CN117558662A - 基板容器 - Google Patents

基板容器 Download PDF

Info

Publication number
CN117558662A
CN117558662A CN202210938913.2A CN202210938913A CN117558662A CN 117558662 A CN117558662 A CN 117558662A CN 202210938913 A CN202210938913 A CN 202210938913A CN 117558662 A CN117558662 A CN 117558662A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate container
container body
substrate
container
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210938913.2A
Other languages
English (en)
Inventor
颜晖展
陈健福
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chung King Enterprise Co ltd
Original Assignee
Chung King Enterprise Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chung King Enterprise Co ltd filed Critical Chung King Enterprise Co ltd
Priority to CN202210938913.2A priority Critical patent/CN117558662A/zh
Publication of CN117558662A publication Critical patent/CN117558662A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本申请为一种基板容器，包括容器本体、以及设于容器本体内的两个以上支撑结构，容器本体具有底部、顶部、两个侧壁、以及后壁，各支撑结构依底部至顶部方向作上下间距排列以介于两个侧壁之间，且包含固定座、支撑杆、以及两个以上调整元件，支撑杆一端以横向插固于固定座，并使支撑杆另一端朝向容器本体前方开口处而呈悬置状态；各支撑结构的固定座具有朝向容器本体后壁的突起部，且各调整元件环设于突起部周围而将固定座设于容器本体内。借此可便于调整支撑结构的固定座，以控制支撑杆支撑基板的位置。

