CN117447234A - 一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，S1、将旋涂玻璃材料在基体上连续旋涂三次，旋涂速率为350rpm/mi n；S2、第三次旋涂后在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟；S3、进行第四次和第五次旋涂，旋涂速率为350rpm/mi n；第五次旋涂结束后，在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟，获得耐超高温旋涂玻璃膜层。本发明的耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，具有耐超高温性能，在950‑1100℃高温，仍会保留0.9‑1微米完好膜层。
Description
技术领域
本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法。
背景技术
旋涂玻璃(SOG)是一种半导体常用材料，其膜层厚度和耐高温性能一直以来难以突破，尤其是在厚膜制作的工艺，通过简单的多层叠加一般难以达到厚度增厚的效果。具体地，在业内常规方法中，如果想制作高厚度的膜层，一般采用材料多层叠加的方法，即旋涂—烘烤—冷却的循环，但此种叠加方法无法使膜层厚度线性增加，在达到一定厚度后即无法继续增加膜厚。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题，提供一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法。
为实现上述目的，本发明提供一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，
包括：
S1、将旋涂玻璃材料在基体上连续旋涂三次，旋涂速率为350rpm/min；
S2、第三次旋涂后在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟；
S3、进行第四次和第五次旋涂，旋涂速率为350rpm/min；
第五次旋涂结束后，在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟，获得耐超高温旋涂玻璃膜层。
进一步地，所述基体为氧化铝蓝宝石。
进一步地，所述耐超高温旋涂玻璃膜层在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟厚度为2微米，在950℃-1100℃高温下，保留0.9微米-1微米完好膜层。
本发明的耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，具有耐超高温性能，在950-1100℃高温，仍会保留0.9-1微米完好膜层。
附图说明
图1示意性表示根据本发明一种实施方式的耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法示意图；
图2示意性表示五次旋涂200℃烘烤后膜层厚度示图；
图3示意性表示五次旋涂200℃烘烤后膜层示图；
图4示意性表示五次旋涂950℃烘烤后膜层厚度示图；
图5示意性表示五次旋涂950℃烘烤后膜层示图；
图6示意性表示五次旋涂950℃烘烤后膜层厚度示图；
图7示意性表示五次旋涂950℃烘烤后膜层示图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作详细地描述，实施方式不能在此一一赘述，但本发明的实施方式并不因此限定于以下实施方式。
如图1所示，本发明提供一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，包括：S1、在基体上连续旋涂三次；S2、第三次旋涂后在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟；S3、进行第四次和第五次旋涂：第五次旋涂结束后，在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟，获得耐超高温旋涂玻璃膜层。
实施例1：将型号为QST-01的旋涂玻璃材料(也可以是其他旋涂玻璃材料)，使用匀胶机，在蓝宝石基板上用350rpm/min的转速连续旋涂三次，中间不进行烘烤，在第三次旋涂结束后，进行200℃温度下烘烤60秒，烘烤完成后冷却20min，再进行第四第五次旋涂，同样第四第五旋涂需要连续进行，之间不进行烘烤。第五次旋涂结束后，进行200℃温度下烘烤60秒，完成整个旋涂过程。完成后的蓝宝石基板可以进行900℃以上的高温烘烤，高温烘烤后的旋涂玻璃膜层参数如表1所示，形貌和厚度如图2-图7所示，未出现开裂现象，且厚度在0.9微米以上。
| 烘烤条件 | Ave(nm) | Mix(nm) | Max(nm) | Range(nm) |
| 200℃烘烤 | 1945.23 | 935.93 | 1952.41 | 16.47 |
| 950℃烘烤 | 1019.07 | 925.06 | 1077.18 | 152.12 |
| 1100℃烘烤 | 922.15 | 867.5 | 943.26 | 75.76 |
表1
以上所述仅为本发明的一个实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，包括：
S1、将旋涂玻璃材料在基体上连续旋涂三次，旋涂速率为350rpm/min；
S2、第三次旋涂后在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟；
S3、进行第四次和第五次旋涂，旋涂速率为350rpm/min；
第五次旋涂结束后，在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟，获得耐超高温旋涂玻璃膜层。
2.根据权利要求1所述的耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，其特征在于，所述基体为氧化铝蓝宝石。
3.根据权利要求1所述的耐超高温旋涂玻璃膜层制备方法，其特征在于，所述耐超高温旋涂玻璃膜层在200℃温度下烘烤60秒，烘烤后冷却20分钟厚度为2微米，在950℃-1100℃高温下，保留0.9微米-1微米完好膜层。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5186745A (en) * | 1991-02-04 | 1993-02-16 | Motorola, Inc. | Teos based spin-on-glass and processes for making and using the same |
| US5470798A (en) * | 1990-05-29 | 1995-11-28 | Mitel Corporation | Moisture-free sog process |
| CN1617310A (zh) * | 2003-11-11 | 2005-05-18 | 三星电子株式会社 | 旋涂玻璃组合物和在半导体制造工序中使用该旋涂玻璃形成氧化硅层的方法 |
| CN1979795A (zh) * | 2005-12-07 | 2007-06-13 | 旺宏电子股份有限公司 | 一种形成旋涂玻璃保护层的方法 |
| CN102214032A (zh) * | 2010-04-05 | 2011-10-12 | 三星移动显示器株式会社 | 一种集成触摸屏面板的平板显示器及其制备方法 |
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2023
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5470798A (en) * | 1990-05-29 | 1995-11-28 | Mitel Corporation | Moisture-free sog process |
| US5186745A (en) * | 1991-02-04 | 1993-02-16 | Motorola, Inc. | Teos based spin-on-glass and processes for making and using the same |
| CN1617310A (zh) * | 2003-11-11 | 2005-05-18 | 三星电子株式会社 | 旋涂玻璃组合物和在半导体制造工序中使用该旋涂玻璃形成氧化硅层的方法 |
| CN1979795A (zh) * | 2005-12-07 | 2007-06-13 | 旺宏电子股份有限公司 | 一种形成旋涂玻璃保护层的方法 |
| CN102214032A (zh) * | 2010-04-05 | 2011-10-12 | 三星移动显示器株式会社 | 一种集成触摸屏面板的平板显示器及其制备方法 |
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