CN117542766A - 一种晶圆清洗干燥装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶圆清洗干燥技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗干燥装置，包括集水槽，所述集水槽的后侧设置有自动盖板，所述集水槽的左侧设置有提升机构，所述提升机构包括移动盒，所述移动盒的内侧固定卡装有晶圆盒，所述集水槽的内侧固定安装有浸水槽，所述集水槽的内壁靠近上端处设置有蒸汽喷淋机构。本发明中设置的提升机构与脱离机构以及蒸汽喷淋机构三者合理配合，在清洗过程中有效避免了晶圆盒与晶圆的接触，并与脱离支撑座配合，使晶圆清洗干燥时，无面与线的接触，最终的清洗与干燥效果更加彻底；同时转动清洁机构的设置，可有效对晶圆清洗过程中，被污垢与金属颗粒迸溅的移动盒、晶圆盒、脱离支撑座以及喷嘴的出风口处进行有效清洁。

Description

一种晶圆清洗干燥装置
技术领域
本发明涉及晶圆清洗干燥技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗干燥装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和12英寸为主。
晶圆在生产过程中需要用到清洗干燥装置，但现有的清洗干燥装置在对多个晶圆进行清洗时，一般会通过将多个晶圆放置在晶圆专用盒中一起清洗，由于有晶圆专用盒的阻挡，使得晶圆的最终清洗效果与干燥程度不够彻底；
在通过IPA蒸汽喷淋机构对晶圆进行蒸汽冲洗干燥时，IPA蒸汽通过喷嘴喷向晶圆表面，利用蒸汽的高温和冲击力，将表面的污染物清洗干净的同时，晶圆表面被冲洗下的污垢与金属颗粒，极易迸溅至喷嘴的出气口处，以及晶圆专用盒中，从而不利于后续喷嘴的正常使用，并且也给清洗干净后的晶圆带来再次污染的不利影响。
发明内容
本发明的目的是为了解决背景技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆清洗干燥装置。
为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种晶圆清洗干燥装置，包括集水槽，所述集水槽的后侧设置有自动盖板，所述集水槽的左侧设置有提升机构，所述提升机构包括移动盒，所述移动盒的内侧固定卡装有晶圆盒，所述移动盒的两侧分别固定安装有四个钩装板，所述晶圆盒内侧设置的多个插槽中插装有多个晶圆，所述集水槽的内侧固定安装有浸水槽，所述集水槽的内壁靠近上端处设置有蒸汽喷淋机构，所述蒸汽喷淋机构包括两组喷嘴；
所述浸水槽的内侧且位于晶圆盒的下方对应处设置与提升机构配合的脱离机构，所述脱离机构将晶圆盒内侧插装的多个晶圆与晶圆盒脱离；
所述浸水槽的内侧且位于两组喷嘴的下方分别设置有转动冲洗机构，两个所述转动冲洗机构共同包括四个连接座，四个所述连接座上端开设的固定孔与四个钩装板的上端弯钩处钩装配合。
优选的，所述提升机构包括提升盒，所述提升盒固定安装在集水槽的左侧上端处，所述提升盒的内侧分别转动连接有丝杆，所述丝杆的外表面套装有螺纹配合的移动座，所述移动座的内部且靠近丝杆的一侧滑动插装有连接杆，所述连接杆的两端固定连接提升盒的内侧，所述丝杆的底端穿过提升盒的底部固定连接第一电机的输出轴。
优选的，所述第一电机的一侧通过加固件固定安装在提升盒的底端处，所述移动座的一侧固定安装有安装件，所述安装件的底端固定连接移动盒的内侧且靠近一端处，所述移动盒的内部靠近中间处开设有脱离口，所述晶圆盒底端固定安装有卡装块，所述移动盒的内侧且位于卡装块的底端对应处分别开设有卡装配合的卡装孔，所述晶圆盒的一侧固定安装有拉环。
优选的，所述脱离机构包括脱离支撑座，所述脱离支撑座的底部通过安装架固定安装在浸水槽的内侧处，所述脱离支撑座的内侧上端处分别设置有与多个晶圆底端支撑配合的插槽，上述脱离支撑座的内侧底端处固定安装有滤布。
优选的，所述蒸汽喷淋机构包括两个导管与一个连接管，两个所述导管的内侧分别固定安装有两组喷嘴，两个所述导管的一端通过连接管进行固定连接，两个所述导管与一个连接管的连接端以及两个导管与浸水槽的连接端分别通过四个固定件固定安装在浸水槽的内部处。
优选的，一个所述导管的另一端依次穿过浸水槽与集水槽的一侧，所述浸水槽的一侧底端处固定安装有第一出水管，所述浸水槽的另一侧上端处固定安装有进水管，所述集水槽的一侧底端处固定安装有第二出水管，所述第一出水管与第二出水管的出水口处分别安装有排水阀。
优选的，所述转动冲洗机构包括两组固定板，两组所述固定板固定安装在浸水槽的内壁两侧处，两组所述固定板的内侧分别固定安装有两个滑动杆，两个所述滑动杆的外表面分别固定套装有两个滑动座，所述浸水槽的内部上端处且靠近滑动座的下方开设有多个溢流孔，一个所述滑动杆的外表面套装有弹簧，所述弹簧的两端分别连接一个固定板与一个滑动座的内侧，所述集水槽的上端面且位于两个钩装板的上端对应处分别开设有移动口，所述移动口的内侧活动塞装有密封件，两个所述滑动座的一侧分别固定安装有两个连接座，两个所述连接座的内侧转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端穿过一个连接座的内部连接第二电机的输出轴。
优选的，所述第二电机的外侧通过连接件固定安装在一个滑动座的一侧处，所述螺纹杆的外表面套装有螺纹配合的安装座，所述安装座的后端与浸水槽的内壁一侧处滑动配合，所述安装座的内侧且位于前端处转动安装有转动轴，所述转动轴的一端穿过安装座的一侧连接第三电机的输出轴，所述第三电机的上侧通过加固件固定安装在安装座的一侧处，所述转动轴的外表面固定套装有转动座，所述转动座上固定安装有清洗喷头，所述清洗喷头的底端固定连接有软管的一端，所述软管的另一端固定连接有第一伸缩管的一端，所述第一伸缩管与软管的连接端通过固定件固定安装在安装座的另一侧处。
优选的，所述第一伸缩管的另一端固定连接有第二伸缩管的底端，所述第一伸缩管与第二伸缩管的连接端通过固定件固定安装在一个连接座的一侧处，所述第二伸缩管的上端固定连接有导水盒的底部，所述导水盒的后侧固定连接一个固定板的一侧，所述导水盒的左侧固定连接有输水管的一端，两个所述输水管的另一端依次穿过浸水槽与集水槽的一侧固定连接导水管的两端，所述导水管与两个输水管的连接端分别通过固定件固定安装在集水槽的外侧处，所述导水管的底侧固定连接有固定管。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
1、本发明中浸水槽开始以缓慢速度排放，待晶圆盒上顶面与液面平齐时，脱离机构开始作用，丝杆继续转动并带动晶圆盒与晶圆向下移动至晶圆底端处插装至脱离支撑座内侧设置的插槽中，同时液面下降速度与晶圆盒下降速度保持一致，晶圆则通过脱离支撑座缓慢提出水面，同时，启动蒸汽喷淋机构，通过两个导管与一个连接管向两组喷嘴中通过蒸汽，蒸汽再喷向斜下方处的脱离支撑座上的多个晶圆表面，利用蒸汽的高温和冲击力，将表面的污染物清洗干净，同时，IPA蒸汽还可以渗透到晶圆表面的细微部分，将内部的污垢和残留物也清洗干净。在干燥过程中，IPA蒸汽通过降低混合液的表面张力，使混合液更容易从晶圆表面蒸发，使得晶圆干燥，从而使得在清洗过程中避免晶圆盒与晶圆的接触，并与脱离支撑座配合，使晶圆清洗干燥时，无面与线的接触，最终的清洗与干燥效果更加彻底；
2、本发明中晶圆盒在向下移动的同时其底端卡装的移动座外侧设置的钩装板在下降至合适位置后与转动清洗装置中的连接座上端面开设的固定孔钩装配合，从而拉动转动清洗装置向下移动，并使得转动清洗装置与下方的晶圆盒始终保持合适距离，晶圆通过蒸汽喷淋机构清洗的污垢与金属颗粒迸溅至移动盒与晶圆盒中时，通过固定管与导水管向两个输水管中输入清洗水，清洗水再通过导水盒与第二伸缩管以及第一伸缩管输送至清洗喷头中，再启动第三电机，第三电机带动转动轴与转动轴上固定套装的转动座以及转动座上的清洗喷头向下转动至合适角度后，再启动第二电机，第二电机带动螺纹杆转动，使得安装座带动清洗喷头，对下方的移动盒与晶圆盒内侧的污垢与金属颗粒进行向下冲洗，当移动盒向上移动的合适，外侧设置的钩装板逐渐与连接座上设置的固定孔分离，滑动座再受下方设置的弹簧影响，弹性带动转动冲洗机构复位至喷嘴下方，重复上述操作，使得转动冲洗机构再对喷嘴与脱离支撑座上迸溅或残留的污垢与金属颗粒进行冲洗。
3、基于上述本发明中设置的提升机构与脱离机构以及蒸汽喷淋机构三者合理配合，在清洗过程中有效避免了晶圆盒与晶圆的接触，并与脱离支撑座配合，使晶圆清洗干燥时，无面与线的接触，最终的清洗与干燥效果更加彻底；同时转动清洁机构的设置，可有效对晶圆清洗过程中，被污垢与金属颗粒迸溅的移动盒、晶圆盒、脱离支撑座以及喷嘴的出风口处进行有效清洁，避免晶圆盒内的污染物与清洗后的晶圆二次接触，也避免了喷嘴的出风口处出现堵塞情况，影响后续使用。
附图说明
图1为本发明一种晶圆清洗干燥装置的结构示意图；
图2为本发明一种晶圆清洗干燥装置另一角度的结构示意图；
图3为本发明一种晶圆清洗干燥装置内部的结构示意图；
图4为本发明一种晶圆清洗干燥装置中提升机构与脱离机构的结构示意图；
图5为本发明一种晶圆清洗干燥装置中脱离机构与蒸汽喷淋机构的结构示意图；
图6为本发明一种晶圆清洗干燥装置中提升机构的结构示意图；
图7为本发明一种晶圆清洗干燥装置中转动冲洗机构的结构示意图；
图8为本发明一种晶圆清洗干燥装置中图7中A处放大的结构示意图。
图中：1、集水槽；2、自动盖板；3、晶圆盒；4、浸水槽；5、晶圆；6、连接座；7、固定孔；8、钩装板；9、提升盒；10、丝杆；11、移动座；12、连接杆；13、第一电机；14、安装件；15、脱离支撑座；16、导管；17、连接管；18、第二出水管；19、固定板；20、滑动杆；21、滑动座；22、弹簧；23、第二电机；24、转动轴；25、第三电机；26、清洗喷头；27、软管；28、第一伸缩管；29、第二伸缩管；30、导水盒；31、输水管；32、导水管；33、固定管；34、溢流孔；35、移动盒；36、进水管；37、螺纹杆；38、转动座；39、安装座；40、喷嘴；41、第一出水管。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变形。
如图1-图4和图6所示的一种晶圆清洗干燥装置，包括集水槽1，集水槽1的后侧设置有自动盖板2，集水槽1的左侧设置有提升机构，提升机构包括移动盒35，移动盒35的内侧固定卡装有晶圆盒3，移动盒35的两侧分别固定安装有四个钩装板8，提升机构包括提升盒9，提升盒9固定安装在集水槽1的左侧上端处，提升盒9的内侧分别转动连接有丝杆10，丝杆10的外表面套装有螺纹配合的移动座11，移动座11的内部且靠近丝杆10的一侧滑动插装有连接杆12，连接杆12的两端固定连接提升盒9的内侧，丝杆10的底端穿过提升盒9的底部固定连接第一电机13的输出轴。晶圆盒3内侧设置的多个插槽中插装有多个晶圆5，集水槽1的内侧固定安装有浸水槽4，第一电机13的一侧通过加固件固定安装在提升盒9的底端处，移动座11的一侧固定安装有安装件14，安装件14的底端固定连接移动盒35的内侧且靠近一端处，移动盒35的内部靠近中间处开设有脱离口，晶圆盒3底端固定安装有卡装块，移动盒35的内侧且位于卡装块的底端对应处分别开设有卡装配合的卡装孔，晶圆盒3的一侧固定安装有拉环。将装有多个晶圆5的晶圆盒3卡装在移动盒35中，再启动第一电机13，第一电机13带动丝杆10转动，丝杆10再带动移动盒35向下移动至晶圆盒3与晶圆5浸入浸水槽4中，直至完全淹没，再盖上自动盖板2。
如图5所示，集水槽1的内壁靠近上端处设置有蒸汽喷淋机构，蒸汽喷淋机构包括两组喷嘴40，蒸汽喷淋机构包括两个导管16与一个连接管17，两个导管16的内侧分别固定安装有两组喷嘴40，两个导管16的一端通过连接管17进行固定连接，两个导管16与一个连接管17的连接端以及两个导管16与浸水槽4的连接端分别通过四个固定件固定安装在浸水槽4的内部处，一个导管16的另一端依次穿过浸水槽4与集水槽1的一侧，浸水槽4的一侧底端处固定安装有第一出水管41，浸水槽4的另一侧上端处固定安装有进水管36，集水槽1的一侧底端处固定安装有第二出水管18，第一出水管41与第二出水管18的出水口处分别安装有排水阀。通过两个导管16与一个连接管17向两组喷嘴40中通过蒸汽，蒸汽再喷向斜下方处的脱离支撑座15上的多个晶圆5表面，利用蒸汽的高温和冲击力，将表面的污染物清洗干净，同时，IPA蒸汽还可以渗透到晶圆5表面的细微部分，将内部的污垢和残留物也清洗干净。在干燥过程中，IPA蒸汽通过降低混合液的表面张力，使混合液更容易从晶圆5表面蒸发，使得晶圆5干燥。
浸水槽4的内侧且位于晶圆盒3的下方对应处设置与提升机构配合的脱离机构，脱离机构将晶圆盒3内侧插装的多个晶圆5与晶圆盒3脱离，脱离机构包括脱离支撑座15，脱离支撑座15的底部通过安装架固定安装在浸水槽4的内侧处，脱离支撑座15的内侧上端处分别设置有与多个晶圆5底端支撑配合的插槽，上述脱离支撑座15的内侧底端处固定安装有滤布。浸水槽4开始以缓慢速度排放，待晶圆盒3上顶面与液面平齐时，脱离机构开始作用，丝杆10继续转动并带动晶圆盒3与晶圆5向下移动至晶圆5底端处插装至脱离支撑座15内侧设置的插槽中，同时液面下降速度与晶圆盒3下降速度保持一致，晶圆5则通过脱离支撑座15缓慢提出水面。
如图3、图7和图8所示，浸水槽4的内侧且位于两组喷嘴40的下方分别设置有转动冲洗机构，两个转动冲洗机构共同包括四个连接座6，四个连接座6上端开设的固定孔7与四个钩装板8的上端弯钩处钩装配合，转动冲洗机构包括两组固定板19，两组固定板19固定安装在浸水槽4的内壁两侧处，两组固定板19的内侧分别固定安装有两个滑动杆20，两个滑动杆20的外表面分别固定套装有两个滑动座21，浸水槽4的内部上端处且靠近滑动座21的下方开设有多个溢流孔34，一个滑动杆20的外表面套装有弹簧22，弹簧22的两端分别连接一个固定板19与一个滑动座21的内侧，集水槽1的上端面且位于两个钩装板8的上端对应处分别开设有移动口，移动口的内侧活动塞装有密封件。晶圆盒3在向下移动的同时其底端卡装的移动座11外侧设置的钩装板8在下降至合适位置后与转动清洗装置中的连接座6上端面开设的固定孔7钩装配合，从而拉动转动清洗装置向下移动，并使得转动清洗装置与下方的晶圆盒3始终保持合适距离。
两个滑动座21的一侧分别固定安装有两个连接座6，两个连接座6的内侧转动连接有螺纹杆37，螺纹杆37的一端穿过一个连接座6的内部连接第二电机23的输出轴，第二电机23的外侧通过连接件固定安装在一个滑动座21的一侧处，螺纹杆37的外表面套装有螺纹配合的安装座39，安装座39的后端与浸水槽4的内壁一侧处滑动配合，安装座39的内侧且位于前端处转动安装有转动轴24，转动轴24的一端穿过安装座39的一侧连接第三电机25的输出轴，第三电机25的上侧通过加固件固定安装在安装座39的一侧处，转动轴24的外表面固定套装有转动座38，转动座38上固定安装有清洗喷头26。启动第三电机25，第三电机25带动转动轴24与转动轴24上固定套装的转动座38以及转动座38上的清洗喷头26向下转动至合适角度后，再启动第二电机23，第二电机23带动螺纹杆37转动，使得安装座39带动清洗喷头26，对下方的移动盒35与晶圆盒3内侧的污垢与金属颗粒进行向下冲洗。
清洗喷头26的底端固定连接有软管27的一端，软管27的另一端固定连接有第一伸缩管28的一端，第一伸缩管28与软管27的连接端通过固定件固定安装在安装座39的另一侧处，第一伸缩管28的另一端固定连接有第二伸缩管29的底端，第一伸缩管28与第二伸缩管29的连接端通过固定件固定安装在一个连接座6的一侧处，第二伸缩管29的上端固定连接有导水盒30的底部，导水盒30的后侧固定连接一个固定板19的一侧，导水盒30的左侧固定连接有输水管31的一端，两个输水管31的另一端依次穿过浸水槽4与集水槽1的一侧固定连接导水管32的两端，导水管32与两个输水管31的连接端分别通过固定件固定安装在集水槽1的外侧处，导水管32的底侧固定。通过固定管33与导水管32向两个输水管31中输入清洗水，清洗水再通过导水盒30与第二伸缩管29以及第一伸缩管28输送至清洗喷头26中。
使用过程中，将装有多个晶圆5的晶圆盒3卡装在移动盒35中，再启动第一电机13，第一电机13带动丝杆10转动，丝杆10再带动移动盒35向下移动至晶圆盒3与晶圆5浸入浸水槽4中，直至完全淹没，再盖上自动盖板2，再将两个密封件塞装至集水槽1上端设置的两个移动口中，晶圆盒3与晶圆5缓慢浸入浸水槽4的同时，浸水槽4中多余的水通过浸水槽4上端处开设的溢流孔34溢流向集水槽1中，再通过第二出水管18排出，待水面波动停止，将第一出水管41处的排水阀打开，浸水槽4开始以缓慢速度排放，待晶圆盒3上顶面与液面平齐时，脱离机构开始作用，丝杆10继续转动并带动晶圆盒3与晶圆5向下移动至晶圆5底端处插装至脱离支撑座15内侧设置的插槽中；
同时液面下降速度与晶圆盒3下降速度保持一致，晶圆5则通过脱离支撑座15缓慢提出水面，同时，启动蒸汽喷淋机构，通过两个导管16与一个连接管17向两组喷嘴40中通过蒸汽，蒸汽再喷向斜下方处的脱离支撑座15上的多个晶圆5表面，利用蒸汽的高温和冲击力，将表面的污染物清洗干净，同时，IPA蒸汽还可以渗透到晶圆5表面的细微部分，将内部的污垢和残留物也清洗干净。在干燥过程中，IPA蒸汽通过降低混合液的表面张力，使混合液更容易从晶圆5表面蒸发，使得晶圆5干燥，从而使得在清洗过程中避免晶圆盒3与晶圆5的接触，并与脱离支撑座15配合，使晶圆5清洗干燥时，无面与线的接触，最终的清洗与干燥效果更加彻底；
晶圆盒3在向下移动的同时其底端卡装的移动座11外侧设置的钩装板8在下降至合适位置后与转动清洗装置中的连接座6上端面开设的固定孔7钩装配合，从而拉动转动清洗装置向下移动，并使得转动清洗装置与下方的晶圆盒3始终保持合适距离，晶圆5通过蒸汽喷淋机构清洗的污垢与金属颗粒迸溅至移动盒35与晶圆盒3中时，通过固定管33与导水管32向两个输水管31中输入清洗水，清洗水再通过导水盒30与第二伸缩管29以及第一伸缩管28输送至清洗喷头26中，再启动第三电机25，第三电机25带动转动轴24与转动轴24上固定套装的转动座38以及转动座38上的清洗喷头26向下转动至合适角度后，再启动第二电机23，第二电机23带动螺纹杆37转动，使得安装座39带动清洗喷头26，对下方的移动盒35与晶圆盒3内侧的污垢与金属颗粒进行向下冲洗，同时，脱离支撑座15内侧底部处设置的滤布，可有效降低下方清洗过程中对晶圆5的影响，晶圆盒3清洗结束后，打开自动盖板2，并启动丝杆10，带动移动盒35与晶圆盒3向上移动，使得清洗干燥后的晶圆5重新进图晶圆盒3中，晶圆盒3再带动晶圆5移出集水槽1中，后续再使用机械手将其拿走，进行再加工；
之后，再盖上自动盖板2，移动盒35向上移动的合适，外侧设置的钩装板8逐渐与连接座6上设置的固定孔7分离，滑动座21再受下方设置的弹簧22影响，弹性带动转动冲洗机构复位至喷嘴40下方，重复上述操作，使得转动冲洗机构再对喷嘴40与脱离支撑座15上迸溅或残留的污垢与金属颗粒进行冲洗。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (9)

1.一种晶圆清洗干燥装置，包括集水槽（1），其特征在于：所述集水槽（1）的后侧设置有自动盖板（2），所述集水槽（1）的左侧设置有提升机构，所述提升机构包括移动盒（35），所述移动盒（35）的内侧固定卡装有晶圆盒（3），所述移动盒（35）的两侧分别固定安装有四个钩装板（8），所述晶圆盒（3）内侧设置的多个插槽中插装有多个晶圆（5），所述集水槽（1）的内侧固定安装有浸水槽（4），所述集水槽（1）的内壁靠近上端处设置有蒸汽喷淋机构，所述蒸汽喷淋机构包括两组喷嘴（40）；
所述浸水槽（4）的内侧且位于晶圆盒（3）的下方对应处设置与提升机构配合的脱离机构，所述脱离机构将晶圆盒（3）内侧插装的多个晶圆（5）与晶圆盒（3）脱离；
所述浸水槽（4）的内侧且位于两组喷嘴（40）的下方分别设置有转动冲洗机构，两个所述转动冲洗机构共同包括四个连接座（6），四个所述连接座（6）上端开设的固定孔（7）与四个钩装板（8）的上端弯钩处钩装配合。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述提升机构包括提升盒（9），所述提升盒（9）固定安装在集水槽（1）的左侧上端处，所述提升盒（9）的内侧分别转动连接有丝杆（10），所述丝杆（10）的外表面套装有螺纹配合的移动座（11），所述移动座（11）的内部且靠近丝杆（10）的一侧滑动插装有连接杆（12），所述连接杆（12）的两端固定连接提升盒（9）的内侧，所述丝杆（10）的底端穿过提升盒（9）的底部固定连接第一电机（13）的输出轴。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述第一电机（13）的一侧通过加固件固定安装在提升盒（9）的底端处，所述移动座（11）的一侧固定安装有安装件（14），所述安装件（14）的底端固定连接移动盒（35）的内侧且靠近一端处，所述移动盒（35）的内部靠近中间处开设有脱离口，所述晶圆盒（3）底端固定安装有卡装块，所述移动盒（35）的内侧且位于卡装块的底端对应处分别开设有卡装配合的卡装孔，所述晶圆盒（3）的一侧固定安装有拉环。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述脱离机构包括脱离支撑座（15），所述脱离支撑座（15）的底部通过安装架固定安装在浸水槽（4）的内侧处，所述脱离支撑座（15）的内侧上端处分别设置有与多个晶圆（5）底端支撑配合的插槽，上述脱离支撑座（15）的内侧底端处固定安装有滤布。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述蒸汽喷淋机构包括两个导管（16）与一个连接管（17），两个所述导管（16）的内侧分别固定安装有两组喷嘴（40），两个所述导管（16）的一端通过连接管（17）进行固定连接，两个所述导管（16）与一个连接管（17）的连接端以及两个导管（16）与浸水槽（4）的连接端分别通过四个固定件固定安装在浸水槽（4）的内部处。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：一个所述导管（16）的另一端依次穿过浸水槽（4）与集水槽（1）的一侧，所述浸水槽（4）的一侧底端处固定安装有第一出水管（41），所述浸水槽（4）的另一侧上端处固定安装有进水管（36），所述集水槽（1）的一侧底端处固定安装有第二出水管（18），所述第一出水管（41）与第二出水管（18）的出水口处分别安装有排水阀。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述转动冲洗机构包括两组固定板（19），两组所述固定板（19）固定安装在浸水槽（4）的内壁两侧处，两组所述固定板（19）的内侧分别固定安装有两个滑动杆（20），两个所述滑动杆（20）的外表面分别固定套装有两个滑动座（21），所述浸水槽（4）的内部上端处且靠近滑动座（21）的下方开设有多个溢流孔（34），一个所述滑动杆（20）的外表面套装有弹簧（22），所述弹簧（22）的两端分别连接一个固定板（19）与一个滑动座（21）的内侧，所述集水槽（1）的上端面且位于两个钩装板（8）的上端对应处分别开设有移动口，所述移动口的内侧活动塞装有密封件，两个所述滑动座（21）的一侧分别固定安装有两个连接座（6），两个所述连接座（6）的内侧转动连接有螺纹杆（37），所述螺纹杆（37）的一端穿过一个连接座（6）的内部连接第二电机（23）的输出轴。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述第二电机（23）的外侧通过连接件固定安装在一个滑动座（21）的一侧处，所述螺纹杆（37）的外表面套装有螺纹配合的安装座（39），所述安装座（39）的后端与浸水槽（4）的内壁一侧处滑动配合，所述安装座（39）的内侧且位于前端处转动安装有转动轴（24），所述转动轴（24）的一端穿过安装座（39）的一侧连接第三电机（25）的输出轴，所述第三电机（25）的上侧通过加固件固定安装在安装座（39）的一侧处，所述转动轴（24）的外表面固定套装有转动座（38），所述转动座（38）上固定安装有清洗喷头（26），所述清洗喷头（26）的底端固定连接有软管（27）的一端，所述软管（27）的另一端固定连接有第一伸缩管（28）的一端，所述第一伸缩管（28）与软管（27）的连接端通过固定件固定安装在安装座（39）的另一侧处。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述第一伸缩管（28）的另一端固定连接有第二伸缩管（29）的底端，所述第一伸缩管（28）与第二伸缩管（29）的连接端通过固定件固定安装在一个连接座（6）的一侧处，所述第二伸缩管（29）的上端固定连接有导水盒（30）的底部，所述导水盒（30）的后侧固定连接一个固定板（19）的一侧，所述导水盒（30）的左侧固定连接有输水管（31）的一端，两个所述输水管（31）的另一端依次穿过浸水槽（4）与集水槽（1）的一侧固定连接导水管（32）的两端，所述导水管（32）与两个输水管（31）的连接端分别通过固定件固定安装在集水槽（1）的外侧处，所述导水管（32）的底侧固定连接有固定管（33）。
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