Description

基板容器
技术领域
本发明与一种收纳容器有关，尤其一种用于供半导体基材作收纳，以便进行承载、储存或搬运的基板容器。
背景技术
按，现有半导体产业中，所使用的基板大多为玻璃或矽晶片等易碎片状或板状物。因此，在生产或加工等制造的过程中，通常需要透过如卡匣、容置盒或运载盒等容器作收纳后，再视制程的需求作运载或储存等。
而现有的容器，仍然存在一些有待改善或克服的问题存在。例如：在装载较大的基板时，为了避免因其本身的重量而下重，在容器内可针对叠置的基板设置支撑杆，并需要适时调整支撑杆的倾斜或水平度；又如：为了确保前述确实被定位，容器内或相关部位都需要设计有对应的限位或确保基板置放稳定等结构；再如：为了使容器能够承受两个以上基板叠置后的重量，其本身也应有足够的强度设计等。
上述各方面的考量，都会影响到基板容器在使用上的实用性与可靠性，甚至在应用于自动化厂房下，也应设计有足以自动化管理等设计，以确保基板能在生产或加工过程中的安全及品质不受影响。
有鉴于此，本发明人为改善并解决上述的缺失，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的本发明。
发明内容
本发明的主要目的，在于可提供一种基板容器，其在考量前述各种问题下，具有各项优势设计的基板容器。
为了达成上述的目的，本发明提供一种基板容器，包括容器本体、设于容器本体内的两个以上支撑结构、以及封闭容器本体的门板；容器本体具有底部、相对于底部的顶部、两个包围于底部与顶部间的侧壁、以及位于底部与顶部及两个侧壁后方的后壁，并于容器本体前方形成开口状；各支撑结构依底部至顶部方向作上下间距排列，以介于两个侧壁间的中央位置处，且包含固定座、支撑杆、以及两个以上调整元件，固定座上凹设有嵌槽，支撑杆一端以横向插固于嵌槽内以支撑于固定座上，并使支撑杆另一端朝向容器本体前方开口处而呈悬置状态；其中，各支撑结构的固定座背对于嵌槽的另一面上具有朝向容器本体后壁的突起部，且各调整元件环设于突起部周围而将固定座设于容器本体内。
上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本申请进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本申请公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本申请范围的限制。
图1为本发明的立体分解图。
图2为本发明支撑结构与调整座的组装示意图。
图3为本发明供基板置入的端面示意图。
图4为图3的A部分放大详图。
图5为本发明供基板置入的侧面剖视图。
图6为图5的C部分放大详图。
图7为图3的B部分放大详图。
图8为本发明门板对应各基板的平面示意图。
图9为本发明增设框架的立体分解图。
图10为本发明增设框架的立体组合图。
图11为本发明门板的内部构造分解图。
图12为本发明增设框架的另一视角的立体组合图。
图13为图12的D部分放大详图。
图14为本发明定位结构的作动示意图。
图15A为本发明气阀作进气的局部剖面示意图。
图15B为本发明气阀作排气的局部剖面示意图。
附图标记说明：
1:容器本体；
10:底部；
11:顶部；
12:侧壁；
120:支撑肋；
121:导斜部；
13:后壁；
130:补强肋；
14:置放架；
2:支撑结构；
20:固定座；
20a:嵌槽；
200:突起部；
201:凹凸形状；
202:凹凸形状；
21:支撑杆；
210:顶面；
211:支撑位置；
22:调整元件；
23:调整座；
230:调整杆；
3:门板；
30:限位结构；
300:片部；
301:弹性部；
302:斜边；
31:锁扣结构；
310:锁头；
311:锁板；
312:锁孔；
313:解锁元件；
314:抛光部；
32:补强肋；
4:基板；
5:框架；
50:底座；
500:配置孔；
51:立杆；
510:提杆；
511:补强杆；
52:顶杆；
520:补强杆；
53:定位结构；
530:框缘；
531:对位空间；
532:导引面；
54:识别元件；
55:感应元件；
56:气阀；
560:阀套；
560a:第一气口；
560b:第二气口；
561:阀座；
562:阀体；
563:单向阀件；
564:弹性元件；
6:对位结构。
具体实施方式
为了能更进一步揭露本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制者。
请参阅图1，为本发明的立体分解图。本发明提供一种基板容器，其主要包括容器本体1、两个以上(以上包含本数)设于该容器本体1内的支撑结构2、以及封闭于该容器本体1上的门板3；其中：
该容器本体1可具有底部10、相对于该底部10的顶部11、两个包围于该底部10与该顶部11间的侧壁12、以及位于该底部10与该顶部11及两个侧壁12后方的后壁13(如图5所示)，以于该容器本体1前方形成开口状，并可供一个或两个以上的基板4置入后，再由上述门板3作盖合以收纳所置入的各基板4。
如图2及图3所示，该两个以上支撑结构2设于上述容器本体1内，并依底部10与顶部11方向作上下间距排列，以介于两个侧壁12之间；较佳者，可设于两个侧壁12间的中央位置处。而各支撑结构2则包含固定座20、支撑杆21、以及两个以上调整元件22，该固定座20可借由该两个以上调整元件22而固定于容器本体1的后壁13上，并供支撑杆21一端以横向插固于该固定座20，以使支撑杆21另一端朝向容器本体1前方开口处而呈悬置状态，从而可用于支撑所置入的基板4。请配合图4所示，当前述基板4由容器本体1前方的开口处置入时，主要使基板4的中间位置顺着支撑杆21的长度方向而置入容器本体1内；而为了避免基板4插入各固定座20间的间隙而损毁，本发明进一步使该固定座20的上、下缘分别形成有相对应的凹凸形状201、202，如此，所置入的基板4若不慎恰巧插入各固定座20间的间隙时，也能透过所述凹凸形状201、202止挡基板4而防止前述状况发生。此外，各支撑杆21的顶面210至少具有突起的支撑位置211，例如透过呈倾斜状的顶面210而于其倾斜的最高处作为所述支撑位置211，借以供支撑杆21能在与基板4作最少接触面积下提供支撑及所需的支撑强度。
再请一并参阅图2、图5及图6所示，各支撑结构2的固定座20具有朝向容器本体1后壁13的突起部200，所述突起部200以拱起的弧形面为较佳。而在本发明所举的实施例中，该固定座20背对于所述突起部200的一面上凹设有嵌槽20a，以供支撑杆21一端固定于该嵌槽20内；更进一步地，亦可增设沿各支撑结构2排列方向作竖立设置的调整座23，该调整座23配置于容器本体1后壁13，并以调整杆230由容器本体1外向内推抵该调整座23，且使各固定座20的突起部200抵贴于该调整座23上，从而透过各调整元件22环设于该突起部200周围，俾借由调整元件22螺入的深度或紧度来控制固定座20作方向上的微调，以达到调整支撑杆21的目的。其中，所述调整元件22以三支为佳，当然亦可视所需调整的方向数量上(例如上下左右或进一步作斜向调整等)来增设。另外，在图6所示中，透过调整杆230推抵调整座23，即可对竖立排列于该调整座23上的各支撑结构2作同步调整。
此外，如图3及图7所示，上述容器本体1于其两个侧壁12内设有分别对应各支撑杆21的支撑肋120，以供置入的基板4两侧作为承载所需。同时，各支撑肋120于邻近侧壁12内形成有导斜部121，以便于基板4置入时若有朝向左或右侧的偏位时，可透过所述导斜部121将基板4导向置中处，并具有防止搬运时发生基板4左右滑移而碰撞等功能。
再者，如图8所示，为了能够确保置入的基板4能稳定地被容器本体1所收纳。本发明于上述门板3内侧可设有至少一个用以将基板4向容器本体1内推抵的限位结构30，该限位结构30可由金属片体冲制而成，并包含竖立延伸的片部300、以及沿该片部300延伸方向排列设置的弹性部301，且各弹性部301即分别对应所置入的基板4，从而能于该门板3盖合于容器本体1上时，透过各弹性部301将所置入的基板4确实向内推抵作定位，并可防止基板4于搬运时晃动。此外，也为了避免基板4不慎插入各弹性部301间而造成损坏，上述各弹性部301也可以具有斜边302而呈倾斜状者，所述斜边302可以使各弹性部301的间隙与基板4相错位，从而使水平置放的基板4不会插入呈倾斜的各弹性部301的间隙内。
又，如图9及图10所示，在其它实施方式中，本发明亦可进一步增设框架5，该框架5用于承载上述容器本体1，并包含底座50、两个以上支撑于该底座50两侧上的立杆51、以及连该底座50两侧的立杆间的两个以上顶杆52，从而可供容器本体1承载于该底座50上，并可于两侧的立杆51分别设有提杆510，可方便如自动化机器手臂由两侧外伸入各提杆510下方，借以夹取该容器本体1，以减少容器本体1直接或间接受到机具碰撞，而对其内部收纳的基板4可能造成的损害等外在因素，同时该框架5更能加强容器本体1的结构强度，有助于防止因容器本体1承载过重的两个以上基板4所造成的形变等问题。更进一步地，各立杆51间或各顶杆52间，也可以设置斜向的补强杆511、520，例如设置于立杆51间的补强杆511，可呈由上而下斜向对角的配置型态，又或设置于顶杆52间的补强杆520，可为两个以上且彼此呈相对斜向的配置型态(如呈外八或内八者)，以加强该框架5在结构上的强度与稳定性，同时亦有助于提高承载于该框架5上的容器本体1的抗扭曲、抗变形等特性或能力，以进一步提高容器本体可承受的载重重量。
如图10及图11所示，在其它实施方式中，本发明于上述门板3内可设有至少一个用于锁扣于容器本体1上的锁扣结构31，该锁扣结构31包含锁头310、以及透过该锁头310控制而能朝向门板3外侧作动的锁板311，该锁头310于门板3上设有锁孔312，并可透过解锁元件313伸入锁孔312内而扭动锁头310，借以透过锁头310来控制锁板311的作动。意即：当锁板311朝向门板3外侧作动时，可使门板3锁固于容器本体1上；反之，则使门板3能由该容器本体1上卸离。值得一提的是：本发明还可进一步于该容器本体1上设有供上述解锁元件313收纳的置放架14(即如图10所示)，具体来说，该置放架14可设于容器本体1的顶部11、任一侧壁12或后壁13外等处。而在所举的实施例中，于其中一个侧壁12外设置该置放架14，较佳地可介于所述侧壁12的任两个立杆51之间处。透过上述设计，可以方便操作人员对应不同的容器本体1而使用对应的解锁元件313、或是随时可以取得解锁元件313来开启容器本体1，而不需随身携带钥匙等开启或上锁用的物品。
另外，如图3及图11所示，为了进一步提高上述容器本体1与门板3的结构强度，亦可于容器本体1的后壁13上形成有向内或向外突起的补强肋130(即如图3所示)，所述补强肋130可呈由下而上的竖立状、或是呈水平及横侧等连接而成；另外，于门板3内亦可突设有补强肋32(即如图11所示)，所述补强肋32可呈彼此斜向交错的连接型式，例如呈「X」字型等。如此也有助于更进一步提高容器本体1的抗扭曲、抗变形等特性或能力。又，如图9、图10及图11所示，该门板3外表面上可设有供自动化设备(如具有吸附式吸盘等机具或机器手臂)作吸附的两个以上抛光部314，所述抛光部314可透过如镜面处理等方式提高其表面平整度与光滑度，进而能便于自动化设备操作门板3的取放等动作。
如图9及图12所示，上述框架5的底座50上可配合自动化搬运设备而设计有定位结构53。该底座50上可设有至少一个配置孔500，以供该定位结构53对应该配置孔500而组设于底座50上。请一并配合图13所示，该定位结构53具有框缘530而对应至该配置孔500外缘作组装，并于该框缘530内形成对应该配置孔500而凹入的对位空间531，所述对位空间531内形成有相互倾斜的导引面532，导引面532较佳的倾斜角度可为45°(如图14所示)。据此，可供自动化机具的对位结构6可伸入所述对位空间531内，并透过导引面532作导正，搬运机具能准确地对位后再进行搬运，从而避免因偏位而造成运载的行径路线上与周边物体发生碰撞。
再请参阅图12及13所示，为了便于自动化管理，上述框架5上也可以设有如RFID等识别元件54、或是透过如INFOR PAD等感应元件55作识别定位。
最后，如图12、图15A及图15B所示，本发明亦可于上述框架5的底座50上设有至少一个气阀56，所述气阀56可用于控制排气(如图15A所示)或进气(如图15B所示)，并具有阀套560、将阀套560固定于底座50上的阀座561、设于阀套560内的阀体562、以及于阀体562内作动的单向阀件563与弹性元件564，且阀套560上设有第一气口560a与反向设置的第二气口560b，并透过该弹性元件564对单向阀件561推向第一气口560a作为阻挡、而于气体推动该单向阀件561移动至第二气口560b时即可供气体通过，以达到配合如自动化设备的充气站作调节或控制排气与进气的目的。同时，本发明可通过该阀体561反向配置来作为排气或进气的选择，因此该气阀56兼具有共通性。
是以，借由上述的构造组成，即可得到本发明的基板容器。
综上所述，本发明实为不可多得的发明产品，其确可达到预期的使用目的，而解决习知的缺失，又因极具新颖性及创造性，完全符合发明专利申请条件，爰依专利法提出申请，敬请详查并批准本案专利，以保障发明人的权利。
惟以上所述仅为本发明的较佳可行实施例，非因此即拘限本发明的专利范围，故举凡运用本发明说明书及图式内容所为的等效结构变化，均同理皆包含于本发明的范围内，合予陈明。

Claims (27)

1.一种基板容器，其特征在于，包括：
容器本体，具有底部、相对于该底部的顶部、两个包围于该底部与该顶部之间的侧壁、以及位于该底部与该顶部及该两个侧壁后方的后壁，并于该容器本体前方形成开口状；
两个以上支撑结构，设于该容器本体内并依该底部至该顶部方向作上下间距排列，以介于该两个侧壁间的中央位置处，且各该支撑结构包含固定座、支撑杆、以及两个以上调整元件，该固定座上凹设有嵌槽，该支撑杆一端以横向插固于该嵌槽内以支撑于该固定座上，并使该支撑杆另一端朝向该容器本体前方开口处而呈悬置状态；以及
门板，封闭于该容器本体前方开口处；
其中，各该支撑结构的固定座背对于该嵌槽的另一面上具有朝向该容器本体后壁的突起部，且该两个以上调整元件环设于该突起部周围而将该固定座设于该容器本体内。
2.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该容器本体于其两个侧壁内设有分别对应各该支撑杆的支撑肋，且各该支撑肋于邻近所述侧壁内形成有导斜部。
3.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该容器本体的后壁上形成有向内或向外突起的补强肋。
4.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中所述突起部为拱起的弧形面。
5.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该固定座以该两个以上调整元件固定于该容器本体的后壁上。
6.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该固定座的上、下缘分别形成有相对应的凹凸形状。
7.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该支撑杆的顶面至少具有一个突起的支撑位置。
8.根据权利要求7所述的基板容器，其特征在于，其中该支撑杆的顶面呈倾斜状。
9.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其更设有调整座，该调整座沿各该支撑结构排列方向作竖立设置，且各该支撑结构的固定座的突起部抵贴于该调整座上。
10.根据权利要求9所述的基板容器，其特征在于，其中该调整座配置于该容器本体的后壁，并以调整杆由该容器本体外向内推抵该调整座。
11.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该门板内侧设有至少一个限位结构，且该限位结构包含竖立延伸的片部、以及沿该片部延伸方向排列设置的弹性部。
12.根据权利要求11所述的基板容器，其特征在于，其中该限位结构由金属片体冲制而成。
13.根据权利要求11所述的基板容器，其特征在于，其中各该弹性部具有斜边而呈倾斜状者。
14.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该门板内设有至少一个锁扣于该容器本体上的锁扣结构，且该锁扣结构包含锁头、以及透过该锁头控制而能朝向该门板外侧作动的锁板，该锁头于该门板上设有锁孔，并以解锁元件伸入该锁孔内而扭动该锁头。
15.根据权利要求14所述的基板容器，其特征在于，其中该容器本体上设有供该解锁元件收纳的置放架。
16.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该门板内突设有呈彼此斜向交错的补强肋。
17.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其中该门板外表面上设有两个以上抛光部，所述抛光部通过镜面处理而形成。
18.根据权利要求1所述的基板容器，其特征在于，其更包括框架，该框架包含底座、两个以上支撑于该底座两侧上的立杆、以及连该底座两侧的立杆间的两个以上顶杆。
19.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该框架两侧的立杆分别设有提杆。
20.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该两个以上立杆间设有补强杆，所述补强杆呈由上而下斜向对角的配置型态。
21.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该两个以上顶杆间设有补强杆，所述补强杆为两个以上且彼此呈相对斜向的配置型态。
22.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该框架的底座上设有定位结构，且该底座上设有至少一个配置孔，以供该定位结构对应该配置孔而组设于底座上。
23.根据权利要求22所述的基板容器，其特征在于，其中该定位结构具有框缘而对应至该配置孔外缘作组装，并于该框缘内形成对应该配置孔而凹入的对位空间，所述对位空间内形成有相互倾斜的导引面。
24.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该框架的底座上设有识别元件。
25.根据权利要求18或22所述的基板容器，其特征在于，其中该框架的底座上设有感应元件。
26.根据权利要求18所述的基板容器，其特征在于，其中该框架的底座上设有至少一个气阀。
27.根据权利要求26所述的基板容器，其特征在于，其中该气阀包含阀套、将该阀套固定于该底座上的阀座、设于该阀套内的阀体、以及于该阀体内作动的单向阀件与弹性元件，且该阀套上设有第一气口与反向设置的第二气口，并该弹性元件对该单向阀件推向第一气口作进气或排气。
CN202210938913.2A 2022-08-05 2022-08-05 基板容器 Pending CN117558662A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210938913.2A CN117558662A (zh) 2022-08-05 2022-08-05 基板容器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210938913.2A CN117558662A (zh) 2022-08-05 2022-08-05 基板容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN117558662A true CN117558662A (zh) 2024-02-13

Family

ID=89817260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210938913.2A Pending CN117558662A (zh) 2022-08-05 2022-08-05 基板容器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117558662A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8833806B2 (en) Front opening unified pod with latch structure
US7357257B2 (en) Thin plate supporting container
US5706946A (en) Thin-plate supporting container
US5782361A (en) Thin-plate supporting container
TWI541177B (zh) 具晶圓緩衝件之前開式晶圓容器
US8794444B2 (en) Large-sized front opening unified wafer POD
KR20150023941A (ko) 큰 지름의 웨이퍼를 취급하는 장치 및 방법
EP1043758A2 (en) Thin-plate accommodating and/or transporting container
TWI743169B (zh) 物品搬送裝置
TWI515160B (zh) 具自動凸緣之前開式晶圓容器
JP2009543374A (ja) ウエハカセット
JP4338205B2 (ja) ポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットを有するロードポート、ポッド及びロードポートを有するミニエンバイロンメントシステム
WO2016035480A1 (ja) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
US20020114686A1 (en) Wafer carrier with stacking adaptor plate
CN117558662A (zh) 基板容器
JP2019011179A (ja) 物品支持棚
JPH06224313A (ja) Ｉｃキャリア
TW201526144A (zh) 物品之支撐裝置及對支撐裝置載置兩種物品之載置方法
KR101330110B1 (ko) 기판 수납용기
TWI836995B (zh) 基板容器
TWI815581B (zh) 基板容器
TW202406811A (zh) 基板容器
US20100051504A1 (en) Wafer Container with Integrated Wafer Restraint Module
KR101146683B1 (ko) 반도체 패키지용 스탑 토글 인서트
TW202110730A (zh) 基板收納容器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination