CN117461122A - 净化装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种净化装置。净化装置(10)具备：通过移载装置(30)移载容器(F)的载置部(8)；设置在载置部(8)的净化喷嘴(11)；以实施经由净化喷嘴(11)向载置在载置部(8)的容器(F)内供给净化气体的净化处理的方式进行控制的控制器(13)；以及在移载装置(30)使容器(F)从载置部(8)的正面侧或者里侧进入载置部(8)的正上方的情况下，检测移载装置(30)或者容器(F)向载置部(8)的正上方的进入的进入检测传感器(18、28)。控制器(13)进行控制，以便基于进入检测传感器(18、28)的检测结果，在净化处理的实施之前从净化喷嘴(8)排出净化气体。

Description

净化装置

技术领域

本发明的一个方面涉及净化装置。

背景技术

公知有具备通过移载装置载置容器的载置部、设置在载置部的净化喷嘴、以及实施经由净化喷嘴向载置部的容器内供给净化气体的净化处理的控制器的净化装置。在这样的净化装置中，在净化处理的实施之前，往往实施从净化喷嘴排出净化气体的预净化(净化喷嘴的清洁)处理(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利第5557061号公报

在上述那样的净化装置中，例如存在预净化处理的开始过早，预净化处理的净化气体的消耗量增大的担忧。

发明内容

因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种能够抑制预净化处理的净化气体的消耗量的净化装置。

本发明的一个方面的净化装置具备：载置部，其通过移载装置载置容器；净化喷嘴，其设置在载置部；控制器，其进行控制，以便实施经由净化喷嘴向载置于载置部的容器内供给净化气体的净化处理；以及进入检测传感器，其在移载装置使容器从载置部的正面侧或者里侧进入载置部的正上方的情况下，检测移载装置或者容器向载置部的正上方的进入，控制器进行控制，以便基于进入检测传感器的检测结果，在净化处理的实施之前从净化喷嘴排出净化气体。

在该净化装置中，能够基于移载装置或者容器进入载置部的正上方的时刻，实施预净化处理，能够从刚将容器载置在载置部之前进行预净化处理。由此，例如能够抑制预净化处理的净化气体的消耗量，而预净化处理的开始不会过早。另外，在实施预净化处理时，例如不需要将移载装置侧的控制指令等作为触发，能够仅通过净化装置侧的控制来实施预净化处理。

本发明的一个方面的净化装置也可以还具备载荷传感器，其检测在载置部载置有容器的情况，控制器进行控制，以便基于载荷传感器的检测结果，实施净化处理。在该情况下，能够通过净化装置侧的控制，接着预净化处理来实施净化处理。

在本发明的一个方面的净化装置中，载置部也可以是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，进入检测传感器也可以包含射出光的投光器、以及接受来自投光器的光的受光器，投光器以及受光器中的任一个也可以安装于配置在载置部的正面侧的吊挂部件，投光器以及受光器中的任一个也可以安装于配置在载置部的里侧的吊挂部件。在该情况下，作为进入检测传感器能够利用投光器以及受光器，以简易的结构可靠地检测移载装置或者容器向载置部的正上方的进入。

在本发明的一个方面的净化装置中，载置部也可以是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，进入检测传感器也可以包含射出光且相应于该射出接受由上述移载装置的反射板进行了反射的反射光的投受光器，投受光器也可以安装于多个吊挂部件中的任一个。在该情况下，作为进入检测传感器能够利用投受光器，以简易的结构可靠地检测移载装置或者容器向载置部的正上方的进入。

在本发明的一个方面的净化装置中，进入检测传感器也可以检测移载装置向载置部的正上方的进入。在该情况下，与检测容器向载置部的正上方的进入的情况相比，能够尽快掌握容器向载置部的移载。

本发明的一个方面的净化装置也可以具备接近检测传感器，其检测从载置部的正上方与载置部接近的移载装置或者容器。在该情况下，能够根据移载装置或者容器从载置部的正上方与载置部接近的时刻，例如控制实施中的预净化处理。

根据本发明的一个方面，能够提供一种能够抑制预净化处理的净化气体的消耗量的净化装置。

附图说明

图1是表示设置有实施方式的净化装置的保管架的简要侧视图。

图2是表示图1的保管架的立体图。

图3是表示图1的保管架的架板周边的构造的立体图。

图4是表示图1的桥式吊车的主视图。

图5是表示由图1的净化装置的气体控制装置执行的处理的流程图。

图6(a)是说明从桥式吊车向保管架的架板移载容器时的预净化处理以及净化处理的例子的简要侧视图。图6(b)是表示图6(a)的后续的简要侧视图。

图7(a)是表示图6(b)的后续的简要侧视图。图7(b)是表示图7(a)的后续的简要侧视图。

图8(a)是说明变形例的预净化传感器的简要侧视图。图8(b)是说明图8(a)的预净化传感器的其它简要侧视图。

图9(a)是说明作为接近检测传感器的预净化传感器的简要侧视图。图9(b)是说明图9(a)的预净化传感器的其它简要侧视图。

图10(a)是说明作为接近检测传感器的预净化传感器的简要侧视图。图10(b)是说明图10(a)的预净化传感器的其它简要侧视图。

图11是表示变形例的保管架的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明实施方式。此外，在附图的说明中，对同一构件标注相同的附图标记，省略重复的说明。“X方向”、“Y方向”以及“Z方向”的用语是基于示的方向，为了方便的用语。

如图1、图2以及图3所示，实施方式的净化装置10是设置在保管架1的装置，对由保管架1保管的容器F供给氮气等净化气体。保管架1例如沿着构成半导体制造工厂的半导体输送系统S的桥式吊车2的轨道4而配置。容器F例如是FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式联合吊舱)或者标线片容器等。保管架1暂时保管容器F。保管架1也可以是配置在轨道4的侧方的侧轨道缓冲器(STB)。保管架1构成为用净化气体净化容器F的内部。

如图1以及图2所示，保管架1例如具备从顶棚部5悬吊的两个底架6、以及架设在两个底架6的两根横梁件7。各底架6具有：悬挂在顶棚部5并向铅垂方向亦即Z方向延伸的两根吊挂部件61A、61B；以及架设在吊挂部件61A、61B的下端并沿水平方向亦即Y方向延伸的一根支承部件62。横梁件7安装于两个底架6的支承部件62的下表面。横梁件7例如是由具有C字形的剖面的槽形钢构成的部件。横梁件7与水平方向亦即X方向平行地延伸。两根横梁件7在Y方向上分离。

在保管架1中，在横梁件7上安装有平板状的架板8。架板8是包含与容器F的底面大致相同或者比容器F的底面稍小的矩形的板部件的净化架。通过桥式吊车2的移载装置30(后述)将容器F载置在架板8。架板8构成从顶棚部5通过多个吊挂部件61A、61B被悬吊的载置部。架板8例如水平地延伸。在架板8安装有用于进行容器F的定位的三个定位销81。三个定位销81设置为向架板8上突出。定位销81插入形成在载置于架板8上的容器F的底面的槽或者孔。架板8经由弹性体82被支承在横梁件7上。

在图示的例子中，架板8的Y方向的负(负)侧与架板8的正面侧对应，架板8的Y方向的正(正)侧与架板8的里侧对应。正面侧以及里侧分别对应轨道4的侧方(桥式吊车2的行驶方向的侧方、与轨道4的延伸方向正交的水平方向)的一侧以及另一侧。

净化装置10具备上述架板8、净化喷嘴11、第一配管12、气体控制装置(控制器)13、第二配管14、主配管15以及载荷传感器16。净化喷嘴11设置在架板8。净化喷嘴11是向容器F的内部供给气体的喷嘴。净化喷嘴11从架板8的载置面(上表面)向上方突出。净化喷嘴11与载置在该净化喷嘴11的容器F的底面的导入孔连接。净化喷嘴11设置有多个。

第一配管12是连接在净化喷嘴11与气体控制装置13之间的管部件。气体控制装置13是进行净化气体的流量的控制的设备。气体控制装置13安装于保管架1的适当位置。气体控制装置13具有流量控制器、控制基板、调节器以及电磁阀等(均未图示)。气体控制装置13进行控制，以便实施经由净化喷嘴11向架板8的容器F内供给净化气体的净化处理、和在净化处理的实施前从净化喷嘴11排出净化气体的预净化处理(吹去附着于净化喷嘴11的尘埃的清洁处理)。

第二配管14是连接气体控制装置13与主配管15之间的管部件。主配管15与净化气体的供给源连接。主配管15是由不锈钢等金属或者氟树脂等树脂形成的管部件。主配管15经由分支部17连接有第二配管14。载荷传感器16是检测将容器F载置于架板8的传感器。载荷传感器16与气体控制装置13连接，并将检测结果向气体控制装置13输出。载荷传感器16配置在与一个定位销81接近的位置。作为载荷传感器16例如能够使用通过与容器F的底面的接触而成为导通的接触式传感器、以及通过与容器F的底面的接近而成为导通的接近传感器。

如图2以及图4所示，桥式吊车2沿着敷设在顶棚部5附近的轨道4行驶。轨道4形成桥式吊车2的行驶路径。桥式吊车2进行容器F的输送、以及容器F针对保管架1的架板8的移载。桥式吊车2具备框架单元21、行驶单元22、移载装置30以及输送车控制器23。框架单元21具有中心框架24、前框架25以及后框架26。前框架25从中心框架24的前侧(桥式吊车2的行驶方向的前侧)的端部向下侧延伸。后框架26从中心框架24的后侧(桥式吊车2的行驶方向的后侧)的端部向下侧延伸。

行驶单元22配置在中心框架24的上侧。行驶单元22例如通过从沿着轨道4敷设的高频电流线以非接触的方式接受电力的供给，而沿着轨道4行驶。移载装置30是在与架板8之间移载容器F的装置，包含横向单元31、整理单元32、升降驱动单元33以及保持单元34，。

横向单元31配置在中心框架24的下侧。横向单元31以向Y方向(桥式吊车2的行驶方向的侧方)滑动的方式进行驱动，使整理单元32、升降驱动单元33以及保持单元34向Y方向移动。整理单元32配置在横向单元31的下侧。整理单元32使升降驱动单元33以及保持单元34在水平面内转动。

升降驱动单元33配置在整理单元32的下侧。升降驱动单元33通过与保持单元34连接的多个带(悬挂部件)B的放出以及收卷，使保持单元34升降。保持单元34配置在升降驱动单元33的下侧。保持单元34设置为能够通过升降驱动单元33升降。保持单元34保持容器F的凸缘201。输送车控制器23配置在中心框架24。输送车控制器23是由CPU(CentralProcessing Unit：中央处理器)、ROM(Read only memory：只读存储器)以及RAM(Randomaccess memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。输送车控制器23控制桥式吊车2的各部分。

如图1以及图2所示，本实施方式的净化装置10具备预净化传感器18。预净化传感器18是在移载装置30使容器F从架板8的正面侧进入架板8的正上方的情况下，检测移载装置30向架板8的正上方的进入的进入检测传感器。架板8的正上方例如相当于架板8的正上方的空间、正对着架板8的上方的空间以及从上方观察下与架板8重叠的空间。这里的预净化传感器18能够检测在移载时沿着水平方向滑动的横向单元31(移载装置30的一部分)。预净化传感器18与气体控制装置13连接，将检测结果向气体控制装置13输出。

预净化传感器18具有射出光的投光器18A、以及接受来着投光器18A的光的受光器18B。投光器18A在两个底架6中的一个中，安装于配置在架板8的正面侧的吊挂部件61A。受光器18B在两个底架6中的另一个中，安装于配置在架板8的里侧的吊挂部件61B。

在一个例子中，投光器18A配置在比横向单元31靠上方。受光器18B配置在比横向单元31靠下方。投光器18A以及受光器18B以在从上方观察下，与架板8交叉的方式射出以及接受光。投光器18A以及受光器18B以与X方向、Y方向以及Z方向全部交叉的方式射出以及接受光。投光器18A配置为在移载时光照射在滑动过程中或者滑动开始初始的横向单元31。这样的预净化传感器18在来自投光器18A的光被遮挡且没有由受光器18B接受的情况下，检测出移载装置30向架板8的正上方的进入。预净化传感器18在来自投光器18A的光未被遮挡并由受光器18B接受的情况下，未检测出移载装置30向架板8的正上方的进入(换言之，检测出没有进入的情况)。此外，投光器18A以及受光器18B没有特别限定，也可以使用各种公知的投光器以及受光器。

气体控制装置13进行控制，以便基于预净化传感器18的检测结果，在净化处理的实施之前从净化喷嘴11排出净化气体(实施预净化处理)。另外，气体控制装置13进行控制，以便基于载荷传感器16的检测结果，实施净化处理。例如，气体控制装置13执行下面的处理。即、如图5所示，判定通过预净化传感器18，是否检测出移载装置30向架板8的正上方的进入(步骤S1)。在上述步骤S1中为是的情况下，开始从净化喷嘴11排出第一流量的净化气体的预净化处理(步骤S2)。在上述步骤S1中为否的情况下，返回上述步骤S1。在上述步骤S2之后，判定通过载荷传感器16，是否检测出容器F向架板8的载置(步骤S3)。在上述步骤S3中为是的情况下，开始经由净化喷嘴11向架板8的容器F内供给第二流量的净化气体的净化处理(步骤S4)。在上述步骤S3中为否的情况下，返回上述步骤S3。

另外，预净化处理的第一流量和净化处理的第二流量可以相同，也可以不同。预净化处理可以在净化处理的开始时刻(例如在上述步骤S3中为是)结束，也可以在净化处理的开始前(例如，上述步骤S3之前)结束。在第一流量和第二流量相同的情况下，也可以不间断处理地实施预净化处理和净化处理。

图6(a)、图6(b)、图7(a)以及图7(b)是说明从桥式吊车2向保管架1的架板8移载容器F时的预净化处理以及净化处理的例子的简要侧视图。例如，在从桥式吊车2向保管架1的架板8移载容器F的情况下，如图6(a)所示，保持容器F的桥式吊车2相对于空的架板8在与其正面侧接近的位置停止。此时，来自架板8的净化喷嘴11的净化气体不会排出。

接着，如图6(b)所示，使横向单元31向Y方向滑动，由此使整理单元32、升降驱动单元33、保持单元34以及容器F从正面侧向里侧移动。由此，使横向单元31、整理单元32、升降驱动单元33、保持单元34以及容器F沿着Y方向进入架板8的正上方的空间亦即正上方空间H，使它们中的至少一部分位于正上方空间H内。此时，例如在横向单元31的滑动动作的初始阶段中，该横向单元31遮挡来自预净化传感器18的投光器18A的光，通过预净化传感器18检测出开始向横向单元31的正上方空间H内的进入(移载装置30的移载的开始)。其结果是，将该检测作为触发，开始上述预净化处理。

接着，如图7(a)所示，驱动升降驱动单元33并使保持单元34下降，将容器F载置在架板8。此时，容器F与载荷传感器16接触而载荷传感器16导通，检测出容器F向架板8的载置。其结果是，将该检测作为触发，开始上述净化处理。然后，保持单元34释放容器F的凸缘201的保持，通过升降驱动单元33将保持单元34上升到上升端。通过驱动横向单元31并使其滑动，使整理单元32、升降驱动单元33以及保持单元34从里侧向正面侧移动，使它们脱离正上方空间H。然后，如图7(b)所示，没有保持容器F的桥式吊车2例如朝向其它移载源行驶。

以上，在净化装置10中，能够基于移载装置30进入架板8的正上方的时刻来实施预净化处理，能够从即将将容器F载置在架板8之前进行预净化处理。由此，例如能够抑制预净化处理的净化气体的消耗量而预净化处理的开始不会过早。能够以所需最小限的净化气体可靠地实施用于清扫净化喷嘴11等的预净化处理。

另外，在净化装置10中，在实施预净化处理时，例如不需要将移载装置30侧的控制指令(控制指令所含的各控制时刻等)设为触发，能够仅通过本地侧亦即净化装置10侧的控制实施预净化处理。即、能够不经由上位的控制指令，在即将将容器F放置在架板8之前的时刻开始预净化处理。在基于用户的远程操作，桥式吊车2将容器F移载到架板8的情况下，能够仅通过净化装置10侧的控制来控制预净化处理的开始的本实施方式是特别有效的。

净化装置10还具备检测将容器F载置到架板8的载荷传感器16。气体控制装置13基于载荷传感器16的检测结果，来实施净化处理。在该情况下，能够通过净化装置10侧的控制，接着预净化处理来实施净化处理。

在净化装置10中，架板8在保管架1中通过多个吊挂部件61A、61B悬挂在顶棚部5。预净化传感器18的投光器18A安装在配置于架板8的正面侧的吊挂部件61A，预净化传感器18的受光器18B安装在配置于架板8的里侧的吊挂部件61B。在该情况下，作为进入检测传感器亦即预净化传感器18能够利用投光器18A以及受光器18B，以简易的结构可靠地检测移载装置30向架板8的正上方的进入。

在净化装置10中，预净化传感器18检测移载装置30向架板8的正上方的进入。在该情况下，与检测容器F向架板8的正上方的进入的情况相比，能够尽早掌握容器F向架板8的移载。

以上，说明了本发明的实施方案之一的实施方式，但本发明的一个实施方案并不限于上述实施方式。

在上述实施方式中，进入检测传感器也可以包含射出光并且根据该射出接受由移载装置30的反射板反射的反射光的投受光器。该投受光器也可以安装于多个吊挂部件61A、61B中的任一个。在该情况下，能够利用投受光器，以简易的结构可靠地检测移载装置30向架板8的正上方的进入。作为这样的进入检测传感器的例子，例如也可以使用图8(a)以及图8(b)所示的预净化传感器28。

预净化传感器28包含在吊挂部件61B中设置在比移载装置30高的位置的、朝向下方射出光的投受光器。另外，在整理单元32的上表面设置有反射镜等反射板R1。在该情况下，在横向单元31滑动，且整理单元32、升降驱动单元33、保持单元34以及容器F从正面侧进入架板8的正上方时，从预净化传感器28向下方射出的光被反射板R1反射，该反射光被预净化传感器28接受。因此，根据是否由预净化传感器28检测出该反射光的情况，能够可靠地检测移载装置30向架板8的正上方的进入。此外，也可以在架板8配置反射板R1，来自投光器18A的光被进入架板8的正上方的横向单元31等遮挡，而没有用受光器18B接受到光，由此检测出移载装置30的进入。另外，也可以不使用反射板R1，而通过距离传感器等来检测进入架板8的正上方的横向单元31等，由此检测移载装置30的进入。

上述实施方式以及上述变形例也可以还具备检测从架板8的正上方与架板8接近的移载装置30或者容器F的接近检测传感器。在该情况下，能够根据移载装置30或者容器F从架板8的正上方与架板8接近的时刻，适当地控制实施中的预净化处理。例如，能够将该接近作为触发，使实施中的预净化处理的实施方式变化。作为这样的接近检测传感器的例子，例如也可以使用图9(a)以及图9(b)所示的预净化传感器38。

预净化传感器38包含安装于架板8的里侧的吊挂部件61B的下部的投光器38A、以及安装于配置在架板8的正面侧的吊挂部件61A的下部的受光器38B。投光器38A以及受光器38B沿着水平方向射出光以及接受光。在该情况下，在升降驱动单元33被驱动而保持单元34下降，移载装置30或者容器F与架板8接近时，在预净化传感器38中，来自投光器38A的光被遮挡，通过受光器38B不会接受到光。因此，通过基于是否由预净化传感器38检测到光的情况，能够可靠地检测移载装置30或者容器F从架板8的正上方向架板8的接近。

或作为接近检测传感器的例子，也可以使用图10(a)以及图10(b)所示的预净化传感器48。预净化传感器48在吊挂部件61B的下部包含朝向正面侧射出光的投受光器。另外，在保持单元34的里侧的侧面设置有反射镜等反射板R2。在该情况下，在升降驱动单元33被驱动而保持单元34下降，升降驱动单元33与架板8接近时，从预净化传感器48射出的光被反射板R2反射，该反射光被预净化传感器48接受。因此，通过基于是否由预净化传感器48检测出该反射光的情况，能够可靠地检测升降驱动单元33从架板8的正上方向架板8的接近。

在上述实施方式以及上述变形例中，进入检测传感器虽检测移载装置30向架板8的正上方的进入，但也可以检测容器F向架板8的正上方的进入。在上述实施方式以及上述变形例中，虽通过移载装置30使容器F从架板8的正面侧进入架板8的正上方，但也可以使容器F从架板8的里侧进入架板8的正上方。在上述实施方式以及上述变形例中，进入检测传感器没有被特别限定，只要能够检移载装置30或者容器F向测架板8的正上方的进入，就可以使用各种传感器。在上述实施方式以及上述变形例中，虽将投光器18A安装于吊挂部件61A，并且将受光器18B安装于吊挂部件61B，但也可以将投光器18A安装于吊挂部件61B，并且将受光器18B安装于吊挂部件61A。

在上述实施方式以及变形例中，例如，如图11所示，也可以以各架板8为单位配置多组投光器18A以及受光器18B。在图示的例子中，以架设沿X方向分离的一对吊挂部件61A、61A的上部的方式，设置有沿着X方向延伸的横梁件68A。也可以以架设在沿着X方向分离的一对吊挂部件61B、61B中的比横梁件68A靠下方的位置的方式，设置有沿着X方向延伸的横梁件68B。在横梁件68A的与各架板8对应的位置设置有投光器18A，在横梁件68B的与各架板8对应的位置设置有受光器18B。

在上述实施方式以及变形例中，虽以将本发明的一个方面应用于悬挂在顶棚的结构的保管架1为例进行了说明，但例如也可以将本发明的一个方面应用于设置在地面的保管架(净化储藏架)等。在上述实施方式以及变形例中，虽作为输送装置的一个例子举例说明了桥式吊车2，但也可以是在地面上行驶的堆垛起重机那样的输送装置。

以下，描述本发明的一个实施方式的结构要件。

＜发明1＞

一种净化装置，其具备：

载置部，其通过移载装置载置容器；

净化喷嘴，其设置在上述载置部；

控制器，其进行控制，以便实施经由上述净化喷嘴向载置于上述载置部的上述容器内供给净化气体的净化处理；以及

进入检测传感器，其在上述移载装置使上述容器从上述载置部的正面侧或者里侧进入上述载置部的正上方的情况下，检测上述移载装置或者上述容器向上述载置部的正上方的进入，

上述控制器进行控制，以便基于上述进入检测传感器的检测结果，在上述净化处理的实施之前从上述净化喷嘴排出净化气体。

＜发明2＞

根据发明1所述的净化装置，其还具备：

载荷传感器，其检测在上述载置部载置有上述容器的情况，

上述控制器进行控制，以便基于上述载荷传感器的检测结果，实施上述净化处理。

＜发明3＞

根据发明1或者2所述的净化装置，其中，

上述载置部是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，

上述进入检测传感器包含射出光的投光器、以及接受来自上述投光器的光的受光器，

上述投光器以及上述受光器中的任一个安装于配置在上述载置部的正面侧的上述吊挂部件，

上述投光器以及上述受光器中的任一个安装于配置在上述载置部的里侧的上述吊挂部件。

＜发明4＞

根据发明1或者2所述的净化装置，其中，

上述载置部是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，

上述进入检测传感器包含射出光且相应于该射出接受由上述移载装置的反射板进行了反射的反射光的投受光器，

上述投受光器安装于多个上述吊挂部件中的任一个。

＜发明5＞

根据发明1～4中任一项所述的净化装置，其中，

上述进入检测传感器检测上述移载装置向上述载置部的正上方的进入。

＜发明6＞

根据发明1～5中任一项所述的净化装置，其中，具备：

接近检测传感器，其检测从上述载置部的正上方与上述载置部接近的上述移载装置或者上述容器。

附图标记的说明

1…保管架，5…顶棚部，8…架板(载置部)，10…净化装置，11…净化喷嘴，13…气体控制装置(控制器)，16…载荷传感器，18、28…预净化传感器(进入检测传感器)，18A…投光器，18B…受光器，30…移载装置，38、48…预净化传感器(接近检测传感器)，61A、61B…吊挂部件，F…容器。

Claims (6)

1.一种净化装置，其具备：

载置部，其通过移载装置载置容器；

净化喷嘴，其设置在上述载置部；

控制器，其进行控制，以便实施经由上述净化喷嘴向载置于上述载置部的上述容器内供给净化气体的净化处理；以及

进入检测传感器，其在上述移载装置使上述容器从上述载置部的正面侧或者里侧进入上述载置部的正上方的情况下，检测上述移载装置或者上述容器向上述载置部的正上方的进入，

上述控制器进行控制，以便基于上述进入检测传感器的检测结果，在上述净化处理的实施之前从上述净化喷嘴排出净化气体。

2.根据权利要求1所述的净化装置，其还具备：

载荷传感器，其检测在上述载置部载置有上述容器的情况，

上述控制器进行控制，以便基于上述载荷传感器的检测结果，实施上述净化处理。

3.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，

上述载置部是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，

上述进入检测传感器包含射出光的投光器、以及接受来自上述投光器的光的受光器，

上述投光器以及上述受光器中的任一个安装于配置在上述载置部的正面侧的上述吊挂部件，

上述投光器以及上述受光器中的任一个安装于配置在上述载置部的里侧的上述吊挂部件。

4.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，

上述载置部是在保管架中从顶棚部通过多个吊挂部件被悬吊的架板，

上述进入检测传感器包含射出光且相应于该射出接受由上述移载装置的反射板进行了反射的反射光的投受光器，

上述投受光器安装于多个上述吊挂部件中的任一个。

5.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，

上述进入检测传感器检测上述移载装置向上述载置部的正上方的进入。

6.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，具备：

接近检测传感器，其检测从上述载置部的正上方与上述载置部接近的上述移载装置或者上述容器。