实现方式中，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的直线度信息，该控制模块，用于：
固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
固定振镜的频率；
该检测模块，用于：
测量标记中不同线条之间的线宽；
根据线宽，确定直线度信息。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，且通过检测模块对样品上形成的线状标记的线宽进行分析，可以确定振镜的直线度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
根据第一方面的第六种或第七种可能的实现方式，在振镜性能检测系统的第八种可能的实现方式中，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的最长稳定工作时间，该控制模块，用于：
固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
固定振镜的频率和振幅；
该检测模块，用于：
对标记进行分析，确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种；
根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定最长稳定工作时间。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最长稳定工作时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
第二方面，本申请的实施例提供了一种振镜性能检测方法，该方法包括：
通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制；
通过激光器，响应于控制模块的控制，发射第一激光；
通过振镜，响应于控制模块的控制，利用第一激光，发射第二激光，第二激光用于在样品上形成标记；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，分析结果指示振镜的性能。
根据第二方面，在振镜性能检测方法的第一种可能的实现方式中，该方法还包括：
通过控制模块，对调焦模块进行控制；
通过调焦模块，响应于控制模块的控制，对物镜进行控制；
通过物镜，响应于调焦模块的控制，将第二激光聚焦至样品的表面，在样品上形成标记。
根据第二方面或第二方面的第一种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第二种可能的实现方式中，该方法还包括：
通过反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，对第一激光或第二激光进行处理，得到第三激光，第三激光用于在样品上形成标记。
根据第二方面或第二方面的第一种或第二种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第三种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜在不同振幅下的标刻范围，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率，对振镜的振幅进行调整；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，测量标记中不同振幅下的线条的长度；
通过检测模块，根据不同振幅下的线条的长度，确定振镜在不同振幅下的标刻范围。
根据第二方面或第二方面的第一种或第二种或第三种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第四种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的加速度和/或减速度，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，测量标记中点阵之间的间隔距离；
通过检测模块，根据振镜的频率、以及间隔距离，确定加速度和/或减速度。
根据第二方面或第二方面的第一种或第二种或第三种或第四种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第五种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的最小阶跃时间，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，对振镜的频率进行调整；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，确定标记中点阵在极限状态下对应的振镜的频率；
通过检测模块，根据在极限状态下对应的振镜的频率，确定最小阶跃时间。
根据第二方面或第二方面的第一种或第二种或第三种或第四种或第五种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第六种可能的实现方式中，该分析结果包括振镜对应的线性度信息，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，对振镜的幅值进行调整；
通过控制模块，响应于振镜的幅值变化，控制激光器在振镜的幅值发生变化时，发射第一激光；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，确定标记中点阵中点的位移变化信息；
通过检测模块，根据位移变化信息，确定线性度信息。
根据第二方面或第二方面的第一种或第二种或第三种或第四种或第五种或第六种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第七种可能的实现方式中，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的直线度信息，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，测量标记中不同线条之间的线宽；
通过检测模块，根据线宽，确定直线度信息。
根据第二方面的第六种或第七种可能的实现方式，在振镜性能检测方法的第八种可能的实现方式中，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的最长稳定工作时间，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制，包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率和振幅；
通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果，包括：
通过检测模块，对标记进行分析，确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种；
通过检测模块，根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定最长稳定工作时间。
第三方面，本申请的实施例提供了一种振镜性能检测装置，该装置包括：处理器；用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，处理器被配置为执行指令时实现上述第二方面或者第二方面的多种可能的实现方式中的一种或几种的振镜性能检测方法。
第四方面，本申请的实施例提供了一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述第二方面或者第二方面的多种可能的实现方式中的一种或几种的振镜性能检测方法。
第五方面，本申请的实施例提供了一种终端设备，该终端设备可以执行上述第二方面或者第二方面的多种可能的实现方式中的一种或几种的振镜性能检测方法。
第六方面，本申请的实施例提供了一种计算机程序产品，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备中运行时，所述电子设备中的处理器执行上述第二方面或者第二方面的多种可能的实现方式中的一种或几种的振镜性能检测方法。
本申请的这些和其他方面在以下(多个)实施例的描述中会更加简明易懂。
附图说明
包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本申请的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本申请的原理。
图1示出根据本申请一实施例的振镜的应用场景的示意图。
图2示出根据本申请一实施例的光存储系统架构的示意图。
图3示出根据本申请一实施例的振镜性能检测系统300的结构图。
图4示出根据本申请一实施例的振镜性能检测中的一种光路的示意图。
图5示出根据本申请一实施例的实际点阵标记的示意图。
图6示出根据本申请一实施例的对加速度进行检测的示意图。
图7示出根据本申请一实施例的振镜性能检测方法的流程图。
具体实施方式
以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨。
随着信息技术的快速发展，其中，激光振镜的应用越来越广泛，比如在激光内雕、激光打标、激光雷达等领域，激光振镜发挥了重大作用，且对激光振镜的性能要求也越来越高。通常需要对振镜的性能进行检测以掌握振镜性能。当前对于振镜性能的检测多从振镜扫描坐标变换的角度，去分析振镜存在的误差，这些方式对振镜的性能分析仅仅停留在理论层面，脱离了振镜实际的使用环境，无法很好的了解振镜的实际性能。此外，还有圆光栅测角法、激光干涉测角法等。圆光栅测角法通过摩尔条纹测量振镜转过的角度，其测量精度高、速度快、抗干扰能力强，但由于需要在振镜上安装圆光栅结构作为辅助，因此无法实现非接触测量；激光干涉测角法利用振镜转角引起的测量光束与参考光束所产生的光程差来测量振镜的转过的角度，其测量精度较高，但是需要在振镜上安装鱼眼镜或角棱镜等辅助装置，因此会对振镜的动态性能产生影响。上述方式均需要在振镜上安装辅助装置，无法做到非接触测量，容易对振镜表面进行破环，影响振镜的使用。因此，亟需一种新型的振镜性能检测系统使得能够在不对振镜表面造成影响的基础上，快速高精度的完成对振镜性能的检测。
鉴于此，本申请实施例提出了一种振镜性能检测系统，该系统包括控制模块、激光器、振镜和检测模块，该系统能够通过控制模块对激光器和/或振镜的参数进行控制，使得激光器发射的激光可以通过振镜在样品上形成标记，通过对样品上的标记进行分析，可以根据分析结果确定振镜性能，从而实现对振镜性能的检测。在此过程中，可以做到对于振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。同时，通过该振镜性能检测系统对振镜的性能进行检测，成本低、操作简单，可以更加快速的对振镜性能进行检测，且可检测的性能指标更多。
图1示出根据本申请一实施例的振镜的应用场景的示意图。在一种应用场景中，振镜可用于光存储场景中。如图1所示，例如，振镜可以用于在高速读出装置中对光存储介质中的每行数据进行精确的道跟踪，对数据进行逐行扫描以进行光存储读写。在此过程中，振镜作为高速读出装置中的核心部件，其性能对于数据实际读取的效果有着直接的影响。因此，需要对振镜的各种性能参数进行准确的检测，以了解振镜的实际性能，从而能够提升数据的扫描读取效果。以下通过图2-图6，介绍本申请实施例的振镜性能检测系统，以说明对振镜的性能进行检测的方式。
需要说明的是，该振镜性能检测系统不仅可以用于对如图1所示的光存储场景中的振镜进行性能检测，也可以用于对其他场景下的振镜进行性能检测，例如对高精密机械制造和加工、高精度光学测量、半导体制造等场景中的振镜进行性能检测。
以下以光存储场景为示例，对本申请实施例的系统进行介绍。首先参见图2，示出根据本申请一实施例的光存储系统架构的示意图。如图2所示，在光存储场景下，其整体系统架构主要包括读写光驱、存储介质和外部接口。其中，存储介质作为信息记录的载体，可以是光存储介质，可以利用材料改变的光学特性呈现的长期稳定状态以存储数据。读写光驱可用于对光存储介质进行读写操作，包括控制芯片、机电系统和读写光路。控制芯片可用于控制机电系统和读写光路，进行信号处理；机电系统可以表示读写光驱的机械部分；通过读写光路可使得光驱工作，在读写光路中通过激光器、振镜等进行处理后的激光信号，可以实现对光存储介质的读取。外部接口可用于光存储系统与外部模块进行信息交换。
针对于图2中光存储系统的读写光驱部分，为了适应于振镜实际的使用场景，本申请一实施例提供了一种振镜性能检测系统以对振镜的性能进行检测。以下对振镜性能检测系统进行详细介绍。
图3示出根据本申请一实施例的振镜性能检测系统300的结构图。如图3所示，该振镜性能检测系统300可包括：
控制模块301，用于对激光器302和/或振镜303的参数进行控制。
其中，控制模块301可以是处理器，激光器302的参数可以包括激光器302发射的激光信号的功率，以得到不同频率、占空比的激光，占空比可以是指每一激光脉冲中脉冲持续时间与脉冲周期的比。振镜303的参数可以包括振镜的驱动信号的频率、驱动电压的振幅、振镜的偏转角度等。
激光器302，用于响应于控制模块301的控制，发射第一激光。
其中，第一激光的频率、占空比可以响应于控制模块301的控制确定，第一激光可以是蓝光或者其他波长范围的内的光，本申请对此不作限制。
振镜303，用于响应于控制模块301的控制，利用第一激光，发射第二激光。
其中，振镜303的示例可参见图1中所示，振镜303可以对第一激光进行不同角度的偏转，形成相应的第二激光，该第二激光可用于在样品上形成标记。
该样品的材料可以实现曝光形成可见(包括显微镜可见)的刻痕，例如，该样品可以是表面镀有光刻胶的硅片，也可以是其他光存储介质，本申请对此不作限制。形成的标记可以是点阵(包括一个或多个点)或线阵(包括一条或多条线)，可以根据激光的频率和占空比确定。
检测模块304，用于对标记进行分析，得到分析结果。
例如，可以通过电子显微镜、人工等方式对标记进行分析，还可以对该标记进行成像，基于成像结果进行分析。其中，分析结果可以指示振镜303的性能。该性能可以包括振镜在打标时的实际标刻范围、加减速稳定性、最小阶跃时间、线性度、直线度、稳定性等，下述将对此进行详细介绍。
根据本申请实施例，通过控制模块对激光器和/或振镜的参数进行控制，使得激光器发射的激光可以通过振镜在样品上形成标记，通过对样品上的标记进行分析，可以根据分析结果确定振镜性能，从而实现对振镜性能的检测。在此过程中，可以做到对于振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。同时，通过该振镜性能检测系统对振镜的性能进行检测，成本低、操作简单，可以更加快速的对振镜性能进行检测，且可检测的性能指标更多。
可选地，该控制模块301，还可用于：
对调焦模块305进行控制。
例如，控制模块301可以根据反馈的光信号，通过指令控制调焦模块305沿直线运动，以进行对焦，对焦的方式可基于现有技术实现。
该振镜性能检测系统300，还可包括：
调焦模块305，用于响应于控制模块301的控制，对物镜306进行控制。
其中，物镜306可固定于调焦模块305之上，通过调焦模块305的运动，可以带动物镜306进行直线运动，以实现对物镜306的控制。
物镜306，用于响应于调焦模块305的控制，将第二激光聚焦至样品的表面，在样品上形成标记。
其中，第一激光可入射至物镜306的入瞳处，经过物镜306聚焦至样品的表面，以形成标记。
根据本申请实施例，通过利用调焦模块和物镜对激光进行紧聚焦，可以使得物镜出射的激光能够更好的汇聚在样品的表面，使得样品上形成的标记可以达到纳米尺度，从而使对振镜的检测可以实现更高的精度，使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
可选地，该振镜性能检测系统300，还可包括：
反射镜307、扫描透镜308、管镜309、二向色分光镜310中的一种或多种，用于对第一激光或第二激光进行处理，得到第三激光。
其中，第三激光可用于在样品上形成标记。反射镜307可用于对激光进行反射；扫描透镜308可用于滤除激光中预定波长的光；管镜309可用于对激光照射的区域进行缩放；二向色分光镜(dichroic mirrors，DM)310可用于反射激光中预定波长范围内的光。反射镜307、扫描透镜308、管镜309、二向色分光镜310可以放置于激光器302与振镜303之间，也可以放置于振镜303与调焦模块305之间，本申请对此不作限制。放置于激光器302与振镜303之间的情况下，可以用于对第一激光进行处理，得到第三激光，第三激光经过振镜303可得到第二激光，通过对第二激光进行聚焦可以在样品表面形成标记；放置于振镜303与调焦模块305之间的情况下，可以用于对第二激光进行处理，得到第三激光，通过对第三激光进行聚焦可以在样品表面形成标记。
根据本申请实施例，通过利用反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，对激光进行处理，可以使得最终形成的标记更加清晰，从而能够方便后续对标记进行分析，能够使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
振镜性能检测系统300中各模块之间可以有多种连接方式以形成多种光路。图4示出根据本申请一实施例的振镜性能检测中的一种光路的示意图。如图4所示，控制模块301可以对激光器302、振镜303和调焦模块305进行控制。激光器302发射的激光可经过反射镜307、振镜303、扫描透镜308、管镜309、二向色分光镜310、调焦模块305、物镜306，在样品上形成标记，该样品可放置于工作台上。
在一种可能的实现方式中，振镜性能检测系统还可以包括如图4所示的成像模块，成像模块可以发射一束平行白光，该平行白光可经过二向色分光镜310后入射至物镜306，并聚焦在样品上，经过该样品的反射，该白光可以沿原入射光路返回至成像模块。该成像模块可以与计算机相连，从而可以通过计算机成像。
在一种可能的实现方式中，通过图3中的检测模块304，可以基于样品上形成的标记进行分析，也可以基于计算机得到的成像结果进行分析。
在上述对振镜性能检测系统300进行介绍的基础上，以下，对通过振镜性能检测系统300对振镜性能进行检测的方式进行详细的介绍。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以对振镜的实际标刻范围进行标定，上述分析结果可包括振镜303在不同振幅下的标刻范围，控制模块301，可用于：
固定激光器302发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光。
该连续激光可以指激光器302发射的激光是持续的，例如可以通过降低激光的占空比实现。通过发射连续激光，样品上可以形成线状的标记。
固定振镜303的频率，对振镜303的振幅进行调整。
例如，可以保持振镜303的频率为预定值，改变振镜303的振幅，例如每隔预定阈值改变一次幅值，从而在样品上可以形成不同振幅下的亚波长细线。
检测模块304，可用于：
测量标记中不同振幅下的线条的长度。
例如，可以通过电子显微镜，对标记中不同振幅下的线条的长度进行测量。
根据不同振幅下的线条的长度，确定振镜303在不同振幅下的标刻范围。
在一种可能的实现方式中，还可以确定振幅与实际标刻范围的对应曲线。通过样品上形成的不同振幅下的亚波长细线，还可以确定这些线条中效果最好的线条对应的幅值作为最佳性能下的振幅。线条的效果可以通过观察线条的均匀性、连贯性等进行判断，例如可以通过计算机上的成像结果判断。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，并对振镜的振幅进行调整，且通过检测模块对样品上形成的线状标记进行分析，可以实现对振镜的实际标刻范围的标定，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以对振镜的打标时的加减速稳定性进行检测，上述分析结果包括振镜303对应的加速度和/或减速度，控制模块301，可用于：
固定激光器302发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光。
该非连续激光可以是脉冲激光，例如，可以将激光的占空比固定为预定比值(如1:1)，以在样品上形成连续的点阵标记。
固定振镜303的频率。
例如，可以将振镜303的频率固定为预定值，可称为f1。
检测模块304，可用于：
测量标记中点阵之间的间隔距离。
图5示出根据本申请一实施例的实际点阵标记的示意图。如图5所示，示出了将脉冲激光的占空比设置为1：1时，在样品上形成的实际点阵标记。该点阵标记可以以微米(um)计，如图中点阵标记的宽度仅为300um，因此在分析样品上的标记时，可以通过电子显微镜进行测量。
例如，可以通过电子显微镜，测量点阵中加速段或减速段中两点之间的间隔距离。其中可以测量连续的两点之间的距离，也可以测量不连续的两点之间的距离。
参见图6，示出根据本申请一实施例的对加速度进行检测的示意图。图6中的点可以表示激光在样品上形成的点阵标记，以测量加速度为例，通过电子显微镜，可以测量加速段中两点之间的间隔距离，得到如图所示的l1和l2，l1和l2可以分别对应于连续的两个点。
根据振镜303的频率以及间隔距离，确定加速度和/或减速度。
在图6的示例中，若占空比为1:1，则加速度可以根据振镜的频率和该间隔距离得到：a＝f12×(l2-l1),其中a可以表示加速度。计算减速度的方式同理，在此不在赘述。
还可以计算多个加速度，通过分析多个加速度之间的变化以确定加速稳定性，对于减速稳定性同理。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现对振镜的加速度和/或减速度的测量，从而可以进一步的确定振镜加减速的稳定性，快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以确定振镜的最小阶跃时间，上述分析结果可包括振镜303对应的最小阶跃时间，控制模块301，可用于：
固定激光器302发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光。
该非连续激光可以是脉冲激光，例如，可以将激光的占空比固定为预定比值(如1:1)，以在样品上形成连续的点阵标记。
对振镜303的频率进行调整。
例如，可以改变振镜303的频率，例如每隔预定阈值增大一次频率，从而在样品上可以形成相应的点阵标记。
检测模块301，可用于：
确定标记中点阵在极限状态下对应的振镜303的频率。
例如，可以通过电子显微镜确定样品上的点阵标记的标刻情况，判断点阵标记中到达极限状态的点，即刚好能够清晰分辨两点的界限。
根据在极限状态下对应的振镜303的频率，确定最小阶跃时间。
其中，若将极限状态下对应的振镜303的频率称为f2，最小阶跃时间可以是1/f2，可以表示振镜的工作状态发生快速而大幅度的变化的最小时间。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最小阶跃时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以确定振镜的线性度，上述分析结果可包括振镜303对应的线性度信息，控制模块301，可用于：
对振镜303的幅值进行调整。
例如，可以使得振镜303的幅值从最小值(如0)开始，每隔预定阈值增大一次幅值，直至预定最大值，幅值的变化量可以是不变的，预定最大值例如可以是上述对振镜的实际标刻范围进行标定时得到的最佳性能下的振幅的幅值。
响应于振镜303的幅值变化，控制激光器302在振镜303的幅值发生变化时，发射第一激光。
也就是说，可以在每次增大振镜的幅值时，由控制模块301发射一次脉冲激光，在样品上标刻一次，从而在样品上可以形成相应的点阵标记。
检测模块304，可用于：
确定标记中点阵中点的位移变化信息。
其中，可以通过电子显微镜确定点阵中每个点相较于点阵中的第一个点产生的位移大小。根据每个点对应的位移确定点阵中每个点相较于前一个点的位移变化。
根据位移变化信息，确定线性度信息。
其中，可以确定位移变化与幅值的对应关系的线性程度，确定线性度信息。其中对应关系的线性程度越好，可以确定振镜的打标时的线性度越好。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器响应于振镜的幅值变化发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以确定振镜的线性度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以确定振镜的直线度，上述分析结果可包括振镜303对应的直线度信息，其中，可以使样品以预定速度和预定角度移动，例如，可以使得放置样品的工作台以预定的速度和角度移动，如控制工作台以垂直于振镜扫描的方向做匀速运动，该速度可以是d×f3，其中d可以表示线阵中相邻线之间的线宽，f3可以表示振镜的频率。
控制模块301，可用于：
固定激光器302发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光。
该连续激光可以指激光器302发射的激光是持续的，例如可以通过降低激光的占空比实现。通过发射连续激光，样品上可以形成线状的标记。
固定振镜303的频率。
例如，可以保持振镜303的频率为预定值，如为上述f3。
检测模块304，用于：
测量标记中不同线条之间的线宽。
例如，可以通过电子显微镜，对线宽进行测量。线宽可以表示相邻线之间的线宽。
根据线宽，确定直线度信息。
其中，对于两条相邻的线，可以在线的不同位置测量多次线宽。可以通过多个线宽来确定直线度信息。例如，多次线宽之间的差别越小，可以认为该振镜打标的直线度越好。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，且通过检测模块对样品上形成的线状标记的线宽进行分析，可以确定振镜的直线度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，通过振镜性能检测系统300可以确定振镜的稳定性，上述分析结果包括振镜303对应的最长稳定工作时间，其中，可以使样品以预定速度和预定角度移动，例如，可以使得放置样品的工作台以预定的速度和角度移动，如控制工作台以垂直于振镜扫描的方向做匀速运动。
控制模块301，可用于：
固定激光器302发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光。
该非连续激光可以是脉冲激光，例如，可以将激光的占空比固定为预定比值(如1：1)，以在样品上形成连续的点阵标记。
固定振镜303的频率和振幅。
例如，可以保持振镜303的频率和振幅为预定值，该预定值可以根据振镜303的最佳工作性能确定，例如该振幅对应的预定值可以是上述对振镜的实际标刻范围进行标定时得到的最佳性能下的振幅的幅值。
检测模块304，可用于：
对标记进行分析，确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种。
其中，可以通过上述方式确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种。
根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定最长稳定工作时间。
例如，可以根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定标记出现异常时对应的时刻，从而以该时刻对应的工作时长作为最长稳定工作时间。标记出现异常可以包括标记的与拟合直线间的最大偏差大于预定阈值，加速度之间的变化大于预定阈值，加速度之间的变化大于预定阈值等。还可通过其他方式判断标记是否出现异常，本申请对此不作限制。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最长稳定工作时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
图7示出根据本申请一实施例的振镜性能检测方法的流程图。如图7所示，该方法包括：
步骤S701，通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制。
步骤S702，通过激光器，响应于控制模块的控制，发射第一激光。
步骤S703，通过振镜，响应于控制模块的控制，利用第一激光，发射第二激光。
其中，第二激光可用于在样品上形成标记。
步骤S704，通过检测模块，对标记进行分析，得到分析结果。
其中，分析结果可指示振镜的性能。
根据本申请实施例，通过控制模块对激光器和/或振镜的参数进行控制，使得激光器发射的激光可以通过振镜在样品上形成标记，通过对样品上的标记进行分析，可以根据分析结果确定振镜性能，从而实现对振镜性能的检测。在此过程中，可以做到对于振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。同时，通过该振镜性能检测系统对振镜的性能进行检测，成本低、操作简单，可以更加快速的对振镜性能进行检测，且可检测的性能指标更多。
可选地，该方法还可包括：
通过控制模块，对调焦模块进行控制；
通过调焦模块，响应于控制模块的控制，对物镜进行控制；
通过物镜，响应于调焦模块的控制，将第二激光聚焦至样品的表面，在样品上形成标记。
根据本申请实施例，通过利用调焦模块和物镜对激光进行紧聚焦，可以使得物镜出射的激光能够更好的汇聚在样品的表面，使得样品上形成的标记可以达到纳米尺度，从而使对振镜的检测可以实现更高的精度，使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
可选地，该方法还可包括：
通过反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，对第一激光或第二激光进行处理，得到第三激光，第三激光用于在样品上形成标记。
根据本申请实施例，通过利用反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，对激光进行处理，可以使得最终形成的标记更加清晰，从而能够方便后续对标记进行分析，能够使得后续得到的分析结果更加精准，提高了振镜性能检测的准确性。
可选地，该分析结果包括振镜在不同振幅下的标刻范围，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率，对振镜的振幅进行调整；
该步骤S704，可包括：
通过检测模块，测量标记中不同振幅下的线条的长度；
通过检测模块，根据不同振幅下的线条的长度，确定振镜在不同振幅下的标刻范围。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，并对振镜的振幅进行调整，且通过检测模块对样品上形成的线状标记进行分析，可以实现对振镜的实际标刻范围的标定，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，该分析结果包括振镜对应的加速度和/或减速度，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率；
该步骤S704，可包括：
通过检测模块，测量标记中点阵之间的间隔距离；
通过检测模块，根据振镜的频率、以及间隔距离，确定加速度和/或减速度。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现对振镜的加速度和/或减速度的测量，从而可以进一步的确定振镜加减速的稳定性，快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，该分析结果包括振镜对应的最小阶跃时间，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，对振镜的频率进行调整；
该步骤S704，可包括：
通过检测模块，确定标记中点阵在极限状态下对应的振镜的频率；
通过检测模块，根据在极限状态下对应的振镜的频率，确定最小阶跃时间。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最小阶跃时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，该分析结果包括振镜对应的线性度信息，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，对振镜的幅值进行调整；
通过控制模块，响应于振镜的幅值变化，控制激光器在振镜的幅值发生变化时，发射第一激光；
该步骤S704，可包括：
通过检测模块，确定标记中点阵中点的位移变化信息；
通过检测模块，根据位移变化信息，确定线性度信息。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器响应于振镜的幅值变化发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以确定振镜的线性度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的直线度信息，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率；
通该步骤S704，可包括：
通过检测模块，测量标记中不同线条之间的线宽；
通过检测模块，根据线宽，确定直线度信息。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出连续激光，且通过检测模块对样品上形成的线状标记的线宽进行分析，可以确定振镜的直线度信息，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
可选地，该样品以预定速度和预定角度移动，该分析结果包括振镜对应的最长稳定工作时间，该步骤S701，可包括：
通过控制模块，固定激光器发射的激光的占空比，以使第一激光为非连续激光；
通过控制模块，固定振镜的频率和振幅；
该步骤S704，可包括：
通过检测模块，对标记进行分析，确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种；
通过检测模块，根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定最长稳定工作时间。
根据本申请实施例，通过控制模块控制激光器发出非连续激光，且通过检测模块对样品上形成的点阵标记进行分析，可以实现检测振镜的最长稳定工作时间，从而能够快速实现对振镜性能的非接触检测，且更加符合振镜实际使用环境，使得检测分析结果更加准确，精度更高。
本申请的实施例提供了一种振镜性能检测装置，包括：处理器以及用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，所述处理器被配置为执行所述指令时实现上述方法。
本申请的实施例提供了一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现上述方法。
本申请的实施例提供了一种计算机程序产品，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备的处理器中运行时，所述电子设备中的处理器执行上述方法。
计算机可读存储介质可以是可以保持和存储由指令执行设备使用的指令的有形设备。计算机可读存储介质例如可以是――但不限于――电存储设备、磁存储设备、光存储设备、电磁存储设备、半导体存储设备或者上述的任意合适的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RandomAccess Memory，RAM)、只读存储器(Read Only Memory，ROM)、可擦式可编程只读存储器(Electrically Programmable Read-Only-Memory，EPROM或闪存)、静态随机存取存储器(Static Random-Access Memory，SRAM)、便携式压缩盘只读存储器(Compact Disc Read-Only Memory，CD-ROM)、数字多功能盘(Digital Video Disc，DVD)、记忆棒、软盘、机械编码设备、例如其上存储有指令的打孔卡或凹槽内凸起结构、以及上述的任意合适的组合。
这里所描述的计算机可读程序指令或代码可以从计算机可读存储介质下载到各个计算/处理设备，或者通过网络、例如因特网、局域网、广域网和/或无线网下载到外部计算机或外部存储设备。网络可以包括铜传输电缆、光纤传输、无线传输、路由器、防火墙、交换机、网关计算机和/或边缘服务器。每个计算/处理设备中的网络适配卡或者网络接口从网络接收计算机可读程序指令，并转发该计算机可读程序指令，以供存储在各个计算/处理设备中的计算机可读存储介质中。
用于执行本申请操作的计算机程序指令可以是汇编指令、指令集架构(Instruction Set Architecture，ISA)指令、机器指令、机器相关指令、微代码、固件指令、状态设置数据、或者以一种或多种编程语言的任意组合编写的源代码或目标代码，所述编程语言包括面向对象的编程语言—诸如Smalltalk、C++等，以及常规的过程式编程语言—诸如“C”语言或类似的编程语言。计算机可读程序指令可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络—包括局域网(Local Area Network，LAN)或广域网(WideArea Network，WAN)—连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。在一些实施例中，通过利用计算机可读程序指令的状态信息来个性化定制电子电路，例如可编程逻辑电路、现场可编程门阵列(Field-ProgrammableGate Array，FPGA)或可编程逻辑阵列(Programmable Logic Array，PLA)，该电子电路可以执行计算机可读程序指令，从而实现本申请的各个方面。
这里参照根据本申请实施例的方法、装置(系统)和计算机程序产品的流程图和/或框图描述了本申请的各个方面。应当理解，流程图和/或框图的每个方框以及流程图和/或框图中各方框的组合，都可以由计算机可读程序指令实现。
这些计算机可读程序指令可以提供给通用计算机、专用计算机或其它可编程数据处理装置的处理器，从而生产出一种机器，使得这些指令在通过计算机或其它可编程数据处理装置的处理器执行时，产生了实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的装置。也可以把这些计算机可读程序指令存储在计算机可读存储介质中，这些指令使得计算机、可编程数据处理装置和/或其他设备以特定方式工作，从而，存储有指令的计算机可读介质则包括一个制造品，其包括实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的各个方面的指令。
也可以把计算机可读程序指令加载到计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上，使得在计算机、其它可编程数据处理装置或其它设备上执行一系列操作步骤，以产生计算机实现的过程，从而使得在计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上执行的指令实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作。
附图中的流程图和框图显示了根据本申请的多个实施例的装置、系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或指令的一部分，所述模块、程序段或指令的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。
也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行相应的功能或动作的硬件(例如电路或ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit，专用集成电路))来实现，或者可以用硬件和软件的组合，如固件等来实现。
尽管在此结合各实施例对本发明进行了描述，然而，在实施所要求保护的本发明过程中，本领域技术人员通过查看所述附图、公开内容、以及所附权利要求书，可理解并实现所述公开实施例的其它变化。在权利要求中，“包括”(comprising)一词不排除其他组成部分或步骤，“一”或“一个”不排除多个的情况。单个处理器或其它单元可以实现权利要求中列举的若干项功能。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施，但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。
以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。
Claims (13)
1.一种振镜性能检测系统，其特征在于，所述系统包括：
控制模块，用于对激光器和/或振镜的参数进行控制；
激光器，用于响应于所述控制模块的控制，发射第一激光；
振镜，用于响应于所述控制模块的控制，利用所述第一激光，发射第二激光，所述第二激光用于在样品上形成标记；
检测模块，用于对所述标记进行分析，得到分析结果，所述分析结果指示所述振镜的性能。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制模块，还用于：
对调焦模块进行控制；
所述系统，还包括：
所述调焦模块，用于响应于控制模块的控制，对物镜进行控制；
物镜，用于响应于所述调焦模块的控制，将所述第二激光聚焦至所述样品的表面，在所述样品上形成标记。
3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：
反射镜、扫描透镜、管镜、二向色分光镜中的一种或多种，用于对所述第一激光或第二激光进行处理，得到第三激光，所述第三激光用于在样品上形成标记。
4.根据权利要求1-3任一项所述的系统，其特征在于，所述分析结果包括所述振镜在不同振幅下的标刻范围，所述控制模块，用于：
固定所述激光器发射的激光的占空比，以使所述第一激光为连续激光；
固定所述振镜的频率，对所述振镜的振幅进行调整；
所述检测模块，用于：
测量所述标记中不同振幅下的线条的长度；
根据所述不同振幅下的线条的长度，确定所述振镜在不同振幅下的标刻范围。
5.根据权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述分析结果包括所述振镜对应的加速度和/或减速度，所述控制模块，用于：
固定所述激光器发射的激光的占空比，以使所述第一激光为非连续激光；
固定所述振镜的频率；
所述检测模块，用于：
测量所述标记中点阵之间的间隔距离；
根据所述振镜的频率、以及所述间隔距离，确定所述加速度和/或所述减速度。
6.根据权利要求1-5任一项所述的系统，其特征在于，所述分析结果包括所述振镜对应的最小阶跃时间，所述控制模块，用于：
固定所述激光器发射的激光的占空比，以使所述第一激光为非连续激光；
对所述振镜的频率进行调整；
所述检测模块，用于：
确定所述标记中点阵在极限状态下对应的振镜的频率；
根据所述在极限状态下对应的振镜的频率，确定所述最小阶跃时间。
7.根据权利要求1-6任一项所述的系统，其特征在于，所述分析结果包括所述振镜对应的线性度信息，所述控制模块，用于：
对所述振镜的幅值进行调整；
响应于所述振镜的幅值变化，控制所述激光器在振镜的幅值发生变化时，发射所述第一激光；
所述检测模块，用于：
确定所述标记中点阵中点的位移变化信息；
根据所述位移变化信息，确定所述线性度信息。
8.根据权利要求1-7任一项所述的系统，其特征在于，所述样品以预定速度和预定角度移动，所述分析结果包括所述振镜对应的直线度信息，所述控制模块，用于：
固定所述激光器发射的激光的占空比，以使所述第一激光为连续激光；
固定所述振镜的频率；
所述检测模块，用于：
测量所述标记中不同线条之间的线宽；
根据所述线宽，确定所述直线度信息。
9.根据权利要求7或8所述的系统，其特征在于，所述样品以预定速度和预定角度移动，所述分析结果包括所述振镜对应的最长稳定工作时间，所述控制模块，用于：
固定所述激光器发射的激光的占空比，以使所述第一激光为非连续激光；
固定所述振镜的频率和振幅；
所述检测模块，用于：
对所述标记进行分析，确定线性度信息、加速度、减速度中的至少一种；
根据线性度信息、加速度、减速度中的至少一种，确定所述最长稳定工作时间。
10.一种振镜性能检测方法，其特征在于，所述方法包括：
通过控制模块，对激光器和/或振镜的参数进行控制；
通过所述激光器，响应于所述控制模块的控制，发射第一激光；
通过所述振镜，响应于所述控制模块的控制，利用所述第一激光，发射第二激光，所述第二激光用于在样品上形成标记；
通过所述检测模块，对所述标记进行分析，得到分析结果，所述分析结果指示所述振镜的性能。
11.一种振镜性能检测装置，其特征在于，包括：
处理器；
用于存储处理器可执行指令的存储器；
其中，所述处理器被配置为执行所述指令时实现权利要求10所述的方法。
12.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求10所述的方法。
13.一种计算机程序产品，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备中运行时，所述电子设备中的处理器执行权利要求10所述的方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211080053.XA CN117686186A (zh) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 振镜性能检测系统、方法和存储介质 |
| PCT/CN2023/104804 WO2024051319A1 (zh) | 2022-09-05 | 2023-06-30 | 振镜性能检测系统、方法和存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211080053.XA CN117686186A (zh) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 振镜性能检测系统、方法和存储介质 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117686186A true CN117686186A (zh) | 2024-03-12 |
Family
ID=90128838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211080053.XA Pending CN117686186A (zh) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 振镜性能检测系统、方法和存储介质 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117686186A (zh) |
| WO (1) | WO2024051319A1 (zh) |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102495534B (zh) * | 2011-12-12 | 2013-12-25 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 振镜式激光直写光刻机 |
| JP2014199361A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | オムロン株式会社 | 検査装置及びレーザ加工装置 |
| CN104459534B (zh) * | 2013-09-16 | 2017-12-01 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种振镜电机线性度的检测方法及装置 |
| CN103645660B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-02-24 | 桂林电子科技大学 | 激光打标卡数据采集及标刻图像验证装置及方法 |
| CN107703614A (zh) * | 2016-08-08 | 2018-02-16 | 大连光耀辉科技有限公司 | 激光输出设备和荧光显微镜 |
| CN107064096A (zh) * | 2017-06-02 | 2017-08-18 | 常熟市浙大紫金光电技术研究中心 | 基于高光谱成像的混合物粉末无损定量检测装置及方法 |
| CN111610254B (zh) * | 2020-05-18 | 2021-08-17 | 武汉大学 | 一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法 |
| CN113310669B (zh) * | 2021-05-24 | 2024-06-07 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 振镜激光焦距与振镜均匀性测试方法 |
| CN114018901A (zh) * | 2021-11-18 | 2022-02-08 | 山东东仪光电仪器有限公司 | 一种基于振镜扫描分析的激光诱导击穿光谱仪及其光谱检测方法 |
| CN114113020B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-07-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于多重信号分类算法的激光扫描超分辨显微成像装置、方法、设备及存储介质 |
-
2022
- 2022-09-05 CN CN202211080053.XA patent/CN117686186A/zh active Pending
-
2023
- 2023-06-30 WO PCT/CN2023/104804 patent/WO2024051319A1/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2024051319A1 (zh) | 2024-03-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7488924B2 (en) | Method for determining the focal position during imaging of a sample using an inclined position receiving device | |
| US10340170B2 (en) | Method and device for grooving wafers | |
| JP2017194704A (ja) | 顕微鏡、およびｓｐｉｍ顕微鏡検査方法 | |
| JP6534658B2 (ja) | スキャニング顕微鏡、およびスキャニング顕微鏡の点像分布関数（ｐｓｆ）を決定する方法 | |
| US7247825B2 (en) | Method and apparatus for scanning a specimen using an optical imaging system | |
| CN102043352B (zh) | 调焦调平检测装置 | |
| KR101891182B1 (ko) | 자동초점 조절장치 | |
| CN108693625A (zh) | 成像方法、装置及系统 | |
| JP2021068707A (ja) | カソードルミネッセンス光学部品の軸合わせのための系および方法 | |
| CN111220088B (zh) | 测量系统和方法 | |
| CN117686186A (zh) | 振镜性能检测系统、方法和存储介质 | |
| CN108693624A (zh) | 成像方法、装置及系统 | |
| CN114778514B (zh) | 基于拉曼分析的无损高深宽比结构的测量装置及方法 | |
| KR20070091236A (ko) | 결함 입자 측정 장치 및 결함 입자 측정 방법 | |
| CN109297585A (zh) | 一种基于光斑偏移法测量激光光斑聚焦直径的光学实验系统及实验方法 | |
| CN111398295B (zh) | 一种缺陷检测装置及其方法 | |
| JP3162364B2 (ja) | 光センサ装置 | |
| JP2019522797A (ja) | 貫通孔の幾何学的パラメータ測定方法およびシステム | |
| CN112540044A (zh) | 一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法 | |
| JP2001289619A (ja) | 表面形状測定方法 | |
| KR101546906B1 (ko) | 미세홀 위치 검출 방법 및 광학적 정렬 방법 | |
| CN117970637B (zh) | 对焦过程中的成像模组光轴位置偏差补偿方法 | |
| JP7258160B2 (ja) | 流体サンプル用流路を備えるカートリッジ、カートリッジを具備するアセンブリ、および光学装置をカートリッジの流路と位置合わせする方法 | |
| JP2002039721A (ja) | 膜厚測定装置、膜厚測定方法および膜厚測定のためのプログラムを記憶した記録媒体 | |
| CN219714305U (zh) | 一种线激光轮廓扫描装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |